2014121年产品选型手册
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应用行业
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半导体技术，纳米压印刷 光盘测试，掩模与晶圆对准 物镜精密定位，光刻
纳米定位台 压电致动器
显微 成像
高分辨率显微镜 压电Z 向样品台
压电物镜扫描器
生物工程 流式细胞仪 细胞分选
电生理/膜片钳/小区内计量 微平移台 直线促动器 微操作器 快速压电促动器
航天 图像处理 低温与真空环境
压电偏摆镜 压电扫描台 主动光学
纳米技术 纳米制造 纳米自动化
管型促动器 盘型促动器 弯片促动器 压电元件
通信调节 通信对接 测量 多通道波导 压电偏摆镜 压电促动器
晶圆检查 纳米计量 精密加工
微型定位台 旋转定位台
光电子 通信 集成光学
压电弯片 定位用压电
促
动器
微型
PZT
促动
器
数据存储技术 读/写头测试 高动态纳米定位台 超快控制器
公司简介
INTRODUCTION
哈尔滨溶智纳芯科技有限公司专从事微动与宏动类产品的研发和制造，产品覆盖科研，教学、工业等众多领域。 公司技术力量雄厚，专业技术人员占人员总数的比例超过百分之九十，且拥有丰富的相关工作经验。
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雄厚技术，先进工艺，严格质检，及时售后，体现在您得到的任何一种产品上，把更多的时间还给您个人。
历史客户
清华大学 北京大学 中国科学院上海技术物理研究所
北京航空航天大学 北京理工大学 中国科学技术大学物理实验教学中心
清华大学深圳研究生院 天律大学 中科院物理与数学研究所CPT组
哈尔滨工业大学 哈尔滨工程大学 中国科学院微电子研究所
黑龙江大学 哈尔滨理工大学 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 哈尔滨商业大学 吉林大学 天律核工业理化工程研究院
长春理工大学 东北大学 北京物理所
沈阳理工大学 沈阳建筑大学 重庆绿色智能技术研究院
沈阳电子大学 南京航空航天大学 河南洛阳xxx部队
合肥工业大学 华中科技大学 北斗导航科技有限公司
重庆大学合肥工业大成都电子所
山西大学 燕山大学 四川材料与工艺研究所
浙江大学 苏州大学 中国电科第44所
浙江师范大学职业技术学院上海大学力学系长春亮丽光电
安徽大学 上海电力大学 黑龙江省机械科学研究院
武汉理工大学 电子科技大学 安徽量子通信技术有限公司
长沙国防科技大学 西安交通大学 江西微远仪器设备有限公司
西安工业大学 国防科学技术大学 北京青云航空仪表有限公司
国防科学技术大学光电科学与工程学院 香港理工大学 桂林思越光电技术有限公司
安徽科技学院 中南大学 山东易创电子有限公司
中国计量科学研究院 北京邮电大学 天律必利优科技有限公司
首都师范大学 中国矿业大学 江油先进机电设备有限公司
上海交通大学 上海同济大学 苏州瀚川机电有限公司
南京师范大学 南京信息工程大学 上海麦田富润科技有限公司
南京大学 嘉兴学院 无锡恩译科技有限公司
厦门大学 华南理工大学 南京安正软件公司
五邑大学华中科技大学 苏州翰川机电有限公司
广西南宁科学院 重庆大学 高怡達科技（深圳）有限公司
北京工业大学 中国计量科学研究院 深圳市百纳影像科技有限公司
中国矿业大学(北京) 北京交通大学光电所 广东福地新视野光电技术有限公司
北京物理所 北京交能大学 美时医疗有限公司
南京信息工程大学 安徽工业大学 志邦科技
山东大学 华南理工大学 南昌兴鑫电子有限公司
天律南开大学 清华大学精仪系 北京赛凡光电仪器有限公司
香港理工大学 华中师范大学 江西鑫源仪测科技有限公司
吉林大学机械学院 浙江工业大学 福州顺时代电子有限公司
中国电科54研究所 深圳大学 北京宝瑞光电科技有限公司
哈尔滨工业大学机械设计系 哈工大机电院 深圳大学反光材料厂
哈尔滨工程大学机电工程学院 北京理工大学信息学院 中国船舶工业工程研究院
哈尔滨工程大学核科学与技术学院 西安工业大学 中科院沈阳自动化所
目录
Contents Ｐ系列——压电陶瓷
A系列——封装压电陶瓷
B系列——纳米级定位平台
C系列——纳米级摆角台
H系列——压电陶瓷驱动电源
Ｅ系列——压电陶瓷闭环控制器M系列——高精度ＬＶＤＴ测位仪 D系列——压电陶瓷步进位移台
L系列——电机控制器
R系列——高精度转台
Z系列——电动位移台K系列——电动组合台
压电陶瓷制动器的结构
压电陶瓷，一种能够将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料，属于无机非金属材料。压电陶瓷利用其材料在机械应力作用下，引起内部正负电荷中心相对位移而发生极化，导致材料两端表面出现符号相反的束缚电荷即压电效应而制作，具有敏感的特性，常用的压电陶瓷有钛酸钡系、锆钛酸铅二元系及在二元系中添加第三种ABO3(A表示二价金属离子，B表示四价金属离子或几种离子总和为正四价）型化合物，如：Pb(Mn1/3Nb2/3）O3和Pb(Co1/3Nb2/3）O3等组成的三元系。如果在三元系统上再加入第四种或更多的化合物，可组成四元系或多元系压电陶瓷。此外，还有一种偏铌酸盐系压电陶瓷，如偏铌酸钾钠（Na0.5·K0.5·NbO3）和偏铌酸锶钡（Ba x·Sr1-x·Nb2O5）等；
z压电陶瓷正压电效应：
某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。
z压电陶瓷逆压电效应：
当作用力的方向改变时，电荷的极性也随之改变。相反，当在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应，或称为电致伸缩现
象。
z叠堆型压电陶瓷：
将压电陶瓷片共烧到一起，机械结构串连，电路结构并连，从而得到大位移输出的压电陶瓷叠；叠堆型压电陶瓷见下图
叠堆型压电陶瓷由正电极层，负电极层，正负电极绝缘层，电压正
