多晶硅尾气干法回收工艺简述

多晶硅尾气干法回收工艺简述

一、概述

“传统西门子法”还原尾气回收是“湿法回收”，即还原尾气中没有反应的三氯氢硅、氢气和反应过程中生成的氯化氢、四氯化硅、二氯二氢硅等气体，经过-80℃冷却装置，三氯氢硅、四氯化硅冷凝为液体后回收利用,不凝的氢气、氯化氢及少量的氯硅烷再经过水洗喷淋，氯化氢和少量的氯硅烷被水溶解带走，氢气再经过纯化干燥后重新利用。

“改良西门子法” 还原尾气回收过程中物料不接触水，相对于“传统西门子法”的“湿法回收”而言，称之为“干法回收”。干法回收主要是利用还原尾气中氢气、氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等各组分物理化学性质的差异，通过溶解吸收，吸收—脱吸，吸附—脱附等化工操作实现各组分的分离，并重新利用。

由于“湿法回收”中采用水洗来除去氢气中氯化氢、氯硅烷，在损失氯化氢、氯硅烷同时，增加了废水的处理量，并且水分及水中、空气中的杂质进入到氢气中，污染了氢气，必须另外采用氢气纯化干燥装置将其纯化干燥后才能重新返回系统利用。湿法回收工艺消耗大、收率低，从而增加了整个多晶硅生产的成本。

采用干法回收工艺，还原尾气中的各组分几乎可以100%分离回收，由于整个系统是闭路循环，不引入新的污染源，故回收各组分品质稳定，可直接返回系统重新利用，从而提高了收率，减少了消耗。

二、干法回收工艺原理

还原尾气干法回收主要包括：鼓泡淋洗、加压冷凝、吸收脱吸、活性炭吸附四个主要工艺过程，每个过程的原理如下：

1. 鼓泡淋洗：

利用四氯化硅在一定温度下对还原尾气中个组分溶解度的不同，通过鼓泡淋洗塔对还原尾气淋洗，溶解度大的三氯氢硅、四氯化硅绝大部分被溶解吸收，溶解度小的氢气、氯化氢、二氯二氢硅便分离出来。

2. 加压冷凝：

从鼓泡淋洗塔出来的不溶性气体，里面含有少量的三氯氢硅、四氯化硅，在常压

下把其冷凝出来需要大量的冷量和很低的冷却温度，采取加压冷凝的办法，三氯氢硅、四氯化硅可在较高的温度下按照相平衡的规律几乎全部冷凝下来，同时大大减少冷媒的用量。

3. 吸收脱吸：

吸收脱吸是分离气体混合物的一种重要方法，吸收过程实际上是气相组分在液相中溶解的过程，各种气体在液体中都有一定的溶解度，当气体和液体接触时，气体溶解到液体中的浓度逐渐增加至饱和为止；被溶解的气体叫溶质，溶解气体的溶液叫溶剂或吸收剂。当溶质在气相中的分压大雨它在液相中饱和蒸汽压时，此压力差即为吸收过程的推动力，当压差等于零时，过程达到平衡，如果条件相反，溶质从液相转入气相，即为脱吸过程。

加压冷凝后的不凝气体主要是氢气、氯化氢、二氯二氢硅，采用四氯化硅作为吸收剂，其中大量的氯化氢、二氯二氢硅在加压低温条件下被四氯化硅溶解吸收，氢气分离出来。被四氯化硅溶解吸收氯化氢、二氯二氢硅在脱吸塔中控制一定温度和压力下，二氯二氢硅以液态、氯化氢以气态分别从四氯化硅中分离出来。4. 活性炭吸附：

吸附作用是一种发生在相间的表面现象，有物理吸附和化学吸附，或两者兼而有之。物理吸附又称范德华吸附，因为吸附剂是通过范德华力将吸附质吸引覆盖在表面上，而且可以形成多分子层，对不同的物质吸附能力不一样。吸附速度快，容易达到平衡，吸附热较小，与气体的液化热相近，且吸收质与吸收剂不发生化学反应。在一定条件下吸收质从吸附剂表面脱离返回气相或液相主体保持原来的分子结构，此为吸附的逆过程：脱附。

活性炭吸附为物理吸附，从吸收-脱吸系统中分离出来的氢气中含有微量的氯化氢、氯硅烷等，通过活性炭吸附器吸附，氯化氢、氯硅烷等大分子物质首先被吸附下来，从而净化了氢气。可以通过时间程序控制，吸附饱和后的活性炭进行脱附再生，控制一定的温度并通氢气吹赶，被活性炭吸附的氯化氢、氯硅烷等可以脱附出来，从而实现了活性炭吸附器重复利用。

三、干法回收工艺描述

来自还原车间的（H2、SiHCl3、SiCl4、HCl、SiH2Cl2），经过鼓泡气-气换热器冷却后，进入鼓泡淋洗塔，用氯硅烷循环屏蔽泵输送的低温氯硅烷鼓泡淋洗，还

原尾气中大部分三氯氢硅、四氯化硅绝大部分被溶解吸收后，返回氯硅烷贮罐供氯硅烷循环屏蔽泵循环使用，富余氯硅烷通过氯硅烷输送泵送往干法精馏工序。鼓泡淋洗塔中不被吸收的气体，经过还原尾气压缩机压缩，压力由常压升至0.6MPa，经过压缩气-吸收气换热器、压缩气过冷气冷却后，冷凝下来的氯硅烷返回氯硅烷贮罐，不凝的低温气体进入吸收塔，其中绝大部分SiHCl3、SiCl4、HCl、吸收塔内低温四氯化硅（贫液）吸收下来，吸收了氯硅烷、HCl的四氯化硅称为富液，进入富液贮罐。通过富液屏蔽泵输送，富液经过三级贫富液换热器、二级贫富液换热器、一级贫富液换热器与贫液换热升温后，进入脱吸塔，控制一定温度（塔釜144℃）和压力（塔顶0.8MPa），氯化氢以气态进入缓冲罐，返回三氯氢硅合成系统重新利用，SiH2Cl2以液态进入缓冲罐，然后进行处理和外卖。脱吸以后的四氯化硅称之为贫液，温度144℃，经过贫液水冷器、一级贫富液换热器、二级贫富液换热器、三级贫富液换热器、贫液过冷器降温到-50℃，进入吸收塔重新使用。

吸收塔内不被吸收的气体主要是氢气，其中含有微量的氯硅烷、氯化氢，为进一步净化氢气，采用活性碳吸附器吸附氢气中的杂质；三个活性炭吸附器通过时间程序控制，分别进行吸附、再生、降温。在吸附过程中，活性炭吸附下氢气中的量的氯硅烷、氯化氢杂质，通过带式过滤器过滤掉碳粉后，送到100方纯氢储罐，供还原等工序使用。再生过程为对吸附饱和的活性炭吸附器加热、通氢气吹赶，氯硅烷、氯化氢随氢气经滤器过滤掉碳粉后重新返回鼓泡淋洗塔鼓泡淋洗。降温过程是对再生后高温（190℃）活性炭吸附器通冷导热油降温。

