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石英玻璃

光学石英玻璃

石英玻璃

石英玻璃有透明和不透明石英玻璃两种，透明和不秀明石英玻璃是工业和科研使用的最有经济价值的材料。其制造（采用熔炼方法）所用的原料为水晶或高纯、超高纯石英砂（透明石英玻璃）和白色石英砂（不透明石英玻璃）。这两种原料都存在于自然界，它的成份为最纯的SiO2所组成。

石英玻璃和水晶具有相同的化学成份，但在结构上大不相同。一个是玻璃态，另一个是晶态。水晶经不起高温热冲击，它遇高温就会破裂并转化成其它晶体变态，而石英玻璃经得起极高温的冲击。制造透明石英玻璃和不透明石英玻璃要求在高温下进行，因为结晶SiO2在1713℃以上才能熔化。

2．3．1.石英玻璃概述

石英玻璃在国外已有160多年历史，1839年法国人首先用氢氧燃烧火焰熔化石英制造石英玻璃，1902年英国人用石墨棒通电获得高温（称为单棒电熔炉）制造石英玻璃，二十世纪40年代发明了电熔连熔炉，50年代随着半导体技术和新型电光源的发展（急需大量石英玻璃），石英玻璃才迅速发展起来。因为石英玻璃的生产技术难度大，直到目前能够大量生产石英玻璃的国家仅有美国、德国、法国、日本、英国、中国等少数国家。我国石英玻璃研究始于1957年，在中华人民共和国成立之前是空白。1956年国家制定12年科技发展规划，要求发展国防急需的57项重点研究任务，解决二弹一星用的新型高性能材料，为研究原子弹、导弹、人造卫星做好物质准备。石英玻璃是第26项和第40项任务书中指定要研究的内容，任务是下达给当时的国家建筑材料综合研究所。我国石英玻璃的发展大体可分为5个阶段：1957—1961年为开创阶段，以研究工艺制造方法为主；1962—1966年为形成产业阶段，在此期间完成很多军工任务，民品产量和质量也有很大提高，已初步形成产业；1978—1988年为改革创新时期，高新技术用石英玻璃，如：大规模集成电路用高纯耐高温石英玻璃管、高纯涂层坩埚、电弧法坩埚、光通信用石英玻璃、激光用石英玻璃等都是这一时期研究并大量生产的；1989—2000年为引进国外先进技术、技术创新、增加品种和产量等大发展时期，最为突出的是东海县发展成为电光源用石英玻璃生产基地，年产石英玻璃达6000吨（其中优质品2000余吨），质量极大的提高，成本几倍的下降，技术装备显著的改进。

40余年来，石英玻璃的发展速度比较快，以生产透明石英玻璃管为例：1975年产量172吨，31个工厂需要用60多台电阻炉生产，管子质量很差（相当于现在的废品管），现在2台连熔炉就可以年生产近200吨，到2000年，透明石英玻璃管的年产量达7000吨（其中优质产品达3500吨），25年增长了近40倍。

2．3．2．石英玻璃的性能

石英玻璃被人们称为“玻璃王”，因为它具有一系列特殊的物理、化学性能。略

2.1.石英玻璃的化学成份

石英玻璃的化学成份是SiO2单一组份，通常也称为纯度。

1.照明石英玻璃

2. 半导体工业用石英玻璃

2.2.石英玻璃热学性能

1. 耐温性

2. 热稳定性

3. 石英玻璃在高温时的挥发量

4．比热和导热系数

5. 石英玻璃的结晶性能（也称析晶性能或失透性能）

6. 石英玻璃的高温变色性

石英玻璃的化学性能

略

2.4. 石英玻璃的电学性能

略

2.5. 石英玻璃的光学性能

略

2.6. 石英玻璃的机械性能

2.7. 石英玻璃的腐蚀性

2.8. 石英玻璃中的羟基扩散性

以上所述的石英玻璃性能是透明石英玻璃，其他品种石英玻璃（乳白石英玻璃、石英陶瓷、不透明石英玻璃、石英棉、石英纤维等等）都还有其各自的特殊性能。

3. 石英玻璃的主要品种和用途

石英玻璃的品种和用途是密切相关的，用户根据石英玻璃的特性，要求制造他需要的石英玻璃，便产生了石英玻璃的品种，新的品种又提高了石英玻璃的性能和质量，促进了石英玻璃行业的发展。各行各业几乎都用石英玻璃，但是因为石英玻璃制品工艺复杂，原料价格贵，造成石英玻璃价格也贵，限制了石英玻璃的大量使用。这里简要介绍石英玻璃的主要品种和用途。

3.1. 放电管类用石英玻璃

透明石英玻璃由于具有从紫外区到红外区优良的光透过性和耐热性，所以广泛使用于水银灯、超高压水银灯、氙灯、紫外线灯、碘钨灯、卤素灯、气体激光用灯、金属卤化物灯等电光源，它是中国石英玻璃的第一大用户，外国是第二大用户（第一大用户是半导体技术），首要任务是提高质量，争取多出口。

3.2.半导体工业（电子工业）用石英玻璃

3.3. 红外线加热器类用石英玻璃

用不透明石英玻璃（乳白石英玻璃）制造红外线加热器、取暖器、晶体加热器等，年消耗乳白石英玻璃管近千吨。主要用于电镀液加热、酸加热、家庭取暖、钢化玻璃的加热等，工业上（自行车、汽车等）油漆烘烤的烘道，食品、造纸、纺织工业的烘道等。

3.4. 各种耐酸容器类石英玻璃

由于优越的耐酸性和耐热性，在化学工业领域得到广泛利用。如合成盐酸装置；高温酸性气体的燃烧，冷却和引导装置；酸性溶液的蒸发、冷却、吸收和贮藏装置、蒸馏水、盐酸、硫酸、硝酸类的制造装置；氯化反应容器；蒸馏塔充填物，蒸汽加热搅拌装置；耐酸阀门；过滤板等。