极供给总线和电压负极供给总线，上绝缘层(工作面)，下绝缘层(工作面，
电压正负引出线，外表绝缘层等几部分组成；电压正负极由银镀在陶瓷
的内部和两侧表面，将压电陶瓷各片的电极用金属铜等其它软质导电体
连接在一起，并引出外线，外线用于连接电压驱动器；
z环形叠堆型压电陶瓷：环形叠堆型压电陶瓷与叠堆型压电陶瓷结构相同，只是陶瓷中间开有圆孔，用于特殊应用见下图
叠层型压电陶瓷输出位移如下：
ΔL= d33 nU
d33：单片陶瓷片的应变系数(m/V)
n：压电陶瓷片个数
U：驱动电压(V)
Piezomechanik(PZ) Physik Instrumente(PI) z压电陶瓷双晶片：压电陶瓷双晶片是由两片相同的沿厚度方向极化的压电陶瓷片粘接而成，将致动器一端固定，构成是臂梁结构，沿Z方向施加电场，压电陶瓷双晶片一片收缩，另一片伸长，变形方向可以通过改变正负极连线来控制，压电陶瓷双晶片自由端便可以发生弯曲变形；
右图是压电陶双晶片并联控制方式和串联控制方式
ΔL=1/2d31U(L/d)2
d31：应变耦合系数(m/V)
L：陶瓷管长度(m)
压电陶瓷特性
压电陶瓷的迟滞特性
同一压电陶瓷的升压和降压位移曲线之间不同,并存在位移差称为迟滞特性，如下图所示
压电陶瓷的非线性
压电陶瓷的输入电压与输出位移不是正比关系，叠层型压电陶瓷相同递增电压，在压电陶瓷不同的驱动段内输出的位移也不相同，在压电陶上安装反馈信号进行电压调整，可以减小压电陶瓷的迟滞和非线性，如下图
压电陶瓷的开环曲线
压电陶瓷的闭环曲线
压电陶瓷的蠕变特性
压电陶瓷在一定的驱动电压下，压电
陶瓷的位移达到一定位移量后，随时间变化在一段时间后才能达到稳定值，如右图所示
压电陶瓷选型和使用方法及应用
压电陶瓷材料刚度:
压电陶瓷由于料材和烧制结构不同，使压电陶瓷的对外拉力和压力不同，以多层共烧叠堆压电陶瓷为例，陶瓷受到中心轴向拉力和侧向力都很小，而中心轴所受压力很大，压电陶瓷的拉伸强度和剪切应力都很低，在5到10 MPa的范围内。在使用压电陶瓷时如有较大拉力和侧向力，要对压电陶瓷实行保护措施，否则会损坏压电陶瓷，
拉力损坏压电陶瓷侧向力损坏压电陶瓷压力的正确使用压电陶瓷压电陶瓷的刚度是一个重要的参数，计算力的产生，谐振频率。压电陶瓷叠堆执行器的特点是的高达几百牛顿的刚度值，压电陶瓷的材料刚度算计如下：
k AStack=E* A/Ｌ
E=σ/ε
K AStack:压电陶瓷材料刚度；
E:弹性模量
Ａ:压电陶瓷的横截面（mm）
Ｌ: 压电陶瓷的长度（m）
σ:在弹性变形范围内的应力（MPa）
ε:在应力作用下产生的应变，即相对变形量（Δl/l。），无量纲。
压电陶瓷的材料刚度表征压电陶瓷在受外力的作用下，产生压缩量，在应用中使压电陶瓷的零点位置发生变化；在压电陶瓷的选型手册中都以给出压电陶瓷的材料刚度.
压电陶瓷在电场力作用下的刚度:
压电陶瓷在电场力的作用下产生位移输出，压电陶瓷的输出力和位移成反比关系，
右图是压电陶瓷在电场力作用下的输出力和输出位移关系图，横轴为压
压电陶瓷的输出力，纵轴为压电陶瓷输出的位移，压电陶瓷在不同驱电压
时都有力与位移的对应关系，
k A =F max/?L0
k A:压电陶瓷在电场力作用下的刚度
F max:压电陶瓷在电场力作用下输出的最大力
?L0:压电陶瓷在电场力作用下输出的最大位移
在选用压电陶瓷先确定压电陶瓷要驱动的负载然后按上图确定压电陶瓷的
输出力,和输出位移，以免造成驱动压电陶瓷的输出力和位移不够。
压电陶瓷在电场力作用下驱动负载力不变的应用:
压电陶瓷在无变化负载力(Ｆ)的作用下，产生了压电陶瓷的材料变形量
， 所以压电陶瓷的零点位置发生变化，压电陶瓷的电压，压电陶瓷的位移量输
不变，输出力和负载的关系如右图，公式如下：
?L n≈Ｆv/k A
Ｆ=m·g
?L n:压电陶瓷在受重力的作用下零点偏移量
k A:压电陶瓷的材料刚度
Ｆ:压电陶瓷所受的重力 (Ｎ)
m:负载质量(Ｋg)
g:重力加速度(m/s )
压电陶瓷在受重力(或不变负载)时，压电陶瓷产生零点偏移量，
这由压电陶瓷的材料刚度和压电陶瓷所受的不变负载有关，压电陶
瓷在驱动定负载时，定负载不能超过压电陶瓷所承受的最大力，如果超过会将压电陶瓷损坏，
压电陶瓷的零点偏移量和负载力平衡,压电陶瓷输出位移没有变化，只是零点向下，压电陶瓷的位移输出量不变 压电陶瓷在电场力作用下无预紧力，低刚度负载的应用:
压电陶瓷在无预紧力和低刚度负载时压电陶瓷的压电材料变形量
无变化，所以压电陶瓷的零点位置没有发生变化，压电陶瓷的电压，
输出位移,输出力和负载的关系如右图，公式如下：
?L≈?L0 (k A/k A + k L)
?L R≈?L0 (１- k A/k A + k L)
Ｆeff≈ k A (k A/k A + k L)
Ｆamx-eff≈ k A (1-k A/k A + k L){}
?L0: 空载压电陶瓷在Ｖ0(电场力)驱动下输出最大位移(Ｆamx＝０)
Ｆamx: 空载压电陶瓷在Ｖ0(电场力)驱动下输出最大力(?L0＝０)
Ｆamx-eff : 空载压电陶瓷在Ｖ0(电场力)驱动负载所损耗的输出力
?L: 压电陶瓷在Ｖ0 (电场力)驱动下加负载k L后的输出位移量
Ｆeff: 压电陶瓷在Ｖ0(电场力)驱动下加负载k L作用下输出的力
?L R 空载压电陶瓷在Ｖ0(电场力)驱动负载所损耗的输位移
k A: 压电陶瓷在电场力作用下的刚度
k L:低负载刚度(弹簧钢度)
?l:位移量坐标
F: 力坐标
Ｖ0:电压陶瓷的最大驱动电压(产生最大的电场力)
A: 空载压电陶瓷升压和降压的位移输出曲线
B: 加载k L后压电陶瓷升压和降压的位移输出曲线
压电陶瓷在电场力作用下有预紧力并加刚度
负载的应用:
压电陶瓷在有预紧力和刚度负载时压电陶瓷的压电材料发生零 点位移变，输出力和负载的关系如右图，公式如下
?L n
≈ＦV/ k A
ＦV: 压电陶瓷的预紧力，
?L n:压电陶瓷在受重力的作用下零点偏移量
在有预紧力和刚度负载时压电陶瓷所输出的位称量和输出力 发生了零点位移变低，输出位移变小，其它计算不变
2
压电陶瓷动态应用
