track工艺介绍
导轨工艺简介
涂胶基本流程
? HP ：HOT PLATE IND ：INDEXER AH ：ADHESION CHAMBER WITH HP
? AC ：ADHESION CHAMBER WITH CP SC ：SPIN COATER
? TR ：TRANSFER UNIT 涂胶前处理（PRIMING ）
? 目的：增加圆片衬底与光刻胶的粘附性 ? 化学试剂：HMDS （ 六甲基二硅胺 ）
? 气相涂布方法：1。常温下的HMDS 批处理箱 2。高温低真空下的HMDS 批处理箱 3。高温低真空下（高温下）的HMDS 单片处理模块
? 确认HMDS 的效果用接触角计测量，一般要求大于65度 ? 前处理注意事项
DNS 涂胶系统图：
? 来片衬底必须是干净和干燥的 ? HMDS 处理后应及时涂胶 ? HMDS 处理不能过度 ? 安全使用HMDS
涂胶（COATING ）
? 影响光刻胶厚度和均匀性的主要参数： ? 环境温度 ? 环境湿度 ? 排风净压力 ? 光刻胶温度 ? 光刻胶量
? 旋转马达的精度和重复性 ? 回吸量
? 预旋转速度，预旋转时间，最终旋转速度，最终旋转时间，最终旋转加速度
软烘 （ SOFTBAKE ）
3
1 N
2 IN HMDS V APOR
软烘目的：
?去除光刻胶中的溶剂
?增加粘附性
?提高E0的稳定性
?减少表面张力
软烘方法：
?热对流烘箱
?红外线辐射
?接触式（接近式）热版
?软烘的关键控制点是温度和时间
显影前烘焙（PEB）
?目的：降低或消除驻波效应
?PEB温度一般要求比软烘高15-20度
?PEB一般采用接触式或接近式热板烘焙?PEB的关键控制点是温度与时间
显影（DEVELOPER）
目的：
简单的说就是去除已曝光部分的光刻胶
显影方法：
?浸润显影（IMMESRSION）
?喷雾显影（SPRAY）
?静态显影（PUDDLE）
影响显影的因素：
?显影液成份
?显影液温度
?环境温度
?环境湿度
?显影液量
?显影方式
?程序
坚膜（HARDBAKE）
?目的：
?去除残余的显影液，水及有机溶剂?提高粘附性
?预防刻蚀时胶形貌变形
?方法：
?接触式或接近式热板
?DUV
?控制关键点是温度和时间
光刻胶工艺
?确定光刻胶厚需考虑的几个因素：
?圆片表面的形貌
?显影损失的胶厚
?刻蚀损失的胶厚
?屏蔽注入所需胶厚
?无针孔所需胶厚
光刻胶工艺控制
?光刻胶厚度及极差
?颗粒
?光刻胶缺陷
?胶量
?排风
?热板温度
?显影液量
?显影均匀性
?E0
驻波效应（STANDING WA VE）
驻波效应原理：
由于入射光与反射光产生干涉使沿胶厚的方向的光强形成波峰和波谷产生的
降低或消除驻波效应的两种方法：
?PEB
?加抗反射层：用有机(TARC/BARC)&无机材料(TIN)
NO PEB PEB
TRACK工艺简介
摘要
本文简要介绍关于涂胶、显影工艺的一些相关内容。
引言
超大规模IC对光刻有五个基本要求，即：高分辨率、高灵敏度、精密的套刻对准、低缺陷和大尺寸上的加工问题（如温度变化引起晶圆的胀缩等）。这五个基本要求中，高分辨率、高灵敏度和低缺陷与涂胶、显影工艺有很密切的关系。
第一节涂胶工艺
1光刻胶
光刻胶主要由树脂（Resin）、感光剂（Sensitizer）及溶剂（Solvent）等不同材料混合而成的，其中树脂是粘合剂（Binder）, 感光剂是一种光活性（Photoactivity）极强的化合物，它在光刻胶内的含量和树脂相当，两者同时溶解在溶剂中，以液态形式保存。除了以上三种主要成分以外，光刻胶还包含一些其它的添加剂（如稳定剂，染色剂，表面活性剂）。
光刻胶分为正胶和负胶。负胶在曝光后会产生交联（Cross Linking）反应，使其结构加强而不溶解于显影液。正胶曝光后会产生分解反应，被分解的分子在显影液中很容易被溶解，从而与未曝光部分形成很强的反差。因负胶经曝光后，显影液会浸入已交联的负性光刻胶分子内，使胶体积增加，导致显影后光刻胶图形和掩膜版上图形误差增加，故负胶一般不用于特征尺寸小于0.3um的制造。典型的正胶材料是邻位醌叠氮基化合物，常用的负胶材料是聚乙稀醇肉桂酸酯。CSMC-HJ用的是正性光刻胶。
在相同的光刻胶膜厚和曝光能量相同时，不同光刻胶的感光效果不同。在一定的曝光波长范围内，能量低而感光好的胶称为灵敏度，反之则认为不灵敏。我们希望在能满足光刻工艺要求的情况下，灵敏度越大越好，这样可减少曝光时间，从而提高产量。
2涂胶
涂胶是在结净干燥的圆片表面均匀的涂一层光刻胶。常用的方法是把胶滴在圆片上，然后使圆片高速旋转，液态胶在旋转中因离心力的作用由轴心沿径向飞溅出去，受附着力的作用，一部分光刻胶会留在圆片表面。在旋转过程中胶中所含溶剂不断挥发，故可得到一层分布均匀的胶膜。
涂胶过程有以下几个步骤：
1.1涂胶前处理（Priming）：
要使光刻胶精确地转移淹膜版上的图形，光刻胶与圆片之间必须要有良好的粘附。在涂胶之前，常采用烘烤并用HMDS（六甲基二硅胺）处理的方法来提高附着能力。
因圆片表面通常含有来自空气中的水分子，在涂胶之前，通常将圆片进行去水烘烤以蒸除水分子。我们一般采用100℃/5s.经过烘烤的片子，涂一层增粘剂HMDS。
涂HMDS的方法通常有两种，一种是旋转涂布法，这种方法的原理同光刻胶的涂布方法。另一种是汽相涂底法（Vapor Priming）,是将气态的HMDS在圆片表面形成一层薄膜。汽相涂底法效率高，受颗粒影响小，目前生产中大多采用此法，并与去水烘烤在同一容器中完成。CSMC-HJ 的HMDS处理工艺为100℃/55s。确认HMDS的效果用接触角计测量，一般要求大于65度.