3.5. 电绝缘用石英玻璃

石英玻璃因为有优良的电绝缘性和耐热性，用于科垂尔静电集成器、高频和各种电计器绝缘材料，发电厂锅炉液位管，高压绝缘管类等。

3.6. 各种烧成用石英玻璃容器

由于石英玻璃是没有污染的纯烧成物，所以可作为荧光体物质的烧成容器和各种杯、盘使用等。

3.7. 保护管类石英玻璃

石英玻璃广泛用于一般温度计的保护管类；另外，也可作浸没高温计保护管和制钢的温度测定不可缺少的材料。

3.8.冶金工业用石英玻璃

石英玻璃由于耐热性特别优良，可作平炉，高炉的氧、碳等分析用试样采取管类；炼钢连注连轧出钢水口用石英玻璃；贵重金属、黄金、白金冶炼用石英玻璃；有色金属冶炼（铝及合金、易熔金属蒸发罐）等用石英玻璃。

3.9. 炉芯管类石英玻璃

石英玻璃由于有优良的电性能、耐热性和气密性，可作为电炉、气体炉、高频炉等的炉芯管和外管，也可用于空气，各种气体和真空炉。

3.10.各种理化仪器用石英玻璃

由于石英玻璃有很多优良的特性，可用于膨胀仪、热天平、电气计测器、弹簧天平、地震仪等的零件，烧瓶、烧杯、蒸发皿、坩埚、舟、硫黄定量装置、冷凝器等的分析用具，分光光度计用吸收容跑龙套等各种理化实验用品。

3.11. 光学类石英玻璃

因为石英玻璃有很高的紫外线透过性、耐热性和低膨胀性等可用于纹影照像用窗玻璃，耐热用透镜和窗玻璃，反射望远镜用反射镜、棱镜，气体激光器用窗玻璃，光学标准用等。另外因为石英玻璃不含SiO2以外的成分，所以可作为光学玻璃熔融用坩埚和管使用。

3.12.光通讯及高新技术用石英玻璃

世界80%的信息业务由光纤传输，光纤产业的发展更具战略意义，发展光纤离不开石英玻璃，因为光纤就是石英玻璃纤维，生产石英玻璃纤维需要石英玻璃预制棒和石英玻璃包皮管，由于此类石英玻璃纯度要求特别高，德国贺利氏公司生产专用产品Heralux—WG级石英玻璃管，每公斤达3500元人民币。我国生产光纤大量使用外国进口管。另外还有生物工程、光通信技术、原子能技术、激光技术、航空技术、航天技术等高技术领域均需要用石英玻璃。石英玻璃就好比做菜的味精，用量不算大，但非常广泛，各行业均不能缺少它。石英玻璃属于很重要的新材料，社会经济效益很大。

4.石英玻璃的主要生产工艺

略

1、单棒电熔炉工艺

2、真空电阻炉及真空加压炉工艺

3、电熔连熔炉工艺

4、氢氧气炼工艺

5、电弧法工艺

6、气担沉积工艺

7、二步法工艺

8、掺杂工艺

9、石英玻璃的热加工技术

10、等离子无接触气炼工艺

5. 全国石英玻璃行业浅析

5.1. 全国石英玻璃生产情况

略

5.2. 技术进步

略

5.3. 石英玻璃行业存在问题

略

5.4. 市场展望

略

石英玻璃的特点与应用

石英玻璃的特点与应用！！发布者：江苏省金坛市晶玻实验仪器厂(ISO9001:2000认证企业）发布时间：2007年9 月28日 Audo look6.0下载石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石。四氧化硅为原料高温熔制而成。其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%。石英玻璃具有优异的光学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线，红外线。石英玻璃是良好的耐酸材料，除氢氟酸和300度以上的热磷酸外，在高温下，它能耐硫酸，硝酸，盐酸，王水，中性盐类，碳和硫等侵蚀，其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的30倍，相当于镍铬合金和陶瓷的150倍，它耐高温，耐热震，热膨胀系数特别小。石英玻璃电学性能极佳，在常温下，它的电阻相当于普通玻璃的10倍，对全部频率的介电损失很微小，绝缘耐压强度大。石英玻璃还具有耐宇宙放射线，和不透原子核裂变产物的性质。石英玻璃主要用于电光源，半导体，光学新技术等方面。新型光源方面：做高压水银灯、长弧氙灯、碘钨灯、碘化铊灯、红外线灯和杀菌灯等。半导体方面：是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料，如生长锗，硅单晶的坩埚、舟皿炉芯管和钟罩等。在新技术领域中：用其声、光、电学的极佳性能、做雷达上的超声延迟线，红外跟踪测向，红外照像、通迅、摄谱仪、分光光度计的棱镜，透镜、大型天文望远镜的反射窗，高温作业窗、反应堆、放射性装置；火箭，导弹的鼻锥体，喷嘴和天线罩：人造卫星的无线电绝缘零件，辐射；热天秤，真空吸附装置，精密铸造等。石英玻璃还用于：化工、冶金、电工、科研等方面在化工方面：可做高温耐酸性气体的燃烧、冷却的和通风装置，酸性溶液的蒸发，冷却吸物收，贮存装置,蒸馏水,盐酸、硝酸、硫酸等的制备和其它物理化学实验用品。在高温业作方面：可做光学玻璃的，坩埚成萤光体客气，电炉炉芯管，气体燃烧辐射体，在光学方面：石英玻璃和石英玻璃棉可作火箭的喷咀，宇宙飞船防热罩和观察窗等，总之，随着现代科学技术的发展，石英玻璃在各个领域方面得到更加广泛的应用。一、受热方面：

