高纯气体的配管及材质

高纯气体的配管及材质

1．高纯气体管路的设计要点：

（1）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。（2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

（3）根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

（4）管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

（5）对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

（6）为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

（7）在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器

2．高纯气体配管及附件材质的选择

（1）选择标准

●选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料：

目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管，高纯气体使用管材的特点及要求如下表所示：

管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；

使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆炸，有剧毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为

SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体

阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，

正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

●内表面处理：通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

●阀门的选用：高纯气体对系统所用阀门的严密性有十分严格的要求，目前国内洁净厂房的高纯气体管道的阀门基本都采用SS304或SS316L不锈钢材质，阀门型式有隔膜阀、波纹管阀和球阀。波纹管阀的严密性比球阀好，在气体流过阀门时没有与外环境接触的填料，所以没有渗漏现象：隔膜阀除了严密性与波纹管阀相当以外，还具有阀体死体积小，易吹除且污染少，所以适用于对气体纯度和生产工艺要求极严格或者危险性大的气体。

●管道连接：①高纯气体一般采用手工氩弧焊接和自动氩弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和对焊，承插焊的好处在于施焊时管道的

对中，方便焊接，但缺点是由于管道与承插口之间有间隙，会存在“死空间’不易将杂质吹除，影响高纯气体质量。因

此对于要求极为严格的高纯气体来说，应采用对接焊连接并要求内表面无焊缝，即在施工时不得使用不锈钢焊丝，利用

母材的本身融化填满焊缝。

②为确保输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。

③高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头予以连接，常用的接头方式有两种：分别为VCR

（Vacuum Coupling Retainer）和SWG（Swaglok），VCR采用优良的金属垫，利用纵向压力压紧，因此泄漏率极低，

约为10～9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量1.0×10－9级的高纯气输送系统，而SWG则不如VCR，耐压较低，

基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。

“VCR”连接件构造示意图如下：1－压盖螺帽；2－密封压盖；3－垫片；4－接头；

用在腐蚀性气体上，v+v的EP管,腐蚀性气体可否列一下:

自燃，毒性气体, sih4 10%ph3/He 0.7%AsH3 1%PH3/H2 , Si2H6 SiH2CL2 NH3 WF6 HCL BCL3 HBr F2/Kr/Ne(腐蚀性）华虹用过TEOS, CLF3

近些年，KEE在磷烷和氯气上使用V+V的管材，其他的气体上未曾使用。

医院气体设计说明

一．概述3、医用供气系统的设计要点： （1、本方案具有下列特点：1）、解决全系统的最佳气体流量及压力分配问题： ①根据整幢大楼的总用气点流量，从主管、◆充分结合了目前国内外医用气体系统先进设计理念及国内知名医院设计模横管、支管进行一系列的实际与理论相结合的计算，确定最佳管径保证了用气点的气体流量。式；②为保证压力符合使用要求，氧气、空气每层均有流量调压装置均采用双◆设计的动力设备目前国内医院普遍使用率较高，运行性能良好，经济合理；路设计，并能根据需要调节使用压力。◆设计规范在按照GB50751-2012《医用气体工程技术规范》前提下，又参照 （2）、解决全系统的密封性问题：了GB50333-2013《医院洁净手术部建筑技术规范——医用气体篇》要求。为了提高系统密封性，从工程设计到施工、材料选购、检验均严格按照大楼内供氧、吸引、压缩空气系统主管管道设计十路作为大楼内所有病区◆ GB50751-2012《医用气体工程技术规范》ICU区域，第二路供往、国家医药行业标准YY/T0《医用中1#的供气主管。第一路供往门诊综合楼小手术室、心吸引、1#门诊综合楼普通病房区域；第三路供往连廊楼手术部区域，第四路供往中心供氧系统通用技术条件》及国家相关标准执行。中心供氧、吸引、压缩空气系统均设计脱脂紫铜管，连接均采用标准的医用紫铜管件连接金属密外外科楼手术部区域，第六路

供往连廊楼普通病房区域；第五路供往2#2#封后银钎基焊接，保证 了大楼医用气体工程整个系统的气密性。区域，第八路供往3#科楼普通病房区域；第七路供往内科楼手术部、ICU （33#内科楼普通病房区域；第九路、第十路备用。）、解决全系统的寿命及安全性问题：①为了保证系统整体寿命，保证系统今后的扩展性，氧气、吸引、压缩空气机房总管出口处预留阀门，除所选用的产品均是国内知名品牌浙江海亮产◆品外，可连接今后其它大楼的用气连接之用。另外从脱脂紫铜管的连接采用金属管件密封，系统中无非金属密封材料，避免了系统的老化，且铜元有杀菌抑菌功能。从而保证整套管路系统使用寿命2、项目概况：超过30年。4328 临沂市人民医院本次医用气体系统工程合计套用气单元，其中包括：②供氧整个系统中氧气、压缩空气部分的所有减压装置均采用双路设计，33床，术后恢复苏醒间，麻醉诱导、手术部区域：重大手术室）1（4815一路使用一路备用。且每个减压装置中均设有一套安全阀，床；当减压装置故障出口压力高于最高使用压力时，90床，血透CCU 142ICU、重症监护区域：）（2、床安全阀自动开启并进行卸压，从而避免了氧气终端、压缩空气终端出现超出使用压力的危险情况。床4000、病房区域：普通病房3（） 二、设计方案数据统计及计算人位高压氧舱。35、）4（． 25%2804030术后恢复、苏醒:1、气体设计范围及具体终端布置重症ICU、CCU40404270 监护75%终端组件或计算单元的数量其他10%803820普通病房40使用科室血透终端404050%1820n）（l/min16513 m3/h负压吸引用总需求量990.78 麻醉诱导15 手3、压缩空气使用的峰值