快速响应是一个压电致动器的特征, 压电陶瓷驱动电源快速的驱动电压变化驱动压电陶瓷的快速位置变化,这个特点在扫描显微 镜，图像稳定，阀控制，产生冲击波，或主动阻尼应用；
上面压电陶瓷在保证公称位移输出量的最大响应速度是在大约三分之一压电陶瓷谐振频率时，些时压电陶瓷产生阻尼振动可以通 过智能控制技术或位置伺服控制加以减小；例如：一个10 kHz 谐振频率的压电陶瓷在约30微秒之内达到其标称位移(需要输出足够电流和驱动电压)
压电陶瓷在动态应用中，压电陶瓷质量与负载质量的关系：
压电陶瓷轴向振动频率输出时，压电陶瓷需要具有预紧力，压电瓷底部固定，顶部承载预紧力或负载，在振动时给压电陶瓷的附加载荷可以用以下公式估算：
在定位应用，压电陶瓷输出频率大大低于谐振频率,保持控制信号和位移之间的相移是必要的，一个压电系统的相位响应可以由如下公式计算：
压电陶瓷的动态输出力:
压电陶瓷匹配的驱动电路，压电致动器可以生成几个1万米/秒的高加速度。由于可能的耦合质量以及执行器本身的惯性，动态拉力发生必须得到补偿的机械预紧力
例如：1kHz 的输出动力，2μm 位移（峰值）和1公斤的质量大约是±40N。
压电陶瓷的电容量
电气性能在工作频率低于谐振频率时，压电陶瓷的电气性能像一个电容器。压电陶瓷的位移输出和电荷成比例。 压电陶瓷的电容量的大小取决于压电陶瓷的体积及材料特性。叠堆压电陶瓷是由很多陶瓷层电级并联，电容也取决于层的数目。 压电陶瓷有漏电流损失在μA 以下的范围内压电陶瓷是呈现高内阻:
T min : 压电陶瓷的响应速度[s] f 0 : 压电陶瓷的谐振频率[Hz]
m :的压电致动器的质量[kg] f 0 : 压电陶瓷的谐振频率[Hz]
f 0':压电陶瓷驱动负载输出谐振频率负载[Hz]
m eff :压电陶瓷的三分之一质量[kg]
m eff'压电陶瓷的三分之一质量加上负载质量[kg]
f :控制频率[Hz ]
φ:相位角[度]
f 0 : 压电陶瓷的谐振频率[Hz]
F dyn ：压电陶瓷的动态输出力[N] m eff :压电陶瓷的三分之一质量[kg] F :控制频率[Hz ] ΔL :位移量（峰峰值）[m ]
上图是叠堆压电陶瓷在1kHz 的单极性正弦信号测量电容量相对变化。电容量随工作电压和温度升高而增大。小信号的电容C 的堆栈致动器可以被估计为一个电容器：
如果叠堆压电陶瓷去除上下绝缘片，陶瓷的总长度：N ≈
L / HL ：公式可变为如下：
定位操作，低静态和动态
当通电时，存储在一个压电致动器的能量 周围，在电荷每变化与电荷传输，需要以下电流I：
缓慢的位置的变化，只需要一个较低电流。保持这个较低电流，即使在非常高的负载的情况下。 能耗相对较低。即使突然断开电源，压电陶瓷位置回零不断慢慢的发生。
位置控制操作
在闭环操作下，最大安全操作的频率由相位和振幅响应以及较高的机械系统的谐振频率所决定，同时反馈传感器的带宽和性能（数字或模拟，过滤器和控制器类型，带宽）也限制了定位系统的工作带宽。
C ：叠堆型压电陶瓷电容量[F]
n ：叠堆型压电陶瓷叠层的数目
εT 33 ：介电常数=ε33 /ε0 [As/Vm]
A ：压电陶瓷横截面积[ m ] l ：压电陶瓷的长度[m]
hL :叠堆型压电陶瓷每层的厚度[m] I :压电陶瓷的电流 [A] Q :电荷 [C, As] V :压电陶瓷驱动电压[V] t : 时间[s]
2
压电陶瓷动态功率消耗:
在动态应用中，压电陶瓷的功率消耗的增加取决于压电陶瓷的工作频率,幅值和电容量。而静态应用压电陶瓷功率消耗几乎很小，由于压电陶瓷的动态运行时像电容充电和放电，压电陶瓷产生功率损耗使压电陶瓷产生热量 ，压电陶瓷在正常动态应用中的峰值功率和压电陶瓷的损耗功率可以估算如下：
压电陶瓷执行器的小信号条件下，损耗因子在0.01到0.02。这意味着高达2%的电功率流过压电陶瓷转化为热。在大信号情况下的条件下，这可以提高到相当高的值。因此，最大工作频率也取决于允许的工作温度。在高频率和电压幅值，在高功率驱动压电陶瓷时，损耗因子可在0.25到0.3,冷却措施是必要的。对于这些应用，还要提供压电致动器集成温度传感器监测温度的陶瓷。
脉冲模式操作的压电陶瓷的输出位移可以最快在微秒范围内的响应和加速，所以放大器的小信号带宽是至关重要的。放大器的上升时间必须短于压电响应时间，放大器的带宽应该是两到三倍大于压电陶瓷谐振频率。
压电陶瓷位移反馈器件应变仪的粘贴实物图和原理图如下:
下图为粘贴后的实物图， 下图为应变仪的桥接原理图
P ：压电陶瓷的峰值有效功率[W] (压电陶
瓷脉冲输出所需功率)
P a ：平均值功率[W](压电陶瓷连续输出所需功率)
P１：压电陶瓷的损耗功率 [W]
tan δ：介质损耗因数
f ：控制频率[Hz]
C：电容量[F]
VPP：驱动电压（峰峰值）[V]
Ia：平均电流[A] (压电陶瓷连续动态驱动输出所需电流)
Imax：压电陶瓷驱动最大峰值有效电流[A](压电陶瓷脉冲输出所需电流)
f ：操作频率[HZ]
Fmax：最大工作频率[HZ] C：负载电容量[F]
t：冲电时间[s]
VPP：驱动电压（峰峰值）[V]
名称：叠堆型压电陶瓷
压电陶瓷的特点:
容性负载,驱动电压在０到１５０Ｖ 工作温度在-20℃~120℃,
如有特殊温度要求请与我们联系 输出位移小，输出力大 响应速度右在微秒级 驱动要求直流稳压电源
根据驱动的方式不同可输出直线位移， 也可以作为震荡源使用 主要应用:
微型机械制造、超精密加工 集成电路制造、生物工程 医疗科学
光学微处理系统，光纤对接 航空航天领域 扫描探针显微镜
叠堆型压电陶瓷选型表
德国Piezomechanik(PZ)叠堆型压电陶瓷选型表
■ pst 150系列0V ～+150V 的电压与位移曲线 Pst-HD 200系列 0V ～+150V 的电压与位移曲线 ■
pst 150系列－30 V ～+150V 的电压与位移曲线 Pst-HD 200系列－30 V ～+150的电压与位移曲线
名称：单片压电陶瓷微位移致动器
单片压电陶瓷的特点 多层共烧一体 轴向响应频率大 d31和d33可靠运行
在力传感器/发电机中的广泛应用
