认识厂务系统种类
厂务系统有哪些
Cleanroom System [ 洁净室系统]
a,内装修工程：（高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无尘涂装、环氧地坪等）、压差控制系统、ESD防静电等；
b,循环空调系统：（包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.）；c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.
Mechanical System [ 机械系统]
中央动力，Central utility：Mechenical（热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施）
Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊气体和大宗气体]
a,Bulk Gas：GAS YARD气站，CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然气）【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气（CDA）--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等；
b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭)：
（1）易燃性气体(Flammable Gas)
（2）毒性气体（Toxic Gas）
（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）
（4）惰性气体(Inert Gas)
（5）氧化性气体（Oxide Gas）
（6）低压/保温气体（Heat G as)
Water Treatment System [ 水处理系统]
a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水（RO水）供应系统etc.
b,工艺废水处理（酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ）
c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc
Exhaust System[工艺排气系统]
a,工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.[有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统]
b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类(1)电热水洗式; (2)燃烧水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。
Chemical Dispensing System[化学品供应系统]
包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类根据每个FAB 产品的不同而不同:
a,Chemical Dispensing System化学品供应系统
酸性
碱性
有机溶剂
氧化腐蚀性
b,化学品回收系统：光刻胶resist、STRIPPER剥离液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等
Vacuum System [ 真空系统]
真空系统包括工艺真空(Process Vacuum )、真空吸尘(Hose Vacuum)或者清扫用真空、设备真空Pumping-line/vent系统/Pumping-Exhaust系统。
Power Supply & Automation System [ 电力供应及自动化]
a,强电：高低压供电（包括中央变电站和各终端变电站）、ups电源供应系统（蓄电池组）、紧急柴油发电机系统、SSTS高速切换开关、VSS电容补偿系统等、各类配电盘、照明（包括tear drop泪滴型照明灯具、黄光灯）、插座；
b,弱电：各类动力、EHS方面的自控部分（包括各类弱电盘面）、FMCS厂务监控系统（包括各sub-scada系统），【监控方面还有气体监控系统（GMS）、气体侦测系统（GDS）、有的厂是GMS＋GDS＝FMCS、有的厂GMS和GDS会分开来的】、各类电气接地、静电防护系统etc.
Construction [ 建筑结构]
建筑结构相关(包含厂房维修)，主要分为建筑和结构两大块（有些FAB将EHS 相关的防火门、逃生门、紧急疏散口、挡烟垂臂、升降平台etc.也归入此类）
EHS System Control [ 环境健康安全]
EHS涉及环境保护（污染物控制【三废处理等】、有害物质控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】）、健康（职业卫生）、工业安全、能源、治安保卫、ERC（ERT应急响应等）、风险管理【ISO14001、OHSAS18001、QC080000等】，EHS其它等。
硬件涉及：消火栓设备、喷淋系统、漏液检测系统、门禁系统、电话广播系统、PHS系统、紧急对讲机系统，感温电缆报警系统、vesda、烟感热感探头、闭路电视系统/CCTV监视摄像头、消防与观光电梯、地震监控系统、SCBA呼吸面具、紧急冲淋、各类灭火器、PPE个人防护用具etc.
Energy Saving[厂务节能]
涵盖所有厂务系统的节能降耗、cost saving/cost down、VE提案、能源管理等
认识厂务系统种类