前处理须注意来片衬底必须是干净和干燥的，HMDS处理后应及时涂胶，HMDS处理不能过度，安全使用HMDS
1.2涂胶（COATING）：
涂胶主要控制胶厚及胶厚的均匀性。
胶厚主要与光刻胶的粘度和涂胶时的转速有关。一般较薄的胶（1.0um 左右厚度/4000转速）其粘度在24CP左右，而较厚的胶（2.0um左右厚度/4000转速）其粘度在48CP左右。对于同一种光刻胶，其膜厚主要受涂胶时的转速影响，转速越大，胶厚越薄，一般工艺上常用MOTOR转速在3000到5500之间，这时膜厚的稳定性较好。
影响膜厚均匀性的因素主要有：环境温度、环境湿度、排风净压力、光刻胶温度、旋转马达的精度和重复性、预旋转速度、预旋转时间、最终旋转速度、最终旋转时间和最终旋转加速度、喷胶状况和回吸量等因素。
环境温度的变化大大影响了圆片表面的涂胶均匀性，如图（一）所示。
将环境温度设定于摄氏
23度，当环境温度变化而其
它条件基本不变时，溶剂的
挥发随温度的升高而加快。
环境温度一旦超过23度就会引起圆片边缘的膜厚的增长，从而影响圆片表面涂胶的均匀性，另外，当环境温度低于23度时，由于溶剂的挥发相对比较慢，胶的流动性稍好。因此膜厚在圆片半径中间减少，在旋转的过程中，溶剂也在不停地挥发，造成中间比边缘的粘性要小，因此，无论在何种温度下，边缘的胶厚都会有所增长。
环境湿度的变化也影响了圆片表面的涂覆均匀性，如图（二）所示。
在其它条件基本恒定的情况下，溶剂的挥发随着环境湿度的降低而加
快，平均膜厚对湿度的变化是：每1%的湿度降低会引起9%的膜厚增长；旋转腔周围空气的干燥引起圆片边缘的溶剂挥发加快，从而影响了圆片表面的膜厚均匀性。另一方面
当环境湿度小于40%时，溶
剂的挥发被抑制，会出现圆
片中心比边缘厚的不均匀现
象。
一般情况下，环境湿度对圆片表面涂胶均匀性影响远不如环境温度那么强烈。
排风静压力的变化大大影响了圆片表面的涂胶均匀性，如图（三）所示。
随着排风风速（静压力）的增长，腔内不均匀的蒸气浓度造成圆片中
心和边缘之间失去平衡，从而
影响圆片表面的涂胶均匀性，
根据估算的结果告诉我们，对
于被测试的旋转涂胶机，
5mmAq的排风静压力是最合
适的。
光刻胶温度自环境温度的升高影响了圆片表面的涂胶均匀性，如图（四）所示。
随着光刻胶温度的升高，
使溶剂挥发加快，引起光刻胶
流动性降低，膜厚增加，特别在圆片中心较热的胶滴使其表面温度升高，那么圆片中心的膜厚远大于边缘的膜厚，使圆片表面胶厚不均匀。当然，这一个光刻胶温度升高依赖于其它参数（环境温度、环境湿度、旋转速度等），在一些情况下，圆片表面涂胶均匀性可能在光刻胶温度稍高于环境温度下得以改善。
旋转时间、旋转速度、旋转滴胶量等如图（五）、（六）、（七）所示。这些因素也会影响表面涂胶的均匀性，而这些因素与旋转涂胶机的设置有关，其影响的程度在旋转涂胶机的设置中应加以考虑。
旋转时间、旋转速度、滴胶量这些参数在达到某一数值之后，对胶厚均
匀
性
的
影
响
基
本
不
变。
目前，我们DNSC的膜厚极差一般小于80，σ小于20，SVG因其设备设计的原因，其极差和标准偏差（约35）都较DNSC大。
1.3 膜厚的选择
当曝光量一定时，条宽大小和光刻胶膜厚呈周期性的波动状态，即我们常说的SWING CURVE ，如下图所示：
在确定光刻胶的膜厚时，我们一般选择SWING CURVE 中波谷所对应的膜厚，以使条宽随膜厚的变化值为最小（不选波峰的原因是为了避免因膜厚的变化而出现欠曝光的现象）。
在考虑膜厚时，还必须考虑该膜厚的抗腐蚀效果，右图是MIR701用于HOT M1（5.5K AL + 350A TIN 结构）时，胶厚（18000A ）较少而使腐蚀后台阶上AL 上胶
呈三角形，此时抗腐蚀处于临界状态，易出现AL 过腐蚀,引起高台阶处断AL 。为避免此问题，我们将膜厚顺延了一个周期采用19000A 膜厚。
图一、、MIR701（厚型）的SWING
1.4前烘（SOFT BAKE）
曝光前烘也称为软烘（SB:SOFT BAKE），是使光刻胶中的溶剂挥发，从而使胶层成为固态的薄膜，并使光刻胶与圆片表面粘附力增强的工序。
光刻胶中溶剂的含量会影响曝光的精度和显影的选择比。SB的关键是控制温度和时间。温度太低，胶中溶剂挥发时间加长，影响产出；温度过高，胶表层溶剂挥发比内部快，会使胶表面粗糙。
进行SB的方式主要有三种：1）利用热空气对流；2）利用红外线辐射；及3）利用热板的传导。热传导方式是将圆片放在热板上（一般采用接近式，圆片离热板约2cm），光刻胶被来自热板的能量加温，因此，胶内部获得的能量比表面高，促使内部溶剂往表面移动而离开光刻胶。这
种方法可避免前述表面溶剂挥发太快所导致的问题，且设计简单，所以在生产中应用广泛。SB常用工艺温度为90℃-120℃之间，时间约60s。SB 之后，内部溶剂含量约5%-20%,胶厚约减少10%-20%.
第二节显影工艺
简单地讲，显影就是去处已曝光光刻胶的工艺过程。为了避免光刻胶因其他可能的副反应而改变其化学结构，曝光后应尽快进行显影。显影的主要步骤如
下：
1、 曝光后烘（PEB ：POST EXPOSURE BAKE ）
PEB 即曝光后烘，可以有效降低驻波效应的影响。
曝光时，会产生一种驻波现象（STANDING WAVE ）。由于入射光与反射光产生干涉，使沿胶厚方向的光强形成波峰和波谷，从而产生驻波。
驻波效应会影响对光刻的分辩率和CD 控制。
降低或消除驻波效应常采用的几种方法为：⑴PEB ，如上两图所示。⑵用带染色剂(dye)的光刻胶。⑶采用多层光刻胶技术。⑷加抗反射层：用有机（TARC 和BARC ）或无机材料（SION ）
PEB 温度一般在110到120度，时间在1到2分钟。PEB 温度一般比软烘高15-20度。 2、 冷却
PEB 之后,WAFER 须冷却,使WAFER 的温度同显影液温度一致(23℃)
。
左图：无PEB 右图：PEB 之后
常用工艺条件为23℃/45s。
3、显影
WAFER进冷却后，进入显影腔体，经过温度为23℃的显影液处理约60S 左右，将已曝过光的那部分光刻胶显现出来。
严格地说，曝过光和未曝过光的光刻胶在显影液中都不同程度地被溶解。
为了得到好的显影图象，希望溶解速率差越大越好，即所谓的反差越大越好。
显影的方法主要有三种：浸润显影（IMMESESEION）、喷雾显影（SPRAY）和静态显影（PUDDLE）。我们目前用PUDDLE的方式。
影响显影的因素主要有：显影液的成分、温度；环境温度和湿度；显影液量；显影方式和显影程序。
4、坚膜
坚膜又称硬烘(HB HARDBAKE)。光刻胶显影后留下的图形，是作为后步工序对WAFER进行加工的保护膜。因此，要求光刻胶和WAFER粘附牢固，并且保持没有形变。光刻胶在显影后，必须再经过一次烘烤，进一步将胶内残余的溶剂蒸发，使其硬化，即坚膜。通常坚膜温度比SB温度要高，所以也将此工序称做硬烘。
HB温度过高，光刻胶内溶剂含量越少。但另一方面，最后去胶时会比较困难。所以必须控制HB的温度，一般HB的温度控制在100-130℃之间。
我们目前采用112℃/60S。
HB的方式同SB一样有三种，目前我们采用接近式。
光刻FRAME框简介
光刻FRAME框包含
Box-In-Box
9-DOTS
旋转游标
对位游标
Dagger标记
分辨率
Search Mark
LSA & FIA
LCF
光刻FRAME框示意图：
光刻部分FRAME框图片：
光刻部分FRAME框图片：
BOX-IN-BOX ：
9-DOTS ：
旋转游标：
中间的块在正中间,四周八块全部向中间靠拢为最好.
