MEMS传感器在航空综合电子备份仪表中的应用

MEMS传感器在航空综合电子备份仪表中的应用

宫经宽;刘樾

【期刊名称】《航空精密制造技术》

【年(卷),期】2009(045)006

【摘要】概述微机电传感器的技术现状和在IESI中的应用.通过国外典型IESI 产品,着重分析了IESI的组成原理、性能特点和微机电传感器的作用.研究表明:包括高精度微机电惯性敏感器、微硅压力计在内的微型传感器开发是IESI的技术关键,国产化IESI设备在军/民用飞机中有广泛的应用前景.

【总页数】4页(45-47,62)

【关键词】微机电系统;航空综合电子备份仪表;惯性测量装置

【作者】宫经宽;刘樾

【作者单位】北京航空工程技术研究中心,北京,100076;北京航空精密机械研究所,北京,100076

【正文语种】中文

【中图分类】V241.4

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