小的驱动电压到50 V 可以驱动非常高负荷 温度范围：－273°C ～ + 130°C 表面绝缘：镀银电极，表面无涂层 PZT 陶瓷材料常数
d31： -240 picometer(皮米)/Volt(伏) d33 ：+580 picometer(皮米)/Volt(伏) 电介质常数ε：1900 居里温度:250°C 密度: 7.5 g/cm3
弹性顺度s 33: 20x10-12 m2/N
单片压电陶瓷微位移致动器选型表
产
工施加可以硬盘
产品特点 体积小 响应速度 精度高： 寿命长： 可靠性高 工作电压 用橡胶夹工作原理 该产品是加电场，压电以发生弯曲变具体用途 低负载(盘的磁头控制 度快：一般响（微米级）1000万次以高 压较低：40V 夹具固定到振是由两片相同电陶瓷双晶片变形。 (一般从几克制、激光陀螺 备注响应时间在小 以上 -200V 振动台上，经同的沿厚度方片一片收缩，到几十克)、螺等。
: 除上述规名称：小于10ms 经10-55-10H 方向极化的压另一片伸长大位移（可 压电规格外，我压电陶瓷z 扫频振动，压电陶瓷片粘长，变形方向可达几mm）如陶瓷双晶公司也可以瓷双晶片
持续1minu 粘接而成，将可以通过改变如：选针器、片选型册以根据客户ute,振动幅度致动器一端固变正负极连线盲人阅读器册 要求定制
度0.35mm。试固定，构成悬线来控制，压器、压电泵、试验后无机械悬臂梁结构，压电陶瓷片非电子锁、摄械损伤。 沿Z 方向非固定端便像机快门、
名称：光纤拉伸-压电陶瓷
环形压电陶瓷的特点 多层共烧一体 轴向响应频率大 d31和d33可靠运行
在力传感器/发电机中的广泛应用
小的驱动电压到50 V 可以驱动非常高负荷 温度范围：－273°C ～ + 130°C 表面绝缘：镀银电极，表面无涂层 PZT 陶瓷材料常数
d31： -240 picometer(皮米)/Volt(伏) d33 ：+580 picometer(皮米)/Volt(伏) 电介质常数ε：1900 居里温度:250°C 密度: 7.5 g/cm3
弹性顺度s 33: 20x10-12 m2/N
单片压电陶瓷微位移致动器选型表
名称：简易封装压电陶瓷
简易封装压电陶瓷的特点
多层共烧一体
轴向响应频率大 Array d31和d33可靠运行
在力传感器/发电机中的广泛应用
小的驱动电压到50 V可以驱动非常高负荷
温度范围：－273°C ～ + 130°C
表面绝缘：镀银电极，表面无涂层
PZT陶瓷材料常数
d31： -240 picometer(皮米)/Volt(伏)
d33 ：+580 picometer(皮米)/Volt(伏)
电介质常数ε：1900
居里温度:250°C
密度: 7.5 g/cm3
弹性顺度s33: 20x10-12 m2/N
简易封装压电陶瓷选型表
压电陶瓷选型方法请参考封装开/闭环压电陶瓷致动器结构资料/驱动电源型号：ＲＨ１１;闭环控制器型号：ＲＥ５３
产品选型样本Selection
HA多弹簧薄膜式执行机构 HA多弹簧薄膜执行机构,把气动调节仪表的输出压力转变成推杆位移的变化。它与调节阀的阀体部分相连接，就可把阀芯移到与输入信号相对应的位置。 该执行机构采用多弹簧式薄膜执行机构,结构紧凑,输出力大。 技术参数和性能 型号： 正作用：HA1D、HA2D、HA3D、HA4D 反作用：HA1R、HA2R、HA3R、HA4R 零件材料： 膜盖：碳钢 膜片：乙丙橡胶夹尼龙 推杆：不锈钢 支架：ZG230-450 弹簧范围：0.02～0.10、0.08～0.24Mpa 供气压力：0.14～0.40Mpa 气源接头：Rc1/4和NPT1/4 环境温度：-300C～+700C 附件：定位器，手轮机构等 性能：见表1 表 1 项目带定 位 器不带定位器 回差1% HA1 5% HA2～4 3% 线性 HA1 ±2% HA2～4（带HEP）±1% ±5% 备注：如执行机构不带定位器，性能可随使用填料不同而变化。
外形尺寸和重量(见表2、3、4和图1～3) 表2 外形尺寸（mm ） 执行机构 行程 （mm ） L H φd t C φB K 薄膜 面积 （cm 2） 气室 容积 （cm 3） 重量 （kg ） 119 14.3 （105） 120 HA1D HA1R 25 （95） 260 56 22 230 218 160 850 8 14.3 16 123(103) 25 123(95) 334 56 22 1100 15 HA2D HA2R 38 123(106) 354 65 26 281 267 310 1500 16 14.3 16 144(123) 25 144(113) M 12×1.25 38 40 144(102) 407 65 26 2800 31 HA3D HA3R 50 196(139) 459 80 30 363 350 550 3400 32 38 40 215(172) 50 227(172) 60 237(172) HA4D HA4R 75 252(172) 612 90 35 520 470 M 18×1.5 950 10000 68 备注：尺寸L 是供气压力为零，括号内数字是反作用执行 机构的值。 图1 HA 执行机构
产品选型手册
产品选型手册●本手册汇编设备保护仪表用传感器、 调理器、通用传感器调理器。 主要涉及汽机保护（TSI）、 水机保护（HSI） 电机保护（ESI） 共几十个品种、数百个型号。 ●新技术、 以及开发工作的进行 使传感器不断升级换代， 数百个型号的产品中总有一款让您满意。 ●解决用户的需要是瑞慈公司的追求， 您可以按我们的手册选型， ●
您也可配瑞慈公司的仪表。 只用一个电话，我们就可免费为您提供配套 仪表资料。 ●由于继续研究和生产的发展， 瑞慈公司保留在没有通知的 情况下修改本手册的权力。 目录 电涡流位移传感器.............................. 错误!未定义书签。 综述 (3) 电涡流传感器工作原理及特性 (5) RC系列电涡流传感器特点 (6) (8) 汽机保护传感器 (9) RC2100系列传感器(大位移、胀差、壳体膨胀) (9) RC2200系列传感器(振动、位移)..................... 错误!未定义书签。 RC2100、2200系列电涡流传感器选型指南 (14) RC2600系列水机保护(HSI)传感器 (28)