石英玻璃

石英玻璃石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器、光学仪器、实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等工业，应用十分广泛。高纯石英玻璃可制光导纤维。随着半导体技术的发展，石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如，直拉法把多晶转化成单晶硅；清洗时用的清洗槽；扩散时用的扩散管、刻槽舟；离子注入时用的钟罩等等。石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于种类、工艺、原料的不同，国外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。我国统称石英玻璃，多按工艺方法、用途及外观来分类，如电熔透明石英玻璃、连熔石英玻璃、气炼透明石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光学石英玻璃、半导体用石英玻璃、电光源用石英玻璃等。人们习惯于用“石英”这样一个简单的词汇来命名这种材料，这是绝对不妥的，因为“石英”是二氧化硅结晶态的一种通称，它与玻璃态二氧化硅在理化性质上是有区别的。石英玻璃具有极低的热膨胀系数，高的耐温性，极好的化学稳定性，优良的电绝缘性，低而稳定的超声延迟性能，最佳的透紫外光谱性能以及透可见光及近红外光谱性能，并有着高于普通玻璃的机械性能。因此它是近代尖端技术中空间技术、原子能工业、国防装备、自动化系统，以及半导体、冶金、化工、电光源、通讯、轻工、建材等工业中不可缺少的优良材料之一。石英玻璃是用天然结晶石英（水晶或纯的硅石），或合成硅烷经高温熔制而成。熔融后的产品具有极好的加工性能，在其高的粘度范围内，可以将管和棒进行有如普通玻璃细工一样的热加工，还可以用金刚石或碳化硅制成的磨具进行高速机械加工，从而制成各种复杂形状的仪器和特种制品。石英玻璃的性能主要取决于它的纯度，其次是工艺过程或热工制度。微量杂质的存在将给石英玻璃的使用性能带来重大的影响；同时由于工艺过程或热工制度的稍有疏忽，将给外观质量带来多种多样的缺陷，产生大量的废次产品。纯度是石英玻璃的重要指标，对理化性能和使用性能影响甚大，如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等；此外，用于半导体工业的石英玻璃，对纯度的要求更为苛刻，微量的杂质将给半导体材料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。由于半导体材料的纯度要求控制在ppb数量级以下，因此石英玻璃则应控制在PPm数量级以适应半导体工业的需要。B的分凝系数近于1,最难除掉，是最有害的杂质之一，Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿命，K、Na、Li是单晶材料产生微缺陷的有害杂质。失透（又叫析晶性）是石英玻璃的一个固有缺陷，从热力学观点看，石英玻璃的内能高于结晶态方石英，属热力学上不稳定的亚稳态，当温度高于1000℃时，SiO2 分子振动加速，经一段较长时间的重新排列、

石英玻璃

光学石英玻璃

石英玻璃石英玻璃有透明和不透明石英玻璃两种，透明和不秀明石英玻璃是工业和科研使用的最有经济价值的材料。其制造（采用熔炼方法）所用的原料为水晶或高纯、超高纯石英砂（透明石英玻璃）和白色石英砂（不透明石英玻璃）。这两种原料都存在于自然界，它的成份为最纯的SiO2所组成。石英玻璃和水晶具有相同的化学成份，但在结构上大不相同。一个是玻璃态，另一个是晶态。水晶经不起高温热冲击，它遇高温就会破裂并转化成其它晶体变态，而石英玻璃经得起极高温的冲击。制造透明石英玻璃和不透明石英玻璃要求在高温下进行，因为结晶SiO2在1713℃以上才能熔化。 2．3．1.石英玻璃概述石英玻璃在国外已有160多年历史，1839年法国人首先用氢氧燃烧火焰熔化石英制造石英玻璃，1902年英国人用石墨棒通电获得高温（称为单棒电熔炉）制造石英玻璃，二十世纪40年代发明了电熔连熔炉，50年代随着半导体技术和新型电光源的发展（急需大量石英玻璃），石英玻璃才迅速发展起来。因为石英玻璃的生产技术难度大，直到目前能够大量生产石英玻璃的国家仅有美国、德国、法国、日本、英国、中国等少数国家。我国石英玻璃研究始于1957年，在中华人民共和国成立之前是空白。1956年国家制定12年科技发展规划，要求发展国防急需的57项重点研究任务，解决二弹一星用的新型高性能材料，为研究原子弹、导弹、人造卫星做好物质准备。石英玻璃是第26项和第40项任务书中指定要研究的内容，任务是下达给当时的国家建筑材料综合研究所。我国石英玻璃的发展大体可分为5个阶段：1957—1961年为开创阶段，以研究工艺制造方法为主；1962—1966年为形成产业阶段，在此期间完成很多军工任务，民品产量和质量也有很大提高，已初步形成产业；1978—1988年为改革创新时期，高新技术用石英玻璃，如：大规模集成电路用高纯耐高温石英玻璃管、高纯涂层坩埚、电弧法坩埚、光通信用石英玻璃、激光用石英玻璃等都是这一时期研究并大量生产的；1989—2000年为引进国外先进技术、技术创新、增加品种和产量等大发展时期，最为突出的是东海县发展成为电光源用石英玻璃生产基地，年产石英玻璃达6000吨（其中优质品2000余吨），质量极大的提高，成本几倍的下降，技术装备显著的改进。 40余年来，石英玻璃的发展速度比较快，以生产透明石英玻璃管为例：1975年产量172吨，31个工厂需要用60多台电阻炉生产，管子质量很差（相当于现在的废品管），现在2台连熔炉就可以年生产近200吨，到2000年，透明石英玻璃管的年产量达7000吨（其中优质产品达3500吨），25年增长了近40倍。 2．3．2．石英玻璃的性能石英玻璃被人们称为“玻璃王”，因为它具有一系列特殊的物理、化学性能。略 2.1.石英玻璃的化学成份石英玻璃的化学成份是SiO2单一组份，通常也称为纯度。 1.照明石英玻璃 2. 半导体工业用石英玻璃 2.2.石英玻璃热学性能

JGS1、JGS2、JGS3光学石英玻璃

JGS1、JGS2、JGS3光学石英玻璃时间：2003-03-21 出处：点击率：1770 字号：小大标准名称：JGS1、JGS2、JGS3光学石英玻璃标准类型：中华人民共和国国家标准标准号：JC 185－81 标准发布单位：国家标准局发布标准正文：正文一、牌号、名称与类别 1．光学石英玻璃的牌号与名称（见表1）。表１牌号名称应用光谱波段（毫微米） JGS1 远紫外光学石英玻璃 185- 2500 JGS2 紫外光学石英玻璃 220- 2500 JGS3 红外光学石英玻璃 260- 3500 注：可见光石英玻璃可在以上三种牌号内任意选择。 2．光学石英玻璃按下列各项质量指标分类和定级。（1）光谱特性：分三类；（2）光学均匀性：分五类。（3）双折射：分五类；（4）条纹：分三类和三级；（5）颗粒不均匀性：分三类；（6）气泡：分七类；（7）荧光特性：分二类。 3．光谱特性

