镀膜机操作步骤

镀膜机操作步骤

注意：

1.清洗前，看片子是否短路，是否大小与样品托合适，蒸镀时放样品托的架子升最高，且旋转。

2.打开电流开关，及时打开ABC舟中一个，打开束源炉，及时打开其中一个启动A、B等。

3.掺杂材料用量覆盖舟底即可。

操作步骤：

1、打开总开关，包括冷却水开关和机器开关。

2、打开镀膜机总开关，样品旋转开关，升降开关按钮。

3、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下。

4、蒸镀室、预处理室放气。

5、打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向关，逆时针方向开），推拉杆推至大真空室中，将样品放到推拉杆上，将推拉杆拉回至预处理中。关闭闸板阀（顺时关闭，逆时针开）

6、打开快门控制电源，打开快门一，更换钨丝（每做一次实验更换一次），将铝丝挂在钨丝上（5个，挂于弯折处），检查蒸镀所需材料。

7、将掩膜版放置于掩膜版架上。

8、打开机械A、机械B泵。打开四个真空计，关闭放气阀。

9、基片预处理（打开角阀）：当处理室真空度达到4.0E1 (4.0×10)Pa 时关闭预角阀，打开大真空室角阀，再打开紫外轰击电源（直流溅射电源），调节电流0.025-0.030A。轰击10-15分钟（等预处理室与蒸镀

室气压平衡，打开闸板）。

10、插入样品托：再次打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），将样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台（注意样品托挡板位置）与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。

11、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。

12、当大真空室的压强为1.2E1的时候，关闭角阀，打开闸板阀。

13、关闭机械泵A，升起样品台。

14、打开分子泵。抽到6.0-6.5E-4（大概需要两个小时）。

15、蒸镀过程：打开快门总开关，晶振开关（F1是清零，F5是开始或停止）。

16、打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。

17、关闭分子泵阀门，放气（真空室顶部放气按钮）。打开真空室，取出样品。

18、关闭真空室，待分子泵数字为零时关闭分子泵后关闭机械泵B，打开机械泵A的阀门，打开机械泵A抽低真空。

如果长时间不用时一定要关闭循环水冰柜电源，以防冻裂。

以ITO/NPB/Alq3:C545T/Alq3/LiF/Al

快门 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

材料Al MoO LiF Alq NPB DC

JT

B TB

Pe

C545T A

D

N

2T-

NA

TA

炉子 A B C A B C D E F G H 晶振 1 2 3 4

温度参

考值

210 265 138 120 132 245 320

蒸镀NPB过程（其中掺杂材料用量覆盖舟底即可）：

打开炉B，设定温度为265度，等温度大概265时，记录2晶振

的数字，打开快门5，当2晶振数字减小到所需数字后关闭快门5.

蒸镀Alq3:C545T过程：

关闭大挡板（真空室顶端的旋转钮），打开快门4和9，打开炉A

和F，设定温度分别为188和132度，看C545T的速率(晶振3)为1

秒0.1点时，炉A(Alq3)温度设定为205度，看速率为1秒2点时打

开挡板，记录晶振1数据。减小到所需数字后关闭快门9.

蒸镀Alq3过程：

记录晶振1数据，减小到所需数字后关闭快门4，减少温度至零，关闭PID.

蒸镀LiF过程：

关闭大挡板，打开蒸发舟C舟，打开左下面板的指针电源，设定电流为2-3A,打开快门3，打开挡板。记录晶振1数据。减小到所需数字后关闭快门3，关闭C舟.

蒸镀Al过程：

关闭大挡板，打开蒸发舟A舟，打开左下面板的指针电源，设定电流，钨丝上的铝完全融化后打开挡板，记录晶振1数据。减小到所需数字后关闭快门1，关闭A舟。

具体实例：

结构：

AL（150nm）/MoO(60nm) /NPB(40nm)/ ALQ:C545T (30nm+20nm) /LIF(1nm)/AL(100nm)

1打开总开关，打开冷却水，打开气泵（拔起来）。

2 打开顶部放气阀（逆时针开），放完气后关闭（顺时针关闭）。放入样品至托盘，放入真空室中。

3 插入掩膜板，1，2，3。将1放入样品托盘下方的轨道槽。

4 开快门1，更换钨丝，靠身边为1号（1号螺丝取下来，2号松下即可）将新钨丝放入嵌片下面呈S型放置，关闭快门1。

5 关闭真空室。

6 打开A、B泵，开真空计。开角阀（后右方逆时针开）。至右上方真空计显示为12Pa时，关闭角阀，打开分子泵挡板阀，打开分子泵开关，关闭A泵。至左上方真空计显示为6.4*10-4Pa时，开始镀膜。（大约2-3小时）。