对位游标：
对位游标：
纵向游标
横向游标
弹簧描述规范
弹簧描述规范 1. 目的： 规范公司弹簧的描述，以便于信息化和智能化的管理。 2. 弹簧描述的标准格式： Name \ Spring Wire Diameter Material Spring Out Diameter Length Other 名称 \ 弹簧线径材料弹簧最大外径长度其他 3. 电源线描述的具体规定： 名称（Name）： 所有弹簧按其使用类型分成三大类 压缩弹簧－COMPRESSION SPRING 拉伸弹簧－EXTENSION SPRING 扭力弹簧－TORSION SPRING 在压缩弹簧中存在一种特殊弹簧：锥体弹簧－TAPER SPRING 名称必须使用上述规定描述，不可使用壶盖弹簧、开关弹簧等描述； 另外，对于一些形状奇特，但以弹力工作的零件，统一不归入弹簧工件编号组，使用另一组编号； 弹簧线径（Spring Wire Diameter）： 弹簧线材的直径，必须为定值，不可采用如（0.4～0.55）此类范围值，导致零件无法最终确定状态； 材料（Material）： 弹簧线材的材料，可详细咨询弹簧制作商，或自行通过相关标准手册决定材料信息； 弹簧最大外径（Spring Out Diameter） 弹簧线材绕成工作弹圈的最大外径值：统一使用弹圈最大外径值作为信息数据；对于扭力弹簧和锥体弹簧，由 于形状相对奇特，因此扭力弹簧与锥体弹簧可不用备注弹簧最大外径参数； 长度（Length）： 弹簧在自然状态下的长度：对于压缩及拉伸弹簧，通常称为长度，而对于扭力弹簧，有宽度这称呼方法； 其他（Other）： 其他一些备注信息，如电镀、颜色等信息； 描述格式举例： 压缩弹簧(METAL,COMPRESSION SPRING \ d=0.6 S-STEEL DIA=5.7 L=23.9) 锥体弹簧(METAL,TAPER SPRING \ d=0.6 S-STEEL L=15) 拉伸弹簧(METAL,EXTENSION SPRING \ d=0.5 65Mn DIA=5.5 L=18) 扭力弹簧(METAL,TORSION SPRING \ d=0.5 65Mn L=8 BLK)
气制氢装置工艺流程简介及主要设备情况说明
制氢装置工艺流程简介及主要设备情况说明 天然气制氢装置于2008年从中石化洞氮合成氨车间原料气头部分搬迁至神华。当年设计、当年施工，当年投产。目前运行良好。 工艺流程简要说明如下。 界区来的1.5MPa压力等级的天然气或液化干气在0101-LM和116-F脱液和除去杂质，进入原料气压缩机102-J压缩至4.2MPa， 通过调节进入转化炉对流段加热至350℃左右，进入加氢反应器 101-D加氢（有机硫转化为无机硫），氧化锌脱硫反应器108- DA/DB除去无机硫（H2S），然后与装置内中压蒸汽管网来的 3.5MPa等级的蒸汽混合，在转化炉对流段加热至500±10℃，进入一段转化炉101-B，在镍系催化剂和高温的作用下反应，约80%左 右的原料气转化生成CO、CO2、H2，工艺介质的温度从810℃降至330℃，其中的热量在废热锅炉101-CA/CB、102-C中得到回收利用，副产10.0MPa压力等级的蒸汽，减压并入装置内3.5MPa蒸汽管网。降温后的工艺介质进入高变反应器104DA将大部分的CO变换成 CO2，回收部分氢气，再在低变反应器104DB中反应，将少量的 CO变换成CO2和H2，经过热量回收和液体脱除后，工艺介质进入脱碳系统吸收塔1101-E，与上部下来的碳酸钾溶液对流换热、脱除CO2，吸收了热量和CO2的碳酸钾溶液从塔底进入再生塔1101-E 再生，脱除CO2后的工艺介质（氢气含量大于93%）从吸收塔顶去PSA工序，经过变压吸附得到纯度为99.5%以上的氢气，经压缩至3.0MPa送至全厂氢气管网，经过变压吸附吸附下来的富甲烷气作为燃料送至装置内转化炉燃烧。流程简图如下：
知识贴 弹簧钢介绍
弹簧钢，顾名思义就是制作弹簧的钢材，用途广泛，我们日常弹簧秤的弹簧，汽车座垫下的弹簧，以及减震器，汽车，三轮摩托的板簧。等等都是弹簧钢。 弹簧钢硬度合适，韧性不错，热处理也比较简单，是很好的做刀的材料。有一些特殊的刀剑（比如腰带剑），必须用弹簧钢制作。 但是弹簧钢的质量也参差不齐，上到日本，德国，美国进口的制作汽车板簧，弹簧的弹簧钢，中到国家著名企业宝钢，马钢，西宁特钢等制作的优质弹簧钢，（其中还分等级）；下到冶炼技术很次的杂牌钢厂回收的废旧钢铁做成的弹簧钢。都很杂乱。 有人一定选择进口车的板簧做刀剑，但是我觉得大方向是对的，但是也有不对的地方。我举个例子：一个好的电视机，重要组成的部件是显像管，主控芯片。如果一个进口的TOSHIBA 中低档电视机，他却采用彩虹，国产三星的显像管，那么还不如一台采用进口松下，日立显像管的海信电视性能质量好（我就亲身遇见过这样的例子）。汽车亦然，但是细化分清楚内部原件的板簧是否优质对我们刀友却是一件困难的事情 弹簧钢分为合金弹簧钢和碳素弹簧钢两类。以下选择百度百科的资料： 1.碳素弹簧钢碳素弹簧钢的碳含量(质量分数)一般在0.62%~0.90%。按照其锰含量又分为一般锰含量(质量分数) (0.50%~0.80%)如65、70、85和较高锰含量(质量分数) (0.90~1.20%)，如65Mn两类。 2.合金弹簧钢合金弹簧钢是在碳素钢的基础上，通过适当加入一种或几种合金元素来提高钢的力学性能、淬透性和其他性能，以满足制造各种弹簧所需性能的钢。 合金弹簧钢的基本组成系列有，硅锰弹簧钢、硅铬弹簧钢、铬锰弹簧钢、铬钒弹簧钢、钨铬钒弹簧钢等。在这些系列的基础上，有一些牌号为了提高其某些方面的性能而加入了钼、钒或硼等合金元素。 此外，还从其他钢类，如优质碳素结构钢、碳素工具钢、高速工具钢、不锈钢，选择一些牌号作为弹簧用钢。 1. 65 、70 、85：可得到很高强度、硬度、屈强比，但淬透性小，耐热性不好，承受动载和疲劳载荷的能力低应用非常广泛，但多用于工作温度不高的小型弹簧或不太重要的较大弹簧。如汽车、拖拉机、铁道车辆及一般机械用的弹簧。 65Mn 成分简单，淬透性和综合力学性能、脱碳等工艺性能均比碳钢好，但对过热比较敏感，有回火脆性，淬火易出裂纹价格较低，用量很大。制造各种小截面扁簧、圆簧、发条等，亦可制气门弹簧、弹簧环，减振器和离合器簧片、刹车簧等。 2. 55Si2Mn 、60Si2Mn 、60Si2MnA 硅含量(Wsi)高(上限达2.00%)， 强度高，弹性好。抗回火稳定性好。易脱碳和石墨化。淬透性不高。
弹簧保养知识介绍