（1）JGS1远紫外光学石英玻璃按光谱特性分为三类（见表2）。表２厚度10毫米毛坯的透过率（％）类别 185 200 220 240 300 185- 1200 1 ＞85 ＞85 ＞85 ＞87 ＞90 无吸收峰 2 ＞70 ＞80 ＞80 ＞80 ＞85 无吸收峰 3 ＞70 ＞70 ＞70 ＞80 允许有吸收峰 (2)JGS2紫外光学石英玻璃按光谱特性分三类（见表３）。表３厚度10毫米毛坯的透过率（％）类别 200 240 300 1 ＞80 ＞75 ＞80 2 ＞75 ＞70 ＞75 3 ＞65 ＞70 (3)JGS3红外光学石英玻璃按光谱特性分为三类（见表4）。表４厚度10毫米毛坯的透过率（％）类别 2000 2500 2700 2800 2600- 2800 1 ＞90 ＞90 ＞90 ＞85 无吸收峰 2 ＞85 ＞85 ＞85 ＞80 无吸收峰 3 ＞80 ＞80 ＞75 ＞75 允许有吸收峰

简单介绍石英玻璃行业50年

石英玻璃行业50年 1在国民经济、国防中的作用石英玻璃是现代科学技术的重要新材料。为电光源、电子、激光和航天航空等高技术领域提供了大量关键材料。石英玻璃是最优秀的玻璃材料，号称玻璃之王。它具有优秀的耐高温特性，广泛用于第二代，第三代新型照明光源，每年使用石英玻璃2000吨，生产卤钨灯3亿只、汞灯1500万只，还用于制造氙灯，脉冲灯，原子光谱灯等现代科技不可缺少的光源；石英玻璃由纯二氧化硅组成，是电子工业不可缺少的高纯材料，生产硅单晶用的坩埚，集成电路制造用的扩散管及仪器器皿都是用石英玻璃制造的；熔石英玻璃微粉膨胀系数小，纯度高，强度大，是集成电路塑封料优选添加剂；石英玻璃具有极低的光谱损耗，是制造光导纤维的主导材料；石英玻璃具有从紫外到红外宽的透过区，耐急冷急热性能好，是航天航空无可替代的光学材料；军工配套用的石英玻璃纤维和掺杂石英玻璃以及冶金用的石英玻璃陶瓷、化工用的耐酸石英玻璃管道；等等，石英玻璃产品在国民经济和国防建设中发挥着重要的作用。 2概况我国现有石英玻璃生产企业40余家，职工近万人,年产石英玻璃3000吨,产值3.5亿。共分4大类29个品种。电光源用普通石英玻璃管，稀土掺杂石英玻璃等达到国际先进水平。我国石英玻璃行业有四个特点；一、企业小，高分散。国外石英玻璃生产集中在几个大的跨国公司手中，经济势力雄厚，工艺先进，产品质量好，生产规模大。我国全行业产值不足它们的十分之一。二、多数企业技术装备落后，低水平重复，产品等级低。三、生产能力严重过剩，无序竞争，价格下滑，多数企业亏损。四、技术人员缺乏，多数企业没有大学学历的技术人员。石英玻璃产品从1985起由部管产品下放为地方管理，石英玻璃企业由计划经济进入市场竞争，经过十几年的优生劣汰，适者生存的竞争，技术进步很快，其速度远超过计划经济时期，缩小了国内和国外的差别，激烈的竞争，迫使企业加强管理，减少开支；降低生产成本，提高质量。无序竞争造成大批企业破产，大量投资损失，但破产的是没有发展前途的企业，损失的是低水平投资，而少数优秀企业脱颖而出，他们代表着石英玻璃行业的希望和前途。这是社会进步体现和必然结果。石英玻璃行业形势良好表现在以下7个方面；一、企业规模扩大，数量减少。现在一家企业的产量超过1990年全行业的产量。二、质量大幅度提高，成本大幅下降，出口逐年增加是良好的证明。三、通过引进、合资，工艺装备水平大幅度提高，五、新产品不断增加。六、上缴国家税收大幅增加。七、一些私营、合资企业不需国家投资，取得了良好的经济效益和社会效益。东方网12月11日消息：近日，在中国日用玻璃协会第六届第二次理事(会员代表)大会上，中国日用玻璃协会、中国轻工业联合会联合授予凤阳县“中国日用玻璃产业基地”荣誉称号，这是我国第一个日用玻璃产业基地。2005年，中国建筑材料工业协会、中国建筑玻璃与工业玻璃协会曾联合授予凤阳县“中国优质石英砂原料基地”称号。凤阳县石英石资源储量达100亿吨以上，原矿SiO2平均含量在99.3%以上，其品位和储量均位居华东地区之首，在全国也名列前茅。其石英产品主要有高级玻璃用砂、精制石英

石英玻璃之洗净方法

石英玻璃之洗净方法石英玻璃在半导体工业设备上，使用温度经常在1000℃至1300℃之高温状态，在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生，失透之部分为石英之晶质化，晶质化之变态点为275℃，当石英玻璃自高温降至此变态温度时，表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状，更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久，就必须注意防止造成石英失透产生的原因，而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。且0.1mg/cm2l}k 就会造成数十倍或数百倍的失透量。因此，防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外，使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。一般石英之洗净须要一些程序，首先用纯水先冲洗表面，再置入酸洗槽内浸泡一些时间，取出后再用纯水冲洗后晾干。酸液之种类如下： ◆种类/项目浓度时间P_! ◆氟酸（HF）47.0%~52.0% 1~2分钟 ◆氟酸（HF） 5.0%~10% 10~15分钟 ◆氟酸+硝酸50%+65% 10~15分钟_ ◆氟酸+硫酸50%+65% 10~15分钟石英玻璃专利技术 1、玻璃质材料管,特别是石英玻璃管的制造方法 2、不透明石英玻璃的制造方法、适于执行该方法的SiO颗粒和由不透明石英玻璃构成的部件g` 3、不透明石英玻璃管生产用的硅石粉料坨的生产方法 4、采用溶胶-凝胶法制备高纯石英玻璃的方法 5、彩色石英玻璃管的制造方法 6、超细石英玻璃管及其生产方法和设备 7、大尺寸石英玻璃管的制造方法 8、大尺寸石英玻璃熔化炉 9、电阻炉生产石英玻璃的投料器 10、多点夹持牵引式石英玻璃拉管装置 11、二氧化硅粒子、合成石英粉、合成石英玻璃的合成方法 12、辐照输液器中的石英玻璃管件 13、高耐久性石英玻璃，其制造方法，使用它的部件及装置 14、合成石英玻璃制造方法 15、环形石英玻璃管制作机 16、黄色滤光石英玻璃及其制造方法 17、堇青石--熔融石英玻璃质稀土粉料煅烧皿 18、可多次使用的石英玻璃生产用石墨坩埚 19、立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法 20、内外经分别相等的石英玻璃厚壁管一次成型装置 21、耐高温低膨胀高硼含量封接玻璃的制备工艺 22、耐受激准分子激光的石英玻璃制造方法和石英玻璃部件 23、能吸收紫外线的透明石英玻璃及其用途 24、气炼法生产不透明乳白石英玻璃 25、溶胶-凝胶法生产石英玻璃用的组合物

