氢能技术发展现状和前景展望

氢能技术发展现状和前景展望

氢能是一种绿色高效的二次能源，具有来源广、燃烧热值高、清洁无污染、可储存、与多种能源便捷转换等优点，是未来清洁能源的重要组成部分。从全球看，作为重要技术创新方向的氢燃料电池汽车正逐步成为氢能大规模商业化应用的重要领域。我国氢能发展处于示范应用初期，未来将在新能源消纳、交通运输领域碳减排等方面发挥重要作用。

氢能是一种绿色、高效的二次能源，具有热值较高、储量丰富、来源多样、应用广泛、利用形式多等特点。氢能产业链包括制氢、储运氢、用氢等环节。在制氢方面，2017年全球氢气生产量超过6000万吨，其中96%来自化石燃料，大部分采用天然气和煤油制氢技术；电解水制氢产量仅占4%，制氢成本较高，是化石燃料制氢的两倍多，目前利用可再生能源电解水制氢已经成为新热点。在储运氢方面，目前普遍采用具备高耐氢和耐压能力的25至35兆帕储氢罐，70兆帕处于示范应用阶段。管道运输是运氢环节的主要方式，根据麦肯锡公司数据，截至2017年年底，全球共铺设了4284千米输氢管道，其中A达到2400千米，欧洲约有1500千米。在用氢方面，大部分局限在工业领域，主要用途是作为化工行业的原材料，其中60%用于合成氨，38%用于炼油和煤炭深加工。氢燃料电池汽车应用规模不大，但发展快速。截至2017年年底，全球在运的氢燃料电池汽车超过6000辆，加氢站达到286座。

氢能是一种低碳高效的清洁能源，随着全球变暖控制步伐加快，氢能源发展存在迫切需要，市场空间也十分广阔。

A是氢能发展的先行者。1970年开始布局氢能技术研发，2002年政府制定A氢能发展路线图，颁布一系列法令，加快氢能产业发展。2008年金融危机以来，政府减少对氢能领域的财政支持，转向支持清洁能源、电动汽车等技术相对成熟、短期内利于经济复苏的产业，对氢能发展带来一定影响。2014年A颁布《全面能源战略》，重新确定氢能在交通转型中的引领作用，并于2017年宣布继续支持30个氢能项目建设，推动氢能产业取得显著进展。据A能源部统计，2016年A氢能产业创造了约1.6万个就业岗位，氢燃料电池汽车超过3500辆，加氢站达到60座。

A着力打造氢能社会，制定了国家氢能基本战略，确定至2050年氢能社会建设目标以及具体行动计划，并计划在东京奥运会全面采用氢能源公交车。A政府与汽车行业生产商合作研发氢燃料电池汽车，截至2017年年底，A氢燃料电池汽车超过2000辆，是世界上最大的氢能燃料电池汽车市场。计划到2020年，A可上路的氢能燃料电池汽车达到4万辆，到2025年达到20万辆，到2030年达到80万辆。900座广泛应用的加氢站将为这些车辆提供加氢服务。

A启动了规模宏大的氢能示范应用项目——“HyCity（氢能城市）”的计划，被称之为“通向明天能源世界的窗口”。该计划涵盖了氢气制取、运输、储存及燃料电池应用的氢能全产业链。A致力于开发集风力发电、电解水制氢、高压储氢及燃料电池发电技术于一体的氢能应用技术，并建立多个氢能示范应用中心。例如，由

ENERTRAG能源公司实施建设的氢能示范项目——燃料电池电站，该电站的总额定功率为700千瓦，每年可产生16吉瓦时的电能，可满足4000个家庭的用电需求。

未来氢能将与风能、太阳能等新能源在共同推动碳减排、助力能源转型中发挥重要作用，成为能源系统中重要的组成部分。国际氢能源委员会预测2050年氢能源需求是目前的10倍，占终端能源消费量的比例超过15%，对全球二氧化碳减排量的贡献度达到20%。