RC系列隔离信号调理器 (42) RC9210隔离位移信号调理器 (43) RC9220隔离轴振信号调理器 (46) RC系列速度、加速度传感器 (49) RC6110振动速度传感器 (49) RC6605/50加速度传感器 (53) RC8200磁电式转速传感器 (56) 校准设备 (58) RC21310静态位移校准器 (58) RC21320动态校准仪 (58) 订货一般准则： (60) 质量承诺: (61) 电涡流位移传感器 综述 轴振监测首选电涡流位移传感器 机器振动监测设备伴随着机器的出现而诞生。五十年代后期、六十年代初期的透平机振动监测装置(TSI)，通常是用安装在壳体或轴承座上的速度传感器和加速度传感器。随着大机组的出现，透平机轴承座和基础结构的刚度远大于轴承油膜的刚度,轴振动与轴承座振动的比值很大（20:1或更大）,从壳体（轴承座）
2014121年产品选型手册
产品目录 PRODUCTS CATALOG
应用行业 应用图片 应用行业 解决方案 产品应用 半导体技术，纳米压印刷 光盘测试，掩模与晶圆对准 物镜精密定位，光刻 纳米定位台 压电致动器 显微 成像 高分辨率显微镜 压电Z 向样品台 压电物镜扫描器 生物工程 流式细胞仪 细胞分选 电生理/膜片钳/小区内计量 微平移台 直线促动器 微操作器 快速压电促动器 航天 图像处理 低温与真空环境 压电偏摆镜 压电扫描台 主动光学 纳米技术 纳米制造 纳米自动化 管型促动器 盘型促动器 弯片促动器 压电元件 通信调节 通信对接 测量 多通道波导 压电偏摆镜 压电促动器 晶圆检查 纳米计量 精密加工 微型定位台 旋转定位台 光电子 通信 集成光学 压电弯片 定位用压电 促 动器 微型 PZT 促动 器 数据存储技术 读/写头测试 高动态纳米定位台 超快控制器
公司简介 INTRODUCTION 哈尔滨溶智纳芯科技有限公司专从事微动与宏动类产品的研发和制造，产品覆盖科研，教学、工业等众多领域。 公司技术力量雄厚，专业技术人员占人员总数的比例超过百分之九十，且拥有丰富的相关工作经验。 公司制造工艺先进，专业技师加数控设备保证每一个零件的精度，互换性强，特殊表面外理工艺使你的产品美观耐用，赏心悦目。 公司质量管理严格，所有产品从研发到装调，每一个环节都纳入系统的管理，专业检测手段保证每一个产品完全做到质量要求。 公司售后服务完善，灵活机动的处理方式，使您的问题在第一时间得到解决，无后顾之忧。 雄厚技术，先进工艺，严格质检，及时售后，体现在您得到的任何一种产品上，把更多的时间还给您个人。
热电偶热电阻产品选型样本详解
产品选型样本 温度仪表 一、热电偶 1、WR□□－□□□系列装配式热电偶 工业用装配式热电偶是一种常用温度传感器，通常 与温度变送器、调节器及显示仪表等配套使用,组成过程 控制系统。可以直接测量各种生产过程中液体、蒸汽和 气体介质及固体表面温度。 □型号构成表 型号举例：WRK2－230表示感温元件为镍铬－镍硅、双支、固定螺纹、保护管直径为Ф16mm 金属管（不作特殊标注为1Cr18Ni9Ti）的装配式热电偶。
□主要技术指标│ ◎热响应时间 在温度出现阶跃变化时，热电偶的输出变化至相当于该阶跃变化的50%所需要的时间，称为热响应时间。用t0.5表示。
◎公称压力 一般是指在工作温度下，保护管所能承受的静态外压而不破裂。实际上，容许工作压力不仅与保护管材料、直径、壁厚有关，而且还与其结构、安装方法、置入深度以及被测介质的流速和种类有关。 ◎热电偶最小插入深度 对陶瓷保护管而言，应不小于其保护管直径的8～10倍；对金属及合金保护管，应大于其保护管直径的10倍以上 ◎绝缘电阻 常温绝缘电阻的试验电压为直流500±50V，测量常温绝缘电阻的大气条件为：温度15～35℃，相对湿度45%，大气压力86～106KPa。热电偶在该条件下放置时间不小于2小时。 a．对于长度超过1米的热电偶，它的常温绝缘电阻值与其长度的乘积应不小于100MW·m。 即：Rr·L ≥100MW·m L ≥1m 式中：Rr-热电偶的常温绝缘电阻值，MW L -热电偶的长度，m b．对于长度等于或不足1m的热电偶，它的常温绝缘电阻值应不小于100MW。 ◎接线盒结构（统一设计型） ◎外形尺寸
温度产品选型手册_图文.
产品概述 温度传感器的种类很多,我们主要介绍两大类:热电阻:Pt100、 Pt1000、 Cu50、Cu100;热电偶:B 、 E 、 J 、 K 、 S 等。温度传感器种类繁多,而且结构形式多样 , 应根据不同的应用场所选用合适的产品。 测温原理:根据电阻阻值、热电偶的电势随温度不同发生有规律的变化的原理,我们可以得到所需测量的温度值。 (一热电阻产品简介 根据 IEC751规定,工业铂电阻分为 A 、 B 两个等级,各生产商又将其内控为 1/3B、 A 、 B 等。 ?对于 Pt100温度传感器来说,一般正温测量准确度优于负温。 ? Pt100温度传感器具有多个测温范围,并不是任何一种都可以测量很低或很高的温度,测温范围以实际订购产品为准。?除 Pt100外,还有 Pt10、 Pt500、 Pt1000。 Cu50、 Cu100温度传感器测温范围:(-50~150℃允差偏差: ±(0.30+0.006|t|℃热电阻接线方式:1、两线制、 2三线制、 3、四线制
(二热电偶产品简介 1、热电偶材料按分度号分为 B 、 R 、 S 、 N 、 K 、 E 、 J 、 T 、 WRe3- Wre25、 Wre5- Wre26等 10个标准形式,此外还有一些非标丝材可供选择。不同分度号的热电偶测温范围、优缺点也不相同,根据需要选择合适分度号的测温产品。标准化热电偶的主要性能列表如下:
温度变送器是将热电阻或热偶信号通过先进的线性处理电路,输出一个标准电压或电流信号。常用输出信号有以下几种:电流信号:(4~20mA 电压信 号:(0~5VDC 、 (0~10VDC 附常用热电阻、热电偶温度对照表
