特气系统辅助系统设施需求

G e n T e c h 区域系统类别规格

备注土建气体房必须设置泄爆面，如采用外墙作为泄爆面，则泄爆面主要道路不小于5M ，泄压面积参照GB50016-2006《建筑设计防火规范》第3.6条设计， 除泄爆面外，其余面墙体(含顶)防火2小时，紧急出口门宜采用推杆型门锁且直通至室外，门大小不应小于 1.5x2.5M ( 宽 x 高 )。房间尺寸：5M （长）×3M （宽）×3.5M （高）

地面要求

地面载荷大于1.5t/M 2，地面应作不发火花处理；

地面需留有不小于0.5%斜度，便于排水；

地面高度需满足雨季无积水进入气体设备种类

GC-SiH4-01/GC-H2-01/GC-NH3-01消防-环境气体房按照国家消防规范设置环境喷淋

消防-气体设备1)设备预留1/2"FNPT 消防接口,设备内部需要消防水接入点,每个接口流量为145slpm,压力不小于2.1kg/cm2,闭式;

2)GC-SiH4-01需2路消防水接入点;

3)GC-H2-01需1路消防水接入点;

4)GC-NH3-01需1路消防水接入点;

消防-烟雾监测气体房按照国家消防规范设置烟雾探测

气体泄漏监测1)GC-SiH4-01抽风配置1个SiH4 Detector ，气体房配置1个SiH4 Detector

2)GC-H2-01抽风配置1个H2 Detector ，气体房配置1个H2 Detector

3)GC-NH3-01抽风配置1个NH3 Detector ，气体房配置1个NH3 Detector

4)PECVD-01抽风配置1个SiH4、1个H2、1个NH3侦测器

5)PECVD-01环境配置1个SiH4、1个H2、1个NH3侦测器

通风-环境换气次数大于每小时10次,环境负压不小于10Pa ， 房间墙体底部需设置新风进风口(进风口应安装可拆缷式初级过滤器)或空调新风补风口

通风-气体设备1)GC-SiH4-01的抽风量为810NM3/H,负压为不小于250Pa,接口Φ150mm,数量一个;一般排风,不锈钢风管,独立排风;

2)GC-H2-01的抽风量为250NM3/H,负压不小于250Pa,接口Φ150mm,数量一个,一般排风,不锈钢风管;

3)GC-NH3-01的抽风量为250NM3/H,负压不小于250Pa,接口Φ150mm,数量一个,一般排风,不锈钢风管;

4)环境温度:5-35度;

5)环境湿度:0-80%,无凝结;

电力-气体系统

1)GC-SiH4-01的UPS 电：0.5KW

2)GC-H2-01的UPS 电：0.5KW

3)GSCS-1000Ⅱ柜UPS 电：0.5KW 照明

操作区域照度不小于200LUX ，照明设施应选用防爆型；照明系统应设计成双路双电源的独立照明，或单路单电源加紧急照明装置接地-气体设备

依国家规范,接地电阻不得大于4?，且接地线直径不小于6mm2；建议设备周围设置接地联接点或接地母排氮气

流量: >200slpm @100psi, Particle: <10pcs @0.5um /SCF 管道材质: SS316L BA 规格工艺排放

1)GC-SiH4-01排至尾气处理器;2)GC-H2-01排至尾气处理器;3)GC-NH3-01排至尾气处理器;自来水给排水

气体房内应满足尾气处理器的要求；PPE 清单

面罩、安全眼镜、皮手套、防火服、安全鞋中国物理研究院特种气体系统辅助设施规格表

可燃性气体房

G e n T e c h 区域系统类别规格

备注土建气体房防火等级：乙类，各墙体(含顶)防火1小时，紧急出口门宜采用推杆型门锁且直通至室外，门大小不应小于 1.5x2.5M ( 宽 x 高 )。

房间尺寸：5M （长）×3M （宽）×3.5M （高）

地面要求地面载荷大于1.5t/M 2，地面应作防腐蚀处理，涂层厚度不应小于3mm ；

地面需留有不小于0.5%斜度，便于排水；

地面高度需满足雨季无积水进入

气体设备种类

GC-BCL3-01/GC-CL2-01/GR-CHF3-01/GR-SF6-01/GR-O2-01/GR-N2-01/GR-Ar-01消防-环境

气体房按照国家消防规范设置环境喷淋消防-气体设备

1)设备预留1/2"FNPT 消防接口,设备内部需要消防水接入点,每个接口流量为145slpm,压力不小于2.1kg/cm2,闭式;2)GC-BCL3-01需1路消防水接入点;消防-烟雾监测气体房按照国家消防规范设置烟雾探测