安全性和成本高是目前制约氢燃料电池汽车发展的主要因素。从安全性看，氢燃料电池汽车安全性不断提高。丰田汽车公司通过装备高强度碳纤维材质的车载储氢罐和高性能传感器等，降低氢燃料泄漏导致的爆燃风险；从成本看，氢燃料电池汽车未来具有较大成本下降空间。2016年年底，氢燃料电池汽车的整车成本约是燃油汽车的2.1倍，是纯电动汽车的1.6倍，其中燃料电池系统占一半。近年来，丰田汽车公司通过技术创新不断降低燃料电池系统（成本约占整车的一半）催化剂铂金属的用量，使得氢燃料电池汽车成本近10年来下降近80%。IEA（国际能源署）预测，到2030年、2050年，氢燃料电池汽车成本将比目前分别下降44%和55%，接近燃油汽车成本。2030年，全球氢燃料电池汽车将占全部汽车产量的3%，2050年提高到15%左右，超过3亿辆氢燃料汽车投运。考虑发展阶段、技术成熟、成本趋势等因素，电动汽车仍将是未来新能源汽车的主导技术，氢燃料电池汽车通过发挥加氢时间短、续航里程长等技术优势，将在公交、大巴等重型车载领域实现广泛应用。

我国氢能产业仍处于示范应用初期，与发达国家存在较大差距。2011年以来，我国相继发布了一系列政策措施，引导并鼓励包括氢能和燃料电池产业发展，2017年以来，我国各地方也开始出台适合自身发展的氢能支持政策。目前，我国煤化工制氢的产量世界第一，但在燃料电池技术研发、氢能关键材料和装备制造等方面相对滞后，基础研发与核心技术投入不足，氢能产业发展总体落后于发达国家。截至2017年年底，我国实际在运的氢燃料电池汽车不足300辆，加氢站仅7座，新能源制氢项目进展缓慢。。

作为国家战略性新兴能源的重要组成部分，我国正在加快推动氢能开发和产业应用。未来我国氢能将在交通运输减排、电能替代等方面发挥重要作用。一是与电动汽车互为补充，共同推动交通运输领域碳减排。国家规划明确2020年实现5000辆氢燃料电池汽车在特定地区公共服务用车领域的示范应用，建成100座加氢站；2030年实现百万辆氢燃料电池汽车的商业化应用，建成1000座加氢站。二是建设氢能源发电系统。根据咨询公司统计，2016年氢燃料电池发电系统成本为0.74至1.16元每千瓦时，已经具备一定市场竞争力。未来在用户侧推广应用小型氢燃料电池分布式发电系统，满足家用热电联供的需要，推动家庭电气化进程，促进电能替代。

光刻技术

职大09微电子 光刻技术 摘要：光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺，在此之后，晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。被除去的部分可能形状是薄膜内的孔或是残留的岛状部分。 关键词：光刻胶；曝光；烘焙；显影；前景 Abstract: photoetching lithography (is) through a series of steps will produce wafer surface film of certain parts of the process, remove after this, wafer surface will stay with the film structure. The part can be eliminated within the aperture shape is thin film or residual island. Keywords: the photoresist, Exposure; Bake; Enhancement; prospects

目录 第一章绪论 (2) 第二章光刻技术的原理 (3) 第三章光刻技术的工艺过程 (4) 1基本光刻工艺流程—从表面准备到曝光 (4) 1.1光刻十步法 (4) 1.2基本的光刻胶化学物理属性 (4) 1.2.1组成 (4) 1.2.2光刻胶的表现要素 (4) 1.2.3正胶和负胶的比较 (5) 1.2.4光刻胶的物理属性 (5) 1.3光刻工艺剖析 (5) 1.3.1表面准备 (5) 1.3.2涂光刻胶 (5) 1.3.3软烘焙 (6) 1.3.4对准和曝光（A&E） (6) 2基本光刻工艺流程—从曝光到最终检验 (6) 2.1显影 (6) 2.1.1负光刻胶显影 (6) 2.1.2正光刻胶显影 (7) 2.1.3湿法显影 (7) 2.1.4干法（或等离子）显影 (7) 2.2硬烘焙 (7) 2.3显影检验（develop inspect DI） (7) 2.3.1检验方法 (8) 2.3.2显影检验拒收的原因 (8) 2.4刻蚀 (8) 2.4.1湿法刻蚀 (8) 2.4.2干法刻蚀（dry etching） (9) 2.5光刻胶的去除 (10) 2.6最终目检 (10) 第四章光刻技术的发展与现状 (11) 1 .EUV 光刻技术 (11) 2 .PREVAIL 光刻技术 (12) 3.纳米压印光刻技术 (12) 4.展望 (14) 参考文献15