高纯气体管道配管及附件材料的选择要点

高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不仅要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于O．35g．m)技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格，10 (ppm级)已经不能达到要求，需要达到10 (ppb级)，甚至10一~2(ppt级)，尘埃粒径要求控制到0．05-0。Olla,m。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。 2．1管道材料特性 对输送高纯气体管道而言，其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。 21．1气体渗透性 气体从压力(或分压力)高的一侧透过材料向压力(或分压力)低的一侧流入的现象成为气体渗透。因为空气中氧气和氮气分压力最大、气体分子相对较小，管道材料对气体的渗透性主要表现氧气和氮气的渗透，一般对氧气的渗透测试比较多。不同材料对氧的渗透性材料大气中氧气的渗透(ppm)不锈钢管 O铜管O 聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12普通钢管203 从表看到，对于输送ppm级及更高纯度要求的气体，从气体渗透角度必须选用不锈钢管或者钢管，如果我们不恰当地选用了不符合要求的管道材料，那么，无论我们采取什么净化手段，都将是无济于事的。2．1．2出气速率 材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。 2．1．3吸附性 由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性极强，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。 2．1．4表面粗糙度和耐磨性 为了确保输送的气体纯净度，要求管道材料内表面有一个极高的光洁度，这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留，可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨，可以在气流高速冲刷下，产生的金属粒子就少，不锈钢比铜管产生粒子要少，所以不锈钢管耐磨性优于钢管。 2．1．5抗腐蚀性 微电子生产中，经常使用一些腐蚀性很强的气体，这时必须采用耐腐蚀的管材，否则管道会被腐蚀，轻则表面产生锈斑，重则管道大面积剥落、穿孔，不但污染气体，还会发生安全事故。

医院气体设计说明

一．概述 1、本方案具有下列特点： ◆充分结合了目前国内外医用气体系统先进设计理念及国内知名医院设计模 式； ◆设计的动力设备目前国内医院普遍使用率较高，运行性能良好，经济合理； ◆设计规范在按照GB50751-2012《医用气体工程技术规范》前提下，又参照 了GB50333-2013《医院洁净手术部建筑技术规范——医用气体篇》要求。 ◆大楼内供氧、吸引、压缩空气系统主管管道设计十路作为大楼内所有病区 的供气主管。第一路供往1#门诊综合楼小手术室、ICU区域，第二路供往1#门诊综合楼普通病房区域；第三路供往连廊楼手术部区域，第四路供往连廊楼普通病房区域；第五路供往2#外科楼手术部区域，第六路供往2#外科楼普通病房区域；第七路供往3#内科楼手术部、ICU区域，第八路供往3#内科楼普通病房区域；第九路、第十路备用。 ◆保证系统今后的扩展性，氧气、吸引、压缩空气机房总管出口处预留阀门， 可连接今后其它大楼的用气连接之用。 2、项目概况： 临沂市人民医院本次医用气体系统工程合计4328 套用气单元，其中包括：（1）、手术部区域：重大手术室48间，麻醉诱导15床，术后恢复苏醒33床； （2）、重症监护区域：ICU、CCU 142床，血透90床 （3）、病房区域：普通病房4000床 （4）、35人位高压氧舱。3、医用供气系统的设计要点： （1）、解决全系统的最佳气体流量及压力分配问题： ①根据整幢大楼的总用气点流量，从主管、横管、支管进行一系列的实际与理论相结合的计算，确定最佳管径保证了用气点的气体流量。 ②为保证压力符合使用要求，氧气、空气每层均有流量调压装置均采用双路设计，并能根据需要调节使用压力。 （2）、解决全系统的密封性问题： 为了提高系统密封性，从工程设计到施工、材料选购、检验均严格按照GB50751-2012《医用气体工程技术规范》、国家医药行业标准YY/T0《医用中心吸引、中心供氧系统通用技术条件》及国家相关标准执行。中心供氧、吸引、压缩空气系统均设计脱脂紫铜管，连接均采用标准的医用紫铜管件连接金属密封后银钎基焊接，保证了大楼医用气体工程整个系统的气密性。 （3）、解决全系统的寿命及安全性问题： ①为了保证系统整体寿命，除所选用的产品均是国内知名品牌浙江海亮产品外，另外从脱脂紫铜管的连接采用金属管件密封，系统中无非金属密封材料，避免了系统的老化，且铜元有杀菌抑菌功能。从而保证整套管路系统使用寿命超过30年。 ②供氧整个系统中氧气、压缩空气部分的所有减压装置均采用双路设计，一路使用一路备用。且每个减压装置中均设有一套安全阀，当减压装置故障出口压力高于最高使用压力时，安全阀自动开启并进行卸压，从而避免了氧气终端、压缩空气终端出现超出使用压力的危险情况。 二、设计方案数据统计及计算