环保施工方案

环境保护专项方案 一、工程概况： 望江地区R21-04地块Ⅰ标段工程，位于杭州市杭州市上城区望江地区海潮路与望江路交叉口西北角，框剪结构，包括地上和地下两部分。地上21-22层，地下1层，总建筑面积为95100m2，其中地下建筑面积为17648 m2。建筑总高度为63m。由杭州市望江地区改造建设指挥部投资兴建，杭州浙华建筑设计事务所设计，北京北辰工程建设监理公司监理，浙江省综合勘查研究院有限公司地质勘察，江西省建工集团工程公司承建施工。 二、土方开挖作业环保措施 1、工程地处杭州市杭州市杭州市上城区望江地区海潮路与望江路交叉口，严格按着杭州市相关施工管理条例指导施工，必须具备严密的防扰、防噪、防尘等环保措施。 2、夜间施工，保证足够照明设施。沿基坑四个大角设臵4个镝灯。车辆行驶注意行人及物，以免发生交通事故。 3、挖掘机、汽车严禁撞击护坡及照明用电设施。 4、各种机械设备有专人操作，持证上岗，并定期检查，做好设备的维修保养，车辆有尾气排放合格证。 5、为使工程施工中的噪音降到最低限度，在选择施工设备上使用磨合好、噪音低的施工设备。 6、在现场内出土口处，设放轮胎净土装臵，并接设水管，用水管清洗后才能出现场。

7、每辆车在出场时，严禁装土过多，同时拍土。车顶加盖蓬布，以防渣土散落到路面上，影响市容卫生。 三、运输车辆作业环保措施 1、要求进场车辆必须经搓泥凳进场，进场时放慢行驶速度，保证车轮泥浆有效搓落，进场后不带有可落性杂物。此项工作门口保安负责监督，并由清洗员对搓凳下落场每天进行两次清理。 2、车辆进场后限速行驶，保证不落物，不起尘，否则由车辆司机进行清理。 3、进场车辆如附着有不稳定性杂物，必须先进洗车场进行初步清洗，将附着物洗掉，保证在装卸及施工时无落物。 4、车辆在装卸、施工完后，出场前，必须在洗车台进行清洗，将车身、轮胎的附着物进行冲洗，冲洗不掉的用铁刷刷净，在清洗员确认确实不会在出场后掉落杂物，且车身无影响市容市貌的杂物后，方可出场。 5、清洗员负责车辆清洗，落物清扫，车辆卫生监督及本工作范围节约用水等工作。 注意节约用水，先将附着物清理松落，后再用适量的水清洗，使用水源得到最大利用。在使用后必须将水落石出龙头关紧关严，严禁常滴常流。 四、排水作业环保措施 （一）、排水方式： 采用设臵排水沟、集水井结合方式进行降水。

【工作总结】再生资源回收工作总结

再生资源回收工作总结 近日，淄川区在全区范围内开展了废品收购点专项治理行动，按照全区统一分工部署，区经信局负责开展再生资源回收利用管理工作，积极配合各相关部门单位做好废品收购点的依法取缔、责令搬迁工作。 区经信局高度重视此项工作，召开专题会议，安排部署工作，同时组织相关科室对各镇、办、开发区废旧经营点进行了摸底、调查、督导。下一步工作中，区经信局将按照区政府对废品收购点专项治理方案的统一安排和要求，坚决清理、取缔区内各种不符合要求的废品收购点，做好有关废品收购点的备案登记工作，对未备案的废品收购点依法或将进行处罚。 开展废品收购点专项治理工作，将对进一步规范废品收购行业秩序，改善城市风貌，提高城市品味，给广大群众营造良好的生活环境具有积极意义。 根据区长批示，区商务委高度重视、认真研究，结合《北京市加快推进再生资源回收体系建设促进产业化发展的 一、×××区再生资源回收体系现状 (一)再生资源回收企业情况 我区目前从事再生资源回收业务的企业有50多家。其中：较大型的企业有6家：元盛天鸿公司、星宇公司、安之洁、广学金、西部强龙、海泰京安。这些企业主要分布在5个街道(社区)的辖区范围内。×××区再生资源主体回收企业和较大型的回收企业的回收量大约占全区回收总量的40%，其余都被各类小型企业和个体户占有，零散个体回收占有较大比例。 (二)社区回收站点情况

×××区共有141个居民社区。20**年至____年，再生资源主体企业完成了100个社区回收站点的规范建设，主要分布在等街道的部分社区。 (三)再生资源分拣中心情况 近几年，随着我区城市化建设进程的加快，一些再生资源回收企业被拆除或停业。目前，海泰京安科技发展有限承担着×××区再生资源回收体系建设工作。 北京海泰京安科技发展公司，是一家民营企业，注册资金200万元。该公司于20**年3月与北京景阳天昊投资管理公司、首钢首运物流有限责任公司分别签订15年和8年的合作开发协议书，在原首钢料场共同开发建设再生资源分拣中心。该项目占地总面积250亩，北京景阳天昊投资管理公司占有土地110亩，首钢首运物流有限责任公司占有土地140亩。该地块位于新首钢高端产业综合服务区规划的第7#用地，用地性质为F类多功能用地、道路用地及绿地。按照首钢的总体规划，该地块最早也要在20**年或以后才能开发建设。(规划用地性质图及协议书附后) 该企业总体项目分二期进行建设，一期项目已投资____多万元完成了2万平米再生资源规范市场的建设并投入使用，二期项目预计投资2500万元建设再生资源分拣中心，将于20**年11月建设完成。 二、×××区再生资源回收体系建设意见 加快推进再生资源回收体系建设，对于推动可持续发展、确保城市安全、树立城市形象、建设资源节约型、环境友好型社会具有重要意义。市委、市政府将其列为____年为群众办实事的第34项并对各区县提出了工作要求。区委、区政府高度重视此项工作，为切实建设好再生资源回收体系，促进产业化发展，要求加强领导，精心组织，采取有效措施，

多晶硅生产企业尾气回收车间工艺题库(带答案)