集成电路的现状与发展趋势

集成电路的现状与发展趋势 1、国内外技术现状及发展趋势 目前，以集成电路为核心的电子信息产业超过了以汽车、石油、钢铁为代表的传统工业成为第一大产业，成为改造和拉动传统产业迈向数字时代的强大引擎和雄厚基石。1999年全球集成电路的销售额为1250亿美元，而以集成电路为核心的电子信息产业的世界贸易总额约占世界GNP的3%，现代经济发展的数据表明，每l~2元的集成电路产值，带动了10元左右电子工业产值的形成，进而带动了100元GDP的增长。目前，发达国家国民经济总产值增长部分的65%与集成电路相关；美国国防预算中的电子含量已占据了半壁江山（2001年为43.6%）。预计未来10年内，世界集成电路销售额将以年平均15%的速度增长，2010年将达到6000~8000亿美元。作为当今世界经济竞争的焦点，拥有自主版权的集成电路已曰益成为经济发展的命脉、社会进步的基础、国际竞争的筹码和国家安全的保障。 集成电路的集成度和产品性能每18个月增加一倍。据专家预测，今后20年左右，集成电路技术及其产品仍将遵循这一规律发展。集成电路最重要的生产过程包括：开发EDA（电子设计自动化）工具，利用EDA进行集成电路设计，根据设计结果在硅圆片上加工芯片（主要流程为薄膜制造、曝光和刻蚀），对加工完毕的芯片进行测试，为芯片进行封装，最后经应用开发将其装备到整机系统上与最终消费者见面。 20世纪80年代中期我国集成电路的加工水平为5微米，其后，经历了3、1、0.8、0.5、0.35微米的发展，目前达到了0.18 微米的水平，而当前国际水平为0.09微米（90纳米），我国与之相差约为2-3代。 （1）设计工具与设计方法。随着集成电路复杂程度的不断提高，单个芯片容纳器件的数量急剧增加，其设计工具也由最初的手工绘制转为计算机辅助设计（CAD），相应的设计工具根据市场需求迅速发展，出现了专门的EDA工具供应商。目前，EDA主要市场份额为美国的Cadence、Synopsys和Mentor等少数企业所垄断。中国华大集成电路设计中心是国内唯一一家EDA开发和产品供应商。 由于整机系统不断向轻、薄、小的方向发展，集成电路结构也由简单功能转向具备更多和更为复杂的功能，如彩电由5片机到3片机直到现在的单片机，手机用集成电路也经历了由多片到单片的变化。目前，SoC作为系统级集成电路，能在单一硅芯片上实现信号采集、转换、存储、处理和I/O等功能，将数字电路、存储器、MPU、MCU、DSP等集成在一块芯片上实现一个完整系统的功能。它的制造主要涉及深亚微米技术，特殊电路的工艺兼容技术，设计方法的研究，嵌入式IP核设计技术，测试策略和可测性技术，软硬件协同设计技术和安全保密技术。SoC以IP复用为基础，把已有优化的子系统甚至系统级模块纳入到新的系统设计之中，实现了集成电路设计能力的第4次飞跃。