高纯气体的配管及材质

高纯气体的配管及材质 1．高纯气体管路的设计要点： （1）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。（2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。 （3）根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。 （4）管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。 （5）对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。 （6）为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。 （7）在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器 2．高纯气体配管及附件材质的选择 （1）选择标准 ●选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料： 目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管，高纯气体使用管材的特点及要求如下表所示：

电气配管方式介绍

sc：焊接钢管tc：电线管薄钢管pc：硬质塑料管ct：电缆桥架cp：金属软管 SR：钢线槽RC：水煤气管 sc管是钢导管的英文单词steelconduit的开头字母缩写. SC新的标准标注，同于原来的G，应该是电线管，（也就是通常说的厚壁电线管） 新标注为RC,通于原来标注的GG，是通常说的水水煤气管。新标注的TC，指的是薄壁电线管。 以上通称焊接钢管。 新标注，PC聚氯乙烯硬管FPC半硬管KPC波纹管CT，为桥架敷设 KBG，JBG是薄壁电线管的一个变种，属于行业标准标注，不是国标，和SC等不是一回事SC是规范上的焊管，而且 是厚壁的，壁厚通常不小于3mm KBG---扣压式电气导管,用专用的压钳将套接管与导管压接紧固;JBG---紧固式电气导管,套管与导管使用用螺丝紧固. JDG、KBG管成为扣压式镀锌钢管，不用防腐、不用跨接。是黄色的。壁厚为1.2mm。。。。2.5左右。广泛应用，节省钢材。安装简便，功效高。但要用正规厂家的，否则弯曲时，易扁、开裂。要用配套的弯曲工具和弹簧。 JDG导管及系列产品是我公司在吸收国内外同类先进技术的改进型，与日本JIS工业标准相一致，并与GB50303、GB50300相吻合，即改变了传统熔焊和套丝复杂的施工工艺，也弥补了国内市场同类产品易滑扣等不良现象。选材精当 JDG导管及系列产品均采用优质钢材，经精密加工而成，双面镀锌，既美观，又有良好的防腐性能。施工方便 无需电焊机和套丝设备，也不需做跨接地线，无须刷漆，省去了传统熔焊和套丝等复杂的施工工序。 只需将直管接头连接管与管，螺纹管接头连接管与接线盒，定位后用专用工具拧紧（拧断）螺钉即可，与接线盒连接处用锁母紧定即可。管路转弯处用弯管器可现场弯曲相应的弧度。适用范围广 JDG导管有超轻型管和轻管两种，超轻型管可用于明敷，轻型管既可明敷亦可暗敷。适用于工业与民用建筑及市政管线中电线电缆的穿线保护，尤其适用于日趋推崇的智能写字楼的综合布线系统。性能优越 JDG导管相对国产镀锌管、SC管等市场同类产品，在综合性能方面具有十分显著的优势。工程验收

氧气、高纯气体及稀有气体管道

氧气、高纯气体及稀有气体管道 施工说明 设计 审核 批准 二○○一年六月

氧气、高纯气体和稀有气体管道施工说明 本说明适用于输送99.5%以上的施工质量要求高的高纯度气体和稀有气体的管道，不适用于设备本体所属的管道及其他气体介质的管道。 本说明在下述“规范”的基础上进行编制： 1、《工业管道工程施工及验收规范，(金属管道篇)》GBJ235—82(简称“金属管道篇”)； 2、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GBJ236—82(简称“焊接规范”)； 3、《冶金部“氧气安全规程”（一九八八年）》(简称“规程”)。 结合工程具体情况，本说明作如下补充： 1.管子、管道附件及阀门的要求： 1.1管道所用材质要求根据施工图纸计算决定选取，要变更材质必须征得设计部门同意。下列仅例举材质之范围和相关的标准。 1.1.1无缝钢管(GB8163—87)材质有：10、20或16Mn钢质等。 10号钢管δb不小于335N/mm2，δs不小于205N/ mm2 20号钢管δb不小于410N/mm2，δs不小于245N/ mm2以上两号钢管含硫、磷各分别不大于0.035%，并符合GB699—88要求。 16Mn钢管δb不小于510N/mm2，δs不小于343N/ mm2，含硫不大于0.05%，含磷不大于0.045%，并符合GB1591—79要求。