7 打开快门总开关，晶振开关。（样品托盘必须与晶振齐，就是必须上升至顶部）。

8 打开打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。

9关闭分子泵阀门，放气（真空室顶部放气按钮）。打开真空室，取出样品。

10关闭真空室，待分子泵数字为零时关闭分子泵后关闭机械泵B，打开机械泵A的阀门，打开机械泵A抽低真空。

真空镀膜机安全操作规程

真空镀膜机安全操作规程 一．开机前作到： 1.检查工作环境清洁、干净。 2.检查电线无破损，接地牢固。 3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。 4.机械泵、罗茨泵油位过半。 5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真 空脂。 6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。 7.准备相关工位器具，适量J-7钨丝、ABOO型99.99％ 的铝丝。 8.接通水、气、电，气压0.5-0.6Mpa，水压0.3-0.4Mpa。二．操作要点： 1.通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3，开扩散泵，预 热1-1.5小时。 2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钨丝，转架进烘箱预热（温 度、时间符合工艺）。 3.开阀4，开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转 动平稳无异常振动。 4.关闭真空室，关阀4，关阀3，开阀2，开始抽气，开 启复合真空计。 5.当真空度达至-0.1Mpa时，开启罗茨泵。

6.当真空度达到1-1.5Pa（52-64格）时，关阀2，开阀3， 开阀1。 7.当真空度达到2×10-2Pa时，开启转动（转速符合工艺）， 分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关 复合真空计。 8.停止蒸镀0.5-1分钟后关转动，关阀1，关罗茨泵。 9.开阀4，开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待 镀产品，装上铝丝，进行下次工作。 10.严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。 11.生产中注意产品安装到位牢固。 12.注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。 13.及时更换断裂、积球、老化的钨丝。 三．关机及保养： 1.拉出转架后，关扩散泵，冷却1-1.5小时，后关阀3， 关机械泵。 2.关整机电源，关冷却水、关高压空气。 3.每星期检查清洁镀膜转架工装。 4.每三个月检查更换机械泵油。 5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。 制定：王思忠审批： 时间：2002.09.10 时间：

真空镀膜机操作指导

真空镀膜实验指导 真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。本实验通过介绍蒸发镀膜原理，掌握蒸发镀膜的操作方法。真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。 1真空镀膜原理： 1.1蒸发镀膜机理 蒸发镀膜是真空镀膜的一种，它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态，沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面，形成一层或多层膜的方法。凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。 蒸发原子的成膜过程比较复杂，这里只能粗略描述如下：溅落原子首先被固体表面吸附，当表面温度低于某一临界温度时，原子开始“核化”——部分原子凝聚成团，出现若干“岛”，然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大，众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。蒸发镀膜的条件主要有两个，分别介绍如下： 1.2高真空 我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面，这样，蒸发镀膜的速度高，成膜质量也好。相反，如果真空度低，有大量的空气分子存在，一方面，蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞，阻碍了膜材分子的扩散，降低了蒸镀的速度，影响了膜的均匀性，另一方面，空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高，必然要加大加热功率；更有甚者，空气的存在可能使膜材的某些成分氧化，引起成分变性；在连接着抽气机的情况下，若不能很快完成镀膜，膜料将被抽走。因此，蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。当然，真空度也不需要绝对地高。事实上，只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。如果膜材到基底的距离为10 --20cm，根据自由程公式 （d是分子的直径，n是分子数密度） 不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。 1.3材料洁净 材料的洁净包括膜料的洁净和基底材料的洁净。这一要求似乎是不言而喻的。如果材料中混有颗粒状或纤维状的杂质，将直接影响膜的均匀性和牢固度；如果混有可融的化学成分，将影响膜的物理性质，如亮度、表面张力、电导率等等。所以，膜材和基底的清洗工作必须认真对待。 2真空技术