1．气门弹簧 气门弹簧受高温和周期性高频交变力的作用，使用一段时间后就会产生磨损和塑性变形，使弹力减弱，导致气门关闭不严、发动机功率下降、排气冒黑烟、启动困难等故障。因此．要定期检查气门弹簧弹力。可在旧弹簧与新弹簧之间垫一小块铁皮，夹在台虎钳上加压比较，看其缩短程度。当新弹簧压缩到原来2／3长度时，若旧弹簧比新弹簧短2mm，就应当更换。若一时无备件，可在旧弹簧上垫2mm左右的平垫圈，以弥补其弹力的不足。一般情况下，气门弹簧使用2500～3000h后就应更换。 2．喷油泵柱塞弹簧 喷油泵柱塞弹簧同样会受周期性高频交变力的作用而磨损、变形，从而使其**长度缩短，弹力减弱。弹力减弱后，柱塞的回位速度减慢。这样。当发动机高速运转时，柱塞的往复运动就不能与油泵凸轮的高速回转运动保持协调关系，从而使柱塞的升程减少．供油量相应减少，造成发动机功率下降。因此，当柱塞弹簧使用3600～4500h后应及时更换。 3．出油阀弹簧 出油阀弹簧弹力减弱后。会造成高压油内漏严重，高压油管内剩余压力降低，出油阀落座不迅速，以至造成供油量减少且不稳定，发动机工作无力且“游车”。另外，还会使喷油器始喷无力，断油不干脆，出现后滴现象．从而导致燃烧恶化，发动机过热，排气冒黑烟。所以，出油阀弹簧一般在使用3600-4500h后应更换，如有弯曲变形，更应及时更换。 4．调速弹簧 小型柴油机调速弹簧使用时应注意以下几点。 (1)柴油机停车熄火后调速手柄应置于停供位置，以免调速弹簧处于长期拉伸状态，导致弹力变弱。 (2)调速弹簧等零件应经常清洗，以免灰尘、杂物阻塞，造成卡滞，影响调速器正常工作。 (3)不准采用将调速弹簧“扎死”的办法提高发动机转速，否则可能造成严重后果。 (4)调速弹簧因长期使用后弹力变小时，会使柴油机达不到应有的转速，这时可用调节螺钉进行调整。调整调节螺钉时，必须用转速表测量发动机转速。 5．离合器弹簧 离合器弹簧绝大部分时间是受静压力的作用，使用时间过长时，就会发生塑性变形，**长度缩短，弹力减弱。离合器弹簧的弹力减弱后．离合器所能传递的力矩将减小，发动机的功率就不能充分地发挥，从而造成机车工作无力。当发现离合器弹簧的弹力减弱后，可在与弹簧接触的零件凹坑里，加适当厚度的垫片予以调整。在加垫片时应注意，同一离合器总成上各弹簧的**长度(包括垫片厚度)应一致。若加垫片后弹簧还无法恢复原来弹力，应更换一组新弹簧。一般情况下，当弹簧使用2500～3000h后，应加1～2mm厚的垫片以调整压力；使用5000h后，应将所有弹簧同时更换。 6．手扶拖拉机转向弹簧 安装转向弹簧时，首先应识别左旋弹簧还是右旋弹簧。左侧的应装右旋弹簧，右侧的
制氢的全部方法
制氢的全部方法 一、电解水制氢 多采用铁为阴极面，镍为阳极面的串联电解槽（外形似压滤机）来电解苛性钾或苛性钠的水溶液。阳极出氧气，阴极出氢气。该方法成本较高，但产品纯度大，可直接生产%以上纯度的氢气。这种纯度的氢气常供：①电子、仪器、仪表工业中用的还原剂、保护气和对坡莫合金的热处理等，②粉末冶金工业中制钨、钼、硬质合金等用的还原剂，③制取多晶硅、锗等半导体原材料，④油脂氢化，⑤双氢内冷发电机中的冷却气等。像北京电子管厂和科学院气体厂就用水电解法制氢。 二、水煤气法制氢 用无烟煤或焦炭为原料与水蒸气在高温时反应而得水煤气（C+H2O→CO+H2—热）。净化后再使它与水蒸气一起通过触媒令其中的CO转化成CO2（CO+H2O→CO2+H2）可得含氢量在80%以上的气体，再压入水中以溶去CO2，再通过含氨蚁酸亚铜（或含氨乙酸亚铜）溶液中除去残存的CO而得较纯氢气，这种方法制氢成本较低产量很大，设备较多，在合成氨厂多用此法。有的还把CO与H2合成甲醇，还有少数地方用80%氢的不太纯的气体供人造液体燃料用。像北京化工实验厂和许多地方的小氮肥厂多用此法。 三、由石油热裂的合成气和天然气制氢 石油热裂副产的氢气产量很大，常用于汽油加氢，石油化工和化肥厂所需的氢气，这种制氢方法在世界上很多国家都采用，在我国的石油化工基地如在庆化肥厂，渤海油田的石油化工基地等都用这方法制氢气 也在有些地方采用（如美国的Bay、way和Batan Rougo加氢工厂等）。 四、焦炉煤气冷冻制氢 把经初步提净的焦炉气冷冻加压，使其他气体液化而剩下氢气。此法在少数地方采用（如前苏联的Ke Mepobo工厂）。 五、电解食盐水的副产氢 在氯碱工业中副产多量较纯氢气，除供合成盐酸外还有剩余，也可经提纯生产普氢或纯氢。像化工二厂用的氢气就是电解盐水的副产。 六、酿造工业副产 用玉米发酵丙酮、丁醇时，发酵罐的废气中有1/3以上的氢气，经多次提纯后可生产普氢（97%以上），把普氢通过用液氮冷却到—100℃以下的硅胶列管中则进一步除去杂质（如少量N2）可制取纯氢（%以上），像北京酿酒厂就生产这种副产氢，用来烧制石英制
弹簧技术发展现状
弹簧技术发展现状 核心提示：在机电产品中，弹簧种类繁多，主要有以下类型。1）以汽车、摩托车、柴油机和汽油机为主的配套弹簧和弹簧。这类弹簧有气门弹簧、悬架弹簧、减震弹簧以及离合器弹簧等，用量较大，约占弹簧生产量的50%左右。同时在机电产品中，弹簧种类繁多，主要有以下类型。 1）以汽车、摩托车、柴油机和汽油机为主的配套弹簧和弹簧。这类弹簧有气门弹簧、悬架弹簧、减震弹簧以及离合器弹簧等，用量较大，约占弹簧生产量的50%左右。同时技术水平要求也高，可以说这些弹簧的技术水平具有代表性，它们主要是向高疲劳寿命和高抗松弛方向发展，从而减轻质量。 2）以铁道机车车辆、载重汽车和工程机械为主的大型弹簧和板弹簧，这些弹簧以热卷成型为主，是弹簧制造业的一个重要方面。随着高速铁道的发展，车辆减震系统的升级，作为车辆悬架的热成型弹簧技术有较大的提高，这类弹簧主要向高强度和高精度方向发展以稳定产品质量。 3）以仪器仪表为主的电子电器弹簧，典型产品如电动机电刷弹簧、开关弹簧、摄像机和照相机弹簧，以及计算机配件弹簧、仪器仪表配件弹簧等。这类弹簧中片弹簧、异性弹簧占较大的比例，不同产品对材质和技术要求差别较大。这类弹簧主要向着既高强度化又小型化的方向发展。 4）以日用机械和电器为主的五金弹簧，如床垫、沙发、门铰链、玩具、打火机等，这类弹簧需求量较大，但技术含量不高，给小型的弹簧企业提高了发展机会，这类弹簧主要是向小型化方向发展。
5）以满足特殊需要为主的特种弹簧，如纺织机械用摇架弹簧，要求有高的抗松弛性能；钢包滑水口用弹簧，要求有高的耐热性；矿山振动筛用悬架弹簧，不但要求有高的疲劳性能，而且要求有高的抗腐蚀性，因而采用橡胶金属复合弹簧：为了满足车辆行驶时的舒适度，所采用的空气弹簧等。 对于目前出现的异性截面悬架弹簧和气门弹簧，从轻量化、节省空间，提高舒适性和改善弹簧应力分布考虑，比圆截面弹簧更为合理，但是这类弹簧材料价格高，弹簧制造工艺复杂，使得弹簧成本要高于圆截面弹簧。因此目前还看不出异性截面弹簧取代圆截面弹簧的迹象。 1弹簧设计的发展 目前，广泛应用的弹簧应力和变形的计算公式是根据材料力学推导出来的。若无一定的实际经验，很难设计和制造出高精度的弹簧，随着设计应力的提高，以往的很多经验不再适用。例如，弹簧的设计应力提高后，螺旋角加大，会使弹簧的疲劳源由簧圈的内侧转移到外侧。为此，必须采用弹簧精密的解析技术，当前应用较广的方法是有限元法（FEM）。 车辆悬架弹簧的特征是除足够的疲劳寿命外，其永久变形要小，即抗松弛性能要在规定的范围内，否则由于弹簧的不同变形，将发生车身重心偏移。同时，要考虑环境腐蚀对其疲劳寿命的影响。随着车辆保养期的增大，对永久变形和疲劳寿命都提出了更严格的要求，为此必须采用高精度的设计方法。有限元法可以详细预测弹簧应力疲劳寿命和永久变形的影响，能准确反映材料对弹簧疲劳寿命和永久变形的关系。
光刻工艺流程