Baumer产品选型手册
堡盟工业相机全面的产品组合
堡盟产品组合 ■ 紧凑型工业相机，分辨率从VGA 直至800万像素■ Gigabit 千兆以太网、FireWire TM 和 CameraLink ? 接口 ■ 创新技术改进，例如以太网供电、Dual GigE 、 IP67相机、多I/O 等 堡盟是创新型图像处理组件的全球领先制造商之一，提供广泛的适合各种应用的高品质工业相机。我们的核心能力涉及传感器集成、信号处理、接口和驱动程序等所有视觉应用领域，确保将相机集成在相应的视觉系统中。产品组合包括CCD 和CMOS 相机，分辨率从VGA 到800万像素不等。数字相机采用各种标准接口，例如：Gigabit 千兆以太网、CameraLink ? 和 FireWire TM . ■ 分辨率从VGA 直至500万像素 ■ 坚固型工业设计（尺寸：36 x 36 x 48 mm ）■ 宽范围供电设计：8-30 VDC 堡盟工业相机 技术不断创新，集成更加简单 采用CCD 传感器的紧凑型GigE 相机 在TXG 系列中，堡盟提供广泛的采用强大的CCD 传感器的GigE Vision ?相机。其它功能，诸如多点传送、触发延迟、计时器、防回跳器和序列发生器，也更能优化系统集成。 GigE Vision ? 相机 多 I/O 口GigE 相机 这类相机提供3个附加输入输出（I/O ），从而提高了视觉系统集成的灵活性。 T X G
以太网供电TXG 相机是满足GigE 网络应用要求的价格合理的单电缆解决方案。该款相机简化的机械设计，提高了可靠性， 同时降低了整个相机系统的安装和维护成本。 适于不同镜头的套管 由于相机的防护外壳上带有集成的C-Mount 接头，因此无论是相机的传感器及电子元件还是所有常见的标准镜头都可以得到安全保护。 ■ 通过同一根以太网电缆实现数据传输和供电■ 提供堡盟PoE 电源交换机、供电器和触发设备■ 降低了安装和维护成本 采用以太网供电（PoE ）和CCD 传感器的GigE 相机 ■ 同时为相机和镜头提供保护■ 防水防尘，适合恶劣的环境条件 ■ 多种套管长度，适用于不同的标准镜头 采用IP67外壳和CCD 传感器的GigE 相机 这款防护等级为IP67的相机是专为在恶劣及苛刻环境中的应用而开发的。根据该防护等级的要求，相机外壳具有防水和防尘性，能够保护相机的重要组件不受外部环境影响。 TXG IP 67 TXG PoE
产品选型手册
产品选型手册 ●本手册汇编设备保护仪表用传感器、 调理器、通用传感器调理器。 主要涉及汽机保护（TSI ）、 水机保护（HSI ） 电机保护（ESI ） 共几十个品种、数百个型号。 ●新技术、 新器件、新材料、新工艺引入， 以及开发工作的进行 使传感器不断升级换代， 数百个型号的产品中总有一款让您满意。 ●解决用户的需要是瑞慈公司的追求， 您可以按我们的手册选型， 也可以委托瑞慈公司合作开发新品。 ● 您也可配瑞慈公司的仪表。 仪表资料。 ●由于继续研究和生产的发展， 瑞慈公司保留在没有通知的
情况下修改本手册的权力。 目录 电涡流位移传感器 (3) 综述 (3) 电涡流传感器工作原理及特性 (4) RC系列电涡流传感器特点 (7) 传感器基本配置 (9) 汽机保护传感器 (10) RC2100系列传感器(大位移、胀差、壳体膨胀) (10) RC2200系列传感器(振动、位移) (12) RC2100、2200系列电涡流传感器选型指南 (13) RC2600系列水机保护(HSI)传感器 (20) RC系列隔离信号调理器 (31) RC9210隔离位移信号调理器 (31) RC9220隔离轴振信号调理器 (34) RC系列速度、加速度传感器 (36) RC6110振动速度传感器 (36) RC6605/50加速度传感器 (40) RC8200磁电式转速传感器 (42) 校准设备 (44) RC21310静态位移校准器 (44) RC21320动态校准仪 (44) 订货一般准则： (46)
质量承诺: (47) 电涡流位移传感器 综述 轴振监测首选电涡流位移传感器 机器振动监测设备伴随着机器的出现而诞生。五十年代后期、六十年代初期的透平 机振动监测装置(TSI)，通常是用安装在壳体或轴承座上的速度传感器和加速度传感器。 随着大机组的出现，透平机轴承座和基础结构的刚度远大于轴承油膜的刚度,轴振动与轴 承座振动的比值很大（20:1或更大）,从壳体（轴承座）获取机器振动信息效果很差,某 些故障(如叶片损坏引起的轴动不平衡)使轴振突变（它们使轴的总振动加剧并可能导致 危险）,可能只使轴承座发生很小的变化；而被错误的认为安全现象。 美国BNC公司针对上述原因发明了轴振测量传感器—非接触电涡流位移传感器。经 过近四十年的发展，透平机监测装置（TSI）,特别是大透平机无一例外的安装了电涡流 位移传感器用于测量轴振。这完全依赖于电涡流位移传感器在工业环境下,可持久、连续、 可靠工作的性能，使其成为TSI系统中永久安装、性能优越的传感器。 在国内TSI和压缩机保护仪表中，国外产品占领着大部分市场；用户大量使用美国 BNC公司7200、3300系列传感器、philips公司PR系列传感器、Schenck 公司SD系列 传感器、日本新川公司（SHINKAWA）VK系列传感器。中国TSI起步较晚，但近年来 国内产品取得了可喜发展，已经可以替代进口产品，市场也在不断扩大。 瑞慈公司推出走向国际化的新一代产品RC系列电涡流位移传感器。RC系列是由 国内最早从事电涡流传感器研究开发和产业化工作并有二十多年经验的专家开发成功
Silabs产品选型手册
PRODUCT SELECTOR GUIDE / 1 Silicon Labs选型指南