电镀基础知识

电镀基本知识介绍 1．电镀基本原理 电镀是一种电化学过程，也是一种氧化还原过程。电镀的基本过程是将零件浸在金属盐的溶液中作为阴极，金属板作为阳极，接直流电源后，在零件上沉积出所需的镀层。 例如：镀镍时，阴极为待镀零件，阳极为纯镍板，在阴阳极分别发生如下反应： 阴极（镀件厂Ni2++2e^Ni （主反应） 2屮+e—H2f （副反应） 阳极（镍板）:Ni - 2e-Ni2+（主反应） 4OH - 4e—2H?O+（2+4e （副反应） 不是所有的金属离子都能从水溶液中沉积出来，如果阴极上氢离子还原为氢的副反应占主要地位，则金属离子难以在阴极上析出。根据实验，金属离子自水溶液中电沉积的可能性，可从元素周期表中得到一定的规律，如表1.1 所示 阳极分为可溶性阳极和不溶性阳极，大多数阳极为与镀层相对应的可溶性阳极，如:镀锌为锌阳极，镀银为银阳极，镀锡-铅合金使用锡-铅合金阳极。但是少数电镀由于阳极溶解困难，使用不溶性阳极，如酸性镀金使用的是多为铂或钛阳极。镀液主盐离子靠添加配制好的标准含金溶液来补充。镀铬阳极使用纯铅，铅-锡合金，铅-锑合金等不溶性阳极。 2．★电镀基本工艺及各工序的作用 2．1 基本工序 （磨光—抛光）—上挂—脱脂除油—水洗—（电解抛光或化学抛光）—酸洗活化—（预镀）—电镀—水洗—（后处理）—水洗—干燥—下挂—检验包装 2．2 各工序的作用 2.2.1 前处理:施镀前的所有工序称为前处理，其目的是修整工件表面，除掉工件表面的油脂，锈 皮，氧化膜等，为后续镀层的沉积提供所需的电镀表面。前处理主要影响到外 观，结合力，据统计，60%的电镀不良品是由前处理不良造成，所以前处理在电 镀工艺中占有相当重要的地位。在电镀技朮发达的国家，非常重视前处理工序， 前处理工序占整个电镀工艺的一半或以上，因而能得到表面状况很好的镀层和极 大地降低不良率。 喷砂：除去零件表面的锈蚀，焊渣，积碳，旧油漆层，和其它干燥的油污；除去铸件，锻件或热处理后零件表面的型砂和氧化皮；除去零件表面的毛刺和和方向性磨痕； 降低零件表明的粗糙度，以提高油漆和其它涂层的附着力；使零件呈漫反射的消 光状态 磨光: 除掉零件表明的毛刺，锈蚀，划痕，焊缝，焊瘤，砂眼，氧化皮等各 种宏观缺陷，以提高零件的平整度和电镀质量。 抛光: 抛光的目的是进一步降低零件表面的粗糙度，获得光亮的外观。有机

镀膜机安全技术操作规程

编号：SM-ZD-80636 镀膜机安全技术操作规程Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制：____________________ 审核：____________________ 批准：____________________ 本文档下载后可任意修改

镀膜机安全技术操作规程 简介：该规程资料适用于公司或组织通过合理化地制定计划，达成上下级或不同的人员 之间形成统一的行动方针，明确执行目标，工作内容，执行方式，执行进度，从而使整 体计划目标统一，行动协调，过程有条不紊。文档可直接下载或修改，使用时请详细阅 读内容。 一、目的 消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。 二、适用范围 本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。 三、安全操作规程 1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。 2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到5Pa 时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。 3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。

4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。 5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电源。 6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。 7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。 8、拆装弧靶时，应先关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。 9、更换靶材时，不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零件，必须清除油污及汗渍。 10、开启溅射室盖时，室内应处于常压，决不允许真空室处于真空状态时开启室盖。 11、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。

真空镀膜机安全管理规定

仅供参考[整理] 安全管理文书 真空镀膜机安全管理规定 日期：__________________ 单位：__________________ 第1 页共4 页

真空镀膜机安全管理规定 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行炼气，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2.本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。 3.确认安全无误时才能操作设备。 4.不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5.设备及电源控制柜必须良好接地。 第 2 页共 4 页

6.非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中; 2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架; 3.经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂; 4.定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的电器元件; 5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门; 6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳); 7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修; 8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不必要的以外; 9.镀膜机在工作过程中，不得断水，若在工作过程中突然停电，应马上关闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化; 10.关罗茨泵后一定要经过1分钟后才能关粗抽泵，否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体，会损坏罗茨泵。 第 3 页共 4 页

真空镀膜工安全操作规程标准范本

操作规程编号：LX-FS-A73952 真空镀膜工安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑

真空镀膜工安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1．在机床运转正常情况下，开动机床时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。 2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。 3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。 4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。 5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。 6．酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮

真空镀铝机安全操作规程详细版

文件编号：GD/FS-9694 （操作规程范本系列） 真空镀铝机安全操作规程 详细版 The Daily Operation Mode, It Includes All The Implementation Items, And Acts To Regulate Individual Actions, Regulate Or Limit All Their Behaviors, And Finally Simplify Management Process. 编辑：_________________ 单位：_________________ 日期：_________________