1.1.2不锈钢管（GB2270—80、GB1220—84）材质常用1Cr18Ni9Ti，1Cr18Ni11Ti等。1Cr18Ni11Ti 1Cr18Ni9Ti不锈钢管δ b 不小于539N/mm2(55kgf/ mm2)，δ0.2不小于206N/mm2(21kgf/ mm2)，0Cr18Ni11Ti不锈钢管δb 不小于520N/mm2 (53kgf/ mm2)，δ0.2不小于206N/mm2 (21kgf/ mm2)。 1.1.3紫铜管材质可用T2、T3、T4、TUP等 拉制铜管（GB1527—79）材料状态M（软）的δb 不小于206N/mm2 (21kgf/ mm2)，伸长率δ10不小于35%，δ5不小于42%。 挤制铜管（GB1528—79）材料状态R（挤制）的δb 不小于186N/mm2 (19kgf/ mm2)，伸长率δ10不小于35%，δ5不小于42%。 1.1.4 黄铜管材可用： 拉制黄铜管H62M H68M（GB1529–79），挤制黄铜管R（GB1530–79）。 机械性能均需δb不小于294N/mm2（30kgf/ mm2)，伸长率δ10不小于38%，δ5不小于43%。 挤制黄铜管Hfe59–1–1，R（GB1530—79）δb 不小于451N/mm2 (44kgf/mm2)，伸长率δ10不小于28%，δ5不小于31%。 1.2管道、阀门、法兰、垫圈和其他管道附件的材质、规格及技术要求在施工以前均应按设计要求核对，并符合有关现行国家或部颁标准，如需代用必须征得设计单位同意。 1.3管道、管件、阀门在使用以前进行质量检验，其要求应符合《金属管道篇》第二章的要求。 1.4阀门应进行强度试验及气密性试验，其一般要求见《金属管道

气体汇流排详细介绍及使用说明

气体汇流排详细介绍及使用说明 气体汇流排适用于气体消耗量较大的企业，其原理是将瓶装气体通过卡具及软管输入至汇流排主管道，经减压，调节，通过管道输送至使用工地，其广泛应用于医院、化工、焊接、电子及科研单位。 气体汇流排基本性能 汇流排：指瓶装高压气体，通过此设备减压到一定的使用压力，是集中供气体的一种设备。汇流排由左右两根汇流主管道组成，中间有四只高压阀门，分别控制左右两组汇流管，每组有相当数量的分阀，软管及卡具连接气瓶，中间装有一块高压表，用来检测汇流管内的压力，高压阀门上方分别有两组减压器，以便控制调节使用压力及流量，减压器上方分别有两只低压阀门，用来控制两排汇流切换时的低压气体，汇流低压主管道装有一只低压总阀门，用来控制低压管道的气体。 气体汇流排是一种集中充气或供气的装置, 它是将多只钢瓶气体通过阀门、导管联接到汇流总管，以便同时对这些钢瓶充气；或者经减压、稳压后由管道输送到使用场所的专用设备，以保证用气器具的气源压力稳定可调，并达到不间断供气的目的。 本公司加工生产的产品适用的介质有氦气、氧气、氮气、空气等气体，主要用于工矿企业、医疗机构、科研院校等用气量大的单位。本产品结构合理，工艺先进，操作简便，是保障安全、实现文明生产的重要装置。本产品根据气瓶多少和配置式区分，具有多种结构形式，有1×5瓶组、2×5瓶组、3×5瓶组、5×5瓶组、10×5瓶组等可供选择，也可根据用户需要和环境要求作特殊配置。本产品的气体压力适配于所配置的气瓶公称压力。 本公司可制作各种规格的气体汇流排，包括氧气汇流排、氮气汇流排、空气汇流排、氩气汇流排、氢气汇流排、氦气汇流排、二氧化碳汇流排二氧化碳电加热汇流排、丙烷汇流排丙烯汇流排乙炔汇流排、两瓶组气体汇流排、单侧式气体汇流排、双侧式气体汇流排等各种气体汇流排。 气体汇流排根据根据材质还可分为黄铜汇流排和不锈钢汇流排；根据操作性能可分为单侧式汇流排，双侧式汇流排，半自动汇流排，全自动汇流排，半自动切换、不停气维修汇流排；根据输出气压的稳定性还可分为单级式汇流排，双级式汇流排等 、结构总述