石英玻璃管封口机

Partulab，MRVS系列石英玻璃管封口机主要用于实现样品的无氧无水真空密封保存和高温固相合成，整套系统由真空封管机、氢氧机、分子泵机组、石英管、管接头等组成，标准化定制石英管和石英柱，保证其与特殊设计的管接头精确匹配，从而进一步提升石英管封装的密封性，实现更高标准的真空封管。应用领域十分广泛，热电材料研究实验室应用，材料化学合成应用解决方案，材料器件研究应用解决方案，生物制药应用解决方案，材料固相合成研究实验室应用等。封管原理：第一步：石英管缩颈抽真空后开始烧结缩颈，缩颈部位烧至凹陷即可第二步：装样装石英柱将样品装入石英管，将石英柱下滑至缩颈处卡住第三步：烧结封管抽真空气氛后，烧结石英柱的位置进行真空封管封管成品：封管完成后可以贴上样品标签以便于区分样品功能特点： 1.真空封管机主要用于将样品放入石英管内进行无氧无水密封保存，采用动密封技术，让石英管自动选择的同时进行抽真空，充气氛封装，操作简单，封管效率高。

2.氢氧机采用电解水技术，通过从水中提取氢氧气体，实现火焰封管，零污染节能方便，安全可靠加装回火阀，防止气体逆流，阻断回火，提升操作安全性；配备火焰夹持装置，无需手动转运石英管或火焰枪便可实现封管。 3.带测量套件型分子泵分子泵组用于对石英管抽真空，可以在20分钟左右达到10-4Pa真空度搭配真空规管测量套件，可以直接在分子泵机组面板读取真空度值。 4.分流抽真空装置主要用于粉末样品的抽真空解决粉末样品易被抽出的难题，防止粉末附在石英柱上，影响真空度，同时避免粉末被抽入真空泵中，对真空泵造成损伤。 5.石英管佰力博为客户提供各种规格的标准石英管，管接头，石英管，石英柱达到高精度匹配，有利于实现更好的真空密封性。可提供以缩颈标准石英管，省略颈步骤，提高封管效率。技术规格封管数量：1个/3个真空封管机漏率：2x10-11Pa·m3/S 密封管外径：φ45，φ20，φ15，φ13mm或其他

透明石英玻璃管标准

OTS3透明石英玻璃管标准本标准适用于中、高压锅炉水位表用电熔透明石英玻璃管。一、技术要求 1．物理、化学性能指标（1）化学成分钙、镁、钛、铁四个杂质元素的总含量不得大于0．05％。（2）热稳定性试样在700℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。（3）应力管材在偏光应力仪中观察，正面中部只允许一级紫红有浓淡的区别。（4）耐压中压：额定工作压力为44公厅／厘米2（试验压力不小于100公斤／厘米2）。高压：额定工作压力为110公斤／厘米2（试验压力不小于200公斤/厘米2）。 2．外观指标（1）管子内、外壁要光滑整洁，不允许有水迹、云雾。内表面沟棱、凹凸不得大于0．15毫米。（2）不允许有晶纹。（3）端面应当平整，不允许有穿透性气线，倒角0．5毫米。（4）管子的气线、麻点应符合表1、2规定。中压锅炉水位表用管子应符合表1规定。表１

最大密度（根/厘米2） 80 其中和长度大于5毫米的根数 ≤6 范围（毫米） 81￣150 气线长气线允许根数/支 6 气线允许最大宽度 0.4 麻点（个/100厘米2） 10 高压锅炉水位表用管子应符合表２规定。表２最大密度（根/厘米2） 40 其中和长度大于5毫米的根数 ≤4 范围（毫米） 31￣80 气线长气线允许根数/支 4 气线允许最大宽度 0.3 麻点（个/100厘米2） 4 注：气线长度小于0.2毫米者不计。二、规格尺寸 3．管子的规格尺寸应符合表3、4的规定。中压锅炉水位表用管子应符合表3规定。表３单位：毫米外径内径长度外圆椭圆度偏壁度 20-0.26￣10 260￣1000±2 0.3 0.5 -0.7 高压锅炉水位表用管子应符合表4规定。表４单位：毫米外径内径长度外圆椭圆度偏壁度 22-0.26￣8 500￣800±2 0.3 0.4 -0.5