厂务系统有哪些 Cleanroom System [ 洁净室系统] a,内装修工程：（高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无尘涂装、环氧地坪等）、压差控制系统、ESD防静电等； b,循环空调系统：（包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.）；c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc. Mechanical System [ 机械系统] 中央动力，Central utility：Mechenical（热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施） Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊气体和大宗气体] a,Bulk Gas：GAS YARD气站，CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然气）【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气（CDA）--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等； b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭)： （1）易燃性气体(Flammable Gas) （2）毒性气体（Toxic Gas） （3）腐蚀性气体（Corrosive Gas） （4）惰性气体(Inert Gas) （5）氧化性气体（Oxide Gas） （6）低压/保温气体（Heat G as) Water Treatment System [ 水处理系统] a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水（RO水）供应系统etc. b,工艺废水处理（酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ） c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc
工程项目管理课后习题答案
第一章 3、工程项目的全过程分为几个阶段？分别包含哪些工作内容？ 项目的前期策划阶段：从项目构思到批准立项为止。主要任务是提出项目并定义项目和最终做出项目决策。项目的设计与计划阶段：从项目立项到现场开工为止。主要任务是对建设项目的产出物和建设项目的工作做出全面的设计和规定。施工阶段：从现场开工到工程竣工并通过验收为止。工程项目建设过程的结束阶段。即建设项目的完工与交付、运营阶段。 6、怎样才能算作一个成功的工程项目？如何才能取得工程项目的成功？工程项目的成功至少必须满足如下条件：1、满足预定的使用功能要求。2、在预算的范围内完成，节省费用。3、在预定的时间内按计划、有秩序、顺利地完成工程的建设。4、项目相关者各方面都感到满意。5、与环境协调。6、工程具有可持续发展的能力和前景。 取得项目成功的条件：1、做好战略管理。2、工程的技术设计科学、经济、符合要求。选用先进、安全、经济、高效率，符合法律、市场和用户要求的生产工艺和施工技术方案。3、有高质量、高水平的项目管理。 7、什么是项目的对象系统、目标系统、行为系统和行为主体系统？它们之间有什么联系？以三峡建设工程为例，简述其目标系统、对象系统、行为系统、行为主体系统。 答： （1）工程项目的对象系统：工程项目的目标最终是通过工程的建设和运行实现的。这个工程系统是项目的可交付成果，是项目的对象，通常表现为实体系统形式。 （2）目标系统：工程项目所要达到的最终状态的描述系统。 （3）行为系统：由实现项目目标、完成工程建设任务所有必需的工程活动构成的，包括各种设计、施工、供应和管理工作。 （4）行为主体系统：指一个项目的各参加单位之间通过行政的或合同的关系连接并形成一个庞大的组织体系，为了实现共同的项目目标承担各自的任务。（5）联系：目标系统用对象系统完成，对象系统依靠行为系统完成，行为系统由行为主体系统完成；项目管理系统对目标系统进行目标管理，对对象系统进行策划，对行为系统进行计划控制，对行为主体系统进行协调指挥。 （6）三峡建设工程 目标系统：集防洪、发电和航运于一体的特大型水利枢纽 对象系统：三峡水电站（三峡大坝） 行为系统：中国长江三峡工程开发总公司，水利部长江水利委员会，中国水利水电建设工程咨询西北公司，水利部长江水利委员会，三峡发展，中国葛洲坝集团公司（葛洲坝股份有限公司）、中国安能建设总公司（中国人民武装警察部队水电部队）、中国水利水电第四工程局（联营体）、中国水利水电第八工程局（联营体）、中国水利水电第十四工程局（联营体）等; 行为主体系统：三峡工程的业主是中国长江三峡工程开发总公司，设计单位是水
六大类系统架构图及其简介
各种系统架构图及其简介 1.Spring架构图 Spring是一个开源框架，是为了解决企业应用程序开发复杂性而创建的。框架的主要优势之一就是其分层架构，分层架构允许您选择使用哪一个组件，同时为J2EE应用程序开发提供集成的框架。Spring框架的功能可以用在任何J2EE 服务器中，大多数功能也适用于不受管理的环境。Spring的核心要点是：支持不绑定到特定J2EE服务的可重用业务和数据访问对象。这样的对象可以在不同J2EE环境（Web或EJB）、独立应用程序、测试环境之间重用。 组成Spring框架的每个模块（或组件）都可以单独存在，或者与其他一个或多个模块联合实现。每个模块的功能如下： 核心容器：核心容器提供Spring框架的基本功能。核心容器的主要组件是BeanFactory，它是工厂模式的实现。BeanFactory使用控制反转（IOC）模式将应用程序的配置和依赖性规范与实际的应用程序代码分开。 Spring上下文：Spring上下文是一个配置文件，向Spring框架提供上下文信息。Spring上下文包括企业服务，例如JNDI、EJB、电子邮件、国际化、校验和调度功能。 Spring AOP：通过配置管理特性，Spring AOP模块直接将面向方面的编程功能集成到了Spring框架中。所以，可以很容易地使Spring框架管理的任何对象支