真空镀铝机安全操作规程详细版 提示语：本操作规程文件适合使用于日常的规则或运作模式中，包含所有的执行事项，并作用于规范个体行动，规范或限制其所有行为，最终实现简化管理过程，提高管理效率。，文档所展示内容即为所得，可在下载完成后直接进行编辑。 1 目的：为了减少直至消除违章操作造成的工伤安全事故，为了减少直至消除违章或不规范操作对设备造成的损害，特制定本文件，为操作镀铝机提供正确指引。 2 范围：适用于本公司钟南街厂区所有镀铝机。 3 职责： 3.1 机长和辅助：执行本文件规定项目和内容。 3.2 主管：监督当班人员按本文件规定执行，负责日常巡查和纠正违章操作。 3.3 设备管理部：负责全厂区范围内巡回检查，

发现和取证各车间违章操作行为。 4 操作具体要求： 4.1工作准备 按本设备使用说明的各项要求，检查设备的供电、供水、供气、油位等各部分状态是否正常，保证三相电压＞370V,保证油水分离器处的气压＞ 0.55Mpa、冷却水进水压力＞0.2Mpa（LDL5的水压≥0.15 Mpa），＜0.3 Mpa,确保其通畅、可靠和安全。［备注：交接班时，关闭V2、V6 V1、V5后开启滑阀泵、打开气镇阀进行气镇半小时再关闭气镇阀（也可以在关闭V1、V5而且真空度≤90Pa（9×103）的情况下进行），并经常排放滑阀泵内的冷凝水,1-7月排放1次/3小时间;7-12月排放1次/5小时。 4.2 镀膜准备工作

薄膜基本知识

膜是什么？ 新华字典： 膜：①动植物体内象薄皮的组织；②象膜的薄皮。 这种解释“膜”就是薄皮，因此又有薄膜之说，我们所要探讨的特指薄膜。至于其他的膜种比如耳膜、骨膜、肋膜由医学界研究，还有敏感部位与节操有关的膜大部分被腐败的领导们研究了，在此也不做赘述。 薄膜又是什么呢？ 《薄膜科学与技术》：膜是两个几何学平行平面向所夹的物质。薄膜多数是由一个个的原子以无规则的方式射到平整表面上，并使其凝结而形成的，在薄膜形成的初期，由于原子的表面迁移、生核等，从徽观上，所得到的物质多数为是丘陵似的岛状结构，在这种状态下从宏观上可看作是各向同性且均匀，这种物质即为薄膜。 通俗讲薄膜就是贴皮：A物质（可以多种构成）以原子或离子态附着在B物质上，且A物质同时满足以下几个条件：薄、匀、牢、密，各种涂层形成的表面都可以叫做薄膜。 多薄才可以叫薄膜呢？ 木有严格定义，一般来说应该比B物质薄、不影响B物质使用且能够起保护作用或提高B物质功能属性。

薄膜起什么作用？ 首先是保护，薄膜附着在机体上，可以首先磨损薄膜，防腐蚀耐磨损；其次是改性，使原来的物质具备薄膜的物理属性：提高硬度、提高耐高温能力、降低摩擦系数；第三改变颜色，使机体更炫更美。 薄膜的物理属性有哪些？ 1、有一定的厚度，无论多薄的膜，都有一定的厚度； 2、薄膜有一定的致密性，孔隙率越小致密性越大，膜的质量 月好； 3、有一定的硬度，根据使用要求不同，薄膜应该满足相应的 硬度需求，由于薄膜的构成和制备工艺不同硬度也千差万别； 4、有一定的结合力，薄膜和机体的结合力应该满足使用要求； 其结合力的强度决定于薄膜的构成和制备工艺； 5、薄膜有特定的色泽，薄膜成分不同会产生万紫千红、色彩 斑斓的表面颜色，根据需求选择适合的元素搭配。 薄膜有哪些分类？ 致密性薄膜从大类上可分为装饰膜和功能膜两种。 功能膜又可以分成硬膜和润滑膜。 如何测量膜的硬度？ 硬度是材料抵抗异物压入的能力，是材料多种力学性能的综合表

镀膜设备的维护与保养

第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识 真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。 一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。 1.有完善的制度和设备的使用操作规程。 A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设 备等。这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。 B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详 细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。 而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照说明书一步一步操作。并在培训完后考核合格上岗。（附样本说明书） C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。这里面包括了作业之前的准 备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。）现场清理工作。（附作业指导书苑本） D、建立设备台帐。设备的台帐好比人一生的档案一样。从设备安装调试那 天起就应该记录设备的一些重要参数。（比如极限真空度，前级，预抽的真空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录） E、保养记录表。第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表） F、异常维修记录表。记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的 结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。（附表） 可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。但我认为这样恰恰是起到了事半功倍的效果。既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。这些记录同时对企业和个人来说也是一笔重要的财富。 2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。