多晶硅生产企业尾气回收车间工艺题库 一、填空题 1、RF6401AB机组的高压级排气压力报警值(16.8)bar调停值(17.2)bar正产控制 参范围（13.5-15.5）bar。 2、E6401的出口压力为（5.6±0.1bar）出口温度为（<40℃）。 3、D6401的LI06102正常控制值是（40%）。 4、吸收是指利用气体混合物中各组分在液体溶剂中（溶解度）的不同而使气体中 （不同组分）分离的过程。 5、解析是将吸收得到的溶质气体从（液体中分离出来）的过程，是吸收的（逆） 操作。 6、E26412的出口正常控制温度为（180±10℃）。 7、E26413的出口正常控制温度为（10±5℃）。 8、T10602的出口物料的流量为（90-100m3/h）。 9、T6402的FIC06301控制值为(60m3/h)。 10、来自还原炉或氢化炉的反应尾气中的（氢气）、（氯化氢）、（二氯二氢硅）、（三 氯氢硅）和（四氯化硅）等组分经(放空气冷却器）、（放空气换热器）、（放空 气乙二醇冷却器）和（放空气R22冷却器）后，其中大部分氯硅烷（二氯二 氢硅、三氯氢硅和四氯化硅）被冷凝成液体，用泵输送至HCL精馏塔将（氯 化氢）解析出来，解吸后的氯硅烷部分作为HCL吸收塔的吸收液，多余物料 送往罐区，由精馏车间精馏后循环利用。 11、不凝的氢气和氯化氢经过（氢压机）压缩加压后，进入氯化氢吸收塔底部，在 （高压、低温）条件下，用氯硅烷作为吸收剂，（氯化氢）被吸收掉，（氢气） 被分离出来。 12、E10604液位由阀门（LV0410）控制的。 13、HCL回流罐一部分氯化氢在重力作用下流向（氯化氢储罐），经氯化氢加热器

变压吸附气体分离技术的应用和发展

变压吸附气体分离技术的应用和发展 摘要：变压吸附气体分离技术在工业上得到了广泛应用，已逐步成为一种主要的气体分离技术。它具有能耗低、投资小、流程简单、操作方便、可靠性高、自动化程度高及环境效益好等特点。简单介绍了变压吸附分离技术的特点，重点介绍了近年来变压吸附技术各方面的进步和变压吸附技术目前所达到的水平(工艺流程、气源、产品回收率、吸附剂、程控阀、自动控制等方面)，并对变压吸附技术未来的发展趋势进行了预测。 l 前言 变压吸附 (Pressure Swing Adsorption，PSA)的基本原理是利用气体组分在固体材料上吸附特性的差异以及吸附量随压力变化而变化的特性，通过周期性的压力变换过程实现气体的分离或提纯。该技术于l962年实现工业规模的制氢。进入70年代后，变压吸附技术获得了迅速的发展，装置数量剧增，规模不断增大，使用范围越来越广，工艺不断完善，成本不断下降，逐渐成为一种主要的、高效节能的气体分离技术。 变压吸附技术在我国的工业应用也有十几年历史。我国第一套PSA工业装置是西南化工研究设计院设计的，于l982年建于上海吴淞化肥厂，用于从合成氨弛放气中回收氢气。目前，该院已推广各种PSA工业装置600多套，装置规模从数m3/h到60000 m3/h，可以从几十种不同气源中分离提纯十几种气体。 在国内，变压吸附技术已推广应用到以下九个主要领域：

1．氢气的提纯；2．二氧化碳的提纯，可直接生产食品级二氧化碳；3．一氧化碳的提纯；4．变换气脱除二氧化碳；5.天然气的净化；6．空气分离制氧；7．空气分离制氮；8．瓦斯气浓缩甲烷；9．浓缩和提纯乙烯。 的分离和提纯领域，特别是中小规模制氢，PSA分离技术已占主要地位，在H 2 制备及分离方法，如低温法、电解法等，已逐渐被PSA等气体分一些传统的H 2 离技术所取代。PSA法从合成氨变换气中脱除CO 技术，可使小合成氨厂改变其 2 单一的产品结构，增加液氨产量，降低能耗和操作成本。PSA分离提纯CO技术为C 化学碳基合成工业解决了原料气提纯问题。该技术已成功的为国外引进的l 几套羰基合成装置相配套。PSA提纯CO2技术可从廉价的工业废气制取食品级CO 。此外，PSA技术还可以应用于气体中NOx的脱除、硫化物的脱除、某些有机2 有毒气体的脱除与回收等，在尾气治理、环境保护等方面也有广阔的应用前景。 变压吸附的特点 变压吸附气体分离工艺在石油、化工、冶金、电子、国防、医疗、环境保护等方面得到了广泛的应用，与其它气体分离技术相比，变压吸附技术具有以下优点： 1．低能耗，PSA工艺适应的压力范围较广，一些有压力的气源可以省去再次加压的能耗。PSA在常温下操作，可以省去加热或冷却的能耗。 2．产品纯度高且可灵活调节，如PSA制氢，产品纯度可达99．999％，并可根据工艺条件的变化，在较大范围内随意调节产品氢的纯度。 3．工艺流程简单，可实现多种气体的分离，对水、硫化物、氨、烃类等杂质有较强的承受能力，无需复杂的预处理工序。 4．装置由计算机控制，自动化程度高，操作方便，每班只需稍加巡视即可，装置可以实现全自动操作。开停车简单迅速，通常开车半小时左右就可得到合格产品，数分钟就可完成停车。

尾气回收系统

尾气回收系统 一、项目背景 储运二厂罐区装置，负责苯酚、丙酮、醋酸乙烯产品的汽车、火车灌装。苯酚年灌装约为20万吨, 丙酮年灌装约为12.6万吨，醋酸乙烯年灌装约为7.5万吨。苯酚装火车鹤管1台、丙酮2台、醋酸乙烯4台，总计装火车鹤管7台；苯酚装汽车鹤管3台、丙酮3台、醋酸乙烯2台，总计装汽车鹤管8台。上述装车鹤管中，苯酚火车装车量为零，丙酮火车罐装系统为敞开式罐装，醋酸乙烯火车罐装、汽车罐装也为敞开式罐装，只有3台苯酚、3台丙酮的汽车鹤管于2006年在实现了密闭灌装改造，其密闭罐装形式是将3台苯酚、3台丙酮的汽车鹤管装车过程中产生的装车尾气输送至回收塔进行水洗后，送入污水池，在由污水车送往污水处理厂进行处理。 本次改造共2个单元。第一，将3台丙酮汽车装车鹤管及2台丙酮火车装车鹤管，改成密闭灌装，并对在灌装过程中产生的装车尾气加以回收。第二，将2台醋酸乙烯汽车装车鹤管及4台醋酸乙烯火车装车鹤管，改成密闭灌装，并对在灌装过程中产生的装车尾气加以回收。在降低装车损耗的同时，减少环境污染，创造一个健康、安全、环保的工作环境。 二、工艺依托条件 目前先实施的是二级冷凝的技术，对装车尾气进行冷凝回收。 1、丙酮装车尾气回收 丙酮装车过程中产生的废气经管线收集，进入尾气回收装置进行