持AOP。Spring AOP模块为基于Spring的应用程序中的对象提供了事务管理服务。通过使用Spring AOP，不用依赖EJB组件，就可以将声明性事务管理集成到应用程序中。 Spring DAO：JDBC DAO抽象层提供了有意义的异常层次结构，可用该结构来管理异常处理和不同数据库供应商抛出的错误消息。异常层次结构简化了错误处理，并且极大地降低了需要编写的异常代码数量（例如打开和关闭连接）。Spring DAO的面向JDBC的异常遵从通用的DAO异常层次结构。 Spring ORM：Spring框架插入了若干个ORM框架，从而提供了ORM的对象关系工具，其中包括JDO、Hibernate和iBatis SQL Map。所有这些都遵从Spring 的通用事务和DAO异常层次结构。 2.ibatis架构图 ibatis是一个基于Java的持久层框架。iBATIS提供的持久层框架包括SQL Maps和Data Access Objects（DAO），同时还提供一个利用这个框架开发的JPetStore实例。 IBATIS：最大的优点是可以有效的控制sql发送的数目，提高数据层的执行效率！它需要程序员自己去写sql语句，不象hibernate那样是完全面向对象的，自动化的，ibatis是半自动化的，通过表和对象的映射以及手工书写的sql语句，能够实现比hibernate等更高的查询效率。
半导体厂务系统事故
半导体厂务系统事故及经验教训征集，有金币奖励！ 发表时间: 2007-3-31 08:31 作者: hhnec 来源: 半导体技术天地 字体: 小中大| 打印 半导体厂务系统相关的事故及经验教训征集，根据精彩与详尽程度有不等的金币奖励！ 说明：每个FAB、每个做厂务的engineer都会碰到各种各样、大大小小的事故，以及由此产生许多的经验教训供他人借鉴。作为各位专业人士互相之间的业务交流，请大家说出你碰到过的各类事故（也可以是你听说的其他FAB发生的真实事件）。要求说明时间、地点、发生情况以及对策、相关的经验教训等。 前车之鉴、他山之石，与人共享，善莫大焉！ 我也来说两句查看全部评论相关评论 kitgain (2007-3-31 11:33:59) 版主大人的宝贴怎么不回呢？ 俺抢沙发先。 某fab发生的真实案例，猴年马月子时亥分，厂务特气小组highlight Kr/F2/He消耗太快，整个fab 只有一种设备使用这种鸟气体－－呵呵，卖个关子先。追查发现一周以前新进的这台设备刚做完hookup，即QC验收通过，现场一切正常，但源头既然在这里，还是要查。 事故现状：该特气消耗量增大到平时2倍，而整个工厂、设备正常运转； 源头分析：就是这台设备了。 特气组开始彻查整套管路，从厂务GC到VMB到设备端，一边询问EE了解状况;EE初闻此信息，惊骇莫名，F2泄漏，还了得，但设备这边一切看起来正常，也帮不上什么忙。特气组累死累活每端管路（即有接头的2端管路）做he leak,保压测试，最后查到VMB到laser端，这里开始是EE的范围了。这时发现测试不过，laser接口端漏气！！！ 继续打开接口端，发现小小的mouse tip微微扭曲变形一点点，毒气就是从这么一点点的罅缝， 越过swage lock而泄漏！
半导体厂GAS系统基础知识解读
GAS 系 统 基 础 知 识
概述 HOOK-UP专业认知 一、厂务系统HOOK UP定义 HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOK UP是将厂务提供的UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。 机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUU，GAS，CHEMICAL， D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN. 二、GAS HOOK-UP专业知识的基本认识 在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管衔接）以Buck Gas （一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至次主管线（Sub-Main Piping）之Take Off点称为一次配（SP1
Hook-up），自Take Off出口点至机台（Tool）或设备（Equipment）的入口点，谓之二次配（SP2 Hook-up）。以Specialty Gas（特殊性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（Gas Cabinet）。自G/C出口点至VMB（Valve Mainfold Box.多功能阀箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能阀盘）之一次测（Primary）入口点，称为一次配（SP1 Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次侧（Secondary）出口点至机台入口点谓之二次配（SP2 Hook-up）。
各种系统架构图与详细说明
各种系统架构图与详细说明 2012.07.30
1.1.共享平台逻辑架构设计 如上图所示为本次共享资源平台逻辑架构图，上图整体展现说明包括以下几个方面： 1 应用系统建设 本次项目的一项重点就是实现原有应用系统的全面升级以及新的应用系统的开发，从而建立行业的全面的应用系统架构群。整体应用系统通过SOA面向服务管理架构模式实现应用组件的有效整合，完成应用系统的统一化管理与维护。 2 应用资源采集 整体应用系统资源统一分为两类，具体包括结构化资源和非机构化资源。本次项目就要实现对这两类资源的有效采集和管理。对于非结构化资源，我们将通过相应的资源采集工具完成数据的统一管理与维护。对于结构化资源，我们将通过全面的接口管理体系进行相应资源采集模板的搭建，采集后的数据经过有效的资源审核和分析处理后进入到数据交换平台进行有效管理。 3 数据分析与展现