作业标准书

作 业 标 准 书 产品料号 三框 工 序 压铸-剥料-修批锋-抛进料口-精抛-素胚全检-电三价铬-全检-真空镀-全检 文件编号 JC-SOP-SC-087 产品名称 版次 A/0 成型参数及工序规范 工序图片说明 注意事项 模具温度（℃） 熔炉温度（℃） 喷嘴温度（℃） 130±30 440±20 450±20 喷嘴口径 射料时间（秒） 二次射料时间 13mm 0.7-1.2 -- 成型周期/秒 开模时间（秒） 喷雾时间（秒） 3.0±0.5s 手动喷雾 押出时间（秒） 冷却时间（秒） 射料速度 0.5-0.8s 3.0±0.5s 4-6转 射料压力（Kg/cm ） 锁模压力（Kg/cm ） 80-95kg 110±15kg 1、 确认模具装配OK ，模腔需干净无杂物，冷却水道通畅，喷嘴大小与 机台是否合适。模具编码为：JC-LW-38 (一模2穴)。 2、 确认压铸机使用正常。 3、 正确安装模具上机台，调试压铸机。 4、 调整压射参数，确认料温、模温与喷嘴温度OK 后进行首模生产。 5、 首件须品质及相关负责人确认OK 后方可生产。 6、 生产20-30模之间要加一次料。严格按照本产品制定之加料方式进行 加料。 7、 将放满产品之架车及时推至下一工序-----剥料。 1、 产品材料：3#锌合金。 2、 离型剂：水性锌合金专用离型剂。。 3、 产品外观要求无拉伤，气泡，水纹， 缺料，砂孔，变形，多料等。具体依据品质减压与合格标准书。 4、 加料方法：按产品规定循环添加，以 少量多次为原则。添加时需注意料温，不可低于400度。 5、 生产中异常应及时向上级汇报。 6、 注重环保，禁用六种有害物质。 仪器设备名称 数量 工、治具名称 数量 40T 锌压铸机 一台 钳子 一把 架台/手套 一张/一双 NO 修/制定日期 制作人 审 核 核 准 版本 制/修定内容 1 2014.02.20 张文定 A0 作业标准书 产品料号 三框 工 序 压铸-剥料-修批锋-抛进料口-精抛-素胚全检-电三价铬-全检-真空镀-全检 文件编号 JC-SOP-SC-087 产品名称 版次 A/0 工序规范 工序图片说明 注意事项 整模产品 130T 机台

真空镀膜机安全管理规定(正式)

编订：__________________ 单位：__________________ 时间：__________________ 真空镀膜机安全管理规定 (正式) Standardize The Management Mechanism To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level. Word格式 / 完整 / 可编辑

文件编号：KG-AO-5029-36 真空镀膜机安全管理规定(正式) 使用备注：本文档可用在日常工作场景，通过对管理机制、管理原则、管理方法以及管理机构进行设置固定的规范，从而使得组织内人员按照既定标准、规范的要求进行操作，使日常工作或活动达到预期的水平。下载后就可自由编辑。 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试

机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行“炼气”，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2. 本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。 3. 确认安全无误时才能操作设备。 4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5. 设备及电源控制柜必须良好接地。 6. 非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中;