低温冷凝。经过二级冷凝，将废气中丙酮冷凝成液体，进行回收。 丙酮装车所产生的丙酮废气，经管线进入制冷机组，首先在第一级冷凝器中进行冷凝，冷凝出的丙酮和微量的水分（液相）进入储液罐存储，其气相部分的废气，进入二级冷凝器进行冷凝。冷凝后的液体进入储液罐，当达到一定液位后可由泵输送装桶。 2、醋酸乙烯装车尾气回收 醋酸乙烯装车过程中产生的废气经管线收集，进入尾气回收装置进行低温冷凝。经过二级冷凝，将废气中醋酸乙烯冷凝成液体，进行回收。 醋酸乙烯装车所产生的醋酸乙烯废气，经管线进入制冷机组，首先在第一级冷凝器中进行冷凝，冷凝出的醋酸乙烯和微量的水分（液

废气治理设计及施工方案

废气治理设计及施工方案 滨海五州化工有限公司 1、项目概况 概述 滨海五州化工有限公司成立于2003 年4 月，选址于江苏滨海经济开发区化工园。企业总占地面积约57051.5 平方米，注册资金500 万元。公司现有职工100 人，其中工程技术人员15 人。高中、中专及职高毕业人员占职工总数的60%。 滨海五州化工有限公司已建有年产30000 吨三氯化磷、年产1000 吨碳酸氢铵（试剂级）、甲烷三羧酸三乙酯，30000 吨亚磷酸二甲酯，10000 吨亚磷酸二乙酯，60 吨生物素（维生素H）等。 企业情况介绍 表现有项目产品方案表

企业废气治理设计 设计原则：对于不同性质的废气选用最适合的处理方法；根据企业废气产生的具体环节和设备、废气中主要污染物特点等对不同工序废气进行合并收集、处理。 本企业有组织排放废气主要是部分反应工序产生的工艺废气、烘干工序产生的废气、废水处理产生的废气，主要分布在3个生产车间、烘房、废水处理设施。因此，需根据各工艺废气的产生量及其理化性质，采取不同的治理工艺对废气进行治理。废气产生源强及节点车间分布见表2.4.1-2。 本设计对根据废气产生环节和废气特点进行了分类收集处理，具体如下：表各股废气主要污染物、收集情况及净化工艺

说明： 企业八车间占地面积较大（实际按两个厂房合建计）包含有生物素项目的6道生产工序，包含G1-1、G1-2、G1-3、G1-5、G1-6、G1-7、G1-9、G1-11、G1-12、G1-14、G1-15、G1-16、G1-17、G1-24、G1-25、G1-26、G1-27、G1-28、G1-29、G1-30、G1-31、G1-32多股废气，处于废气产生位置和安全方面的考虑，拟对这多股废气分开收集处理。 车间内各股废气的收集管道示意图见附图。 各股有组织废气采取具体治理工艺说明：

再生资源回收体系建设规范

再生资源回收体系建设规范(重庆市商委)再生资源回收体系建设规范 一、再生资源回收站 ( 点 ) 建设规范 第一条 严格按照“七统一、一规范” ( 统一规划、标识、着 装、价格、计量、车辆、管理及经营规范 ) 的要求进行建设。 第二条 回收站 ( 点

经营证照及资质齐全，负责人有个人身份证明资料，无违法犯罪记录。 第三条 按照“便于交售”的原则，城区每2000 户居民设置 1 个回收站 ( 点 ) ；乡、镇每 2500 户居民设置 1 个回收站（点） 。 第四条 回收站 ( 点 ) 面积原则上不少于

平方米，门面招牌采 用统一规范的站名和设计。 第五条 回收站 ( 点 ) 建设要符合当地城市总体规划，设计及装修与社区环境相符，社区回收站 ( 点 ) 采用绿色环保轻型建筑材料进 行全封闭处理。 第六条 社区回收站 ( 点 ) 的从业人员须经过培训学习，持证上岗。 第七条

不影响当地市容市貌和环境卫生，排污设施完善，符 合当地的环境保护要求。 第八条 社区回收站 ( 点 ) 至中转站至再生资源集散市场间配备 相应的封闭式运输设备。 第九条 保证社区回收站 ( 点 ) 再生资源能及时运出，避免造成 新的环境污染和火灾隐患，同时配备消防安全设施，符合消防安全管理规定要求。 二、再生资源集散市场建设规范

根据网络体系整体功能配置要求，市场应由“五区一中心”构 成，即：商品交易区、分拣加工区、仓储配送区、商品展示区、配套服务区和培训中心。 第一条 再生资源集散市场的设置应在符合城市总体规划、土 地利用总体规划和当地固体废物污染防治规划的前提下，在交通便利、基础设施齐全的近郊地区选址。 第二条 再生资源集散市场规划、设计及建设要符合环保、市 容和消防安全等标准，设有隔离围墙，园区绿化，保持较好的外观环境。 第三条 市场要完善集散、交易、储存、初加工、治污减排等 功能，并与再生资源综合利用相配套。市场内加工区、交易区、仓储配送区与服务区、办公区分离，加工区与交易区配备相应的环保、安全等作业设施，集中治理废弃物排放，消除二次污染。 第四条 市场的建设用地规模根据国家产业政策、城市规划要 求和当地再生资源总量确定，集约用地。

多晶硅生产中回收氢气的净化

多晶硅生产中回收氢气的净化 刘建军 (北京有色冶金设计研究总院,北京　100038) [摘　要]　本文介绍了回收氢气净化的基本原理、工艺流程,及用回收氢气生产多晶硅的实践结果,分 析了半导体多晶硅生产中,利用活性炭净化从还原炉尾气中回收的氢气。 [关键词]　多晶硅;活性碳;氢气;净化[中图分类号]　TN 304105 [文献标识码]　B [文章编号]　100228943(2000)0620017203 Pur if ica tion i n Recover i ng Hydrogen dur i ng Production of Polycrysta ll i ne Sil icon [A b stract ]　It describes fundam en tal p rinci p le and techno logical p rocess of pu rificati on in recovering hydrogen and resu lts of po lycrystalline silicon p roducti on u sing hydrogen recovered ,and analyses recovery of hydrogen from reducti on fu rnace gas th rough pu rificati on w ith activated carbon du ring p roducti on of po lycrystalline silicon .[Key w o rds ]　po lycrystalline silicon ;activated carbon ;hydrogen ;pu rificati on [作者简介]　刘建军(1968-),男,工程师,从事半导体材料及稀有 金属设计和研究。 [收稿日期]　2000203201 1　概述 目前,国内多晶硅的生产主要采用传统西门子工艺——三氯氢硅氢还原[1],主反应如下: Si HC l 3+H 2=Si +3HC l (1)4Si HC l 3=3Si C l 4+Si +2H 2 (2) 在生产中,为了使反应顺利进行,高纯氢气和三 氯氢硅的摩尔比为10∶1,高纯氢气用量大,加上三氯氢硅的一次转化率仅为20%～25%,因此高纯氢气的利用率极低,98%以上未进行反应,随还原炉尾气一起排出。还原炉尾气含有大量氢气、氯化氢、三氯氢硅和四氯化硅等有用物料。 传统西门子工艺通常采用湿法技术回收还原炉尾气,流程复杂,回收率不高,各种物料没有充分的回收利用。由于用水和碱作吸收剂,得到的氢气被大量的水所饱和,同时水中的各种微量杂质气体也进入了氢气,造成回收氢气再净化的困难,严重时影响多晶硅的正常生产。 在国家某重点工业性试验示范线中,首次利用 还原炉尾气干法回收技术成功地解决了这个技术难 题。还原炉尾气首先用氯硅烷鼓泡喷淋分离四氯化硅和三氯氢硅,分离出的四氯化硅和三氯氢硅返回多晶硅生产系统;剩下的氢气和氯化氢混合气体经压缩后,再用四氯化硅吸收其中的氯化氢,得到回收氢气。吸收有氯化氢的四氯化硅解吸出氯化氢后,返回吸收系统循环使用;解吸出来的氯化氢返回多晶硅生产系统。回收氢气中仍含有微量的氯化氢,通过活性碳吸附器加以净化,净化后的氢气直接送还原炉生产多晶硅。少量净化氢气用于活性炭的再生,含有氯化氢的再生气体返回干法回收系统。 2　回收氢气净化的基本原理 经干法回收得到的氢气仍含有1%～3%的氯化氢,不能直接用于生产。原因之一可由反应式(1)看出,氯化氢的存在可使生成多晶硅的反应向逆反应方向进行;原因之二是氯化氢的存在使多晶硅在沉积过程中有可能产生氧化夹层,影响多晶硅的产品质量。要使回收氢气能够利用,必须降低氯化氢的含量。 将回收氢气中微量的氯化氢分离出来,使氢气得以净化,主要根据吸附平衡理论[2]:在一定条件下,当流体(气体或液体)和吸附剂接触时,流体中的 ? 71?　2000年12月多晶硅生产中回收氢气的净化——刘建军