采集完成的数据将通过有效的资源分析管理机制实现资源的有效管理与展现，具体包括了对资源的查询、分析、统计、汇总、报表、预测、决策等功能模块的搭建。 4 数据的应用 最终数据将通过内外网门户对外进行发布，相关人员包括局内各个部门人员、区各委办局、用人单位以及广大公众将可以通过不同的权限登录不同门户进行相关资源的查询，从而有效提升了我局整体应用服务质量。 综上，我们对本次项目整体逻辑架构进行了有效的构建，下面我们将从技术角度对相关架构进行描述。 1.2.技术架构设计
如上图对本次项目整体技术架构进行了设计，从上图我们可以看出，本次项目整体建设内容应当包含了相关体系架构的搭建、应用功能完善可开发、应用资源全面共享与管理。下面我们将分别进行说明。 1.3.整体架构设计 上述两节，我们对共享平台整体逻辑架构以及项目搭建整体技术架构进行了分别的设计说明，通过上述设计，我们对整体项目的架构图进行了归纳如下： 综上，我们对整体应用系统架构图进行了设计，下面我们将分别进行说明。
厂务系统供能指标
厂务系统供能指标 遵循节能减排同时满足工艺机台的动能需求，特制订本厂务系统动能指标。序号动能种类指标类别指标 1 电 电压10.0 ---10.5KV 功率因数0.95--0.98 2 工艺冷却循环水101厂房PCW1供水压 力 ≥0.20MPa 101厂房PCW2供水压 力 ≥0.50MPa 101厂房PCW供水温度≤21℃102厂房PCW供水压力≥0.55MPa 102厂房PCW供水温度≤20℃103厂房PCW供水压力≥0.55MP a 103厂房PCW供水温度≤20℃ 3 真空系统101厂房真空压力(PV)≤-0.07MPa 101厂房真空压力(HV)≤-0.03MPa 102厂房真空压力(PV)≤-0.08MPa 103厂房真空压力(PV)≤-0.08MPa 4 RO水电导率≤10μs/cm 压力≥0.2MPa 供应量35m3/h 5 2M纯水压力≥0.3MPa 供应量3m3/h（需设回流） 6 超纯水电阻率≥18.0MΩ.cm(25℃) 二氧化硅≤10μg/l TOC ≤30ppb 压力≥0.3MPa 温度25+/-2℃ 供应量50m3/h（需设回流） 7 一般生产生活用水压力≥0.3MPa 流量100m3/h 8 冷却塔补水系统压力≥0.3MPa 0.4流量≥150m3/h 9 纯水补水系统压力≥0.3MPa 流量≥150m3/h 10 低温冷冻水供水压力（二次泵出口）0.35Mpa-0.5Mpa 回水压力（一次泵进口) 0.15Mpa-0.3Mpa 供水温度6±0.5℃ 回水温度≤12℃ 11 中温冷冻水供水压力（二次泵出口）0.35Mpa-0.5Mpa 回水压力（一次泵进口)0.15Mpa-0.3Mpa 供水温度13±0.5℃ 回水温度≤19℃
系统工程与多项目管理设计方案
系统工程与多项目管理 设计方案 1系统工程与项目管理的内涵 1.1系统工程概念 系统是由相互联系、相互作用的要素组成的具有一定结构和功能的有机整体。 系统工程是一门工程应用技术和方法。它从需求出发，综合多种专业技术，通过分析、综合、试验和评价的反复迭代过程和一系列逻辑相关的活动和决策，把用户需求转化为一组系统性能参数和一个适当的系统配置，开发出一个满足系统全寿命周期使用要求、总体最优的系统。 1.2系统工程特点 与其他专业技术相比，系统工程具有以下突出特点： （1）充分体现工程专业综合系统工程是一门跨学科的边缘性交叉学科。它要用到自然科学、社会科学、系统科学等多个学科门类的知识。工业领域的系统工程往往需要综合光、机、电、热、可靠性、仿真等多个工程专业的工程技术，需要不同专业、不同部门的专家共同参与，并且紧密配合、协同一致地开展工作。 （2）突出系统总体，强调整体优化系统工程把整个系统作为研究对象，突出系统总体层面的研究，充分强调系统的综合优化，而不是单一目标或单个分系统的优化，同时还追求实现目标的具体方法和途径的优化。 （3）以工作分解和综合集成为核心 系统工程先根据任务需求从整体出发确定系统的性能指标和功能结构，在总体指导下对系统进行工作分解与分析，确定分系统技术要求和结构方案，最后进行综合集成，实现系统整体功能。 （4）包含系统工程技术与系统工程管理两大过程
系统工程的目标就是通过系统工程技术与系统工程管理两大并行的优化过程开发出满足用户需求的综合最优的系统。 1.3项目管理概念 项目可定义为:在一定的约束条件下，具有特定目标的一次性任务。项目不仅定义为单一的、一次性的具有专门组织形式的复杂任务，而且随着环境和客观条件的变化，项目还要能够不断进行自我调整和完善项目管理给人的直观概念是“对项目进行的管理”。其目标是在范围、时间、成本和质量等限制条件下尽可能高效率地达到目标。它涉及资源、需求和目标、项目组织、环境各种要素。综上所述，可将项目管理定义为:在资源约束下，通过一个临时性的专门的柔性组织，运用系统论的观点、方法和理论，对项目进行高效率的计划、组织、领导和控制，以实现项目全过程的动态管理和项目目标的综合协调与优化，是以项目为对象的系统管理的方法。 一个项目从始到终的整个过程构成了项目生命周期。 1.4项目管理特点 与传统的职能管理相比，项目管理最大的特点是注重综合管理，并且有严格的时限。其特点主要表现在: (1)项目管理具复杂性和创造性。项目管理自成学科，有其完备的知识体系。其内涵、环境、过程、结果等构架使每一项目都会迥异。项目管理需通过不完全确定的过程，在确定的要求内，完成不完全确定的产品、过程和服务实现。 (2)项目管理全过程都贯穿着系统工程的思想。项目管理把项目看成一个完整的系统，依据系统论“整体一分解一综合”的原理，可将项目系统分解为许多责任单元。责任者明确分工和责任并按要求完成目标，然后汇总、综合成最终的成果。时，把项目看成一个有完整生命周期的过程。强调部分对整体的重要性、阶段与全过程的协作，以避免局部或阶段影响整体或全过程的情况发生。 (3)组织的临时性和高度柔性。项目组织形式或团队的形成应以完成项目目标为准则，项目组织会随着项目的产生而产生，随着项目的结束而终结。 (4)管理方法的开放性。项目管理采用先进的管理理论和方法。例如采用全而质量管理、价值工程、技术经济分析等理论，采用先进高效的计算机信息管理系统进行项目信息处理等。
厂务部设备管理程序教材