工具镀膜基础知识

真空涂层技术的发展 真空涂层技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将CVD(化学气相沉积)技术应用于硬质合金刀具上。由于 该技术需在高温下进行(工艺温度高于1000oC)，涂层种类单一，局限性很大，因此，其发展初期未免差强人意。 到了上世纪七十年代末，开始出现PVD(物理气相沉积) 技术，为真空涂层开创了一个充满灿烂前景的新天地，之后在短短的二、三十年间PVD 涂层技术得到迅猛发展，究其原因，是 因为其在真空密封的腔体内成膜，几乎无任何环境污染问题， 有利于环保；因为其能得到光亮、华贵的表面，在颜色上，成熟的有七彩色、银色、透明色、金黄色、黑色、以及由金黄色到黑色之 间的任何一种颜色，可谓五彩缤纷，能够满足装饰性的各种需要；又由于PVD 技术，可以轻松得到其他方法难以获得的高硬 度、高耐磨性的陶瓷涂层、复合涂层，应用在工装、模具上面，可以使寿命成倍提高，较好地实现了低成本、高收益的效果；此外，PVD 涂层技术具有低温、高能两个特点，几乎可以在任何基材上成膜，因此，应用范围十分广阔，其发展神速也就不足为奇。 真空涂层技术发展到了今天还出现了PCVD(物理化学气相沉积)、MT-CVD(中温化学气相沉积)等新技术，各种涂层设备、各种涂层工艺层出不穷，如今在这一领域中，已呈现出百花齐放，百家争鸣的喜人景象。 与此同时，我们还应该清醒地看到，真空涂层技术的发展 又是严重不平衡的。由于刀具、模具的工作环境极其恶劣，对薄膜附着力的要求，远高于装饰涂层。因而，尽管装饰涂层的厂家已遍布各地，但能够生产工模涂层的厂家并不多。再加上刀具、 模具涂层售后服务的欠缺，到目前为止，国内大多数涂层设备 厂家都不能提供完整的刀具涂层工艺技术(包括前处理工艺、涂层工艺、涂后处理工艺、检测技术、涂层刀具和模具的应用技术等)，而且，它还要求工艺技术人员，除了精通涂层的专业知识以外，还应具有扎实的金属材料与热处理知识、工模涂层前表面预处理知识、刀具、模具涂层的合理选择以及上机使用的技术 要求等，如果任一环节出现问题，都会给使用者产生使用效果不理想这样的结论。所有这些，都严重制约了该技术在刀具、模具上的应用。 另一方面，由于该技术是一门介乎材料学、物理学、电子、化学等学科的新兴边缘学科，而国内将其应用于刀具、模具生产领域内的为数不多的几个骨干厂家，大多走的也是一条从国外引进先进设备和工艺技术的路子，尚需一个消化、吸收的过程，因此，国内目前在该领域内的技术力量与其发展很不相称，急需奋起直追。 3. PVD 涂层的基本概念及其特点 PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”的缩写形式，意思 是物理气相沉积。我们现在一般地把真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀等都称为物理气相沉积。 较为成熟的PVD 方法主要有多弧镀与磁控溅射镀两种方式。多弧镀设备结构简单，容易操作。它的离子蒸发源靠电焊机电源 供电即可工作，其引弧的过程也与电焊类似，具体地说，在一定工艺气压下，引弧针与蒸发离子源短暂接触，断开，使气体放电。由于多弧镀的成因主要是借助于不断移动的弧斑，在蒸发源表面上连续形成熔池，使金属蒸发后，沉积在基体上而得到薄膜层的，与磁控溅射相比，它不但有靶材利用率高，更具有 金属离子离化率高，薄膜与基体之间结合力强的优点。此外，多

镀膜机安全技术操作规程通用版

操作规程编号：YTO-FS-PD444 镀膜机安全技术操作规程通用版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards

镀膜机安全技术操作规程通用版 使用提示：本操作规程文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。 一、目的 消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。 二、适用范围 本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。 三、安全操作规程 1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。 2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到5Pa 时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。 3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。 4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。 5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电

国产镀膜机作业指导书

1. 目的/范围 规范镀膜操作工艺，确保安全生产。 2. 定义/缩写词 NA 3. 参考文件 NA 4. 职责与权限 本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。 5. 工具及设备 国产镀膜机及配件、分光光度计。 6. 作业内容 1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。 2镀膜操作步骤： 2.1镀膜员工基本要求： 每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。 2.2开机： 2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。 (重要环节/语言很难描述的环节) 2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温 度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。

南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜 机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。 2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源 （预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单 色仪控制器、工转电源、计时器和照明。 2.3热机 2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。各机台 大清洗之后，必须热机。 2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步 骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。 2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料 10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设 备是否处于正常工作状态。 2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。 2.4抽真空前准备： 2.4.1北仪： 按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。

真空镀膜机的详细结构

真空镀膜机的详细结构 高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统. 下面本人详细介绍各部分的组成及工作原理。 一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M 等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。 二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋p olycold”组成 排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。 机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。 机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用最广泛，本文主要介绍）四种类型。 机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除永久性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。 它的两个弹片交替起着两方面的作用，一方面从进气口吸进气体，另一方面压缩已经吸进的气体，将气体排出泵外。转子每旋转一周，泵完成两次吸气和两次排气。当泵连续顺时针转动时，旋片泵不断的通过进气口吸入气体，又从排气口不断的排出泵外，实现对容器抽气的目的。为了提高泵的极限真空度，均将泵的定子浸在油里面这样，在各处的间隙中及有害空间里面经常保持足够的油，把空隙填满，所以油一方面起到了润滑作用，另一方面又起了密封和堵塞缝隙及有害空间的作用，防止气体分子通过各种渠道反流到压强低的空间去。 机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。 抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算： Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积最大，转速为n。