气体泄漏监测1)GC-CL2-01抽风配置1个CL2 Detector ，气体房配置1个CL2 Detector

2)GC-BCL3-01抽风配置1个BCL3 Detector ，气体房配置1个BCL3 Detector

3)PECVD-01抽风配置1个CL2、1个BCL3侦测器

4)PECVD-01抽风配置1个BCL3、1个BCL3侦测器

通风-环境换气次数大于每小时10次,环境负压不小于10Pa ， 房间墙体底部需设置新风进风口(进风口应安装可拆缷式初级过滤器)或空调新风补风口

通风-气体设备1)GC-BCL3-01的抽风量为250NM3/H,负压为不小于200Pa,接口Φ150mm,数量一个;一般排风,PP 风管;

2)GC-CL2-01的抽风量为250NM3/H,负压不小于200Pa,接口Φ150mm,数量一个,一般排风,PP 风管;

3)环境温度:5-35度;

4)环境湿度:0-80%无凝结;电力-气体系统1)GC-BCL3-01的UPS 电：0.5KW

2)GC-CL2-01的UPS 电：0.5KW

照明操作区域照度不小于200LUX ，照明设施应选用防爆型；

照明系统应设计成双路双电源的独立照明，或单路单电源加紧急照明装置

接地-气体设备

依国家规范,接地电阻不得大于4?，且接地线直径不小于6mm2；

建议设备周围设置接地联接点或接地母排氮气

流量: >200slpm @100psi, Particle: <10pcs @0.5um /SCF 管道材质: SS316L BA 规格工艺排放

1)GC-BCL3-01排至尾气处理器;2)GC-CL2-01排至尾气处理器;3)尾气处理器废液排至废液处理中心自来水给排水

气体房内应满足尾气处理器的要求；气体房外满足紧急洗眼器与冲淋装置的要求PPE 清单

正压式空气呼吸器、皮手套、防火服、双人工制、安全眼镜、安全鞋腐蚀性气体房

呼吸机气路自动标定系统设计

呼吸机气路自动标定系统设计 作者：易韦韦， 张玘， 王跃科 作者单位：国防科学技术大学机电工程与自动化学院,湖南,长沙,410073 刊名： 中国测试技术 英文刊名：CHINA MEASUREMENT & TESTING TECHNOLOGY 年，卷(期)：2008，34(4) 引用次数：1次 参考文献(12条) 1.王宝国,周建新.实用呼吸机治疗学[M].北京:人民卫生出版社,2005. 2.陈晓梅,王可富.呼吸机临床应用指南[M].济南:山东大学出版社,2005. 3.刘军华.虚拟仪器图形化编程语言IabVIEW教程[M].西安:西安电子科技大学出版社,2001. 4.David J,Kruglinski,Scot W,et al.Visual C++6.0 技术内幕[M].北京:希望电子出版社,2001. 5.张凯,郭栋.LabVlEW虚拟仪器工程设计与开发[M].北京:国防工业出版社,2004. 6.王海宝.LabVIEW虚拟仪器工程设计与应用[M].成都:西南交通大学出版社,2005. 7.杨乐平,李海涛,肖凯.虚拟仪器技术概论[M].北京:电子工业出版社,2003. 8.杨乐平,李海涛,等.LabVIEW高级程序设计[M].北京:清华大学出版社,2003. 9.周求湛,钱志鸿,等.虚拟仪器与LabVIEW 7 Express程序设计[M].北京:清华大学出版社,2003. 10.刘军华.基于LabVIEW的虚拟仪器设计[M].北京:电子工业出版社,2003. 11.费业泰.误差理论与数据处理[M].北京:机械工业出版社,2000. 12.叶湘滨,熊飞丽,等.传感器与测试技术[M].北京:国防工业出版社,2007. 相似文献(1条) 1.期刊论文陈虎岗.张弘BEAR CUBTM750VS型新生婴儿呼吸机常见故障的排除-医疗设备信息2004,19(5) 呼吸机是医院抢救、治疗工作中必不可少的医疗设备.特别是在急救、手术、 ICU和呼吸治疗新生患儿的过程中,呼吸机是支持呼吸和循环功能及防治呼吸衰竭的重要手段.美国熊牌 750VS型呼吸机是抢救、治疗新生患儿的理想设备.它是气动电控型呼吸机、采用电子 /微电脑控制,设有高精准流量、压力传感器,比例阀 /电磁阀,并设有呼吸力学监护系统和报警系统,还有气源压力监测功能和视窗式操作控制系统.笔者就我院在使用该型呼吸机的过程中,对维修过的常见故障介绍如下: 引证文献(1条) 1.易韦韦.张玘.王跃科.覃海燕基于主动模拟肺通气模式试验平台的设计与实现[期刊论文]-电子测量与仪器学报2009(5) 本文链接：https://www.wendangku.net/doc/6018383906.html,/Periodical_zgcsjs200804005.aspx 下载时间：2010年3月16日