厂务部设备管理程序 1.目的Purpose 确定、提供为实现产品符合性所需的基础设施，规范厂务部对各种设施及设备的正确操作和维护，延长设备的使用寿命，提高工作效率. 2. 范围Scope 浙江衡远新能源科技有限公司 3. 内容content 3.1 基础设施 basic establishment 每日 1）检查门窗开、闭是否灵敏 2）地板完好应干净无灰尘 3）记录每天水表用量，是否有漏水 每周 1）检查吊顶及屋面是否有渗漏雨 2）室内墙壁油漆是否开裂要修补 3）排水管道是否畅通 3.2电气系统Electrical system 3.2.1 电气系统部分定义 3.2.1.1电气安全 电气安全包括人身安全与设备两个方面。人身安全是指电气作业人员与其他人员的安全；设备安全是包括电气设备及工作机构的安全。 3.2.1.2安全电压 为保障员工人身安全，国家级劳动部门特定的安全电压，此安全电压符合国际及国家标准，经科学计算制定，对人体无危害的电压。
3.2.1.4额定电压 3.2.2 照明系统 3.2.2.1 巡视内容 （1）设备部技术员每天检查车间照明，发现有不亮的或闪烁的日光灯及时更换。 （2）根据所在区域的实际情况决定增减照明。 （3）检查开关是否良好。 3.2.2 .2废品回收 （1）更换下来的灯管统一送到行政部。 （2）填写废品回收单。 3.2.3 动力系统（配电房，动力柜） 3.2.3.1巡视内容 （1）巡视周期。变配电所每两小时巡视一次，特殊巡视按需要进行。 （2）定期巡视项目。 1）注油设备油面是否适当，油色是否清晰，有无渗漏。 2）瓷绝缘子有无破碎和放电现象。 3）各连接点有无过热现象。 4）变压器及旋转电机的声音、温度是否正常。 5）变压器的冷却装置运行是否正常。 6）电容器有无异声及外壳是否有变形膨胀等现象。 7）电气柜排风系统是否通畅。 8）各种信号指示是否正常，二次回路的断路器、隔离开关位置是否正确。 9）继电保护及自动装置压板位置是否正确。 10）仪表指示是否正常，指针有无弯曲、卡涩现象；电度表有无停走或倒走现象。11）直流母线电压及浮充电流是否适当。 12）设备缺陷有无发展变化。、 13）配电室内外和电气设备应该保持整洁，及时清除设备外壳上的污垢和灰尘。 14）三相电流是否平衡，三相电压质量是否符合要求。 3.2.3.2倒闸操作制度 （1）倒闸操作必须根据值班负责人或工程师的命令、并经受令人复诵无误后执行。倒闸操作应填写操作票，操作票由操作人填写，由值班长负责审核。 （2）操作票的填写要求严肃准确，字迹清楚，不得任意涂改、要使用统一的、确切的操作术语。每份倒闸操作票只能填写一个操作任务，操作票应编号，按编号顺序使用。
半导体厂务系统介绍
Cleanroom System [ 洁净室系统] /ceiling grid 、无a, 内装修工程：(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶尘 涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等； b, 循环空调系统：(包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、 FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.); c, FOUNDATION:防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁 净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc. Mechanical System ［机械系统］ 中央动力,Central utility:Mechenical( 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、 生产上水、自来水、饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施) Specialty Gas and Bulk Gas ［特殊气体和大宗气体］ a, Bulk Gas:GAS YARD 气站,CQC(N2/H2/O2/Ar/He/ 天然气)【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气(CDA)--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA供应系统分开，呼吸空气供应系统等； b, Specialty Gas System ( 部分特性有重迭): (1) 易燃性气体(Flammable Gas) (2) 毒性气体(Toxic Gas) (3) 腐蚀性气体(Corrosive Gas) (4) 惰性气体(Inert Gas) (5) 氧化性气体(Oxide Gas) (6) 低压/保温气体(Heat G as) Water Treatment System ［水处理系统］ a, 超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc. b, 工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一 般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.) c, 办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc Exhaust System［工艺排气系统］ a, 工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.［有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统］ b, LOCAL SCRUBBER( 一般附属于工艺设备):依其原理大概可分成下列几类(1)电热水洗式；(2)燃烧水洗式(3)填充水洗式;(4)干式吸附式。 Chemical Dispensing System［化学品供应系统］ 包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类根据每个FAB产品的 不同而不同： a,Chemical Dispe nsi ng System 化学品供应系统