塑料薄膜基本知识

第一部分软包装材料之---塑料薄膜基本知识 一、软包装之薄膜的定义 在国家包装通用术语（GB4122—83）中，软包装的定义为：软包装是指在充填或取出内装物后，容器形状可发生变化的包装。用纸、铝箔、纤维、塑料薄膜以及它们的复合物所制成的各种袋、盒、套、包封等均为软包装。 一般将厚度在0.25mm以下的片状塑料称为薄膜。塑料薄膜透明、柔韧，具有良好的耐水性、防潮性和阻气性、机械强度较好，化学性质稳定，耐油脂，易于印刷精美图文，可以热封制袋。它能满足各种物品的包装要求，是用于包装易存、易放的方便食品，生活用品，超级市场的小包装商品的理想材料。以塑料薄膜为主的软包装印刷在包装印刷中占有重要地位。据统计，从1980年以来，世界上一些先进国家的塑料包装占整个包装印刷的32.5%～44%。 一般来说，因为单一薄膜材料对内装物的保护性不够理想，所以多采用将两种以上的薄膜复合为一层的复合薄膜，以满足食品保鲜、无菌包装技术的要求。复合薄膜的外层材料多选用不易划伤、磨毛，光学性能优良，印刷性能良好的材科，如：纸、玻璃纸、拉伸聚丙烯、聚酯等；中间层是阻隔性聚合物，如：铝箔、蒸镀铝、聚俯二氮乙烯电里层材料多选用无毒、无味的聚乙烯等热塑性树脂。 二、塑料阻透性技术介绍 1、塑料的阻透性？ 塑料制品（容器、薄膜）对小分子气体、液体、水蒸汽及气味的屏蔽能力。 2、透过系数？ 塑料阻透能力大小的指标。 定义： 一定厚度（1mm）的塑料制品，在一定的压力（1Mpa），一定的温度（23度），一定的湿度（65%）下，单位时间（1day=24小时），单位面积（1m2），通过小分子物质（O2、CO2、H2O）的体积或重量。表示为（cm3）、（g） 对于气体： 单位为cm3，mm/m2，d，mpa； 对于液体： 单位为 g，mm/m2，d，mpa； 3、常用中高阻透性塑料的透过系数

镀膜机安全技术操作规程

仅供参考[整理] 安全管理文书 镀膜机安全技术操作规程 日期：__________________ 单位：__________________ 第1 页共4 页

镀膜机安全技术操作规程 一、目的 消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。 二、适用范围 本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。 三、安全操作规程 1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。 2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到5Pa时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。 3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。 4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。 5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电源。 6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。 7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。 8、拆装弧靶时，应先关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。 9、更换靶材时，不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零件，必须清除油污及汗渍。 10、开启溅射室盖时，室内应处于常压，决不允许真空室处于真空状态时开启室盖。 第 2 页共 4 页

11、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。 第 3 页共 4 页

【最新】工厂实习报告最新【五篇】

【最新】工厂实习报告最新【五篇】 工厂实习,我学会了与员工同事相处沟通的有效方法途径.积累了处理人际关系问题的经验方法,下面给大家分享一下关于工厂实习报告,希望对大家有帮助工厂实习报告1 1.实习目的 通过现场参观,讲课及班组学习,了解本专业在生产和科研中的重要地位,学习工厂和工程技术人员丰富的生产经验和生产技术管理手法及主人翁精神,加强组织纪律性.培养安全生产观念;结合学生就业,进行相关的就业指导.学习现代测控系统的基本原理与技术,如纤维检测原理,真空技术与仪器的关联,为进一步学习专业知识打下良好基础.概括为: 1.基本掌握所在实习单位的概貌及有关的生产设备,了解所在岗位所使用的仪器的工作原理,结构及测控系统的组成运行,维护知识,丰富和扩大专业知识. 2.巩固已学的知识,特别是专业基础课及专业课内容,以达到理论联系实际的目的.通过生产实习,学习和了解检测专业在生产领域的各个应用以及仪器仪表先进性的发展等知识,进一步培养分析问题和解决问题的能力. 3.到研究所这样集中着许多科学领域里的新材料.新设备.新工艺和新技术进行生产实习.其目的是要求我们能把所学过的理论知识与生产实际联系起来,着重培养自己的实际工作能力,拓宽知识面,提高对所学专业的认知. 4.通过参观学习,着重了解真空研究所的生产工艺流程,加深对电子仪器设备技术的了解,了解现代企业的管理与生产流程. 2.实习单位 沈阳真空技术研究所(以下简称真空所)位于沈阳市大东区万柳塘路号.沈阳真空技术研究所创建于_58年,是国内最早从事真空技术及真空成套设备研制与开发生产的研究所,原属于机械工业部,现隶属于中国机械工业集团有限公司. 该所是国家真空设备质量监督检验中心.全国真空技术标准化技术委员会(国际标准化组织(ISO/TC_2)的P成员).科技期刊>杂志的挂靠单位,同时也是中国真空设备行业协会副理事长单位及中国真空学会副理事长单位.所内现有员工_0多名,专业技术人员65名,其中教授级高级工程师5人,高级工程师_人,工程师及助工38人;并设有真空冶金.真空热处理.真空电工.真空镀膜.真空测量等领域,