搅拌站的气路系统的介绍

搅拌站的气路系统的介绍 摘要：本文针对当前建筑工程生产中所使用搅拌站的气路系统，进行了详细的分析介绍。其中重点阐述了组成气路的各要件的结构和其所发挥的作用，并对气路系统在生产中出现的问题进行了归纳，同时也给出了这些问题的解决方法。 Introduction to station of the gas circuit system of the 2012-09-17 06:06:32 font: big in small print collection pick to: this article in view of the current construction engineering used in the production of gas circuit system of the station, has carried on the detailed analysis is introduced. Which expounds the composition of gas circuit of the various elements of the structure and its role, and the gas circuit system has carried on the induction, the problems in production at the same time also gives the solution of these questions. 关键词：搅拌站，气路，构成，问题，解决 Keywords: mixing plant, gas path, constitute, problem and solution 0.引言混凝土搅拌站主要由骨料供给，粉料供给，物料称量，搅拌，电气和气路等六大系统组成。在搅拌站中，许多机构都是利用气压驱动来工作。气压驱动具有低成本、无污染的优点，避免了使用油路系统易发生漏油和沾灰的缺陷。1.搅拌站的气路构成搅拌

特气系统工程技术规范.

特气系统工程技术规范 1总则 1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。 2术语 2.0.1 特种气体specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。 2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。 2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。 2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。 2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders 用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。 2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。 2.0.11 气瓶架 gas rack (GR) 特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。 2.0.12 阀门箱 valve manifold box (VMB) 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。

特种气体系统验收

13 特种气体系统验收 6.1一般规定 特种气体系统验收包括设备验收、管路系统验收和气体侦测/监控系统验收等。 6.2设备验收 6.2.1机械面板验收 1．外观和流程检验 对照流程图、配置表、钢瓶接口形式等设计参数进行检验，包括管道横平竖直、焊接质量合格、调节阀规格和流向、气动/手动阀门规格和流向、单向阀规格和流向、微漏阀规格和流向、压力变送器/压力表规格、过滤器规格、过流开关规格和安装方向、安全阀流向和设定压力、VCR是否锁紧、管道支架安装、吹扫入口管径、工艺出口管径、排放口管径、危险标签等。 2．仪器测试 检查出厂各项仪器测试报告，包括保压、氦检、颗粒度、水分、氧分等测试。参见管路系统验收章节。 6.2.2 控制系统验收 根据控制逻辑，检查各监测和联动部件的功能，包括压力传感器、电子秤、过流开关(EFS)、高温开关、火焰侦测器(UV/IR)、负压开关、紧急切断(EMO)、输入电源、输入输出信号、接地保护、功能联动测试等。 6.3 管路系统验收 施工单位应通过其质检人员对施工质量进行检验。建设单位或其授权机构，应通过其质检人员对施工质量进行监督和检查。 6.3.1外观与文件检验 1．对照流程图，检查管件的安装位置和方向。 2．检查焊接管道是否有裂缝，特别是弯管处；

3．检查管道对焊是否符合下列规定： 4．检查管道组成件的质量文件； 5．检查施工过程中的焊样、焊接日志。 6.3.2压力试验 1．管道安装完毕，外观检验合格后,必须进行压力试验。为了避免污染，高纯系统压力测试采用气压试验，不可采用水压试验，不得使用检漏液。试验气体应采用高纯氮气或氩气，不可采用氦气。在进行系统保压之前请确认完成管道吹扫，避免铁屑污染阀门及管道。吹扫需采用大压力大流量的气源(5kg/cm2以上)进行循环吹扫； 2．压力试验前应确保焊缝及其他待检部位尚未涂漆和绝热，待试管道与无关系统已用盲板或采取其他措施隔开，待试管道上的安全阀、爆破板及仪表元件等已经拆下或加以隔离； 3．试验用压力表已经校验，并在周检期内。试验用压力表，直径应大于150mm。对于低压（<150psig），要求刻度为1 psi；对于高压(>500psig),刻度可采用5psi的刻度；