项目管理是一个多要素组成的系统工程
1.总则 项目管理是一个多要素组成的系统工程，为确保P3e/c企业项目管理软件能在湛江中粤能源有限公司有效的运作实施，充分发挥和体现P3e/c计划与进度控制软件对工程项目的指导作用，确实保障各项计划活动能始终处于有序和受控状态，从而为工程项目管理的规范化、制度化、程序化提供有效支持，最终实现项目管理各项预定目标，为企业更进一步的提高管理水平和改进管理方法提供充分的参考依据。 2、计划管理的范围及管理内容 2.1本制度适用于参加湛江中粤能源有限公司工程建设的各单位。 2.2计划管理的内容包括：工程进度计划、物资供应计划及公司、设计图纸交付计 划、人力资源管理计划、主管部门要求的其它专项计划。 2.3公司将使用p3e/c管理软件对湛江奥里油发电厂2×600MW工程进行全过程计划 管理。 3、组织机构及职责 湛江中粤能源有限公司p3e/c项目管理系统组织机构由领导小组及工作小组组成，主要规范了业主和监理在整个P3ec系统中应该设立哪些管理角色，以及各个角色在管理P3ec过程中主要的职责。在领导小组的领导和支持下，以工作小组为中心，负责编制业主的一二级控制性计划，批准、协调和控制各承包商上报的进度计划。
组织机构： 3.1.1领导小组： 组长：李伟 副组长：陈志坚郭宾孟楚坤 成员：王帆吕世昌杨良钧李毅张健慧陈装李前郑炳杨俊耀各承包商领导 3.1.2工作小组： 组长：张健慧 副组长：陈装李前 成员：钟达红刘建华钟振林潘日明李华生卢卫星监理各专业人员各施工单位计划负责人 p3e/c工程师：刘瑛 p3e/c服务组：王虎平 (广州普杰公司工程师) p3e/c系统管理员：吴毅锋 职责： 3.2.1领导小组 3.2.1.1承诺及保证所需项目资源、资金 3.2.1.2监督项目进程 3.2.1.3管理各组织对项目影响 3.2.1.4及时决策，审核组长完成项目目标 3.2.1.5解决项目中的企业性问题 3.2.1.6进行项目协调，解决项目问题 3.2.1.7对工作小组进行考核
系统架构设计框架简介
基于组件的架构 应用可以按组件划分，不用组件实现不同功能和逻辑，组件之间的接口规范有很好的定义。某些组件可以重用。 如果 有若干现成组件，比如以前系统的ActiveX组件或者.net的组件 应用程序足够简单而不需要分层的架构，通过调用这些组件就可完成大部分工作 不同语言开发的组件需要结合在一起，如https://www.wendangku.net/doc/4e18626745.html,需要调用VB写的COM+的组件 应用程序需要支持插件技术，可以动态切换组件，例如用.net反射技术实现的插件技术 那么我们可以选择基于组件的架构。 分层Layered的架构 应用被划分成了堆叠在一起的若干层，每一层完成特定的服务和功能，与其上下层接口，各层之间是调用被调用的关系。在最上面的层只有调用下面的一层，在中间的层则兼有调用和被调用。在最下面的层则是仅供上面的层调用。通常划分成UI层，商务逻辑层，数据层等，并且通常多个层都部署在同一台服务器上。
如果 应用程序比较复杂，不同的功能需要不同的层来各司其职，如数据访问，商务逻辑，表现等。有比较复杂的商务逻辑和流程。 那么我们可以选择分层的架构。 Model,View,Controller(MVC)架构 用户交互的处理与UI显示分离 用户交互的处理和UI显示与数据分离
如果 要获得分离的UI视图和处理逻辑 要UI视图和处理逻辑与数据存储分离 3Tier/N Tier的架构 Tier可以译成排。以与Layer(层)有所区别。将应用程序划分成一系列的服务，包括UI, Business(商业逻辑),数据等服务。各Tier可部署在不同的服务器上。类似于分层(layer)的架构。通常分层(layer)不跨机器的边界，也即所有层(layer)都部署在一台服务器上。Tier 是要跨机器的边界。各Tier之间用预定义的通信协议来通信，如WCF,Web service,或者TCP/IP等。分层(layer)的各层(layer)之间的通信都是通过该编程语言的引用和调用来实现的。所以是有区别的。
智能系统工程项目的施工管理
智能化系统项目的施工管理 项目的施工管理是指从工程的准备阶段开始直到工程全部验收结束的整个过程中，在深化设计、设备材料采购、设备安装乃至调试验收等诸多环节中，为确保工程质量，提高施工效率，保障施工安全采取的各种系统的管理措施。这种管理必须面对整个工程中的各个方面，特别是下述要点：工程进度、工程人员、工程安全、工程文档、工程质量、工程监理等。 下面我们将根据长期积累的施工经验，以及对业主要求的理解，分别予以说明： ①、工程项目进度表 施工进度管理的基础是施工计划书。施工计划经审核批准后，各单位必须围绕计划书展开工作，确保施工计划完成。对施工计划完不成的单位，总包将以文件方式通告各单位，并报业主和监理。 由项目经理部根据工程的工期要求制定，是整个工程的总体进度安排。包括： 月工作计划表——每月最后一个星期定出下一个月的工作计划，并提交业主方监督，针对各个子系统制定详细的工程施工计划。 周工作计划表：每周星期五提交下一周的工作计划表，提交给业主审核。应严格按照月进度计划来安排每周的工作，以确保能按时按质完成月工作计划中确认的各项任务。
工程进度报告：可针对情况每周或某一阶段对工程进度进行详细的汇报。 编制周施工计划书、日施工计划书。各专业分包商也必须编制周施工计划和月施工计划报总包。 ②、工程人员配置 考虑到业主要求的特殊岗位，我们将配备最为优秀的工程技术人员，力争在该项目上展示公司的最新技术以及优良服务。其中包含项目管理人员、施工人员。详细资料请参见人员组织结构。 ③、施工安全保证措施 1)一般规定 确保工程安全，实施文明施工是提高工程质量、提高施工效率、保证施工进度的重要保障。项目单位将制定完善的安全措施和文明施工规范，并严格监督实施。 安全工作以防为主，从防患于未然着手，要将一切不安全因素消除在萌芽之中，安全措施主要包括： 施工现场根据实际情况制作安全警示牌或安全标志。 在施工过程中，对楼梯口、电梯口、预留洞口和过道口“四口”及“五临边”的防护，凡与安全施工相关的要采取可靠的防护措施。 项目安全员负责制定“四口”及“五临边”的安全防护措施，报项目经理批准后实施，并负责检查防护措施的落实情况。 施工现场每月进行安全检查一次，并每月开一次安全会。 安全包括人身安全和设备的安全。这要求施工人员在施工过