医用气体工程施工方案

医用气体工程施工方案 一、工程范围 成都传染病医院第二住院楼医用气体工程包括医用氧气系统、医用中心吸引系统、医用中心空气系统病房设备带及配套设施系统的材料制作、管道安装、配件安装、设备安装、检测、调试，直至各系统正常使用。住院楼主要床位分布如下： 一层：三人间13间二人间1间共41床 二层：三人间15间二人间1间共47床 三层至六层：三人间15间二人间1间共47床 七层：手术室3间 ICU10床术后复苏3床麻醉间1间 需特别说明的是，由于医用气体对生产工艺及设备要求细致，本方案仅作为施工参考。工程启动后，应由最终确定的具有专业资质的分包单位进行复核及深化并通过审核后方施工。 二、主要施工方法 （一）施工准备： 1、了解医用气体施工图纸 2、编制施工用材料、设备、机具等进场计划 3、根据工程特点编制施工组织设计 4、对施工人员进行技术交底管道工程安装：管道预处理医用气体工程所需管道、阀门等，除真空系统外，必须脱脂处理。脱脂可用工业四氯化碳或丙酮。脱脂处理后，将管道密封运至施工现场。检验方法：用无油空压机进行吹扫，流速不低于20m/s，用白绸布对正吹出气体的方向吹气1min，白绸布上应无污物、油渍等。管道切割：不锈钢管应采用机械或等离子方法进行切割，不锈钢管切割时，应使用专用砂轮片。铜管宜采用机械方法或专用铜管割刀进行切割，严禁使用氧乙炔火焰切割。管道切口表面应平整，无裂纹、重皮、毛刺、凸凹、缩口、铁屑等；管道切口端面倾斜偏差不应大于管子外径的1%，且不得超过3mm；弯管制作：弯管应使用专用工具进行弯管制作；弯管宜采用壁厚为正公差的罐子制作；高压钢管的弯曲半径宜大于管子外径的5倍，其他管子的弯曲半径宜大于管子外径的3.5倍；钢管应在其材料特性范围内冷弯或热弯；弯管质量：弯管不得有裂纹、皱纹等不良现象，弯管允许有椭圆度，但不应超过规定的要求；管道焊接：直管段上两对接焊口中心面间的距离，当公称直径大于或等于150mm时，不应小于150mm；当公称直径小于150mm时；不应小于管子外径；焊缝距离弯管起弯点不得小于100mm，且不得小于管子外径；环焊缝距支、吊架净距不应小于50mm，需热处理的焊缝距支、吊架不得小于焊缝宽度的5倍，且不得小于100mm；不宜在管道焊缝及其边缘上开孔；管子、管件的坡口形式和尺寸应符合相关规定；管道对接焊口的组对应做到内壁齐平，内壁错边量不锈钢管不宜超过壁厚的10%，且不大于2mm；铜管不宜超过壁厚的10%，且不大于1mm；不锈钢管焊接采用手工钨极氩弧焊焊接，紫铜管焊接采用银钎焊接，焊接质量应符合《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》的相关规定。 管道安装：管道安装前应具备的条件： 1、与管道有关的土建工程已检验合格，满足安装要求，并已办理交接手续； 2、与管道连接的机械设备已找正合格，固定完毕； 3、管道组成件及管道支撑件等检验合格； 4、管子、管件、阀门等，内部已清理干净，无杂物，对管内有特殊要求的管道，其质量已符合相关规定； 5、在管道安装前必须完成的脱脂等工序已进行完毕； 6、法兰、焊缝及其他连接件的设置应便于检修，并不得紧贴墙壁、楼板或管架； 7、脱脂后的管道组成件，安装前必须进行严格检查，不得有油迹污染； 8、管道穿越道路、墙或构筑物时，应加套管或砌筑涵洞保护；管道安装： 工艺管道安装应具备下列条件： 1）与管道有关的土建工程已检验合格，满足安装要求，并已办理交接手续； 2）与管道连接的设备已就位，固定完毕，检验合格； 3）管道组成件及管道支承件等已检验合格； 4）管子、管件及阀门等已按设计要求核对无误，内部已清理干净，不存在油污及其它杂物。

高纯气体的配管及材质

高纯气体的配管及材质 1.高纯气体管路的设计要点: (1)对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体 集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。 (2)管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/ 腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力与管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。 (3)根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便 在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。 (4)管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、 用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行与防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。 (5)对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但就是在纯度要求高的用气设备 邻近处设末端气体提纯装置。 (6)为了检测高纯气体的纯度与杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置 定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。 (7)在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10－9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括 尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器 2.高纯气体配管及附件材质的选择 (1)选择标准 ●选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料: 目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但就是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1、01、0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管,高纯气体使用管材的特点及要求

工艺管道施工方案

工艺管道施工方案 管道主要包括：生产管线、空气管线、给排水管线和加药管线等；材质包括碳钢管、不锈钢管、PVC管和PE管等。 1管道施工一般规定 1、工程施工的总体原则为：先地下管、后地上管；先主管、后支管；先架空后地面；先设备就位、后工艺配管；先施工室内部分再施工室外部分。 同时为了配合总体进度，对于土建优先施工的要提前施工给予配合。室内部分先配合土建做好预留、预埋工作，然后在土建适当工序完成后合理交叉、配合；室外部分管道的施工合理选择施工时机，一般为室内工作量已大部分完成、室外道路施工之前，按“先下后上、先压力流后重力流、先大后小”的原则进行。 除非另有说明，管道的安装与铺设必须符合《工业金属管道工程施工及验收规范》(GB50235-2010)、《给水排水管道工程施工及验收规范》(GB50268-2008)、《建筑给水塑料管管道工程技术规程》DB51/T5024-2001）；《钢制管件》（02S403）；塑料管的安装与铺设还必须符合CECS17、CECS18、CECS122:2001和CECS41或其他相当标准，并遵循现行给排水图集03S4的有关技术要求和遵循生产厂家提供产品的有关技术要求。同时，管道的安装与铺设应满足设计图纸的要求。 不允许金属工具或重物与管道或管接头接触。有外防腐层的管道的运送应采用较宽的耐磨帆布带、橡胶带、皮带或者其它设计用于防止防腐层损坏的设备。禁止使用链条、钢丝绳或其它易损坏防腐层的工具。在管道安装前，管道的支承枕木或支承架上应垫上足够的砂袋和草袋以保护管道防腐层。 橡胶密封圈/密封垫在装配前应存放于暗室内，并避免受到冷热的不良影响。