实验室气路系统设计说明

实验室气路系统设计说明： 1.设计依据 根据xxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxx 2.设计范围 xxxxxxxxxxxx 3.系统简介 实验室是用于完成实验、测试分析等各种实验工作的特殊环境。无论其用于学校的科研教学，制药行业的研发，化工行业的研究，还是用于医学或私人研究，其运转必须是安全可靠的。当代实验室离得各类耗气设备和各种分析仪如色谱仪和质谱仪都需要使用载气和燃料气，这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。 在现代化的实验室中，为了完成实验，需要用到多种分析仪器，如气相色谱仪，原子吸收，气—质联用仪，ICP等等，其中这些仪器需要用到高纯气体，传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式，这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶，分别满足每台仪器设备的使用，但随着近年来实验室投资的不断加大，仪器设备的迅速增加，用气量也逐年增加，传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求，同时分散供气模式带来的实验室布局混乱，钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难，为了解决以上两个方面的问题，就需要一套安全性高且能实现集中分配供气的系统完成从气源向仪器的供气，这就是实验室高纯气体管道系统的功能所在。 实验室集中供气系统的特点：安全性、洁净度、稳定性、经济性、操作便捷性和美观性。 4.系统工艺流程 气路系统主要由气源、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易燃易爆气体，如氢气、乙炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入阻火器防止火苗串入。

气路系统常用器材：钢瓶（气体压缩机）、钢瓶固定架、钢瓶柜、钢瓶接头、金属软管、半自动切换装置、一级减压器、二级减压器、焊接三通、焊接大小头、卡套阀门、不锈钢管道（BA）、压力表、可燃有毒气体监测报警装置等等。 5.系统设计和施工标准 《工业金属管道工程施工及验收规范》 GB50235-2010 《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》 GB50236-2011 《氢气站设计规范》 GB50177-2005 《氢气使用安全技术规范》 GB4962-2008 《工业金属管道设计规范》 GB50316-2000 《乙炔站设计规范》 GB50031-91 《压缩空气站设计规范》GB50029-2014 《建筑设计防火规范》 GB50016-2014 6.验收标准 外观检查 1.管道走线要横平竖直；管道均固定牢固 2.管道外表面无明显破损。 3.各个阀件无明显破损。

特种气体系统工程设计规范

特种气体系统工程技术规范 2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 |字号订阅 1总则 1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。 2术语 2.0.1 特种气体specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。 2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。 2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。 2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。 2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders 用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。 2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。 2.0.11 气瓶架 gas rack (GR) 特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。 2.0.12 阀门箱 valve manifold box (VMB) 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。 2.0.13 阀门盘 valve manifold panel (VMP) 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应

特种气体系统工程设计规范完整版

特种气体系统工程设计 规范 HEN system office room 【HEN16H-HENS2AHENS8Q8-HENH1688】

特种气体系统工程技术规范 2011-04-07 08:31:54|分类：|标签：|字号订阅 1 总 则 1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。 2 术 语 2.0.1 特种气体 specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统 speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。 2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。 2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。 2.0.8 实瓶 full cylinder

特气系统的规划与设计1讲解

特气系统的规划与设计 特气系统的规划与设计(SSTT.NO.20) 由于半导体制程日趋复杂化且建厂成本愈来愈高，其使用的制程化学品皆具有相当的危险性，虽然有相关的外国标准可进行规范，但实际的做法却莫衷一是，各有其成本与优缺点上的考虑。本文除概略性的介绍半导体厂之特气供应系统，主要对整体特气系统的规划与设计进行探讨，限于篇幅，本文将论述的重点主要放在气瓶柜/架、阀箱与管路的设计上，提出个人的一点心得与看法，希望抛砖引玉提供大家思考的方向，以兹未来建构特气系统时的参考。然而，在实际的建厂规划设计时，工程师仍需依各厂的现况进行规划，考虑的重点包括经费、周围环境、基地、人员...等，以期较佳的实用性设计达到更安全的供应与环境维护。 气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是在半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ULSI、TFT-LCD 到现在开始萌发的微机电（MEMS)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆适用到相当多的其他，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。气体一般可简单的区分为大宗气体（BULK GASES),如N2、O2、Ar等适用量较大的气体，和特殊气体（Specialty Gases),如SIH4、AsH3、PH3...等以钢瓶供应的气体。本文主要针对特殊气体的供应系统进行探讨。