尾气回收(VOCs)施工方案

尾气回收(V O C s)施工 方案 -CAL-FENGHAI-(2020YEAR-YICAI)_JINGBIAN

尾气回收（VOCs)系统处理工程 施 工 方 案

目录 一、工程概况 二、施工组织管理机构及现场质保体系 三、施工及验收规范 四、施工准备工作 五、施工步骤 六、施工验收 七、施工安全规定及措施 八、工程范围。 一、工程概况 煤气净化生产过程中，因为各种介质流动、气体的存压等均会产生尾气，正常生产时部分储槽等生产装置也会排出一些废气。化产废气普遍存在易燃易爆易中毒等单一或多种危害，它们大部分因含有不同杂质存在刺激性、腐蚀性，有的甚至含有大量致癌、致畸、致突变的有害成分，有的还含有恶臭物质等。其组成复杂，并能够对大气环境造成比较严重的污染，加剧设备的腐蚀，有些处置不当容易发生燃烧、爆炸等安全事故，焦化生产过程产生此类废气的源头如下： 1、在生产过程中，化产品槽之间的转移，进料时通过放散管排出其内气体，或温度升高气体挥发出来的气体; 2、在生产过程中，清扫管道、设备产生的废气; 3、设备不正常及其他不正常生产情况下的短期排空; 4、设备泄漏产生的废气;

5、化产槽溢槽产生的废气; 6、化学反应等生产过程中产生的一些气体。 因此需要对这些废气进行回收处理。 本工程完工日期为合同签订第一笔预付资金到位后90天。 二、施工组织管理机构及现场质保体系 工程管理目标工期目标 按照业主的要求进行施工，调配好一切生产要素，确保工程按期完工交付业主使用。 质量目标：管道组对焊接一次合格率 100％工程质量等级合格。 安全目标：杜绝重大伤亡事故、设备交通事故、火灾事故、减少一般事故率。提供完善的安全设施为施工人员创造良好的工作环境。 文明施工：达到业主厂容及施工现场管理规定要求。施工组织管理机构为合理的组织工程施工，履行工程合同的各项承诺,对工程的工期、质量、安全、进行控制。由项目负责人形成统一的、完善的管理机构。 组织管理机构结构图见下图 项目部各负责任人职责 1、项目经理张钢平职责 a、负责项目施工技术工作对施工质量负技术责任 b、合理调配人、材、物等资源解决施工生产中存在的问题满足施工生产需要。 c、组织技术攻关处理重大技术问题

有机废气回收设计方案

有机废气处理回收项目 设 计 方 案 2016年3月17日

目录 一、总论???????????????????????????2 二、设计依据???????????????????????????2 三、动力条件???????????????????????????4 四、气候条件???????????????????????????4 五、工作内容???????????????????????????4 六、排放标准???????????????????????????5 七、生产工艺和污染物发生状况???????????????????5 八、废气处理工艺选择???????????????????????7 九、有机废气回收净化装置技术参数说明???????????????15 十、运行费用估算?????????????????????????17 十一、工程界定表?????????????????????????17 十二、验收细则??????????????????????????18 十三、工程进度??????????????????????????19 十四、交货期及运输方式??????????????????????19 十五、买卖双方的设计分工和设计联络????????????????20 十六、售后服务计划????????????????????????20 十七、设备投资估算????????????????????????21

一．总论 装饰材料有限公司（以下简称客户）在生产过程中，会排放含丙烯酸稀释剂类和PE稀释剂类的废气，该类废气主要含有100#、150#、二甲苯和正丁醇、丁脂、丁醚等有机溶剂，该类有机溶剂的排放不仅污染了环境，而且造成资源的极大浪费。为了保护环境，实现废物资源化，降低生产成本，设计、制造、安装废气全自动回收装置。据此提出本方案，本方案是以丙烯酸稀释剂设计的。 二．设计依据 1．方案设计的基本原则 1.1技术的先进性； 1.2工艺的适用性； 1.3系统运行的可靠性； 1.3操作的简便性； 1.5设备的可维护性； 1.6运行能耗成本的节约性； 1.7性能价格比的经济性 2．方案设计遵守的标准规范

光伏产业链流程及工艺设备

e光伏产业链流程及工艺设备

太阳能电池芯片的制造采用的工艺方法与半导体器件基本相同，生产的工艺设备也基本相

同，但工艺加工精度低于集成电路芯片的制造要求 晶体硅太阳能电池的制造工艺流程： （1）切片：采用多线切割，将硅棒切割成正方形的硅片。 （2）清洗：用常规的硅片清洗方法清洗，然后用酸（或碱）溶液将硅片表面切割损伤层除去30－50um。 （3）制备绒面：用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。 （4）磷扩散：采用涂布源（或液态源，或固态氮化磷片状源）进行扩散，制成PN＋结，结深一般为0.3－0.5um。 （5）周边刻蚀：扩散时在硅片周边表面形成的扩散层，会使电池上下电极短路，用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层。 （6）去除背面PN＋结。常用湿法腐蚀或磨片法除去背面PN＋结。 （7）制作上下电极：用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺。先制作下电极，然后制作上电极。铝浆印刷是大量采用的工艺方法。 （8）制作减反射膜：为了减少入反射损失，要在硅片表面上覆盖一层减反射膜。制作减反射膜的材料有MgF2 ，SiO2 ，Al2O3 ，SiO ，Si3N4 ，TiO2 ，Ta2O5等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等。 （9）烧结：将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。 （10）测试分档：按规定参数规范，测试分类。 太阳能电池组件生产工艺 1、电池检测—— 2、正面焊接—检验— 3、背面串接—检验— 4、敷设（玻璃清洗、材料切割、玻璃预处理、敷设）—— 5、层压—— 6、去毛边（去边、清洗）—— 7、装边框（涂胶、装角键、冲孔、装框、擦洗余胶）—— 8、焊接接线盒—— 9、高压测试——10、组件测试—外观检验—11、包装入库