橡胶密封圈/密封垫应平整放置，以免橡胶的任何部分拉伸变形。在管道连接前，应清除管道中的泥砂或其它杂物。 2、工艺管道施工流程 施工准备→材料进场及检验→配合土建预留预埋→管道、管件加工→管道及阀门安装→管道水压试验→管道冲洗、消毒（气体管道吹扫）→交工验收 3、施工准备 （1）施工前认真熟悉图纸和相应的规范，进行图纸会审，并做好图纸审记录，编制材料进场计划、作业指导书，并对施工班组进行施工技术交底。 （2）施工前做好充分的焊接准备，做好焊工的选拔、培训工作，保证焊工高水平高质量地参加施工，并控制和采用合适的焊接工艺，以确保焊接质量。 4、材料进场及检验 （1）在规定时间内将下月所需材料及设备的采购计划（包括材料及设备品种、数量和采购时间）以书面形式提交给监理人审批。 （2）所有进入现场的材料必须具有材质证明书、合格证及使用说明书，并按图纸设计要求核验材料的规格、型号和数量。 （3）钢管进场后，进行外观检验，保证无裂纹、火渣、重皮等缺陷。在制造厂制造的配件要有公称直径、压力等级、制造厂名称、产品批号等标记。 （4）阀门的规格、型号与设计相符，外观无缺陷，开关灵活，并按设计要求进行强度和严密性试验，合格后方可进行安装。为保证阀门正常工作，所有阀门必须配有必要的附件或配件，阀门各部件上有生产厂家及规格的浇注字样和完好无损的铭牌。 （5）进场的材料堆放整齐，规格、型号、材质要分清，每一种材料必须挂牌，注明规格、名称、材质，并建立台帐，做到帐、物、卡相符，收发手续完整。堆放中要有防止管材变形的措施。塑料管要防止日光曝晒，以免塑料老化。 （6）管道、管件、阀门在搬运、安装过程中要轻拿轻放，禁止扔摔等方式搬运。不锈钢管道在搬运、贮存及施工中不得同碳素钢管接触，管口要用塑料套封闭，防止杂物进入。 （7）自供材料进入现场经自检合格后，及时填写材料报检单，向业主现场代表报检，经检查合格后，方可使用。 （8）配水井进出管道因管径较大，单节管道重量大，施工场地狭窄，对管道的吊装工作提出较高要求。

配管图中符号说明

(X)1 管线图中系表示弯头之代号。 (O)2 符号系表示由令接头。 (O)3 以单实线及常用符号画成之管线图，称为单线图。 (X)4 管线符号，系表示屋外送水管。 (O)5 中国国家标准之英文缩写为CNS。 (O)6 管螺纹规格，英制与美制互不相同。 (X)7 管线符号系表示凸缘接头。 (X)8 管线符号系表示伸缩接头。 (O)9 圆的面积为半径×半径×圆周率。 (X)10 1公寸等于10吋。 (X)11 排水系统图中之通气管线均用实线绘示。 (O)12 管线施工图可供现场配管之用。 (X)13 管线图中系表示闸阀。 (O)14 管线图中系表示弯管。 (X)15 管线平面图中表示A管较B管为高。 (O)16 下水道法规定，用户排水设备之管理、维护，由下水道用户自行负责。(X)17 有了齐全之管线图就不须施工说明书。 (X)18 PVCP代号是表示铜管。 (O)19 自来水管线符号是表示承插式直管。 (X)20 管线示意图上，管路线条之粗细，与管径大小有关。 (O)21 管线立体图，可明显表示长度、宽度、高度及方向。 (O)22 自来水管路图中所使用符号是表示给水栓。 (O)23 管路图须在其右上方或左上方适当之位置，加画一指北标，以指示管路方向。(X)24 下图为抽水机管线图，箭头所指符号之管件名称为「凸缘渐缩管」。

(O)25 管路图上水管类之英文符号为W。 (X)26 图例标示，系表示管a与管b不连接。 (X)27 铁塑由令为铁管与塑料管之连接管件，其图例标示为。 (O)28 符号是表示凸缘接头。 (O)29 符号系表示止回阀。 (O)30 1/20缩尺图中之长度为60mm，其实际长应为1200mm。 (X)31 左图所示配件接合方式为凸缘装接。 (X)32 第一角投影法，其排列方式为俯视图在前视图的正上方。 (O)33 左图为渐缩接头之符号。 (O)34 绘制落样图时，其长度尺寸之计算系以中心线为准。 (O)35 符号为表示双承口套管。 (O)36 右图为第一角法表示法。 (X)37 左图管线平面图中A管段系较B管段为高。 (O)38 符号系表示双凸缘渐缩管。 (O)39 管线图上之GIP，系代表镀锌钢管。 (O)40 工程施工完成后所绘之图称为竣工图。 (O)41 管线符号系表示两管交叉之跨管标示。 (O)42 管线之配置图，系表示机器及管件之连接图。 (O)43 铜管之口径大小，一般以外径称呼之。 (X)44 符号-S- 系表示汽油管线之标示。