大宗气体的供应设计则因其供应方式的特殊性，如以大型桶槽的供应方式，将不列入本文的讨论范围。 特气供应系统是半导体厂中危险性最高的一环，只需有任何的疏失都可能造成人员、厂房、设备的严重损失，特别是其中有些其他如SIH4的自燃性，只要、一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈的反应，开始燃烧，还有ASH3的剧毒性，任何些微的泄漏都能可能造成人员声明的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。同城严重危害的事件，都是人们忽视其危险性或对其特性上的无知，甚或人员操作维护上的疏忽所造成，反而越危险的物质，大家投注更多的关心与防护、造成严重危害的情形下容易发生。但是，如何的设计才是最佳的考虑，实无绝对原则可供遵循，特别是如何在经费与安全性考虑上取得较佳的平衡，一直是工程师与设计者追寻的目标。若是经费许可担任可以选择二重、三重、甚或是四重保护、但更多重的保护设计是否又具有实质的意义。我们可针对自然气体供应时、气瓶柜泄漏来做实际的状况模拟，用以讨论防护设计上的观念。 首先假设人员在更换钢瓶后，为将接头完全锁紧即开始供气，此时第一阶段保护的管路压力测试失效（目前的气瓶柜几乎皆有此项之设计），才可能发生接下来的泄漏状况﹔当气体开始燃烧后，第二阶段的火焰侦测器侦测到火焰燃烧所放射出的UV或IP光道，侦测器动作，第三阶段的气体泄漏侦测器侦测到泄漏的气体的浓度值，第四阶段的紧急关断阀会将钢瓶气源出口的手段阀自动关闭，第五阶段的防

气路系统压力试验

7#电石炉气路系统及管路试压报验报审表 工程名称：新疆新冶能源化工股份有限公司50万吨/年电石项目二期20万吨/年电石项目编号：致：冠新监理公司 我方完成了7#电石炉气路系统及管路试压工作，现报上该工程报验申请表，请予以审查和验收。 附件：管道系统耐压试验条件确认与试验记录 承包单位（章）大连重工机电设备成套有限公司 项目经理 日期 审查意见： 项目监理机构 总/专业监理工程师 日期

SH/T3503-J406 管道系统耐压试验条件 确认与试验记录工程名称：新疆新冶能源化工股份有限公司50万吨/年电石项目二期20万吨/年电石项目 单元名称：7#电石炉 系统名称气路系统及管路系统编号 检查项目与要求检查结果管道安装符合设计文件和规范要求 管道组成件复验合格 焊接工作记录齐全 无损检测结果符合设计文件和规范要求 热处理结果符合设计文件和规范要求 支、吊架安装正确 合金钢管道材质标记清楚 不参与管道系统试验的安全附件、仪表已按规定拆除或隔离，参与试 压的系统内的阀门全部开启 临时加固措施、盲板位置与标识符合施工方案要求 焊接接头及需要检验的部位未被覆盖 试压用压力表量程、精度等级、检定状态符合规范要求 不锈钢管道试验用水符合规范要求 试验记录 管道编号设计压力 MPa 设计温度 ℃ 试验环境 温度 ℃ 试验 介质 试验介质 温度 ℃ 耐压 试验压力 MPa 严密性 试验压力 MPa 环形给料机气路0.6 -20～7 空气0.9 0.9 蝶阀气路0.6 -20～7 空气0.9 0.9 除尘气路0.6 -20～7 空气0.9 0.9 吹扫气路0.6 -20～7 空气0.9 0.9 检验结论： 建设/监理单位总承包单位施工单位 专业工程师： 日期：年月日专业工程师： 日期：年月日 专业工程师： 质量检查员： 施工班组长： 日期：年月日

北京分公司高纯气路系统设计施工安装方案

中央化验室高纯气路系统 设计及施工安装方案 设计目的： 高纯气体中央供气系统是专为高精度分析测试设备所用高纯工作气体的传输而设计，系统需要为分析设备提供压力、流量稳定且经过长距离传输后纯度不变的高纯气体，以满足各种高精度分析设备的使用要求。系统同时还应该满足安全性的要求，并方便客户的日常使用及管理。 一、气瓶间布局 1.山于存放的气体山于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。 2.气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀銘面板4套。 3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。 4.所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。 5.圧力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设汁的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。 6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。 7.气瓶间内存放的气瓶釆用带防倒链的气瓶支架固定，气瓶支架坚固耐用、美观大方。气瓶支架采用铝合金制作而成。 8.气瓶间内的气体钢瓶与压力调节器之间采用SS 316L高压金属软管连接无渗透。高压软管为柔性软管，以保证连接的方便性。并自导防护钢缆，预防极端情况下，钢瓶阀损坏等现象带来的高压“抽鞭”事故。压力调节器与管道的连接方式为双环卡套。 9.高压软管上的钢瓶接头必需与钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。

10.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。 二、终端布局 1.系统设置为二次减压系统。终端采用壁挂式设计。上设有压力调节器、输出压力指示计、紧急切断阀，同一气路的呈上下对应排布，方便操作。面板为不锈钢产品。 壁挂式终端标准型26套 注：该终端可以实现在室内对设备的压力调节、输出压力的监控及气路开关控制， 省去了每日往返于气瓶间和实验间的奔波，提高了办事效率。 2.控制终端上的气体出口尺寸要与分析仪的气体入口尺寸相对应。气体出口接头还应方便安装。 三、气路的布线 1.气瓶间内压力调节面板与实验室内的气路终端之间选用SS316L BA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra

特气系统辅助系统设施需求

G e n T e c h 区域系统类别规格 备注土建气体房必须设置泄爆面，如采用外墙作为泄爆面，则泄爆面主要道路不小于5M ，泄压面积参照GB50016-2006《建筑设计防火规范》第3.6条设计， 除泄爆面外，其余面墙体(含顶)防火2小时，紧急出口门宜采用推杆型门锁且直通至室外，门大小不应小于 1.5x2.5M ( 宽 x 高 )。房间尺寸：5M （长）×3M （宽）×3.5M （高） 地面要求 地面载荷大于1.5t/M 2，地面应作不发火花处理； 地面需留有不小于0.5%斜度，便于排水； 地面高度需满足雨季无积水进入气体设备种类 GC-SiH4-01/GC-H2-01/GC-NH3-01消防-环境气体房按照国家消防规范设置环境喷淋 消防-气体设备1)设备预留1/2"FNPT 消防接口,设备内部需要消防水接入点,每个接口流量为145slpm,压力不小于2.1kg/cm2,闭式; 2)GC-SiH4-01需2路消防水接入点; 3)GC-H2-01需1路消防水接入点; 4)GC-NH3-01需1路消防水接入点; 消防-烟雾监测气体房按照国家消防规范设置烟雾探测 气体泄漏监测1)GC-SiH4-01抽风配置1个SiH4 Detector ，气体房配置1个SiH4 Detector 2)GC-H2-01抽风配置1个H2 Detector ，气体房配置1个H2 Detector 3)GC-NH3-01抽风配置1个NH3 Detector ，气体房配置1个NH3 Detector 4)PECVD-01抽风配置1个SiH4、1个H2、1个NH3侦测器 5)PECVD-01环境配置1个SiH4、1个H2、1个NH3侦测器 通风-环境换气次数大于每小时10次,环境负压不小于10Pa ， 房间墙体底部需设置新风进风口(进风口应安装可拆缷式初级过滤器)或空调新风补风口 通风-气体设备1)GC-SiH4-01的抽风量为810NM3/H,负压为不小于250Pa,接口Φ150mm,数量一个;一般排风,不锈钢风管,独立排风; 2)GC-H2-01的抽风量为250NM3/H,负压不小于250Pa,接口Φ150mm,数量一个,一般排风,不锈钢风管; 3)GC-NH3-01的抽风量为250NM3/H,负压不小于250Pa,接口Φ150mm,数量一个,一般排风,不锈钢风管; 4)环境温度:5-35度; 5)环境湿度:0-80%,无凝结; 电力-气体系统 1)GC-SiH4-01的UPS 电：0.5KW 2)GC-H2-01的UPS 电：0.5KW 3)GSCS-1000Ⅱ柜UPS 电：0.5KW 照明 操作区域照度不小于200LUX ，照明设施应选用防爆型；照明系统应设计成双路双电源的独立照明，或单路单电源加紧急照明装置接地-气体设备 依国家规范,接地电阻不得大于4?，且接地线直径不小于6mm2；建议设备周围设置接地联接点或接地母排氮气 流量: >200slpm @100psi, Particle: <10pcs @0.5um /SCF 管道材质: SS316L BA 规格工艺排放 1)GC-SiH4-01排至尾气处理器;2)GC-H2-01排至尾气处理器;3)GC-NH3-01排至尾气处理器;自来水给排水 气体房内应满足尾气处理器的要求；PPE 清单 面罩、安全眼镜、皮手套、防火服、安全鞋中国物理研究院特种气体系统辅助设施规格表 可燃性气体房

特种气体系统验收

13 特种气体系统验收 一般规定 特种气体系统验收包括设备验收、管路系统验收和气体侦测/监控系统验收等。 设备验收 6.2.1机械面板验收 1．外观和流程检验 对照流程图、配置表、钢瓶接口形式等设计参数进行检验，包括管道） 横平竖直、焊接质量合格、调节阀规格和流向、气动/手动阀门规格和流向、单向阀规格和流向、微漏阀规格和流向、压力变送器/压力表规格、过滤器规格、过流开关规格和安装方向、安全阀流向和设定压力、VCR是否锁紧、管道支架安装、吹扫入口管径、工艺出口管径、排放口管径、危险标签等。 2．仪器测试 检查出厂各项仪器测试报告，包括保压、氦检、颗粒度、水分、氧分等测试。参见管路系统验收章节。 6.2.2 控制系统验收 根据控制逻辑，检查各监测和联动部件的功能，包括压力传感器、电子秤、过流开关(EFS)、高温开关、火焰侦测器(UV/IR)、负压开关、紧急切断(EMO)、输入电源、输入输出信号、接地保护、功能联动测试等。 管路系统验收 … 施工单位应通过其质检人员对施工质量进行检验。建设单位或其授权机构，应通过其质检人员对施工质量进行监督和检查。