再生资源体系建设培训

再生资源回收体系建设 及信息培训、回收站点建设情况汇报 一、分拣加工中心项目 （一）福州市则徐大道废五金分拣加工中心 福州市则徐大道废五金分拣加工中心规划占地面积13530.7平方米,厂房面积6075平方米,分拣加工中心遵循“资源化”、“无害化”、“减量化”的原则，按照废五金分类标准、品质状况、集中进场专业分类、挑选清理、粉碎加工处理。 第一期于2008年3月至2011年4月建成，占地6860.7平方米,项目实施单位并购福州市冶炼化工厂，改造升级而成，至2011年2月已对3075平方米的旧有厂房进行改造，至2011年底，中心项目全部建成后，可分拣加工废钢铁3000吨、废铜800吨和废铝3000吨，达到年分拣加工利用废五金6800吨，可节约13920吨标准，年销售废钢铁、废铜、废铝和废塑料、废胶（从废五金中分拣出的附属再生资源）3亿元以上，年上缴利税2500万元以上。 分拣加工中心配套综合办公楼、配电房、铜、铝分拣加工车间（配套分拣、压块、叉车等机械设备）、废钢铁剪切设备、地磅房（配套大型地磅）、运输设备（汽车、铲车）、职工食堂（可供50人用餐）。 再生资源对环境的污染及其所造成的资源浪费，是当今世界环境保护和资源保护工作面临的主要问题之一。确立了再生资源分拣加工中心过程管理原则和废弃物的资源化、减量化和无害化“三化”原则，建立了废物最小量化管理技术、废物转移跟踪管理技术、废物交换管理技术、废物贮存、处理、处置设施许可证制度等管理与处置技术体系，确立了再生资源分拣加工中心标准，形成了“从摇篮到坟墓”的完整的管理控制体系。

投资（支出）情况 截止2012年4月公司已出资人民币5,296,257.52元。 2012年4月后投入的机器设备和8辆汽车，旧电房改造，危房改造等项目投入未列入，正在审计中。 （二）东区集散市场(含废金属分拣加工中心)项目 东区集散市场(含废金属分拣加工中心)原位于福州市晋安 区因城市建设需要，现正准备搬迁。海峡供销再生资源产业园规划面积500亩，一期占地面积350亩，建设期限：2012-2015。市 政府准备将此项目列入2013年为民办实事，园区总体布局由“五区一中心”构成，即：商品交易区、分拣加工区、仓储配送区、商品展示区、配套服务区（含危险品处理）、宣传培训中心，含 重建福州市东区废金属分拣加工中心（因城市建设和环保原因搬迁至园区的2006-2012年商务部再生资源试点项目）。园区投产后，将拥有年再生资源处理量20万吨以上生产能力，年销售额10亿，每年可吸纳24万吨的废旧商品，可以节约自然资源98.88万吨， 节约能源33.6万吨标准煤，减少114～240万吨垃圾处理量，为社会提供800多个就业机会，带动相关产业链30000多个就业机会，具有很高的社会效益和环保效益。 项目建设进度计划安排：2013年完成规划征地、三通一平，建成废有色金属分拣加工中心、废钢铁分拣加工和报废汽车拆解项目；2014年建成商品交易区、仓储配送区、商品展示区、配套服务区（含危险品处理）、宣教培训中心，废塑料和废弃电子产品分拣加工项目；2015年完成垃圾资源化利用示范基地和工业固体废物综合利用等项目。 二、再生资源回收利用体系-信息系统建设及员工培训。 为了推进福州市再生资源回收利用体系建设试点工作，信息中心建于2006年7月，创建福建再生资源回收利用网站（网址：https://www.wendangku.net/doc/4b6737691.html,）,发行刊物《福州市再生资源信息》共52期，培训从业人员800人。2012年创建的“福建再生资源

多晶硅尾气干法回收工艺简述

多晶硅尾气干法回收工艺简述 一、概述 “传统西门子法”还原尾气回收是“湿法回收”，即还原尾气中没有反应的三氯氢硅、氢气和反应过程中生成的氯化氢、四氯化硅、二氯二氢硅等气体，经过-80℃冷却装置，三氯氢硅、四氯化硅冷凝为液体后回收利用,不凝的氢气、氯化氢及少量的氯硅烷再经过水洗喷淋，氯化氢和少量的氯硅烷被水溶解带走，氢气再经过纯化干燥后重新利用。 “改良西门子法” 还原尾气回收过程中物料不接触水，相对于“传统西门子法”的“湿法回收”而言，称之为“干法回收”。干法回收主要是利用还原尾气中氢气、氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等各组分物理化学性质的差异，通过溶解吸收，吸收—脱吸，吸附—脱附等化工操作实现各组分的分离，并重新利用。 由于“湿法回收”中采用水洗来除去氢气中氯化氢、氯硅烷，在损失氯化氢、氯硅烷同时，增加了废水的处理量，并且水分及水中、空气中的杂质进入到氢气中，污染了氢气，必须另外采用氢气纯化干燥装置将其纯化干燥后才能重新返回系统利用。湿法回收工艺消耗大、收率低，从而增加了整个多晶硅生产的成本。 采用干法回收工艺，还原尾气中的各组分几乎可以100%分离回收，由于整个系统是闭路循环，不引入新的污染源，故回收各组分品质稳定，可直接返回系统重新利用，从而提高了收率，减少了消耗。 二、干法回收工艺原理 还原尾气干法回收主要包括：鼓泡淋洗、加压冷凝、吸收脱吸、活性炭吸附四个主要工艺过程，每个过程的原理如下： 1. 鼓泡淋洗： 利用四氯化硅在一定温度下对还原尾气中个组分溶解度的不同，通过鼓泡淋洗塔对还原尾气淋洗，溶解度大的三氯氢硅、四氯化硅绝大部分被溶解吸收，溶解度小的氢气、氯化氢、二氯二氢硅便分离出来。 2. 加压冷凝： 从鼓泡淋洗塔出来的不溶性气体，里面含有少量的三氯氢硅、四氯化硅，在常压

