《真空设备的检漏方法选择》编制说明-沈阳真空技术研究所
《真空设备的检漏方法选择》编制说明
1 任务来源
根据真空标委会下发的《关于开展011-2012年真空行业标准和国家标准项目计划征集的通知》（真标字[2011]12号），由中国空间技术研究院北京卫星环境工程研究所（511所）作为主要起草单位，中国空间技术研究院兰州物理研究所（510所）作为参与单位，制订标准《真空设备的检漏方法选择》，主要来解决目前真空行业中，对于密封性能测试方面，存在的因测试方法选择不同导致测试结果差异很大，在供方和接收方之间存在技术分歧的问题。通过制定该标准，对真空设备所需的检漏方法进行分类指导，规范检漏方法选择的基本要求，为供需双方合理选择检漏方法，提出规范性的参考。
2 编制原则
2.1科学性原则
本标准的编制是通过总结我部在空间环模设备研制、大型真空系统航天器密封产品在研制、试验、生产各阶段的检漏实践经验。结合国内在真空机械、化工冶金、低温及制冷、电力、核工业等行业中检漏技术的发展情况。参考美国ASTM 协会标准、欧洲检漏标准，本着使真空设备检漏技术水平更高、测试方法更加科学、可靠性更高、效率更高的原则而编制。
2.2创新性
目前在国标中关于真空设备的泄漏检测方法选择方面的标准还没有制定。在国防科技工业无损检测行业中，只有对美国材料试验学会（ASTM）的相关标准的翻译稿，结合国防和航天工业中的特点，2006年起草了《泄漏检测方法选择指南》一国军标，报批稿已经上报原国防科工委，但因至今没有发布。此次起草的标准重点针对真空设备在研制、调试、验收等环节中的检漏方法的选择，借鉴国内、外目前较先进的检漏方法和实际检漏工作开展情况。该标准的制定将在真空行业范围内对检漏技术的推广和选择提供参考，规范了真空设备的检漏方法，并提供技术支持。本标准的制定将填补国内该领域的空白，具有一定的创新性。2.3 可操作性
本标准以适应我国真空设备泄漏检测方法的应用需求、提高检漏方法的有效性和测试的可靠性为基础，对目前我国真空行业、真空设备密封性能的检漏方法
选择提供了依据和选择的流程。
2.4适用性原则
本标准力求涵盖最大范围的真空设备检漏方法的选择，对各类真空设备的检漏方法选择提供了依据。
3标准主要起草人和工作分工
标准主要起草人及工作分工如下：
史纪军：标准的编写、修订；
孙立臣：标准的编写、审核；
李得天：参与标准编写工作；
闫荣鑫：标准编写技术审查工作；
刘恩均：参与标准编写工作；
汪力：参与标准编写工作；
陈光奇：参与标准编写工作。
4 编制过程
2012年2月，511所接到标委会《关于开展011-2012年真空行业标准和国家标准项目计划征集的通知》（真标字[2011]12号），成立了成立编写组，并进行分工，开始对国内、外关于真空设备检漏相关标准的境况进行调研和分析工作；
2012年3月，完成了相关标准的调研、分析和总结工作；
2012年4月，在经过对调研结果的分析、总结的基础上，确定了基本框架，完成了“真空设备的检漏方法选择”标准草案；
2012年4月底，511所组织了标准草案的初步审查；
2012年5月底，草案初稿的部内征求意见，形成汇总，并进行了适当的修改。
2012年6月5日，形成草案的初稿。
2012年7月27日，经过标准委员会2012年审查会议审查并进行修订。
2012年8月6日，按照2012年真空标委会工作待办要求，进行了申请草案的修改和定稿工作。
5 标准主要内容（技术指标、术语、测试方法、计算工作等）的依据
5.1标准名称
真空设备的检漏方法选择
5.2适用范围
本标准适用于真空设备的检漏方法选择，真空泵、真空容器、真空管道、真空状态下工作的环境模拟试验设备、真空镀膜设备、半导体生产设备、高能物理真空设备等，凡是涉及真空状态下工作的设备的检漏方法选择均在本标准应用范围之内。
5.3 规范性引用文件
GB/T 3163 真空技术术语
GB/T 11164 真空镀膜设备通用技术条件
GB/T 12604.7 无损检测术语泄漏检测
GBZ/T 194 工作场所防止职业中毒卫生工程防护措施规范