各种玻璃特性详细介绍

各种玻璃特性详细介绍玻璃的制造已有五千年的历史，一般认为最早的制造者是古代的埃及人。我国在东周时代已能制造玻璃，玻璃组成中都含有氧化铅和氧化钡，与其他国家的古代玻璃有明显的区别。我国历史上有把玻璃称为琉璃、颇黎、假水晶料器、硝子等名称。玻璃具有一系列非常可贵的特性：透明、坚硬、良好的化学稳定性；可通过化学组成的调整，大幅度调节玻璃的物理和化学性能，以适应各种不同的使用要求；可以用吹、压、拉、铸、槽沉、离心浇注等多种成形方法，制成各种形状的空心和实心制品；可以通过焊接和粉末烧结等加工方制成形状复杂、尺寸严格的器件。而且，制造玻璃的原料丰富，价格低廉。因此，作为结构材料和功能材料，玻璃在建材、轻工、交通、医药、化工、电子、航天、原子能等领域获得了极其广泛的应用。 B270/K9 K9玻璃是用K9料制成的玻璃制品，用于光学镀膜等领域 K9料属于光学玻璃，由于它晶莹剔透，所以衍生了很多以K9料为加工对象的工厂，他们加工出来的产品，在市面上称为水晶玻璃制品。 K9的组成如下： SiO2＝69.13％B2O3＝10.75％BaO＝3.07％Na2O＝10.40％K2O＝6.29％As2O3＝0.36％它的光学常数为：折射率＝1.51630色散＝0.00806阿贝数＝64.06。石英玻璃石英玻璃以其优良的理化性能，被大量广泛用于半导体技术，新型电光源，彩电荧光粉生产，化工过程，超高电压收尘、远红外辐射加热设备、航空航天技术、某些武器及光学仪器的光学系统、原子能技术、浮法玻璃及元碱玻璃窖的耐火材料，特种玻璃用坩埚，仪器玻璃成型部料碗，紫外线杀菌灯，各种有色金属的生产等诸多领域。石英玻璃SiO2含量大于99.5％，热膨胀系数低，耐高温，化学稳定性好，透紫外光和红外光，熔制温度高、粘度大，成型较难。多用于半导体、电光源、光导通信、激光等技术和光学仪器中。石英玻璃在整个波长有特别好的透光性，在红外区（特殊的红外玻璃除外），光谱透射范围比普通玻璃大。在可见光区透过率达93％。在紫外光谱区，特别是在短波，紫外光谱区透过率比其他玻璃好的多。石英玻璃他的光学性能在很大程度上取决于它的化学性能。哪怕是0.001％的杂质就明显地影响产品质量。过度金属杂质会改变波长方向移动，羟基的存在会吸收2.73μm光带。国产光学石英玻璃有三个牌号：JGS1紫外光学石英玻璃，应用波段185-2000nm，用合成石制造，Sicl4为原料，JGS2紫外光学石英玻璃，应用波段220-2500nm，用水晶做

玻璃比色皿和石英比色皿辨别和清洗

玻璃比色皿和石英比色皿辨别和清洗一、辨别方法： 1.石英比色皿上有一个Q字样(quartz石英)，而玻璃的上面有一个G 字样(glass玻璃)，从字面上可以直接区分两种比色皿，如果字样已经没有啦，只能上机在紫外区实测啦，在紫外区透过率大是石英的，几乎没有透过率的是玻璃的。市面上卖的比色皿造型不是完全一样的，有的没有石英标识。可在紫外波长下检测空比色皿的吸光度，玻璃的吸光度要比石英的大。 2.将光度计的波长设定为250nm，样品室内不放任何物品，调零，然后将比色皿置于样品道一侧，吸光值小于0.07Abs的是石英材料，反之是玻璃材料。如果吸光值稍稍大于0.07Abs 的话，有可能也是石英材料的，只不过是杯子内壁没有洗净之故。注：波长在490nm到410nm为可见光波长区，在这个区域内，石英和玻璃比色皿都可以用，但在紫外光区域必须用石英比色皿。这个波长在紫外和可见之间偏可见，还是用玻璃吧，毕竞便宜，如果两种都有的话，可以做个空白，哪个在此波长范围内吸光度大，就不用哪个。二、洗涤方法：市场面上一般使用的石英比色皿均为石英粉烧接的，专用超声波清洗，洗比色皿清洗时毛面朝下。 1．用乙醚和无水乙醇的混合液（各50%）清洗。 2.若太脏可用专用洗液清洗。但时间要短（10分钟)，再用清水清洗干净。三、不要用洗洁精之类的清洁剂。以免影响测量。注: 高级分光光度计都采用专利技术加工的石英比色皿,采用石英本体材料经过高温熔融胶合,减少污染,使用寿命更长.(价格是普通石英比色皿二倍) 比色皿的其他洗涤方法随着光谱分析仪器的迅速发展，微量、半微量、荧光等一些比色皿不断出现，对使用维护、清洗比色皿有更高的要求。一般在国外都是一次性使用，在国内为了节约成本，开源节流而重复使用。如何对比色皿进行清洗，只能按照各种试剂，采用能溶解中和的方法来进行清洗，原则上一是不能损坏比色皿的结构和透光性能；二是能够采用中和溶解的方法来达到比色皿干净如初的效果。而分光光度计中比色皿洁净

各种玻璃特性详细介绍

各种玻璃特性详细介绍文稿归稿存档编号：[KKUY-KKIO69-OTM243-OLUI129-G00I-FDQS58-

石英玻璃石英玻璃以其优良的理化性能，被大量广泛用于半导体技术，新型电光源，彩电荧光粉生产，化工过程，超高电压收尘、远红外辐射加热设备、航空航天技术、某些武器及光学仪器的光学系统、原子能技术、浮法玻璃及元碱玻璃窖的耐火材料，特种玻璃用坩埚，仪器玻璃成型部料碗，紫外线杀菌灯，各种有色金属的生产等诸多领域。石英玻璃SiO2含量大于99.5％，热膨胀系数低，耐高温，化学稳定性好，透紫外光和红外光，熔制温度高、粘度大，成型较难。多用于半导体、电光源、光导通信、激光等技术和光学仪器中。石英玻璃在整个波长有特别好的透光性，在红外区（特殊的红外玻璃除外），光谱透射范围比普通玻璃大。在可见光区透过率达93％。在紫外光谱区，特别是在短波，紫外光谱区透过率比其他玻璃好的多。石英玻璃他的光学性能在很大程度上取决于它的化学性能。哪怕是0.001％的杂质就明显地影响产品质量。过度金属杂质会改变波长方向移动，羟基的存在会吸收2.73μm光带。国产光学石英玻璃有三个牌号：JGS1紫外光学石英玻璃，应用波段185-2000nm，用合成石制造，Sicl4为原料，JGS2紫外光学石英玻璃，应用波段220-2500nm，用水晶做原料，气炼法生产；JGS3红外光学石英玻璃，应用波段260-3500nm，采用水晶或

低膨胀石英玻璃管标准

QSD低膨胀石英玻璃管标准本标准适用于高精度要求的稳功率、稳频氦氖激光器等用低膨胀石英玻璃管，根据使用要求分为管材和器件两种。一、技术要求 1．物理、化学性能指标（1）化学成分 a．管材（a）低膨胀石英玻璃管中二氧化钛含量控制范围7.5±0．6％（重量）。（b）低膨胀石英玻璃，其他铝、钙、镁、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锂十二个杂质元素的总含量不得大于0．005％。 b．器件（a）低膨胀石英玻璃管制成的器件的化学成分，不低于管材的要求。（b）低膨胀石英玻璃管焊接处，应采用三档过渡玻璃，其二氧化钛含量为2±0．3％，4±0．3％，6±0．3％（重量）。（2）膨胀系数 a．管材试样在室温到100℃温度范围，膨胀系数不大于±1×10[-7]／℃。 b．器件低膨胀石英玻璃制成的器件的膨胀系数不低于管材的要求。 2．外观指标（1）管材表1