光刻工艺流程 Lithography Process 摘要：光刻技术（lithography technology)是指集成电路制造中利用光学—化学反应原理和化学，物理刻蚀法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。光刻是集成电路工艺中的关键性技术，其构想源自于印刷技术中的照相制版技术。光刻技术的发展使得图形线宽不断缩小，集成度不断提高，从而使得器件不断缩小，性能也不断提利用高。还有大面积的均匀曝光，提高了产量，质量，降低了成本。我们所知的光刻工艺的流程为：涂胶→前烘→曝光→显影→坚膜→刻蚀→去胶。 Abstract:Lithography technology is the manufacture of integrated circuits using optical - chemical reaction principle and chemical, physical etching method, the circuit pattern is transferred to the single crystal surface or the dielectric layer to form an effective graphics window or function graphics technology.Lithography is the key technology in integrated circuit technology, the idea originated in printing technology in the photo lithographic process. Development of lithography technology makes graphics width shrinking, integration continues to improve, so that the devices continue to shrink, the performance is also rising.There are even a large area of exposure, improve the yield, quality and reduce costs. We know lithography process flow is: Photoresist Coating → Soft bake → exposure → development →hard bake → etching → Strip Photoresist. 关键词：光刻，涂胶，前烘，曝光，显影，坚膜，刻蚀，去胶。 Key Words:lithography,Photoresist Coating,Soft bake,exposure,development,hard bake ,etching, Strip Photoresist. 引言： 光刻有三要素：光刻机；光刻版（掩模版）；光刻胶。光刻机是IC晶圆中最昂贵的设备，也决定了集成电路最小的特征尺寸。光刻机的种类有接触式光刻机、接近式光刻机、投影式光刻机和步进式光刻机。接触式光刻机设备简单，70年代中期前使用，分辨率只有微
甲醇制氢工艺简介
甲醇制氢工艺简介 １前言 氢气在工业上有着广泛的用途。近年来,由于精细化工、蒽醌法制双氧水、粉末冶金、油脂加氢、林业品与农业品加氢、生物工程、石油炼制加氢及氢燃料清洁汽车等的迅速发展,对纯氢需求量急速增加。 对没有方便氢源的地区,如果采用传统的以石油类、天然气或煤为原料造气来分离制氢需庞大投资,“相当于半个合成氨”,只适用于大规模用户。对中小用户电解水可方便制得氢气,但能耗很大,每立方米氢气耗电达～6度,且氢纯度不理想,杂质多,同时规模也受到限制,因此近年来许多原用电解水制氢的厂家纷纷进行技术改造,改用甲醇蒸汽转化制氢新的工艺路线。 西南化工研究设计院研究开发的甲醇蒸汽转化配变压吸附分离制氢技术为中小用户提供了一条经济实用的新工艺路线。第一套600Nm3/h制氢装置于1993年7月在广州金珠江化学有限公司首先投产开车,在得到纯度99、99%氢气同时还得到食品级二氧化碳,该技术属国内首创,取得良好的经济效益。此项目于93年获得化工部优秀设计二等奖、94年获广东省科技进步二等奖。 ２工艺原理及其特点 本工艺以来源方便的甲醇与脱盐水为原料,在220～280℃下,专用催化剂上催化转化为组成为主要含氢与二氧化碳转化气,其原理如下: 主反应: CH3OH＝CO＋2H2 +90、7 KJ/mol CO＋H2O＝CO2＋H2 -41、2 KJ/mol 总反应: CH3OH＋H2O＝CO2＋3H2 +49、5 KJ/mol 副反应: 2CH3OH＝CH3OCH3＋H2O -24、9 KJ/mol CO＋3H2＝CH4＋H2O -+206、3KJ/mol 上述反应生成的转化气经冷却、冷凝后其组成为 H2 73～74％ CO2 23～24、5％ CO ～1、0％ CH3OH 300ppm H2O 饱与 该转化气很容易用变压吸附等技术分离提取纯氢。 广州金珠江化学有限公司600Nm3/h制氢装置自93年7月投产后,因后续用户双氧水的扩产,于97年4月扩产1000Nm3/h制氢装置投产,后又扩产至1800Nm3/h,于2000年3月投产。本工艺制氢技术给金珠江化学有限公司带来良好的经济效益。 目前国内应用此技术的企业已近百家,通过几年来的运转证明,本工艺技术成熟、操作方便,运转稳定、无污染。 本工艺技术有下列特点: 1、甲醇蒸汽在专用催化剂上裂解与转化一步完成。 2、采用加压操作,产生的转化气不需要进一步加压,即可直接送入变压吸附分离装置,降低了能耗。 3、与电解法相比,电耗下降90%以上,生产成本可下降40～50%,且氢气纯度高。与煤造气相比则显本工艺装置简单,操作方便稳定。煤造气虽然原料费用稍低,但流程长投资大,且污染大,杂质多,需脱硫净化等,对中小规模装置不适用。 4、专用催化剂具有活性高、选择性好、使用温度低,寿命长等特点。 5、采用导热油作为循环供热载体,满足了工艺要求,且投资少,能耗低,降低了操作费用。 ３工艺过程
弹簧制造工艺
弹簧制造工艺 弹簧的种类较多、形状各异、生产批量不等，因此其制造方法也有所不同。弹簧的制造方法根据成形工艺的不同可分为冷成形和热成形两种。当弹簧材料截面尺寸较小时采用常溢条件下成形的称为冷成形，反之，需将弹簧材料加热到一定温度时成形的称为热成形。 冷成形工艺：冷卷成形弹簧的精度比热卷成形的高，表面和内在质最也较热卷成形的好。冷卷成形弹簧所用的材料规格大致为直径0.08-20mm的盘状钢丝和圆钢条，或边长小于10mm的方钢和异明钢丝，或相近尺寸的带钢和扁钢。材料的供应状态通常为两大类:一类为硬状态，其本身已具有弹簧所需要的力学性能，成形后只需去应力退火（这个使用最广泛）;另一类为软状态(退火状态)，成形后尚需按要求进行淬火和回火处理才能获得所需要的性能。 1.螺旋压缩弹簧:卷制、 去应力退火、两端向磨削、(抛 九)、(校整)、(去应力退火) 、 立定或强压处理、检验、表 而防腐处理、包装。 2.螺旋拉仲弹簧:卷制、 去应力退火、钩环制作、(切 尾)、去应力退火、_立定处理、 检验、表面防腐处理、包装:. 3.螺旋扭转弹簧:卷制、 去应力退火、扭臂制作、切 尾、去应力退火、立定处理、 检验、表面防腐处理、包装。 螺旋弹簧最常用的方法 就是卷制，分为有心轴卷制 和无心轴卷制。 有心轴卷制弹簧多用于中、小批量的生产和专门设计又有特殊要求的弹簧。