黄磷尾气发电项目建议书

. 黄磷尾气发电项目 建议书 第一章概述 我国是黄磷、电石、碳化硅的生产大国，而黄磷、电石、碳化硅的生产是高耗能大户，同时在生产中要产生大量的高含CO的尾气，以黄磷生产为例，每生产一吨黄磷，就要副产2500～3000m3尾气，尾气中CO的含量一般都在80%以上，如此巨大的尾气量，而目前在这些企业中80%以上的尾气都是直接排入大气中，造成了很大的能源、资源的浪费和严重的环境污染。节能减排，建立环境友好型的文明社会是我国的基本国策，随着环境保护政策的落实和加强，尾气回收

利用势在必行，并关系到企业的生存和发展。 多年来黄磷尾气、电石尾气、碳化硅尾气等没有能很好的回收利用的根本原因是尾气回收净化技术比较复杂，投资较大。这类尾气中除含有大量的CO、 CH 4、H 2 、CO 2 等有用气体外，还含有一定量的硫化物、磷化物、砷化物、氟化物 等有害物质和大量的粉尘，用简单的过滤除尘、水洗、碱洗法制得的净化尾气达不到化工合成工艺气的要求，只能用作燃料，经济效益不佳。近十多年来我国许多科研单位、高等院校、生产企业、设计公司等都在致力于尾气回收净化和综合利用的研究和开发工作，并取得了可喜的成果，技术日趋成熟，并建立起多处示范性装置，运行良好。利用尾气回收，变废为宝，虽然尾气回收净化需要一定的投资，但其生产成本远低于直接用煤、气、油生产的产品，而且解决了环境污染的大问题。 1.1 项目申请单位情况概述及编制依据 1.1.1 项目申请单位概况 XX化工企业现有两台/套1万吨/年黄磷生产系统，可年生产成品黄磷（五氧化二磷）2万吨，年产值XXXX万元。 1.1.2 项目概述 该企业年产黄磷2万吨，每生产一吨黄磷可产生黄磷尾气（CO 95％）3000NM3，全年副产尾气2×3000=6×107NM3,除部分尾气用于矿石烘干和工艺加温外，剩余部分全部燃烧（点天灯）外排,此工艺不仅浪费了资源也污染了环境。 黄磷尾气的热值约为2716大卡，和11MJ。如果用黄磷尾气作燃料供发动机发电1NM3尾气可发电1KW/H，目前公司全年副产尾气约2万吨×3000=6×107 NM3，除去用于黄磷原材料工段烘干矿石和工艺加温外，剩余黄磷尾气量约为5000nm3/h(co100%),可以组建一座装机容量为5000kw的机组。 该项目为黄磷尾气综合利用及节能环保项目，利用排空燃烧的黄磷尾气作为燃料进行发电，减少环境污染。 1.2 研究范围 化工有限公司XX项目可行性研究的范围主要包括利用黄磷尾气发电技术的可行性，以及相应的工程总图布置、气处理系统、供气系统、燃烧系统、电力系统、环境保护等技术方案的确定和投资及财务分析。

尾气回收(VOCs)施工方案

尾气回收（VOCs)系统处理工程 施 工 方 案 目录

一、工程概况 二、施工组织管理机构及现场质保体系 三、施工及验收规范 四、施工准备工作 五、施工步骤 六、施工验收 七、施工安全规定及措施 八、工程范围。 一、工程概况 煤气净化生产过程中，因为各种介质流动、气体的存压等均会产生尾气，正常生产时部分储槽等生产装置也会排出一些废气。化产废气普遍存在易燃易爆易中毒等单一或多种危害，它们大部分因含有不同杂质存在刺激性、腐蚀性，有的甚至含有大量致癌、致畸、致突变的有害成分，有的还含有恶臭物质等。其组成复杂，并能够对大气环境造成比较严重的污染，加剧设备的腐蚀，有些处置不当容易发生燃烧、爆炸等安全事故，焦化生产过程产生此类废气的源头如下： 1、在生产过程中，化产品槽之间的转移，进料时通过放散管排出其内气体，或温度升高气体挥发出来的气体; 2、在生产过程中，清扫管道、设备产生的废气; 3、设备不正常及其他不正常生产情况下的短期排空; 4、设备泄漏产生的废气; 5、化产槽溢槽产生的废气; 6、化学反应等生产过程中产生的一些气体。 因此需要对这些废气进行回收处理。 本工程完工日期为合同签订第一笔预付资金到位后90天。 二、施工组织管理机构及现场质保体系 工程管理目标工期目标

按照业主的要求进行施工，调配好一切生产要素，确保工程按期完工交付业主使用。 质量目标：管道组对焊接一次合格率100％工程质量等级合格。 安全目标：杜绝重大伤亡事故、设备交通事故、火灾事故、减少一般事故率。提供完善的安全设施为施工人员创造良好的工作环境。 文明施工：达到业主厂容及施工现场管理规定要求。施工组织管理机构为合理的组织工程施工，履行工程合同的各项承诺,对工程的工期、质量、安全、进行控制。由项目负责人形成统一的、完善的管理机构。 组织管理机构结构图见下图 项目部各负责任人职责 1、项目经理张钢平职责 a、负责项目施工技术工作对施工质量负技术责任 b、合理调配人、材、物等资源解决施工生产中存在的问题满足施工生产需要。 c、组织技术攻关处理重大技术问题 d、具有质量否决权。 e、组织进行工程试运及交付工作确保工程质量符合设计规定和合同内容满足顾客要求。 2、现场施工负责人涂少冰职责，负责该工程的施工安装技术、质量监督并配合项目经理履行。 三、施工及验收规范 1、工程测量规范(GB50026-93) 2、工业金属管道工程施工及验收规范(GB50235-97)

有机废气回收设计方案

有机废气回收设计方案 Company Document number：WTUT-WT88Y-W8BBGB-BWYTT-19998

有机废气处理回收项目 设 计 方 案 2016 年3 月17日

目录 一、总论 2 二、设计依据2 三、动力条件4 四、气候条件4 五、工作内容4 六、排放标准5 七、生产工艺和污染物发生状况5 八、废气处理工艺选择7 九、有机废气回收净化装置技术参数说明15 十、运行费用估算17 十一、工程界定表17 十二、验收细则18 十三、工程进度19 十四、交货期及运输方式19 十五、买卖双方的设计分工和设计联络20 十六、售后服务计划20 十七、设备投资估算21

一．总论 装饰材料有限公司（以下简称客户）在生产过程中，会排放含丙烯酸稀释剂类和PE稀释剂类的废气，该类废气主要含有100#、150#、二甲苯和正丁醇、丁脂、丁醚等有机溶剂，该类有机溶剂的排放不仅污染了环境，而且造成资源的极大浪费。为了保护环境，实现废物资源化，降低生产成本，设计、制造、安装废气全自动回收装置。据此提出本方案，本方案是以丙烯酸稀释剂设计的。 二．设计依据 1．方案设计的基本原则 技术的先进性； 工艺的适用性； 系统运行的可靠性； 操作的简便性； 设备的可维护性； 运行能耗成本的节约性； 性能价格比的经济性 2．方案设计遵守的标准规范