半导体厂务工作
半導體廠務工作 國家奈米元件實驗室 一、前言 近年來，半導體晶圓廠已進展到8"晶圓的量產規模，同時，也著手規劃12"晶圓的建廠與生產，準備迎接另一世代的產業規模。於是各廠不斷地擴增其產能與擴充其廠區規模，似乎稍一停頓即會從此競爭中敗下陣來。所以，推促著製程技術不斷地往前邁進，從0.25μm設計規格的64Mb（百萬位元）DRAM（動態隨機記憶元件）記憶體密度的此際技術起，又加速地往0.18μm規格的256M發展；甚至0.13μm的1Gb（十億位元）集積度的DRAM元件設計也屢見不鮮。亦即整個半導體產業正陷入尖端技術更迭的追逐戰，在競爭中，除了更新製程設備外，最重要的是維持廠區正常運作的廠務工作之配合，而這兩方面的支出乃佔資本財的最大宗。特別是多次的工安事故及環保意識抬頭之後，廠務工作更是倍顯其重要及殷切。 事實上，半導體廠的廠務工作為多援屬性的任務，也是後勤配合與收攤（廢棄物）處理的工作；平時很難察覺其重要性，但狀況一出，即會令整廠雞飛狗跳，人仰馬翻，以致關廠停機的地步。所以，藉此針對廠務工作的內容做一概略性的描述，說明其重要性並供作參考與了解。文章分為三部份：首先為廠務工作的種類，其次是廠務工作的未來方向，最後是本文的結語。 二、廠務工作的種類 目前在本實驗室所代表的半導體製程的廠務工作，約可分為下列數項： 1.一般氣體及特殊氣體的供應及監控。 2.超純水之供應。 3.中央化學品的供應。 4.潔淨室之溫度，濕度的維持。 5.廢水及廢氣的處理系統。 6.電力，照明及冷卻水的配合。 7.潔淨隔間，及相關系統的營繕支援工作。 8.監控，輔佐事故應變的機動工作等數項。 下述將就各項工作內容予以概略性說明： 1.一般氣體及特殊氣體的供應及監控[1] 一座半導體廠所可能使用的氣體約為30種上下，其氣體的規格會隨製程要求而有不同；但通常可分為用量較大的一般氣體(Bulk Gas)，及用量較小的特殊氣體(Special Gsa)二大類。在一般氣體方面，包括有N2, O2, Ar, H2等。另在特殊氣體上，可略分為下述三大類: (1) 惰性氣體(Inert Gas)的He, SF6,CO2, CF4, C2F6, C4H8及CH3F等。 (2) 燃燒性氣體(Flammable Gas)的SiH4,Si2H6, B2H6, PH3, SiH2Cl2, CH3, C2H2及CO 等。 (3) 腐蝕性氣體(Corrosive Gas)的Cl2,HCl, F2, HBr, WF6, NH3, BF2, BCl3, SiF4, AsH3, ClF3, N2O, SiCl4, AsCl3及SbCl5等。 實際上，有些氣體是兼具燃燒及腐蝕性的。其中除惰性氣體外，剩下的均歸類為毒性氣體。SiH4,B2H6,PH3等均屬自燃性氣體(Pyrophoricity)，即在很低的濃度下，一接觸大氣後，立刻會產生燃燒的現象。而這些僅是一般晶圓廠的氣源而已，若是實驗型的氣源種類，則將更為多樣性。 其在供氣的流程上，N2可採行的方式，有1. 由遠方的N2產生器配管輸送，2使用液氣槽填充供應，3利用N2的近廠產生器等三種。目前園區都採1式為主，但新建廠房的N2用量增鉅，有傾向以近廠N2產生器來更替；而本實驗室則以液槽供應。O2氣體亦多採用液槽方式，不過H2氣體在國內則以氣態高壓鋼瓶為主。圖一乃氣體供應之圖示。純化器方面，N2及O2一般均採用觸煤吸附雙塔式，Ar則以Getter（吸附抓取）式為主，H2則可有Getter，
厂务系统
工厂自动化/厂务系统(FMCS) 日期: 2009-11-6 15:00:48 作者: Admin 来源: 上海存在自动化控制设备有限公司浏览: 3588 FMCS(Facility Management and Control System)其中文意思是厂务监控系统，它是目前半导体厂内制程中所使用的监控系统，用途是将厂区内特定的，有危害的，影响制程状态或系统资料于此的监控，并将其记录，以供问题即时处理及日后问题分析。 目前的制造业已经向信息化工厂逐渐过度，整个工厂作为一个有机的整体来协调运转就需要一个有效的监控和管理，通过监控可以知道工厂所有设备所有人员所有材料的具体情况，通过管理，可以使以上各个生产环节紧密结合，协调运转。这样，就需要一个整体的全厂自动化系统。上海存在自动化控制设备有限公司的FMCS系统就是针对以上这些具体需求提出的完美解决方案。 存在自动化根据客户的具体设备要求和工程规范，结合我们在工厂FMCS方面的多年实践经验，运用当今主流的计算机技术和自动控制技术而进行的方案设计和工程实施设计，而量身定造完整的FMCS系统。此监控系统，具有友善的监控界面，采用Windows作业环境，只需要使用鼠标及简单的键盘，就可以进行操作，具安全性及可扩充性。 FMCS设计目标 将设施供应系统、环境系统、废弃物处理系统等监控资料利用Ethernet、PLC或RS232等通讯协议连接至不同监控计算机，形成一整合网络监控系统，以达到如下目的： 1.整合各单一网络为以整体，实现信息可互通。
2.提升整体管理绩效 3.简化运转维护困难度 4.降低安装、运转及扩充成本 5.多台电脑可相互监看、控制 6.可共享磁盘资源 7.可达到相互备份效果 8.监控报警电话Call出及邮件功能 9.历史数据查询及曲线查询 10.自动生成报表 11.监控系统网络管理 FMCS价值所在 1.大量节省管理人员：传统的仪表控制系统是通过工厂操作管理人员楼上楼下来回奔走，对分布于工厂各处的设备进行开关和调节。采用FMCS以后，就可以通过计算机的键盘或鼠标在中央控制室完成调节控制工作，也可以由计算机内部的软件自动控制调节各设备的参数及开关状态，做到真正的管理自动化，因此可以减轻管理人员的劳动强度，减少管理人员的数量。 2.延长设备使用寿命：设备在计算机的统一管理下始终处于最佳运行状态，按照设备的运行状况打印维护保养报告，提示管理人员对设备进行维护、保养，避免超前或延误维护、保养，相应延长设备使用寿命，减免突发性设备损坏，也就等于节省了资金。 3.提高操作管理人员与设备的整体安全水平：FMCS对不同子系统设备的运行状态进行实时监视，可使管理人员及时发现设备故障、问题与意外，消灭故障于隐患之中，保证设备与人身的安全。一旦设备有故障发生，计算机可以报告故障发生的部位及故障发生的原因，以便维护人员快速排除故障，恢复设备正常运行。 4.及时直观信息反馈：FMCS可不断地、及时地提供有关设备运行状况的报表，集中收集、整理作为设备管理决策的依据，实现设备维护工作的自动化。报表包括设备历史数据、动态趋势、设备诊断等。用户要求的报表可以打印存档。 5.安全操作规范管理：根据管理人员不同职务，给予不同的操作权力，分配不同等级的密码给各个管理人员。在某管理人员表明身份密码后，计算机便记录下使用人的姓名和时间等以便备查。 FMCS系统架构