6.3.1外观与文件检验 1．对照流程图，检查管件的安装位置和方向。 2．检查焊接管道是否有裂缝，特别是弯管处； 3 4．检查管道组成件的质量文件； 5．检查施工过程中的焊样、焊接日志。 、 6.3.2压力试验 1．管道安装完毕，外观检验合格后,必须进行压力试验。为了避免污染，高纯系统压力测试采用气压试验，不可采用水压试验，不得使用检漏液。试验气体应采用高纯氮气或氩气，不可采用氦气。在进行系

统保压之前请确认完成管道吹扫，避免铁屑污染阀门及管道。吹扫需采用大压力大流量的气源(5kg/cm2以上)进行循环吹扫； 2．压力试验前应确保焊缝及其他待检部位尚未涂漆和绝热，待试管道与无关系统已用盲板或采取其他措施隔开，待试管道上的安全阀、爆破板及仪表元件等已经拆下或加以隔离； 3．试验用压力表已经校验，并在周检期内。试验用压力表，直径应大于150mm。对于低压（<150psig），要求刻度为1 psi；对于高压(>500psig),刻度可采用5psi的刻度； 4．压力测试分耐压测试和保压测试两种。耐压测试采用设计压力的115%，时间30分钟。保压测试采用设计压力的90%，时间24小时；特气系统的测试压力最高不超过2,000psig. 5．保压过程应记录起止温度。考虑温度修正后，压降值不得超过1%； P c = [(P1 + P atm) x (T2)/(T1)] - P atm / 和: dP = P c - P2 此处，P1 =初始表压 P2 =最终表压 P c =温度校正最终表压 P atm =大气压力，通常为bar a psia) dP =温度校正后的压差 T1 =初始周围温度°K （=℃+ & T2 =最终周围温度°K （=℃+

气路方案

审批意见

一、编制目的： 本方案针对石化公司质检部质检一室化验室色谱管线气路改造项目而编制的施工指导方案。 二、使用范围： 本方案适用于指导质检一室的气路改造指导施工。 三、编制依据： 《环球工程公司设计图纸》2012.3 《工业金属管道施工及验收规范》GB50235-97 《现场设备、工业管道焊接工程施工验收规范》GB50236-98 四、工程概况： 石化公司质检一室所管辖的化肥车间及苯胺车间化验室色谱分析。气路管线系统自建成已有16年之久，建成之初由于资金有限整个气路管线存在缺陷，造成漏气频繁，给化验室分析工作带来很大安全隐患，也导致高纯气体损失。钢瓶间面积狭小，色谱间内没有氢气可燃气体报警仪。为了满足生产分析的要求，消除安全隐患重新设计气路系统改造钢瓶间。 本次改造主要内容是： 化肥厂专区：原色谱气路管线拆除并重新布臵新气路系统，原氧气钢瓶间隔墙拆

除，增大钢瓶间空间。色谱间内增加一套氢气可燃气体报警仪。 苯胺车间专区：原色谱气路管线拆除并重新布臵新气路系统，钢瓶间狭小，在现有钢瓶间不动的情况下，用彩钢板向南扩展2米。 五、施工工艺及技术措施： 2、施工准备 2.1施工人员在施工前认真熟悉图纸，按照图纸技术要求施工，严格贯彻执行有关规程、规范及质量检验评定标准，有变动更改处与设计及时办理设计变更洽商，不能随意更改设计图纸。重点部位应进行重点交底和施工。 2.2施工队进入现场后，对现场各种设备保护应听从发包方统一安排，并认真检查配电箱、各种引线、接地连接牢固可靠，杜绝漏电。 2.3该工程为甲方自供材料。设备在安装前必须会同建设单位的有关人员进行开箱检查，并做好设备开箱检查记录的填表，双方签字并盖章，做好设备的技术档案竣工后归档。 2.4工程上使用的各种设备、材料应有出厂合格证和材质证明、检测报告，加以妥善保管以便存档。现场材料员及工长应仔细检查型号、规格及数量，材料交接手续齐全。 3、钢瓶间改造布臵 两套装臵的钢瓶间在现有位臵不动，起重化肥装臵的钢瓶间将现有的氧气钢瓶间隔墙拆除，将原有氧气门堵死，从新增开窗户。苯胺装臵的钢瓶间原为拆钢板结构，在现有的钢瓶间不动情况下，向南延伸2米以增大钢瓶间面积。 4、气路管线敷设安装 质检一室供气管道设计采用316L进口不锈钢管道。钢瓶间来的总管采用1/2＂的