(1)根据该公司的产品结构及生产废气特征，结合已有的工程实例，在确保有机废气回收效 率的前提下，尽可能采用简单、成熟、可靠的处理工艺，达到功能可靠、经济合理、管理方便； (2)污染调查结合企业介绍与实际勘察，尽可能真实反应企业污染状况，为工艺选择提供充 分依据； (3)处理工艺有针对性。应根据企业的具体情况及发展规划，有针对性地提出综合整治技 术路线，对恶臭、有毒化学品防治优先考虑，分析其达标排放的可行性，减轻对大气环境的影响； (4)清洁生产与末端治理相结合，以提高处理效果，降低运行成本，减轻企业负担； (5)主要机电设备选用优质、低能耗的国产设备，设置必要的自控装置，尽最大可能 地减少维修费用。 三．动力条件

多晶铸锭生产工艺文件

多晶硅锭的生产流程 1. 生产工艺流程 （1） 制造工艺流程图 （2） 工艺流程简述 坩埚喷涂：其目的是为了在铸锭的过程中，防止坩埚的杂质混入硅料。喷涂 的Si 3N 4粉起到一个隔离杂质和防止粘埚的作用。 坩埚烧结：此过程是为了使喷涂在坩埚内表面的Si 3N 4粉牢固附着在坩埚上。 多晶炉铸锭：将盛好硅料的坩埚放入多晶炉中，经高温熔化定向凝固铸锭。 （3）反应副产物 生产过程中产生含Si 3N 4粉尘的空气，过滤除尘后排放大气；铸锭过程中排放的少量氩气，直接排放入大气；铸锭后产生的石英坩埚碎片作为废物处理。

多晶铸锭操作流程 1 目的 为了保证正确操作多晶硅铸锭炉，使铸锭过程规范、有效地进行，并确保铸锭成功。 2 适用范围 多晶铸锭车间 3 规范性引用文件 无 4 职责 4.1 生产部负责铸锭的整个过程。 4.2 工厂工程部负责整个外围设施条件，以保证多晶炉正常运行的环境条件 要求。 5 术语和定义 5.1 坩埚喷涂： 在坩埚的内表面均匀喷涂Si 3N 4粉溶液，以防止在铸锭时坩埚和硅锭烧结在一起。其目的是为了在铸锭过程中，防止坩埚内的杂质扩散入硅锭。喷涂Si 3N 4粉起到了一个隔离杂质和防止粘埚的作用。 5.2 涂层烧结： 此过程是为了使喷涂在坩埚内表面的Si 3N 4涂层牢固地附着在坩埚上。 5.3 多晶炉铸锭： 将硅料放入坩埚，并一起放入多晶炉中，硅料经高温熔化、定向凝固成为硅锭。 5.4 定向凝固： 在梯度热场中，液体朝一个方向凝固，固液界面近似于平面的凝固过程。

6 多晶炉工艺过程 6.1 准备石英坩埚 检查石英坩埚表面，不能有裂纹，内部不能有超过2mm 的划痕、凹坑、突起。 6.1.1 用压缩空气和去离子水清洁坩埚的内表面。 6.1.2 坩埚喷涂： 取250g 的Si 3N 4粉末，用滤网筛滤。然后取1000ml 的去离子水，将Si 3N 4粉末溶解到去离子水中，用气动搅拌泵搅拌均匀。喷涂时喷枪要距离坩埚内壁30cm 左右，只喷涂坩埚底部和侧壁3/4的地方，要均匀不要使液体凝聚。喷涂过程中要检测坩埚内表面的温度，应为80±5℃，不断用去油的压缩空气吹去掉落的颗粒。 6.1.3 将坩埚放在烧结炉中进行烘烤。 设定程序，用10分钟升到40℃，然后用6小时升到1000℃，在1070℃保温2∽3小时，然后等坩埚冷却后待用。 6.2 填料 将坩埚放在石墨板上，并一起放在磅秤上称量（磅秤必须归零）。要保证坩埚处于石墨板的中央，距石墨板周围4.3cm 左右，误差不得超过2mm 。向坩埚中填料240kg 左右。（特别注意：在填料的过程中尽量少走动，以免扬起灰尘）。 6.3 外围设施基本条件的准备 6.3.1 启动设备前，检查水、电、气。冷却水、气、电源检查没有问题后， 方可进行。 6.3.2 密切监视室内的温度和湿度，冷却水进水温度25±1℃，室温下相对 湿度不超过65%。

再生资源回收网点建设规范(印刷稿)

ICS 13.030.50 Z05 备案号：24309-2009 DB46 再生资源回收网点建设规范 海南省质量技术监督局 发布

前言 本标准由海南省商务厅提出。 本标准为推荐性标准。 本标准起草单位：海南省再生资源行业协会、海南省物资回收公司、海南绿保再生资源有限公司。本标准起草人员：陈敏、赵颖、郑有群、杨学才、吴雷电、梁昌军、张宾。 本标准为首次发布。

再生资源回收网点建设规范 1 范围 本标准规定了再生资源回收网点（包括回收站、中转站、集散市场）的术语和定义、基本要求、建设要求、环保要求以及设备和衡器要求。 本标准适用于海南省再生资源回收网点建设。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GBJ 22厂矿道路设计规范 GB 5749生活饮用水卫生标准 GB 8978污水综合排放标准 GB 12348工业企业厂界噪声标准 GB 16297大气污染物综合排放标准 GB 50016建筑设计防火规范 GB 50057建筑物防雷设计规范 CJJ 14城市公共厕所设计标准 HJ/T 273行业类生态工业园区标准(试行) 中华人民共和国环境保护法 中华人民共和国固体废物污染环境防治法 中华人民共和国清洁生产促进法 公安部[1994年第16号令]《废旧金属收购业治安管理办法》 商务部[2007年第8号令]《再生资源回收管理办法》 商务部[商改发20号]《关于加强再生资源回收体系建设的指导意见》 商务部[商办改函(2007)103号]《试点城市再生资源回收体系建设规范》 商务部再生资源回收体系建设标准 3 术语和定义 本标准采用下列术语和定义 3.1 再生资源 是指在社会生产和生活消费过程中产生的已经失去原有全部或部份使用价值，经过回收、加工处理，能够使其重新获得使用价值的各种废弃物。 再生资源包括废旧金属、报废电子产品、报废机电设备及其零部件、废造纸原料（如废纸、废棉）、废轻化工原料（如橡胶、塑料、农药包装物、动物杂骨、毛发等）、废玻璃等。 3.2 再生资源回收网点 是指回收、中转、集散等回收过程中放置再生资源的各类场所。 3.3 再生资源社区回收站（以下简称回收站） 是指在不影响居民生活和保护环境的前提下，在社区内或社区附近固定和规范设立的再生资源回收