氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响

氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响

作者：汪小小， 夏齐萍， 吕建国， 宋学萍， 孙兆奇， Wang Xiaoxiao， Xia Qiping， Lü Jianguo， Song Xueping ， Sun Zhaoqi

作者单位：汪小小,夏齐萍,宋学萍,孙兆奇,Wang Xiaoxiao,Xia Qiping,Song Xueping,Sun Zhaoqi(安徽大学物理与材料科学学院 合肥230039)， 吕建国,Lü Jianguo(安徽大学物理与材料科学学院 合肥230039;合肥师范学院物理与电子工

程系 合肥230061)

刊名：

真空科学与技术学报

英文刊名：Journal of Vacuum Science and Technology

年，卷(期)：2011,31(4)

被引用次数：1次

参考文献(16条)

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引证文献(1条)

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本文链接：https://www.wendangku.net/doc/0113247857.html,/Periodical_zkkx201104003.aspx