在大批量生产中这种方法也用于卷制扭簧和一些拉簧。 用心轴卷制弹簧，不仅劳动量大、而且降低了材料利用率和质量的均匀性。生产效率率低，在大批量生产中，广泛采用自动卷簧机（无心轴卷制） 工作原理：当弹簧材料由料架8拉出后，经过校直机构7和送料机构6，由导向板l进入成形机构，碰上顶杆3前端的槽子时，迫使弹簧材料弯曲变形，弹簧圈是由材料顶住的三个摩擦点而卷绕成形的。这三个摩擦点分别是弹簧材料与导向板1、两个顶杆3的切点。在弹簧材料弯曲成簧圈的过程中，金属丝接触到节跟块5的斜面., 由于自动卷簧机的变距机构使右距块5沿着弹簧卷绕成形的轴线方向移动，所以能制成螺旋压缩弹簧的节距。 卷制后需要去应力退火，去应力退火的目的是: 1.消除金属丝冷拔加工和弹簧冷卷成形的内应力. 2.稳定弹簧尺寸，未经去应力退火的弹簧在后面的工序加工中和使用过程 中会产生外径增大和尺寸不稳定现象。 3.提高金属丝的杭拉强度和弹性极限。 4.利用去应力退火来控制弹簧尺寸。
弹簧钢的性能介绍
[常用牌号]： 常用合金弹簧钢的牌号、化学成分、热处理、力学性能及用途。 常用的合金弹簧钢有60Si2Mn、50CrVA、30W4Cr2VA等。 60Si2Mn钢是应用最广泛的合金弹簧钢，其生产量约为合金弹簧钢产量的80％。它的强度、淬透性、耐回火性都比碳素弹簧钢高，工作温度达250℃，缺点是脱碳倾向较大，适于制造厚度小于10mm的板簧和截面尺寸小于25mm的螺旋弹簧，在重型机械、铁道车辆、汽车、拖拉机上都有广泛的应用。 30W4Cr2VA是高强度的耐热弹簧，用于500℃以下工作的 [弹簧成型方法]： 对直径或板簧厚度大于10 mm的大弹簧，可在比正常淬火温度高出50～80℃的温度热成形，对直径或板簧厚度小于8～10mm的小弹簧，常用冷拔弹簧钢丝冷卷成形。 为保证弹簧具有高的强度和足够的韧性，通常50CrVA钢的力学性能与60Si2Mn钢相近，但淬透性更高，钢中Cr和V能提高弹性极限、强度、韧性和耐回火性，常用于制作承受重载荷、工作温度较高及截面尺寸较大的弹簧。锅炉主安全阀弹簧、汽轮机汽封弹簧等。 常采用淬火+中温回火。对热成形弹簧，可采用热成形余热淬火，对热冷成形的弹簧，有时可省去淬火、中温回火工艺，成形后只需进行200～300℃进行去应力退火即可。弹簧钢热处理后通常进行喷丸处理，其目的是在弹簧表面产生残余压应力，以提高弹簧的疲劳强度。 [性能]： 硬度为40～48HRC，有较高的弹性极限和疲劳强度，以及一定的塑性和韧性弹簧是起缓冲、减振和储能等作用。弹簧一般是在交变应力下工作，常见的破坏形式是疲劳破坏，因此，必须具有高的屈服点和屈强比（σs/ σb）、弹性极限、抗疲劳性能，以保证弹簧有足够的弹性变形能力并能承受较大的载荷。同时，弹簧钢还要求具有一定的塑性与韧性，一定的淬透性，不易脱碳及不易过热。一些特殊弹簧还要求有耐热性、耐蚀性或在长时间内有稳定的弹性。 中碳钢和高碳钢都可作弹簧使用，但因其淬透性和强度较低，只能用来制造截面较小、受力较小的弹簧。合金弹簧钢则可制造截面较大、屈服极限较高的重要弹簧。[化学成分]： 合金弹簧钢为中、高碳成分，一般wC=0.5％～0.7％，以满足高弹性、高强度的性能要求。加入的合金元素主要是Si、Mn、Cr，作用是强化铁素体、提高淬透性和耐回火性。但加入过多的Si会造成钢在加热时表面容易脱碳，加入过多的Mn容易使晶粒长大。加入少量的V和Mo可细化晶粒，从而进一步提高强度并改善韧性。此外，它们还有进一步提高淬透性和耐回火性的作用。 55Si2Mn特性：强度大、弹性极限好，屈服比值高，热处理后韧性较好，焊接性差，冷变形塑性低，切削性尚好，淬透性较65、65Mn钢高，临界淬透直径：油中约为25~57mm；水中约为44~88mm；此钢宜油淬、水淬时有形成裂纹倾向，无回火脆性倾向，且具有抗回火稳定和抗松弛稳定性；钢中夹杂物较高，轧制较困难，表面易出疵病，脱碳倾向大；适宜在淬火并中温回火状态下使用。用途：适用于制造铁道车辆、汽车、拖拉机等承受中等载荷的扁形弹簧、直径<25mm的螺旋形弹簧、缓冲弹簧以及汽缸安全阀门等高应力下工作的重要弹簧。 55Si2MnB特性：性能与55Si2Mn钢相近，但淬透性更高，在油中临界淬透直径约为90~180mm，疲劳强度也显著提高。用途：适用于制造中、小型截面的钢板弹簧，如汽车上的前后副钢板弹簧。
弹簧加工工艺
弹簧加工工艺 .亨特弹簧 我们在日常生活中会使用到很多的弹簧产品，弹簧表面上看是很简单的产品。在教科书里也是一笔带过的部分。但是大家所不知的是弹簧的生产其实并不容易！很多产品的设计者常常把所有的机构全部设计完成了后再让弹簧加工商来生产所需的弹簧。殊不知在设计时由于没有提前把弹簧考虑进去所以造成了之前的所有设计全部报废。因为弹簧他是在一根钢丝上产生的机械性能！他可调性很差！只有材料、外径、圈数、总长这几大项可调。但由于提前把机构就已设计死，这样就限制了弹簧的多项的不可调性。那么下面我就以我在东莞市亨特五金制品公司里里多年生产弹簧的经验和大家做一个简单的分享吧。 现在我就以常见的压缩弹簧的加工及每部分所产生的功能来介绍： 一.弹簧加工卷制： 弹簧主要性能的产品主要就是这个部份产生。这几个部份在弹簧生产过程中是必须有的，少一项都不能生产出一个合格的弹簧.目前弹簧的卷制使用的均为CNC电脑数控弹簧机 1.材料. 需要知道材质及材料的大小也就是线径。材质一般常见分类为钢丝、琴钢、不 锈钢及合金钢。选择弹簧材料时，应考虑其用途、使用条件(载荷性质、大小及循 环特性、工作持续时间、工作温度等)以及加工、热处理和经济性等因素。 为了保障弹簧能够可靠地工作，其材料除应满足具有较高的强度极限和屈服极限外，还必须具有较高的弹性极限、疲劳极限、冲击韧性、塑性和良好的热处理工艺性等。 表20-2列出了几种主要弹簧材料及其使用性能。实践中应用最广泛的就是弹簧钢， 其品种又有碳素弹簧钢、低锰弹簧钢、硅锰弹簧钢和铬钒钢等。图20-2给出了碳 素弹簧钢丝的抗拉强度极限。 弹簧材料选择必须充分考虑到弹簧的用途、重要程度与所受的载荷性质、大小、循环特性、工作温度、周围介质等使用条件，以及加工、热处理和经济性等因素， 以便使选择结果与实际要求相吻合。钢是最常用的弹簧材料。当受力较小而又要求 防腐蚀、防磁等特性时，可以采用有色金属。此外，还有用非金属材料制做的弹簧， 如橡胶、塑料、软木及空气等。 碳素弹簧钢(如65、70钢)：价格便宜、来源方便，但弹性极限低； 低锰弹簧钢(如65Mn)：淬透性好、强度较高，淬火后易产生裂纹 硅锰弹簧钢(如60Si2MnA)：弹性极限高，回火稳定性好，力学性能良好； 铬钒钢(如50CrVA)：耐疲劳和抗冲击性能好，价格贵，用于要求高的场合。 2.外径. 外径、内径及中径在知道线径的大小的前提下可以只提供其中的任意一项！但如不 知线径就必须要提供最少两项。 他们的关系式为： 1．外径-线径=中径 2．外径-中径=线径 3．中径+线径=外径
track工艺介绍
导轨工艺简介 涂胶基本流程 ? HP ：HOT PLATE IND ：INDEXER AH ：ADHESION CHAMBER WITH HP ? AC ：ADHESION CHAMBER WITH CP SC ：SPIN COATER ? TR ：TRANSFER UNIT 涂胶前处理（PRIMING ） ? 目的：增加圆片衬底与光刻胶的粘附性 ? 化学试剂：HMDS （ 六甲基二硅胺 ） ? 气相涂布方法：1。常温下的HMDS 批处理箱 2。高温低真空下的HMDS 批处理箱 3。高温低真空下（高温下）的HMDS 单片处理模块 ? 确认HMDS 的效果用接触角计测量，一般要求大于65度 ? 前处理注意事项 DNS 涂胶系统图：