医院气体设计规划介绍(液氧)

/* 一．概述 1、本方案具有下列特点： ◆充分结合了目前国内外医用气体系统先进设计理念及国内知名医院设计模 式； ◆设计的动力设备目前国内医院普遍使用率较高，运行性能良好，经济合理； ◆设计规范在按照GB50751-2012《医用气体工程技术规范》前提下，又参照 了GB50333-2013《医院洁净手术部建筑技术规范——医用气体篇》要求。 ◆大楼内供氧、吸引、压缩空气系统主管管道设计十路作为大楼内所有病区 的供气主管。第一路供往1#门诊综合楼小手术室、ICU区域，第二路供往1#门诊综合楼普通病房区域；第三路供往连廊楼手术部区域，第四路供往连廊楼普通病房区域；第五路供往2#外科楼手术部区域，第六路供往2#外科楼普通病房区域；第七路供往3#内科楼手术部、ICU区域，第八路供往3#内科楼普通病房区域；第九路、第十路备用。 ◆保证系统今后的扩展性，氧气、吸引、压缩空气机房总管出口处预留阀门， 可连接今后其它大楼的用气连接之用。 2、项目概况： 临沂市人民医院本次医用气体系统工程合计4328 套用气单元，其中包括：（1）、手术部区域：重大手术室48间，麻醉诱导15床，术后恢复苏醒33床； （2）、重症监护区域：ICU、CCU 142床，血透90床 （3）、病房区域：普通病房4000床 （4）、35人位高压氧舱。3、医用供气系统的设计要点： （1）、解决全系统的最佳气体流量及压力分配问题： ①根据整幢大楼的总用气点流量，从主管、横管、支管进行一系列的实际与理论相结合的计算，确定最佳管径保证了用气点的气体流量。 ②为保证压力符合使用要求，氧气、空气每层均有流量调压装置均采用双路设计，并能根据需要调节使用压力。 （2）、解决全系统的密封性问题： 为了提高系统密封性，从工程设计到施工、材料选购、检验均严格按照GB50751-2012《医用气体工程技术规范》、国家医药行业标准YY/T0186-0187-94《医用中心吸引、中心供氧系统通用技术条件》及国家相关标准执行。中心供氧、吸引、压缩空气系统均设计脱脂紫铜管，连接均采用标准的医用紫铜管件连接金属密封后银钎基焊接，保证了大楼医用气体工程整个系统的气密性。 （3）、解决全系统的寿命及安全性问题： ①为了保证系统整体寿命，除所选用的产品均是国内知名品牌浙江海亮产品外，另外从脱脂紫铜管的连接采用金属管件密封，系统中无非金属密封材料，避免了系统的老化，且铜元有杀菌抑菌功能。从而保证整套管路系统使用寿命超过30年。 ②供氧整个系统中氧气、压缩空气部分的所有减压装置均采用双路设计，一路使用一路备用。且每个减压装置中均设有一套安全阀，当减压装置故障出口压力高于最高使用压力时，安全阀自动开启并进行卸压，从而避免了氧气终端、压缩空气终端出现超出使用压力的危险情况。

燃气设计说明书

— 摘要 城市燃气是城市建设的重要基础设施之一，也是城市能源供应当中一个重要组成部分，它为城市工业、商业和居民生活提供优质气体燃料。城市燃气输配系统的绝大部分系统的绝大部分工程量，属与城市地下基础工程。 本设计的主要内容为老城区天然气供应的规划。该设计使用的天然气管道主要是无缝钢管。XX区总供气面积为237公顷，人口达万，属于小型城市，居住也比较集中。进行规划时除建设接收长输管线天然气的门站外，还设置区域调压站。因此，除管网的水利计算外，还有门站，区域调压站的设备选型计算。本设计囊括了从长输管线到门站，经过区域调压站最后进入区域管网的过程。幸福小区有79栋楼，共948户，包括了平面管网的布置，用户引入管的设计，单管阀门井的设计，凝水缸的设计。 关键词：天然气门站管道工艺流程节点压力流量"

Abstract ` City gas is an important city-building infrastructure as urban energy is also an important component of the urban industrial, commercial and residential gas by the ways of providing quality gas . City gas transmission and distribution system is a basic project of the urban underground works in the vast majority of engineering systems. The main elements of the design is the planning of natural gas supply in Laocheng district . Seamless steel pipe is used as gas pipeline in this design. Laocheng district which covers a supply area of 237 hectares , population 94,800, is a small city and the living is also relatively concentrated. Not only is a gas storage and distribution station in need ,but also a regional regulator station need to be set up when planning to receive long-distance pipeline. Therefore, in addition to the water pipe network computing, there are equipment selections of Storage and Distribution Station, regional regulator stations .The design mainly includes long-distance pipelines from the reservoir distribution stations, regulator stations, after the regional final to enter the process of regional pipeline network. There were79 residential buildings,