项目外观指标气泡直径（毫米） 0.2－0.5 允许数量（个/厘米2）≤8 端面颜色棕色端面平整色斑（丝状）分散存在托板印、划痕、桔皮、波纹不明显（2）器件 a．器件材料的外观指标不低于管材要求。 b．焊接处必须完全熔合光洁，不允许存在炸裂纹。 c．加工部位保持清洁，不允许存在白色析晶体。二、规格尺寸 3．器件按图施工，外形公差双方协议，并在图上指明。 4．管材表２单位：毫米外径外径公差厚度范围壁厚公差同一横截面的厚度公差 30、35 ±1.0 1.8－2.4±0.3 0.2 40、45、50、55 ±1.2 1.8－2.6±0.3 0.2 三、试验方法 5．二氧化钛含量按JC 229－81《低膨胀石英玻璃中二氧化钛的化学分析方法》中规定的进行。 6．化学成分按JC 186－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。 7．气泡按JC 190-811《透明石英玻璃气泡，气线检验方法》中的规定进行。

石英玻璃

石英玻璃一，石英玻璃基本概述 1.1简介，1.2定义，1.3化学性质，1.4纯度二，石英玻璃的特性 2.1失透性，2.2化学性能，2.3透气性，2.4电学性能，2.5光学性能，2.6热学性能，2.7机械性能三，石英玻璃的应用 3.1新型光源方面，3.2半导体方面，3.4在新技术领域中3.5在化工方面3.6在高温作业方面3.7在电工方面3.8在科研方面四，石英玻璃制备方法 4.1. 电熔法4.2. 气炼法4.3. SiCl4蒸汽水解法4.4. 高频感应等离子炬熔融法4. 5. 凝胶法五，石英玻璃新品种 5.1. 高纯石英玻璃5.2石英纤维和石英棉5.3低膨胀石英玻璃5.4吸收紫外线石英玻璃 5.5荧光石英玻璃5.6石英陶瓷5.7乳白石英玻璃六，石英玻璃使用须知及粘接方法 6.1使用须知6.2粘接方法七，客户讨论等一，石英玻璃基本概述 1.简介：石英玻璃是二氧化硅单一成分的非晶态材料，其微观结构是一种由二氧化硅四面结构体结构单元组成的单纯网络，由于Si-O化学键能很大，结构很紧密，所以石英玻璃具有独特的性能，尤其透明石英玻璃的光学性能非常优异，在紫外到红外辐射的连续波长范围都有优良的透射比。 2.定义：石英玻璃是由纯净的天然水晶、石英石（包括脉石英、石英砂）或人工合成原料经熔化而制得。自然界中的石英，从地壳表面往下十六公里，几乎有65％，普通形状为细小的无规则颗粒。石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于种类、工艺、原料的不同，国外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。在我国统称石英玻璃，多按工艺方法、用途

2018年石英行业分析报告

2018年石英行业分析报告 2018年5月

目录一、石英：值得重视的半导体辅材，广泛应用于晶圆加工 (5) 1、石英玻璃性能优越，在芯片制造加工中大量使用 (5) 2、半导体石英产品种类繁多，应用于多个晶圆制造核心环节 (6) 二、全球半导体产业景气向上，石英材料需求高景气 (10) 1、半导体是石英玻璃最主要的下游应用领域，需求空间百亿量级 (10) 2、产业链梳理：从材料到器件加工，客户从半导体设备商到芯片制造商 .. 13 3、半导体设备、芯片环节均增长明显，拉动半导体石英需求高景气 (14) 三、产业转移，电子级石英材料国产替代加速 (17) 1、以半导体石英为代表的高端石英市场被海外企业把持 (17) （1）德国贺利氏 (18) （2）美国迈图 (19) （3）日本东曹 (20) 2、大陆半导体产业快速发展，有助于拉动上游材料国产化 (21) （1）中国半导体消费市场的迅速发展 (21) （2）产业转移，中国半导体设备市场将进入快速发展 (22) 3、认证突破、工艺提升，产品持续放量，国产半导体石英替代加速 (24)

石英：值得重视的半导体辅材，广泛应用于晶圆加工。石英玻璃凭借其高纯度、耐高温、低热膨胀性、化学稳定性强等优良性能。在半导体芯片制造加工中被广泛应用。半导体石英产品种类繁多，主要用于硅片制造环节的拉制单晶的石英坩埚、多个晶圆制造的核心环节的硅片承载器具（扩散、氧化环节的扩散管、舟、支架等；刻蚀环节的石英环等；清洗环节的石英玻璃花篮、清洗槽等）以及光刻环节使用的光掩膜版的基板材料。半导体是石英玻璃最主要的下游应用领域，需求空间百亿量级：1）半导体是石英玻璃最主要的下游应用领域，需求空间百亿量级。根据石英协会报告，2014 年全球石英玻璃市场规模超过200亿元人民币，其中半导体是石英玻璃最主要的下游应用，市场占比超过60%，其中半导体石英坩埚、前端工序石英器件、光掩膜基板市场空间分别约40亿、60亿、45 亿元人民币。根据其他口径测算，2017 年全球半导体级石英材料市场规模在20亿美元以上，半导体石英器件规模约13 亿美元（分为高温区器件、低温区器件，规模大致相当），光掩膜版基板材料市场规模约10亿美元（包含部分苏打玻璃，石英玻璃占比处于提升趋势）。2）产业链梳理：从材料到器件加工，客户从半导体设备商到芯片制造商。半导体石英玻璃领域的企业主要分为上游的石英玻璃材料厂商（菲利华、石英股份等）和下游的石英器件加工商（杭州大和、凯德石英等）；石英器件加工厂商将采购的石英玻璃材料通过机加工或者热加工制成各类半导体石英器件销售给半导体设备厂商，再由设备厂商将包含石英器件的整套设备销售给芯片制造商；器