浅谈仿真现状和发展

浅谈系统仿真的现状和发展 一、系统仿真技术发展的现状 工程系统仿真作为虚拟设计技术的一部分，与控制仿真、视景仿真、结构和流体计算仿真、多物理场以及虚拟布置和装配维修等技术一起，在贯穿产品的设计、制造和运行维护改进乃至退役的全寿命周期技术活动中，发挥着重要的作用，同时也在满足越来越高和越来越复杂的要求。因此，工程系统仿真技术也就迅速地发展到了协同仿真阶段。其主要特征表现为： 1、控制器和被控对象的联合仿真：MATLAB＋AMESIM，可以覆盖整个自动控制系统的全部要求。 2、被控对象的多学科、跨专业的联合仿真：AMESIM＋机构动力学＋CFD ＋THERMAL＋电磁分析 3、实时仿真技术 实时仿真技术是由仿真软件与仿真机等半实物仿真系统联合实现的，通过物理系统的实时模型来测试成型或者硬件控制器。 4、集成进设计平台 现代研发制造单位，尤其是设计研发和制造一体化的大型单位，引进 PDM/PLM系统已经成为信息化建设的潮流。在复杂的数据管理流程中，系统仿真作为CAE工作的一部分，被要求嵌入流程，与上下游工具配合。 5、超越仿真技术本身 工程师不必是精通数值算法和仿真技术的专家，而只需要关注自己的专业对象，其他大量的模型建立、算法选择和数据前后处理等工作都交给软件自动完成。

这一技术特点极大地提高了仿真的效率，降低了系统仿真技术的应用门槛，避免了因为不了解算法造成的仿真失败。 6、构建虚拟产品 在通过建立虚拟产品进行开发和优化过程中，关注以各种特征值为代表的系统性能，实现多方案的快速比较。 二、系统仿真技术的发展趋势 1、屏弃单专业的仿真 单一专业仿真将退出系统设计的领域，专注于单一专业技术的深入发展。作为总体优化的系统级设计分析工具，必要条件之一是跨专业多学科协同仿真。 2、跟随计算技术的发展 随着计算技术在软硬件方面的发展，大型工程软件系统开始有减少模型的简化、减少模型解藕的趋势，力争从模型和算法上保证仿真的准确性。更强更优化的算法，配合专业的库，将提供大型工程对象的系统整体仿真的可能性。 在高性能计算方面，将支持包括并行处理、网格计算技术和高速计算系统等技术。 3、平台化 要求仿真工具能够提供建模、运算、数据处理（包括二次开发后的集成和封装）、数据传递等全部仿真工作流程要求的功能，并且通过数据流集成在更大的PDM/PLM平台上。同时，在时间尺度上支持全开发流程的仿真要求，在空间尺度上支持不同开发团队甚至是交叉型组织架构间的协同工作以及数据的管理。 4、整合和细分市场

2019年我国城市燃气行业发展研究

2019年我国城市燃气行业发展研究 （一）城市燃气行业概况 1、城市燃气的主要种类 城市燃气（包括民用、商业和工业燃气等）是由几种气体组成的混合气体，目前主要使用的城市燃气种类包括天然气（NG）、液化石油气（LPG）和人工燃气（MG）。 天然气是理想的城市气源，由于开采、储运和使用既经济又方便，天然气在全球的应用非常广泛。液化石油气是一种化工基本原料和新型燃料，在化工生产方面，其用来生产合成塑料、合成橡胶、合成纤维及生产医药、炸药、染料等产品。人工燃气是指以固体或液体可燃物为原料经各种热加工制得的可燃气体，主要作为民用燃料使用。发行人经营的燃气品种为天然气。

2、全球城市燃气行业发展概况 由于全球资源分布的不均衡性和世界经济发展地区性差异，各个国家和地区 天然气消费水平存在明显的不同，城市燃气发展水平存在明显差异。发达国家是 天然气的主要消费者，城市燃气的普及率较高。 3、我国城市燃气行业发展概况 作为城市基础设施的重要组成部分，城市燃气的发展对城市现代化具有极其 重要的作用。提高城市燃气化水平，对于提高城市居民生活质量、改善城市环境、 提高能源利用率，具有十分重要的意义。目前我国城市燃气已经从原先以人工燃 气为主、天然气和液化石油气为辅全部转向了优先采用天然气的发展格局。 根据《天然气发展“十三五”规划》，“十三五”期间，我国城镇化率目标 为60%。城镇化率每提高一个百分点，每年将增加相当于8,000万吨标煤的能源消费量。当前我国城镇化水平仍然偏低，新型城镇化对高效清洁天然气的需求将 不断增长，加快推进新型城镇化建设必将进一步促进天然气利用。