半导体厂GAS系统基础知识

GAS 系 统 基 础 知 识

概述 HOOK-UP专业认知 一、厂务系统HOOK UP定义 HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOK UP是将厂务提供的UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。 机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUU，GAS，CHEMICAL， D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN. 二、GAS HOOK-UP专业知识的基本认识 在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管衔接）以Buck Gas （一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至次主管线（Sub-Main Piping）之Take Off点称为一次配（SP1

Hook-up），自Take Off出口点至机台（Tool）或设备（Equipment）的入口点，谓之二次配（SP2 Hook-up）。以Specialty Gas（特殊性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（Gas Cabinet）。自G/C出口点至VMB（Valve Mainfold Box.多功能阀箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能阀盘）之一次测（Primary）入口点，称为一次配（SP1 Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次侧（Secondary）出口点至机台入口点谓之二次配（SP2 Hook-up）。

医院气体设计说明液氧

医院气体设计说明 液氧

一．概述 1、本方案具有下列特点： ◆充分结合了当前国内外医用气体系统先进设计理念及国内知名医院设计 模式； ◆设计的动力设备当前国内医院普遍使用率较高，运行性能良好，经济合 理； ◆设计规范在按照GB50751- 《医用气体工程技术规范》前提下，又参照 了GB50333- 《医院洁净手术部建筑技术规范——医用气体篇》要求。 ◆大楼内供氧、吸引、压缩空气系统主管管道设计十路作为大楼内所有病 区的供气主管。第一路供往1#门诊综合楼小手术室、ICU区域，第二路供往1#门诊综合楼普通病房区域；第三路供往连廊楼手术部区域，第四路供往连廊楼普通病房区域；第五路供往2#外科楼手术部区域，第六路供往2#外科楼普通病房区域；第七路供往3#内科楼手术部、ICU 区域，第八路供往3#内科楼普通病房区域；第九路、第十路备用。 ◆保证系统今后的扩展性，氧气、吸引、压缩空气机房总管出口处预留阀 门，可连接今后其它大楼的用气连接之用。 2、项目概况： 临沂市人民医院本次医用气体系统工程合计4328 套用气单元，其中包括： （1）、手术部区域：重大手术室48间，麻醉诱导15床，术后恢复苏醒33床； （2）、重症监护区域：ICU、CCU 142床，血透90床 （3）、病房区域：普通病房4000床 （4）、35人位高压氧舱。 3、医用供气系统的设计要点： （1）、解决全系统的最佳气体流量及压力分配问题： ①根据整幢大楼的总用气点流量，从主管、横管、支管进行一系列的实际与理论相结合的计算，确定最佳管径保证了用气点的气体流量。 ②为保证压力符合使用要求，氧气、空气每层均有流量调压装置均采用双路设计，并能根据需要调节使用压力。 （2）、解决全系统的密封性问题： 为了提高系统密封性，从工程设计到施工、材料选购、检验均严格按照GB50751- 《医用气体工程技术规范》、国家医药行业标准YY/T0186-0187-94《医用中心吸引、中心供氧系统通用技术条件》及国家相关标准执行。中心供氧、吸引、压缩空气系统均设计脱脂紫铜管，连接均采用标准的医用紫铜管件连接金属密封后银钎基焊接，保证了大楼医用气体工程整个系统的气密性。 （3）、解决全系统的寿命及安全性问题： ①为了保证系统整体寿命，除所选用的产品均是国内知名品牌浙江海亮产品外，另外从脱脂紫铜管的连接采用金属管件密封，系统中无非金属密封材料，避免了系统的老化，且铜元有杀菌抑菌功能。从而保证整套管路系统使用寿命超过30年。 ②供氧整个系统中氧气、压缩空气部分的所有减压装置均采用双路设计，一路使用一路备用。且每个减压装置中均设有一套安全阀，当减压装

高纯气体工艺与施工

高纯/特种气体工艺与施工概要 北京分公司吴学刚 前言 近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。” 日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次： 超高纯气体 气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。 高纯气体 气体中杂质总含量控制在5%ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内. 洁净气体 气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道，集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验，我进行了一些归纳，希望能够给大家提供一些参考。 一、高纯/特种气体的概念 1．半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类： （1）普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2、N2 、O2 、Ar 、He等。

（2）特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。 2．半导体制造用气体按照使用时的危险性分类： （1）可燃、助燃、易燃易爆气体：H2、CH4、H2S、NH3、SiH4、PH3、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等。 （2）有毒气体：AsH3、PH 3、PH 3 、B 2 H 6 等 （3）助燃气体：O2 、N 2 O、F2 、HF等 （4）窒息性气体：N2 、He、CO 2 、Ar等 （5）腐蚀性气体：HCL、PCL 3、POCL 3 、HF、SiF4、CLF3、等