玻璃比色皿和石英比色皿辨别、使用和清洗方法

玻璃比色皿和石英比色皿辨别、使用和清洗方法光度分析法是最常用的定量分析方法之一其主要特点是 (1)应用范围广泛。很多物质在紫外-可见光区有吸收因此可借助于比色法进行测定。(2)适用的浓度范围广泛从常量分析到痕量分析(经预富集后)均可实现。(3)灵敏度高选择性好精确度高分析成本低操作简便、快速。因此广泛应用于地质、冶金、化工、医学、食品、制药及环境监测等行业。在光度法中比色皿的选择、使用和维护对分析结果有着重要的影响。比色皿选择与鉴别比色皿的制造工艺有两种一种是粘合剂粘合而成另一种是高温熔融而成。比色皿的材料通常来源于石英、熔凝硅石和光学玻璃。玻璃比色皿对紫外线几乎全部吸收吸光度非常大。而石英比色皿的吸光度则小得多。常用比色皿的形状有方形、矩形和圆筒形容量一般为几毫升。也有用于少量试样的微型或超微型毛细管皿。另外还有高、低温、恒温比色皿。比色皿有不同的光程长度一般常用的有0 5、l、2、3、5cm 选择哪种光程长度的比色皿应视分析样品的吸光度而定。当比色液的颜色较淡时应选用光程长度较大的如2cm、3cm 比色皿当比色液的颜色较深时应选用光程长度较小的如0.5cm 、lcm比色皿以使所测溶液的吸光度在0.1-0.7之间。比色皿有方向性。有些比色皿上标有方向标记使用时必须注意。无方向标记的比色皿应予以校正校正时要先确定方向并作好标记以减少测定误差。比色皿的校正方法是将纯净的蒸馏水注入比色皿中把其中吸收最小的比色皿的吸光度置为零并以此为基准测出其它比色皿的相对吸光度。测定比色液时应将其吸光度减去比色皿的吸光度。同一组比色皿相互间的差异应小于测定误差在测定同一溶液时吸光度差值应小于0.5 否则应对差值进行校正。比色皿的光程长度也需校正校正时可将吸光度约为0.4的溶液分别注入校正皿和具有准确光程长度的标准比色皿中测定吸光度。以标准比色皿的吸光度为1.00 求出校正比色皿吸光度的相对值作为该比色皿的校正系数。测定比

等离子体化学气相沉积法合成石英玻璃_英文_

朱洪波等：矿渣粉、高钙灰及其改性材料对水泥早期水化进程的影响· 531 ·第36卷第4期等离子体化学气相沉积法合成石英玻璃宋学富1，孙元成2，钟海2，王宏杰2，顾真安2 (1. 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院，哈尔滨 150001；2. 中国建筑材料科学研究总院，北京 100024) 摘要：用高频等离子体作为热源，采用化学气相沉积法合成了石英玻璃样品。实验分别使用O2和空气作为等离子体电离气体和冷却保护气体，改变等离子体电离工作气体种类时，等离子体火焰长度和石英玻璃沉积温度变化较大，而灯具冷却保护气体的改变对等离子火焰长度和石英玻璃沉积温度的影响不大。当等离子体电离气体和灯具保护气体均为O2时，等离子体火焰长度为12cm，石英基体温度为1300℃，当等离子体电离气体和灯具保护气体均为空气时，等离子体火焰长度可达24cm，石英基体温度升高到1840℃，可确保气相沉积过程进行，合成的石英玻璃在波长190nm处光透过率达84%，羟基含量3.5×10–6，可达到全光谱透过的要求。关键词：等离子火焰；化学气相沉积；石英玻璃中图分类号：TQ171；O643 文献标识码：A 文章编号：0454–5648(2008)04–0531–04 SYNTHESIS OF SILICA GLASS BY PLASMA CHEMICAL V APOR DEPOSITION METHOD SONG Xuefu1，SUN Yuancheng2，ZHONG Hai2，WANG Hongjie2，GU Zhen’an2 (1. School of Material Science and Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001; 2. China Building Materials Academy, Beijing 100024, China) Abstract: Silica glass was synthesized by plasma chemical vapor deposition method, which uses inductively coupled plasma as the heat source. Air and oxygen were separately used as ionized gas and protecting gas. The influence of ionized gases on the length of plasma flame and the temperature of substrate is more significant than that of the protecting gases. A length of 24cm plasma flame and a deposition temperature of 1300℃were obtained when oxygen was used as both ionized gases and protecting gases, but in the case of air, the length of plasma flame was 24cm and the deposition temperature was 1840℃. Both of the longer plasma flame and the higher deposition temperature offered a good condition to deposit high quality silica glass. The silica glass has 84% transmittance at a wavelength of 190nm and 3.5 10–6 of the hydroxyl group, which is the glass of full-spectrum transmittance. Key words: plasma flame; chemical vapor deposition; silica glass Silica glass has the low thermal expansion coefficient, low conductivity, good thermal shock resistance, corro-sion resistance and excellent spectrum transmittance, because of the high bond energy and compactness of the network structure. Thus it has become the fundamental material of the high-tech field and has been widely used in optics, photoelectrons and dielectric materials.[1–2] Higher properties of silica glass are required with the development of space technology, and the silica glass prepared by common chemical vapor deposition (CVD) method does not meet these requirements, because it contains a large quantity of hydroxy groups. Recently, the plasma chemical vapor deposition (PCVD) method has been widely used to prepare optical fiber, nanomaterials and thin films, and in heat treatment of materials.[3–4] The cleanliness of its heat source ensures the purity of materials and avoids secondary pollutant. In this paper, silica glass was synthesized by PCVD. 1 Experimental procedure A high frequency current was obtained by a modified 收稿日期：2007–10–01。修改稿收到日期：2008–01–30。第一作者：宋学富(1978—)，男，博士研究生。通讯作者：顾真安(1936—)，男，中国工程院院士。Received date:2007–10–01. Approved date: 2008–01–30. First author: SONG Xuefu (1978–), male, postgraduate student for doctor degree. E-mail: songxuefu@https://www.wendangku.net/doc/0217362779.html, Correspondent author: GU Zhen’an (1936–), male, academician of the Chinese Academy of Engineering. E-mail: guzha@https://www.wendangku.net/doc/0217362779.html, 第36卷第4期2008年4月硅酸盐学报 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY Vol. 36，No. 4 April，2008