（二）天然气行业概况 天然气是一种多组分的混合气态化石燃料，主要成分是烷烃，其中甲烷占绝 大多数。它主要存在于气田、油田、煤层和页岩层。天然气燃烧后无废渣、废水 产生，相较煤炭、石油等能源有热值高、洁净等优势。 作为一种清洁高效的化石能源，天然气是低碳经济的代表，是化石能源向新 能源过渡的桥梁。随着近几十年天然气消费量的大幅度增长，天然气领域内的投 入、储运、产量和贸易量也呈快速增长态势，天然气在世界能源多元化过程中发 挥越来越重要的作用。按现有发展速度推测，2020 年以后世界天然气产量将超过煤炭和石油，天然气将成为能源消费主力，21 世纪将迎来“天然气的时代”。 1、全球天然气行业概况 （1）全球天然气资源概况 上世纪70 年代以来，随着勘探技术的突破、新气田的发现以及深海勘探开 发技术水平的提高，全球天然气探明储量持续增加。截至2018 年年底，全球天然气探明储量为196.9 万亿立方米，储产比为50.9。其中：伊朗、俄罗斯、卡塔

光刻技术及其应用的状况和未来发展

光刻技术及其应用的状况和未来发展 光刻技术及其应用的状况和未来发展1 引言 光刻技术作为半导体及其相关产业发展和进步的关键技术之一，一方面在过去的几十年中发挥了重大作用；另一方面，随着光刻技术在应用中技术问题的增多、用户对应用本身需求的提高和光刻技术进步滞后于其他技术的进步凸显等等，寻找解决技术障碍的新方案、寻找COO更加低的技术和找到下一俩代可行的技术路径，去支持产业的进步也显得非常紧迫，备受人们的关注。就像ITRS对未来技术路径的修订一样，上世纪基本上3～5年修正一次，而进入本世纪后，基本上每年都有修正和新的版本出现，这充分说明了光刻技术的重要性和对产业进步的影响。如图1所示，是基于2005年ITRS对未来几种可能光刻技术方案的预测。也正是基于这一点，新一轮技术和市场的竞争正在如火如荼的展开，大量的研发和开发资金投入到了这场竞赛中。因此，正确把握光刻技术发展的主流十分重要，不仅可以节省时间和金钱，同时可以缩短和用户使用之间的周期、缩短开发投入的回报时间，因为光刻技术开发的投入比较庞大。 2 光刻技术的纷争及其应用状况 众说周知，电子产业发展的主流和不可阻挡的趋势是"轻、薄、短、小"，这给光刻技术提出的技术方向是不断提高其分辨率，即提高可以完成转印图形或者加工图形的最小间距或者宽度，以满足产业发展的需求；另一方面，光刻工艺在整个工艺过程中的多次性使得光刻技术的稳定性、可靠性和工艺成品率对产品的质量、良率和成本有着重要的影响，这也要求光刻技术在满足技术需求的前提下，具有较低的COO和COC。因此，光刻技术的纷争主要是厂家可以提供给用户什么样分辨率和产能的设备及其相关的技术。 以Photons为光源的光刻技术 2.1 以Photons为光源的光刻技术 在光刻技术的研究和开发中，以光子为基础的光刻技术种类很多，但产业化前景较好的主要是紫外(UV)光刻技术、深紫外(DUV)光刻技术、极紫外(EUV)光刻技术和X射线(X-ray)光刻技术。不但取得了很大成就，而且是目前产业中使用最多的技术，特别是前两种技术，在半导体工业的进步中，起到了重要作用。 紫外光刻技术是以高压和超高压汞(Hg)或者汞-氙(Hg-Xe)弧灯在近紫外(350～450nm)的3条光强很强的光谱(g、h、i线)线，特别是波长为365nm的i线为光源，配合使用像离轴照明技术(OAI)、移相掩模技术(PSM)、光学接近矫正技术(OPC)等等，可为0.35～0.25μm的大生产提供成熟的技术支持和设备保障，在目前任何一家FAB中，此类设备和技术会占整个光刻技术至少50％的份额；同时，还覆盖了低端和特殊领域对光刻技术的要求。光学系统的结构方面，有全反射式(Catoptrics)投影光学系统、折反射式(Catadioptrics)系统和折射式(Dioptrics)系统等，如图2所示。主要供应商是众所周知的ASML、NIKON、CANON、ULTRATECH 和SUSS MICROTECH等等。系统的类型方面，ASML以提供前工程的l:4步进扫描系统为主，分辨率覆盖0.5～0.25μm：NIKON以提供前工程的1：5步进重复系统和LCD的1：1步进重复系统为主，分辨率覆盖0.8～0.35μm和2～0.8μm；CANON以提供前工程的1：4步进重复系统和LCD的1：1步进重复系统为主，分辨率也覆盖0.8～0.35μm和1～0.8μm；ULTRATECH以提供低端前工程的1：5步进重复系统和特殊用途(先进封装／MEMS／，薄膜磁头等等)的1：1步进重复系统为主；而SUSS MICTOTECH以提供低端前工程的l：1接触／接近式系统和特殊用途(先进封装／MEMS／HDI等等)的1：1接触／接近式系为主。另外，在这个领域的系统供应商还有USHlO、TAMARACK和EV Group等。 深紫外技术