1 / PRODUCT SELECTOR GUIDE 成立于1993年，总部深圳，中国电子行业最优秀的半导体分销商 以帮助客户成功为最高服务宗旨，多次帮助客户实现产品创新，打破市场空白，占领市场先机 我们分销的产品全部来自欧美和日本的最具技术创新实力和拥有严苛品质管理的领先半导体原厂 我们同多家世界500强和行业龙头企业已合作多年，同时也是快速成长的新兴企业信任和选择的合作伙伴 提供新元件推荐、新技术导入、参考设计、应用咨询及方案等服务 工业自动化、变频、伺服、物联网、智能电网、可再生能源、智能四表、 安防、医疗、轨道交通、电动工具 基站/直放站、雷达、卫星通信、光纤传输、Wifi、路由器、光模块、交换机、数据通信、无线通信 智能手机、可穿戴设备、智能家居、智能家电、便携数码、个人保健 车身控制、底盘、仪表盘、车载娱乐、电动汽车系统、动力系统、安全系统、ADAS、TPMS 关于芯科实验室
PRODUCT SELECTOR GUIDE / 1 ? 2014, Silicon Laboratories Inc. ClockBuilder, CMEMS, DSPLL, EFM, EFM32, EFR, Energy Micro, Energy Micro logo and combinations thereof, “the world’s most energy friendly microcontrollers,”Ember, EZMac, EZRadio, EZRadioPRO, EZLink, ISOmodem, Precision32, ProSLIC, Silicon Laboratories and the Silicon Labs logo are trademarks or registered trademarks of Silicon Laboratories Inc. ARM Cortex-M0/M0+/M3/M4 and Keil are trademarks or registered trademarks of ARM Limited. ZigBee is a registered trademark of ZigBee Alliance Inc. All other product or service names are the property of their respective owners. For the most up to date information please see your sales representative or visit our website at https://www.wendangku.net/doc/4a1131144.html,. 3000 February 2014 Rev Z SEL-FUL 音频产品 (2) ? FM/AM 多通道音频接收芯片 ? D 类音频驱动芯片 时钟和振荡器 时钟发生器..............................................................................................3-4 ? 任意频率，任意输出CMOS 时钟 ? 微型CMOS 时钟 ? 任意频率,任意输出CMOS 时钟 ? 时钟发生器+压控振荡器 ? PCI.同步时钟发生器 ? 嵌入式英特尔X86时钟 ? EMI 消减时钟 时钟分配..................................................................................................4-5 ? 扇出缓冲器/电平转换器 ? 无延时缓冲器 ? PCI.Express.时钟缓冲器.(PCIe) 振荡器.....................................................................................................6-7 ? CMEMS ?振荡器 ? 晶体振荡器 ? 压控振荡器 ? 硅振荡器 ? 抖动衰减时钟 ? 同步以太网时钟 ? 时钟和数据恢复芯片 接口产品 ? 智能接口集成电路...........................................................................7-8 隔离产品 ? 多通道数字隔离器(1.kVrms)............................................................8-9 ? 多通道数字隔离器(2.5.kVrms).......................................................9-10 ? 多通道数字隔离器(3.75.kVrms)...................................................10-11 ? 多通道数字隔离器(5.kVrms)........................................................11-12 ? 双向数字隔离器.................................................................................12 ? 带电流传感的隔离器. ....................................................................12-13 ? 带驱动的隔离器............................................................................13-15 ? 带AC 电源的隔离器..........................................................................15 ? 以太网供电芯片 (15) 8位微控制器产品 ? 电容触摸感应MCU. ......................................................................15-17 ? 小封装MCU.................................................................................17-20 ? 