? 来片衬底必须是干净和干燥的 ? HMDS 处理后应及时涂胶 ? HMDS 处理不能过度 ? 安全使用HMDS 涂胶（COATING ） ? 影响光刻胶厚度和均匀性的主要参数： ? 环境温度 ? 环境湿度 ? 排风净压力 ? 光刻胶温度 ? 光刻胶量 ? 旋转马达的精度和重复性 ? 回吸量 ? 预旋转速度，预旋转时间，最终旋转速度，最终旋转时间，最终旋转加速度 软烘 （ SOFTBAKE ） 3 1 N 2 IN HMDS V APOR
软烘目的： ?去除光刻胶中的溶剂 ?增加粘附性 ?提高E0的稳定性 ?减少表面张力 软烘方法： ?热对流烘箱 ?红外线辐射 ?接触式（接近式）热版 ?软烘的关键控制点是温度和时间 显影前烘焙（PEB） ?目的：降低或消除驻波效应 ?PEB温度一般要求比软烘高15-20度 ?PEB一般采用接触式或接近式热板烘焙?PEB的关键控制点是温度与时间 显影（DEVELOPER） 目的： 简单的说就是去除已曝光部分的光刻胶 显影方法： ?浸润显影（IMMESRSION）
制氢方法简介
各种制氢方法简介 ........................................................................................... 氢能是一种二次能源，在人类生存的地球上，虽然氢是最丰富的元素，但自然氢的存在极少。因此必需将含氢物质力UI后方能得到氢气。最丰富的含氢物质是水（H2O），其次就是各种矿物燃料（煤、石油、天然气）及各种生物质等。因此要开发利用这种理想的清洁能源，必需首先开发氢源，即研究开发各种制氢的方法。从长远看以水为原料制取氢气是最有前途的方法，原料取之不尽，而且氢燃烧放出能量后又生成产物水，不造成环境污染。各种矿物燃料制氢是目前制氢的最主要方法，但其储量有限，且制氢过程会对环境造成污染。其它各类含氢物质转化制氢的方法目前尚处次要地位，有的正在研究开发，但随着氢能应用范围的扩大，对氢源要求不断增加，也不失为一种提供氢源的方法。 1.电解水制氢 水电解制氢是目前应用较广且比较成熟的方法之一。水为原料制氢过程是氢与氧燃烧生成水的逆过程，因此只要提供一定形式一定的能量，则可使水分解。提供电能使水分解制得氢气的效率一般在75～85％，其工艺过程简单，无污染，但消耗电量大，因此其应用受到一定的限制。目前水电解的工艺、设备均在不断的改进：对电解反应器电极材料的改进，以往电解质一般采用强碱性电解液，近年开发采用固体高分子离子交换膜为电解质，且此种隔膜又起到电解池阴阳极的隔膜作用；在电解工艺上采用高温高压参数以利反应进行等。但水电解制氢能耗仍高，一般每立方米氢气电耗为4．5～5．5kWh左右。电能可由各种一次能源提供，其中包括矿物燃料、核能、太阳能、水能、风能及海洋能等等，核能、水能和海洋能其资源丰富，能长期利用。我国水力资源丰富，利用水力发电，电解水制氢有其发展前景。太阳能取之不尽，其中利用光电制氢的方法即称为太阳能氢能系统，国外已进行实验性研究。随着太阳电池转换能量效率的提高、成本的降低及使用寿命的延长，其用于制氢的前景不可估量。同时，太阳能、风能及海洋能等也可通过电解制得氢气并用氢作为中间载能体来调节、贮存转化能量，使得对用户的能量供应更为灵活方便。供电系统在低谷时富余电能也可用于电解水制氢，达到储能的目的。我国各种规模的水电解制氢装置数以百计，但均为小型电解制氢设备，其目的均为制得氢气作原料而非作为能源。对电解反应中电极过程、电极材料等方面课题南开大学、首都师范大学等单位均曾开展研究，随着氢能应用的逐步扩大，水电解制氢方法必将得到发展。 以水为原料的热化学循环分解水制氢方法，避免了水直接热分解所需的高温（4000K以上），且可降低电耗，受人们的重视小该方法是在水反应系统中加入一中间物，经历不同的反应阶段，最终将水分解为氢和氧，中间物不消耗，各阶段反应温度均较低。如美国通用原子能公司（GA公司）提出的硫一碘热化学制氢循环： 近年已先后研究开发了20多种热化学循环法，有的已进入中试阶段，我国在该领域基本属空白，应积极赶上。 光化学制氢是以水为原料，光催化分解制取氢气的方法。光催化过捏是指含有催化剂的反应体系，在光照下由于有催化剂存在，促使水解制得氢气。在70年代开始国外有研究报道，我国中科院感光所等单位也开展了研究。该方法具有开发前景，但目前尚处于基础研究阶段。 2.矿物燃料制氢 以煤、石油及天然气为原料制取氢气是当今制取氢气最主要的方法。制得氢气主要作为化工原料，如生产合成氨、合成甲醇等。有时某些含氢气体产物亦作为气体燃料供城市煤气。用矿物燃料制氢的方法包括含氢气体的制造、气体中CO组份变换反应及氢气提纯等步骤。该方法在我国都具有成熟的工艺，井建有工业生产装置。 （1）以煤为原料制取氢气 以煤为原料制取含氢气体的方法主要有两种：一是煤的焦化（或称高温干馏），二是煤的气化。焦化是指煤在隔绝空气条件下，在900-1000°C制取焦碳，副产品为焦炉煤气。焦炉煤气组成中含氢气55-60％（体积）、甲烷23-27％、一氧化碳6-8％等。每吨煤可得煤
track光刻胶显影工艺
TRACK工艺简介 潘川2002/1/28 摘要 本文简要介绍关于涂胶、显影工艺的一些相关内容。 引言 超大规模IC对光刻有五个基本要求，即：高分辨率、高灵敏度、精密的套刻对准、低缺陷和大尺寸上的加工问题（如温度变化引起晶圆的胀缩等）。这五个基本要求中，高分辨率、高灵敏度和低缺陷与涂胶、显影工艺有很密切的关系。 第一节涂胶工艺 1光刻胶 光刻胶主要由树脂（Resin）、感光剂（Sensitizer）及溶剂（Solvent）等不同材料混合而成的，其中树脂是粘合剂（Binder）, 感光剂是一种光活性（Photoactivity）极强的化合物，它在光刻胶内的含量和树脂相当，两者同时溶解在溶剂中，以液态形式保存。除了以上三种主要成分以外，光刻胶还包含一些其它的添加剂（如稳定剂，染色剂，表面活性剂）。 光刻胶分为正胶和负胶。负胶在曝光后会产生交联（Cross Linking）反应，使其结构加强而不溶解于显影液。正胶曝光后会产生分解反应，被分解的分子在显影液中很容易被溶解，从而与未曝光部分形成很强的反差。因负胶经曝光后，显影液会浸入已交联的负性光刻胶分子内，使胶体积增加，导致显影后光刻胶图形和掩膜版上图形误差增加，故负胶一般不用于特征尺寸小于0.3um的制造。典型的正胶材料是邻位醌叠氮基化合物，常用的负胶材料是聚乙稀醇肉桂酸酯。CSMC-HJ用的是正性光刻胶。