网络技术的未来发展趋势

网络技术的未来发展趋势 摘要：本文回顾了计算机网络的起源和发展历史，并将其历史分为三个阶段进行了阐述。之后，详细介 绍了网络技术中的四大技术，在此基础上对未来网络发展趋势进行了预测，并从语义网、计算机系统重新整合、网络进行整合、人工智能等七个方面对其进行了详细的论述。 关键词：网络技术;发展趋势;语义网;人工智能 The future development trend of the network technology Abstract: This paper reviews the origin and history of the computer network ,and divides its history into three https://www.wendangku.net/doc/7116045313.html,ter,the four major technology about the network technology was introduced in detail, and the future network development trend was predicted on the basis of that.The paper discusses the future development trend of the network technology from the semantic web, computer system integration, network integration and artificial intelligence and so on. 0 引言 计算机网络是计算机之间通过连接介质(如网络线、光纤等)互联起来，按照网络协议进行数据通信，实现资源共享的一种组织形式。计算机网络是二十世纪60年代起源于美国，原本用于军事通讯，后逐渐进入民用，经过短短40年，网络技术的发展变化速度惊人。回顾历史，从大局的角度看，网络技术的发展大致可分为三个阶段：第一阶段，上个世纪80年代末期到90年代中期，是厂商导向阶段。基本上在网络行业工作时间比较长的人都知道，刚开始的IT都是集中地把用户内网连在一起，所有项目、所有用户都一直在做同样的事，网络设备厂商作为主导。第二阶段，上个世纪9 0年代末期到最近一两年，是公网的阶段，中国电信和现在的中国网通等固网运营商都在集中精力做外网和公网。第三阶段，也就是从现在开始，将进入应用导向和用户导向阶段。以后技术的发展并不是单单为了内网或者外网，而是怎么朝更深层次发展，怎么用好这个网，怎么能更容易地享受到网络服务，怎么能更容易地把网络服务推向网络端。 1 网络技术简介 （1）软交换技术。为了把服务控制功能和网络资源控制功能与传送功能完全分开，需要应用软交换技术。根据新的网络功能模型分层，计算机网络将分为接入与传输层，媒体层，控制层，业务／应用层（也叫网络服务层）四层，从而可对各种功能作不同程度的集成。 （2）IPv6技术。未来的计算机网络是基于IPv6技术的网络。和IPv4相比，IPv6的主要改变就是地址的长度为128位，也就是说可以有2的128次方的IP地址，足以保证地球上的每个人拥有一个或多个IP地址。 （3）光交换与智能光网络技术。当前组网技术正从具有上下光路复用(OADM)和光交叉连接(OXC)功能的光联网向由光交换机构成的智能光网络发展；从环形网向网状网发展；从光→电→光交换向全光交换发展。即在光连网中引入自动波长配置功能，也就是自动交换光网络(ASON)，使静态的光连网走向动态的光连网。 （4）宽带接入技术。计算机网络必须要有宽带接入技术的支持，各种宽带服务与应用才有可能开展。当前宽带接入技术有两个新技术，一个是基于以太网无源光网络（EPON）的