汽车和工业MCU..........................................................................20-22 ? 模拟加强型MCU..........................................................................22-23 ? 低功耗MCU.................................................................................24-25 ? USB.MCU.....................................................................................25-26 ? 集成无线MCUs............................................................................26-27 32位微控制器产品 ? 小壁虎Coretex-M0+ZG 系列32位MCU. ........................................28 ? 小壁虎Coretex-M3.TG 系列32位MCU.....................................28-29 ? 小壁虎Coretex-M3.G 系列32位MCU.......................................29-30 ? 小壁虎Coretex-M3.LG 系列32位MCU.....................................30-32 ? 小壁虎Coretex-M3.GG 系列32位MCU....................................32-33 ? 小壁虎Coretex-M4.WG 系列32位MCU....................................33-35 ? 混合信号32位微控制器产品系列. .....................................................35 ? 精密32位低功耗系列MCU.........................................................35-36 ? 精密32位USB 系列.MCU. (36) 调制解调器 (36) ? 嵌入式调制解调芯片 ? 直接存取装置 光学传感器 (37) ? 红外接近传感器 ? 温湿度传感器 视频产品............................................................................................37-38 ? 数字电视解调器 ? 多制式数字电视解调器 ? 全制式电视信号接收器 语音产品............................................................................................38-39 ? 用户线PCM 数字接口电路芯片 ? 集成的串行数字接口电路芯片 ? 用户线模拟接口电路芯片 ? 语音编解码芯片 无线产品 (39) ? 支持Zigbee ?协议的Ember ?芯片 ? 全球通用频段射频芯片 ? 加强性能的全球通用频段射频芯片 模拟产品............................................................................................40-41 ? 低功耗定时器 ? 运算放大器 ? 电压参考源 ? 比较器 ? DC-DC 转换器 ? 电流检测放大器 ? 模拟数字转换器 软硬件支持 ..............................................................................................42轻松获取 (44) 目 录
MYPTS产品选型手册-2013rev01
M YPTS 选型手册2013 工业级温度 压力传感器放大运算驱动DCS或 PLC或 大功 率 定值/返 回值隔离工作模块 设备 12-220VDC/AC SWITCH 电子开关 12-220VDC/AC SWITCH 电子开关 LOAD
MYPTS 的专利产品—ME 系列无源型电子式压力和温度开关，这是一种全电子产品，独特的微功耗电路设计和集成技术，无需对开关（内部或外部）额外提供电源就能正常工作,而其自身的功耗在控制回路中的影响可以完全忽略不计，真正突破了传统开关仪表的理念和结构。 压力温度开关原理图 工作原理： 本产品使用标准工业级压力传感器或热电阻、热电偶（温度开关）作为测量元件，经高精度集成电路将测量结果放大、运算、温度补偿，并经过隔离后驱动输出，其中精密定值电路提供稳定的定值。采用独特的电源技术和测量电路，充分利用两线制原理和电流环的抗干扰能力实现开关量的控制。使得微电子式开关产品在动作的响应时间、可靠性和稳定性上都远超过其它形式的压力及温度开关。 相关技术参数 MYPTS 系列产品均通过相关技术的权威机构严格的测试和认证，完全符合下表中所有的技术指标和性能。
MYPTS 的所有产品从内部核心部件、传感器、辅助材料到外壳的设计和测试，均充分考虑各种严酷的现场工作环境，在出厂之前每只开关都在完全模拟现场工况下进行严格的整机老化试验、抗干扰测试、交流功能试验。确保了产品能够在恶劣环境中的长期稳定性和可靠性，同时也保障了开关在-10～100℃的环境温度中，保持定值精度和所有的性能不变，甚至在高达-40～125℃环境温度范围内，仍能正常工作。 本产品广泛适用于电力、化工、冶金、石油、消防、食品、医药、交通、航运等行业，是DCS、PLC 等大型工业控制系统进行配套的最佳选择，同时也是传统机械压力、温度开关 升级替换的理想产品。