在相同的光刻胶膜厚和曝光能量相同时，不同光刻胶的感光效果不同。在一定的曝光波长范围内，能量低而感光好的胶称为灵敏度，反之则认为不灵敏。我们希望在能满足光刻工艺要求的情况下，灵敏度越大越好，这样可减少曝光时间，从而提高产量。 2涂胶 涂胶是在结净干燥的圆片表面均匀的涂一层光刻胶。常用的方法是把胶滴在圆片上，然后使圆片高速旋转，液态胶在旋转中因离心力的作用由轴心沿径向飞溅出去，受附着力的作用，一部分光刻胶会留在圆片表面。在旋转过程中胶中所含溶剂不断挥发，故可得到一层分布均匀的胶膜。 涂胶过程有以下几个步骤： 1.1涂胶前处理（Priming）： 要使光刻胶精确地转移淹膜版上的图形，光刻胶与圆片之间必须要有良好的粘附。在涂胶之前，常采用烘烤并用HMDS（六甲基二硅胺）处理的方法来提高附着能力。 因圆片表面通常含有来自空气中的水分子，在涂胶之前，通常将圆片进行去水烘烤以蒸除水分子。我们一般采用100℃/5s.经过烘烤的片子，涂一层增粘剂HMDS。 涂HMDS的方法通常有两种，一种是旋转涂布法，这种方法的原理同光刻胶的涂布方法。另一种是汽相涂底法（Vapor Priming）,是将气态的HMDS在圆片表面形成一层薄膜。汽相涂底法效率高，受颗粒影响小， 目前生产中大多采用此法，并与去水烘烤在同一容器中完成。CSMC-HJ
弹簧零件的基本制作流程
弹簧零件的基本制作流程 影响弹簧制造精度和质量的因素很多，如材料状态、操作者的技术水平、工艺装置和设备的精度、制造工艺的选择、各工序偏差的计算及分配等。因而在大批量生产前，应该按弹簧的性能要求进行首件试验（一般为3-10件），首件试验合格后，方可投入大批量生产。 一、冷成形弹簧的基本制作流程 当弹簧所用钢材的圆形截面直径小于14mm、矩形截面边长小于10mm、或相近尺寸的扁钢时，一般采用冷成形制造工艺。当使用成形后不需淬火、回火处理的材料制造弹簧时，其制作流程为： 1．圆柱螺旋压簧的加工方法 1.1缠制弹簧前首先看懂《制簧工艺卡片》 1.2选择缠簧芯轴，选择控制节距的齿轮达配，选择弹簧旋向，进行 卷簧加工，检查卷制弹簧的半成品尺寸。 1.3按弹簧的总圈数切断，并对钢丝端头切尾、去毛刺。 1.4对弹簧端部进行加工：用电热并头器对弹簧并头、在砂轮机上磨 削端面 1.5对弹簧半成品进行校正 1.6按《热处理工艺卡片》进行热处理 1.7进行强压（或短压）处理 1.8检查强压（或短压）后的尺寸，对弹簧成品进行校正，校正后进 行去应力退火，短压，自检。 1.9检验
1.10 表面防腐处理 1.11 包装 2. 圆柱螺旋拉簧的加工方法 2.1缠制弹簧前首先看懂《制簧工艺卡片》 2.2选择缠簧芯轴，选择控制节距的齿轮达配,(如手工缠制，则应选择合理的自缠辅具)，选择弹簧旋向,进行卷簧加工，检查缠制弹簧的半成品尺寸。 2.3按《热处理工艺卡片》进行去应力退火处理 2.4按弹簧的半成品总圈数切断（或割断） 2.5对弹簧端部进行加工：端部拉直，钩环制作 2.6对弹簧半成品进行校正：钩环位置，钩环相对角度 2.7按《热处理工艺卡片》进行去应力退火处理 2.8进行长拉（或短拉）处理 2.9检查长拉（或短拉）后的尺寸，根据所加工弹簧的《制簧工艺卡片》上的技术要求，对弹簧成品进行校正，校正后进行去应力回火，短拉，自检。 2.10 切尾，去毛刺 2.11检验 2.12 表面防腐处理 3. 圆柱螺旋扭簧的加工方法 3.1缠制弹簧前首先看懂《制簧工艺卡片》 3.2选择缠簧芯轴，选择控制节距的齿轮达配,(如手工缠制，则应选
拉伸弹簧规格介绍
工作中经常要用到弹簧，如何设计计算弹簧力的大小呢?一定是很多网友想知道的!那么今天我就把这个分享给大家 1.压力弹簧 压力弹簧的设计数据，除弹簧尺寸外，更需要计算出最大负荷及变位尺寸的负荷; 弹簧常数:以k表示，当弹簧被压缩时，每增加1mm距离的负荷(kgf/mm); 弹簧常数公式(单位:kgf/mm):K=(G×d4)/(8×Dm3×Nc) G=线材的钢性模数:琴钢丝G=8000;不锈钢丝G=7300;磷青铜线G=4500;黄铜线G=3500d=线径 Do=OD=外径 Di=ID=内径 Dm=MD=中径=Do-dN=总圈数 Nc=有效圈数=N-2 弹簧常数计算范例:线径=2.0mm,外径=22mm,总圈数=5.5圈,钢丝材质=琴钢丝 K=(G×d4)/(8×Dm3×Nc)=(8000×24)/(8×203×3.5)=0.571kgf/mm2.拉力弹簧 拉力弹簧的k值与压力弹簧的计算公式相同。 拉力弹簧的初张力:初张力等于适足拉开互相紧贴的弹簧并圈所需的力，初张力在弹簧卷制成形后发生。拉力弹簧在制作时，因钢丝材质、线径、弹簧指数、静电、润滑油脂、热处理、电镀等不同，使得每个拉力弹簧初始拉力产生不平均的现象。所以安装各规格的拉力弹簧时，应预拉至各并圈之间稍为分开一些间距所需的力称为初张力。 初张力=P-(k×F1)=最大负荷-(弹簧常数×拉伸长度) 3.扭力弹簧 弹簧常数:以k表示,当弹簧被扭转时，每增加1°扭转角的负荷(kgf/mm). 弹簧常数公式(单位:kgf/mm):K=(E×d4)/(1167×Dm×p×N×R)
E=线材之钢性模数:琴钢丝E=21000,不锈钢丝E=19400,磷青铜线E=11200,黄铜线E=11200d=线径 Do=OD=外径 Di=ID=内径 Dm=MD=中径=Do-dN=总圈数 R=负荷作用的力臂 p=3.1416 扬州双盈弹簧厂位于江苏扬州市维扬区，主营碟形弹簧、碟簧、不锈钢碟形弹簧、不锈钢碟簧、蛇形弹簧、平面蜗卷弹簧、截锥蜗卷弹簧、弹簧支吊架、滚针、输送带等。公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。欢迎惠顾！
变压吸附制氢工艺
工艺技术说明 1、吸附制氢装置工艺技术说明 1）工艺原理 吸附是指：当两种相态不同的物质接触时，其中密度较低物质的分子在密度较高的物质表面被富集的现象和过程。具有吸附作用的物质（一般为密度相对较大的多孔固体）被称为吸附剂，被吸附的物质（一般为密度相对较小的气体或液体）称为吸附质。吸附按其性质的不同可分为四大类，即：化学吸附、活性吸附、毛细管凝缩和物理吸附。变压吸附（PSA）气体分离装置中的吸附主要为物理吸附。 物理吸附是指依靠吸附剂与吸附质分子间的分子力（包括范德华力和电磁力）进行的吸附。其特点是：吸附过程中没有化学反应，吸附过程进行的极快，参与吸附的各相物质间的动态平衡在瞬间即可完成，并且这种吸附是完全可逆的。 变压吸附气体分离工艺过程之所以得以实现是由于吸附剂在这种物理吸附中所具有的两个基本性质：一是对不同组分的吸附能力不同，二是吸附质在吸附剂上的吸附容量随吸附质的分压上升而增加，随吸附温度的上升而下降。利用吸附剂的第一个性质，可实现对混合气体中某些组分的优先吸附而使其它组分得以提纯；利用吸附剂的第二个性质，可实现吸附剂在低温、高压下吸附而在高温、低压下解吸再生，从而构成吸附剂的吸附与再生循环，达到连续分离气体的目的。 吸附剂： 工业PSA-H2装置所选用的吸附剂都是具有较大比表面积的固体颗粒，主要有：活性氧化铝类、活性炭类、硅胶类和分子筛类吸附剂；另外还有针对某种组分选择性吸附而研制的特殊吸附材料，如CO专用吸附剂和碳分子筛等。吸附剂最重要的物理特征包括孔容积、孔径分布、表面积和表面性质等。不同的吸附剂由于有不同的孔隙大小分布、不同的比表面积和不同的表面性质，因而对混合气体中的各组分具有不同的吸附能力和吸附容量。 吸附剂对各种气体的吸附性能主要是通过实验测定的吸附等温线和动态下的穿透曲线来评价的。优良的吸附性能和较大的吸附容量是实现吸附分离的基本条件。 同时，要在工业上实现有效的分离，还必须考虑吸附剂对各组分的分离系数应尽可能大。所谓分离系数是指：在达到吸附平衡时，（弱吸附组分在吸附床死空间中残余