GBZ/T 195 有机溶剂作业场所个人职业病防护用品使用规范
GB 16179 安全标志使用导则
JB/T 6923 真空技术真空加压-浸渍设备
QJ 3089 氦质谱正压检漏方法
QJ 3123 氦质谱真空检漏方法
QJ 3253 气泡检漏试验方法
5.4术语和定义
本标准中对检漏的类别进行了定义。
定位检漏：定位被检测对象的泄漏位置。
定量检漏：定量测试被检测对象或被检测对象泄漏位置的漏率。
定性检漏：以泄漏影响的参数（如真空度）或漏率为判断依据，判断被检测对象是否存在明显的泄漏，或判断泄漏是否满足要求。
检漏类型：检漏类型有以定位为目的定位检漏，以测试漏率值为目的定量检漏，以判断泄漏严重程度为目的的定性检漏三种类型。
5.5 检漏方法选择原则
5.5.1 本标准中第4章对真空设备常用检漏方法的选择原则进行了规定。
5.5.2 第4.1 节规定了检漏类别对应的检漏方法，并规定了适应性应用要求。
5.5.3 第4.2节规定了根据真空设备类别、压力状态和应用阶段选择检漏方法的要求。
5.5.4 第4.3节规定了根据允许漏率选择定量检漏方法的要求。
5.5.5 第4.4节对真空设备常用检漏方法的综合经济效益进行了比较，并规定了根据综合经济效益选择检漏方法的要求。
5.6 检漏方法选择程序
本标准中第5节规定了真空设备常用检漏方法选择程序进行规定，并明确了选择步骤。
5.7 检漏方法的实施
本标准中第6节对真空设备常用检漏方法的实施进行了技术实施和安全性实施两方面的规定。
5.8 真空设备常用检漏方法的基本原理
附录A对真空设备常用检漏方法的基本原理进行了归纳性总结，并给出了相应的检漏系统原理图。
5.9 真空设备常用检漏方法的技术特征和典型应用
附录B对真空设备常用检漏方法的技术特征进行了归纳性总结，并给出了这些方法的典型应用。
6验证试验的情况和结果
本标准所规定的检漏方法，诸如卤素检漏法、高频火花法、着色渗透检漏法、荧光检漏法、离子泵检漏法是常用检漏方法，在国防工业、石油、化工、制冷、汽车等工业中得到广泛的应用。压力变化法、动态堵漏法、真空计法、氦质谱罩盒法、氦质谱喷吹法、质谱分析检漏法、正压累积检漏法、气泡检漏法在航天工业地面试验领域、真空行业、航天器环境可靠性试验中得到广泛应用。
特别是在航天器地面环境试验和空间环模真空容器的检漏过程中，使得本标准规定的规范程序得到了较好地验证。
本标准对指导真空设备检漏方法的合理选择，提高设备密封性检测的效率、安全性、经济性具有显著作用，从而为推动真空设备的质量检测的水平提高，具有明显的社会效益和经济效益。
7与国内外同类标准的对比分析
课题组经过对目前真空设备中涉及检漏的标准进行调研，其中QJ1898-90 《真空封口阀技术条件》中说明了真空封口阀检漏的基本方法是氦质谱真空喷吹法，以及检漏的环境条件；JB/T6923-93 《真空加压浸渍设备》采用了静态升压法检漏方法对罐体系统进行检漏；GB/T11164-1999《真空镀膜设备通用技术条件》规定了真空镀膜设备升压率的测试方法；JB/T 6446-2004 《真空阀门》规定了采用氦质谱喷吹法和氦质谱罩盒法进行阀门正、反向漏率测试方法和步骤；QJ2675.3-94 《低温容器性能试验方法真空夹层漏率试验》规定了氦质谱真空喷吹和氦质谱罩盒法的检漏方法，也提到了静态升压法。
这些标准中大都针对专门的设备或定型的设备规定了特定的检漏方法，局限在静态升压法、氦质谱喷吹法和氦质谱罩盒法三种方法上。而在真空设备加工、安装、调试、运行、维修等各阶段都需要检漏工作参与，确保真空度指标满足设计要求，上述三种方法供选择的范围较少。目前，真空行业的国家标准中尚无专门用于真空设备检漏方法选择的标准。
本标准重点是为规定了检漏的类型，为各类型真空设备的检漏方法选择提供了多种备选方法，规定了各种真空设备适用的检漏方法，并给出了选择检漏方法的步骤。
8实施标准的要求和措施的建议
建议将本标准作为推荐性标准。
本标准发布后即进行宣贯，建议在各使用单位、公司或技术人员参考本标准选择检漏方法。
9涉及专利情况
本标准中没有涉及专利内容。