工程项目管理的概念
工程项目管理的概念 1．项目管理及其特点 项目管理是指在一定的约束条件下，为达到项目目标（在规定的时间和预算费用内，达到所要求的质量）而对项目所实施的计划、组织、指挥、协调和控制的过程。 一定的约束条件是制定项目目标的依据，也是对项目控制的依据。项目管理的目的就是保证项目目标的实现。项目管理的对象是项目，由于项目具有单件性和一次性的特点，要求项目管理具有针对性、系统性、程序性和科学性。只有用系统工程的观点、理论和方法对项目进行管理，才能保证项目的顺利完成。项目管理具有以下特点： （1）每个项目具有特定的管理程序和管理步骤。项目的一次性、单件性决定了每个项目都有其特定的目标，而项目管理的内容和方法要针对项目目标而定，项目目标的不同，决定了每个项目都有自己的管理程序和步骤。 （2）项目管理是以项目经理为中心的管理。由于项目管理具有较大的责任和风险，其管理涉及人力、技术、设备、材料、资金等多方面因素，为了更好地进行计划、组织、指挥、协调和控制，必须实施以项目经理为中心的管理模式，在项目实施过程中应授予项目经理较大的权力，以使其能及时处理项目实施过程中出现的各种问题。 （3）应用现代管理方法和技术手段进行项目管理。现代项目的大多数属于先进科学的产物或者是一种涉及多学科的系统工程，要使项目圆满地完成，就必须综合运用现代化管理方法和科学技术，如决策技术、网络计划技术、价值工程、系统工程、目标管理、看板管理等等。（4）项目管理过程中实施动态控制。为了保证项目目标的实现，在项目实施过程中采用动态控制的方法，阶段性地检查实际值与计划目标值的差异，采取措施纠正偏差，制定新的计划目标值，使项目的实施结果逐步向最终目标逼近。 2．工程项目管理 工程项目管理是项目管理的一个重要分支，它是指通过一定的组织形式，用系统工程的观点、理论和方法对工程建设项目生命周期内的所有工作，包括项目建议书、可行性研究、项目决策、设计、设备询价、施工、签证、验收等系统运动过程进行计划、组织、指挥、协调和控制，以达到保证工程质量、缩短工期、提高投资效益的目的。由此可见，工程项目管理是以工程项目目标控制（质量控制、进度控制和投资控制）为核心的管理活动。 工程项目的质量、进度和投资三大目标是一个相互关联的整体，三大目标之间既存在着矛盾的方面，又存在着统一的方面。进行工程项目管理，必须充分考虑工程项目三大目标之间的对立统一关系，注意统筹兼顾，合理确定三大目标，防止发生盲目追求单一目标而冲击或干扰其他目标的现象。 （1）三大目标之间的对立关系。在通常情况下，如果对工程质量有较高的要求，就需要投入较多的资金和花费较长的建设时间；如果要抢时间、争进度，以极短的时间完成工程项目，势必会增加投资或者使工程质量下降；如果要减少投资、节约费用，势必会考虑降低项目的功能要求和质量标准。所有这些都表明，工程项目三大目标之间存在着矛盾和对立的一面。（2）三大目标之间的统一关系。在通常情况下，适当增加投资数量，为采取加快进度的措施提供经济条件，即可加快项目建设进度，缩短工期，使项目尽早动用，投资尽早回收，项目全寿命周期经济效益得到提高；适当提高项目功能要求和质量标准，虽然会造成一次性投资和建设工期的增加，但能够节约项目动用后的经常费和维修费，从而获得更好的投资经济效益；如果项目进度计划制定得既科学又合理，使工程进展具有连续性和均衡性，不但可以缩短建设工期，而且有可能获得较好的工程质量和降低工程费用。所有这一切都说明，工程项目三大目标之间存在着统一的一面。人力资源- 企业的管家
半导体厂务系统
半导体厂务系统 Standardization of sany group #QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8-HHMHGN#
半导体厂务工作 吴世全 国家奈米元件实验室 一、前言 近年来，半导体晶圆厂已进展 到8"晶圆的量产规模，同时，也着手规划12"晶圆的建厂与生产，准备迎接另一世代的产业规模。於是各厂不断地扩增其产能与扩充其厂区规模，似乎稍一停顿即会从此竞争中败下阵来。所以，推促着制程技术不断地往前迈进，从μm设计规格的64Mb（百万位元）DRAM （动态随机记忆元件）记忆体密度的此际技术起，又加速地往μm规格的256M发展；甚至μm的1Gb（十亿位元）集积度的DRAM元件设计也屡见不鲜。亦即整个半导体产业正陷入尖端技术更迭的追逐战，在竞争中，除了更新制程设备外，最重要的是维持厂区正常运作的厂务工作之配合，而这两方面的支出乃占资本财的最大宗。特别是多次的工安事故及环保意识抬头之後，厂务工作更是倍显其重要及殷切。 事实上，半导体厂的厂务工作为多援属性的任务，也是後勤配合与收摊（废弃物）处理的工作；平时很难察觉其重要性，但状况一出，即会令整厂鸡飞狗跳，人仰马翻，以致关厂停机的地步。所以，藉此针对厂务工作的内容做一概略性的描述，说明其重要性并供作参考与了解。文章分为三部份：首先为厂务工作的种类，其次是厂务工作的未来方向，最後是本文的结语。
二、厂务工作的种类 目前在本实验室所代表的半 导体制程的厂务工作，约可 分为下列数项： 1.一般气体及特殊气体 的供应及监控。 2.超纯水之供应。 3.中央化学品的供应。 4.洁净室之温度，湿度的维持。 5.废水及废气的处理系统。 6.电力，照明及冷却水的配合。 7.洁净隔间，及相关系统的营缮支援工作。 8.监控，辅佐事故应变的机动工作等数项。 下述将就各项工作内容予以概略性说明： 1.一般气体及特殊气体的供应及监控[1]