JSD-300蒸发镀膜机使用说明书

JSD-300型真空镀膜机 使 用 说 明 书 安徽嘉硕真空科技有限公司

目录 1、概述 (3) 2、主要技术性能参数 (3) 3、设备安装 (5) 4、操作规程 (5) 5、使用注意事项、维护与保养 (7) 6、设备主要配置 (8) 7、技术资料清单 (9)

一、概述 JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。 二、主要技术性能参数 1.真空室：φ300*H450mm； 2.基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）； 3.最大可镀工件直径：φ120mm； 4.极限真空度：1X10-4Pa; 5.抽气时间：大气压~8*10-3Pa小于20min； 6.蒸发：电阻式蒸发电极（2对） 功率：2KW； 7.开启方式：上翻盖结构； 8.真空系统：机械泵+分子泵； 设备结构介绍： 1.真空室 钟罩结构，上盖开启。不锈钢材质，前面配φ100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底 板、蒸发源等； 2.真空系统 采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构； 3.电气系统 电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。

系统示意图如下所示： 图1 JSD-300真空镀膜机示意图 调节旋纽 电控面板 电流表 蒸发开关 膜厚仪探头 步进电机 插板阀 预抽阀门 备用接口 分子泵电源 前门板 总开关 电离单元 观察窗挡板 真空室 陶封电极 电机控制器 电阻单元 真空计 膜厚仪 加热温控电源 封板 地脚 脚轮 观察窗 温控仪表

镀膜玻璃的基本知识

镀膜玻璃的基本知识 我公司采用的镀膜方法是真空阴极磁控溅射法。 其原理大致如下：镀膜真空室接地，与阳极相连，阴极装置靶材，与负极相连，磁控溅射是在溅射装置中设置磁场以控制电子运动方向，束搏电子运动轨迹，从而提高工作气体的电离几率和有效利用电子能量，提供大量的轰击靶材的正离子，形成高密度的等离子区，正离子轰击靶材产生溅射，溅射粒子的中性靶原子在基片上沉积成膜。 在我公司的镀膜产品主要分为热反射镀膜玻璃和低辐射镀膜玻璃。 由于中空线的生产加工单常会遇到镀膜产品，所以有必要在这里简单介绍一下我公司镀膜产品编号的知识 一、热反射镀膜玻璃 编号构成： CXX#※※&（—F） C——英文字母，表示南玻集团； XX——两个英文字母，为膜系列代号； #——一位数字，为玻璃基片色调分类代号； ※※——两位数字，表示膜在6mm透明玻璃上的透光率； &——英文字母，表示玻璃基片来源； -F——三线专用后缀。 玻璃基片色调分类代号说明： 1——透明玻璃 2——绿色玻璃 3——灰色玻璃 4——茶色玻璃 5——蓝色玻璃 6——蓝绿色玻璃 7——天蓝色玻璃（湖水蓝）

玻璃基片来源说明： 使用举例：⑴ CSS2O8H---对应过去CSS408,表示伟光公司生产用H绿玻璃基片镀SS系列膜，膜透光率为8%。 ⑵CSC220F-F---对应过去CSC220-F，表示三线生产用F绿玻璃基片镀SC系列膜，膜透光率为20%。 二、低辐射（Low-E）镀膜玻璃 2．2．1低辐射镀膜玻璃的生产方式同热反射基本类似，采用真空磁控溅射在玻璃表面经多次镀膜而成，靶材位于要镀玻璃上的上面，金属银是生产低辐射、红外高反射膜镀膜玻璃的主要材料之一，膜层数量比热反射玻璃多，最高的达到9层。生产中不可避免有掉渣造成的针孔（空洞），因掉渣造成的针孔形状不规则，掉渣的先后顺序不同，其透光表现特点也不尽相同，生产中请注意区别。 2．2．2 氧化特点 当真空磁控溅射沉积的低辐射膜暴露在大气中时，大气中的腐蚀性水蒸气和微尘离子会在其表面上凝结和俯着，从而对保护层形成电化学腐蚀并使银层氧化。氧化斑通常呈圆形状，初始约有0.1~0.3mm，随时间推移逐步扩大。但仍然是圆形状（显微镜下观察）。 被人为污染的膜氧化点，也是圆形状，但较为集中。起先是一、二点，随时间推移，点数逐步增多、扩大，构成一块大斑。显微镜观察仍然是由许多小氧化圆点组成。通常合成复合产品的孤立几个缺陷不会扩大。除非有氧化的条件存在。 3 低辐射玻璃使用和膜层的保护 低辐射镀膜玻璃的膜厚很薄，一般不超过0.1μ（微米），即仅有头发丝直径的千分之一左右，如果不妥善处置，易于被划伤。最常见的划伤发生在开箱后的切割、运输及安装搬运几个环节中。由于低辐射镀膜玻璃膜层薄、软，灰尘、