特气系统安全操作规范

1. 目的 Purpose 1.1 本操作作业规范目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以避免人员操作错误及维护系统 稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。 2. 管制范围 Scope 2.1 本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。 3. 管理职责 Responsibi l ity 3.1 厂务单位最高主管 3.1.1 协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。 3.1.2 综理厂务系统运转所需资源管理, 含人员/物料/预算等。 3.1.3 引进创新之厂务系统或管理知识。 3.2 厂务单位主管 3.2.1 执行厂务系统维护保养制度及系统教育训练。 3.2.2 维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管理。 3.2.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。 3.2.4 厂务系统异常事故追踪查核处理结果 3.3 厂务系统工程师: 3.3.1 负责特气供应系统之正常运转及改良维护。 3.3.2 负责厂务与机台设备间 Hook up (二次配管)工程之施工与协调事宜。 3.3.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。 3.3.4 担任所负责系统之教育训练讲师。 3.4 厂务轮班工程师: 3.4.1 负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。 3.4.2 执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。 3.4.3 更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物。

3.4.4 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。 4. 定义 Definition 4.1 SG : Special Gas (特殊气体)。 5. 作业内容 Procedure 5.1 日常记录与报告要求 5.1.1定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。 5.1.2统计气体，每日/周/月用量。 5.1.3统计气瓶、库存量，原则上现场要有足够15天运行库存量。 5.1.4整理特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的校正记录。 5.1.5提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。 5.2日常运转事项 5.2.1气体钢瓶的更换（含硅烷、氢气站，特气房内）。 5.2.2 N2 Yard(大宗气体气站：N2) 灌充作业前、后系统及压力，液位确认检查 5.2.3特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的定期校正。 5.2.4紧急应变：包括Trouble-shooting，报警故障处理，紧急事故反映及处理。 6. 表单 Form 特气系统点检表

特气系统个人防护用具使用说明

目录/Table of Contents 章节标题/Title 什么是PPE ？ 一PPE？ 二现场需要用的PPE 使用清单 三准确选择对应环境、气体或生产设备所需要的PPE 四正确使用、穿戴PPE 五定时对PPE 进行检查、保养 PPE进行检查保养

一、什么是PPE ？ PPE定义：Personal Protective Equipment 的简写，所称PPE 是指任何个人为●Personal Protective Equipment PPE 防备一种或多种损害健康和安全的危险而穿着或持用的装备或器具。 ●PPE目的：主要用于保护操作人员免受由于接触化学辐射、有毒、腐蚀、易燃、易爆；电机设备、人力设备、机械设备或在一些危险工作场所（环境）引起的严重的工爆电机设备人力设备机械设备或在些危险工作场所（环境）引起的严重的工伤或疾病。

二、现场使用的PPE 清单 个人防护用具类型 头部 头盔、安全帽靴子安全鞋脚 靴子、安全鞋眼睛 防护眼镜、眼镜眼睛/脸 全面式防护面罩耳朵 耳罩、耳塞全身 防火套装、防化套装防化服套装 手部 手套呼吸系统防尘MASK、防废气活性炭MASK、SCBA 防火服套装※ 右图展示的图片接下来会重点讲解如何穿着 SCBA

三、准确选择对应环境、气体或生产设备所需要的PPE ●200ppm Si2H6/H2 、5% SiH4/N2 、H2日常容器接收、容器交换需要PPE 是：FRC（阻燃服）、SCBA （自给式空气呼吸器）、防火服套装（上衣、手套、头罩）、气体手持式侦测器、安全鞋。容器泄露事故演习需要PPE 是FRC（阻燃服）SCBA （自给式空气呼吸器）防火服套装对应手持式容器泄露事故、演习需要PPE 是：FRC（阻燃服）、SCBA （自给式空气呼吸器）、防火服套装、对应手持式侦测器。 FRC阻燃服SCBA 防火服（上衣、手套、头罩）防火服套装防化服套装安全鞋BCL3、NH3手持式侦测器●CL2、BCL3 、NH3 日常容器接收、容器交换需要PPE 是：FRC（阻燃服）、SCBA （自给式空气呼吸器）、气体手持式侦测器、安全鞋。容器泄露事故、演习需要PPE 是：FRC（阻燃服）、SCBA （自给式空气呼吸器）、防化服套装、对应手持式侦测器。 ●O2 、CHF3 、CF4/O2 、N2O 、He 、Ar 、SF6 、PN2 日常容器接收、容器交换需要PPE 是：FRC（阻燃服）、安全鞋、O2手持式侦测器。容器泄露事故、演习需要PPE 是：FRC（阻燃服）、O2手持式侦测器。