系统仿真技术发展现状

系统仿真技术发展现状和趋势 工程系统的仿真，起源于自动控制技术领域。从最初的简单电子、机械系统，逐步发展到今天涵盖机、电、液、热、气、电、磁等各个专业领域，并且在控制器和执行机构两个方向上飞速发展。 控制器的仿真软件，在研究控制策略、控制算法、控制系统的品质方面提供了强大的支持。随着执行机构技术的发展，机、电、液、热、气、磁等驱动技术的进步，以高可靠性、高精度、高反应速度和稳定性为代表的先进特征，将工程系统的执行品质提升到了前所未有的水平。相对控制器本身的发展，凭借新的加工制造技术的支持，执行机构技术的发展更加富于创新和挑战，而对于设计、制造和维护高性能执行机构，以及构建一个包括控制器和执行机构的完整的自动化系统也提出了更高的要求。 AMESIM软件正是能够提供平台级仿真技术的工具。从根据用户需求，提供液压、机械、气动等设计分析到复杂系统的全系统分析，到引领协同仿真技术的发展方向，AMESIM的发展轨迹和方向代表了工程系统仿真技术的发展历程和趋势。 一、系统仿真技术发展的现状 工程系统仿真作为虚拟设计技术的一部分，与控制仿真、视景仿真、结构和流体计算仿真、多物理场以及虚拟布置和装配维修等技术一起，在贯穿产品的设计、制造和运行维护改进乃至退役的全寿命周期技术活动中，发挥着重要的作用，同时也在满足越来越高和越来越复杂的要求。因此，工程系统仿真技术也就迅速地发展到了协同仿真阶段。其主要特征表现为： 1、控制器和被控对象的联合仿真：MATLAB＋AMESIM，可以覆盖整个自动控制系统的全部要求。 2、被控对象的多学科、跨专业的联合仿真：AMESIM＋机构动力学＋CFD＋THERMAL ＋电磁分析 3、实时仿真技术 实时仿真技术是由仿真软件与仿真机等半实物仿真系统联合实现的，通过物理系统的实时模型来测试成型或者硬件控制器。 4、集成进设计平台 现代研发制造单位，尤其是设计研发和制造一体化的大型单位，引进PDM/PLM 系统已经成为信息化建设的潮流。在复杂的数据管理流程中，系统仿真作为CAE 工作的一部分，被要求嵌入流程，与上下游工具配合。 5、超越仿真技术本身 工程师不必是精通数值算法和仿真技术的专家，而只需要关注自己的专业对象，其他大量的模型建立、算法选择和数据前后处理等工作都交给软件自动完成。这一技术特点极大地提高了仿真的效率，降低了系统仿真技术的应用门槛，避免了因为不了解算法造成的仿真失败。 6、构建虚拟产品 在通过建立虚拟产品进行开发和优化过程中，关注以各种特征值为代表的系统性能，实现多方案的快速比较。 二、系统仿真技术的发展趋势 2．1、屏弃单专业的仿真

中国城市燃气事业现状及发展前景

中国城市燃气事业现状及发展前景 我所代表的中国都市煤气协会是在建设部领导下，由都市燃气企业(包括天然气、液化石油气、人工煤气)、燃气设备制造企业、相关大专院校、科研设计单位组成的社会团体，现有会员1400多个。目前在中国大陆地区的三十二个省级行政区内，已有29个省级燃气协会(除西藏、甘肃、香港)成为中国都市煤气协会的团体会员，并在各自区域内开展活动。中煤协1988年5月成立以来，为中国燃气事业进展做出了各种努力，各工作机构组织和参与了许多专业性、技术性的会议，包括国际会议、国际展览会等，促进了中国燃气界和世界燃气界交流和合作，较好地发挥了政府与企业、企业与企业之间的桥梁和纽带作用。中煤协期望着加强与国际国内同行的联系，共同为燃气事业的进展做出新的努力。 借此机会，我们向大会介绍我们对中国都市燃气事业的现状及进展前景的认识。 一、中国燃气事业进展的历史及现状中国是一个大国，人口众多，各地区经济进展和资源条件极不平稳。东、西、南、北、沿海与内地均有专门大的差距，因而造成了中国都市燃气事业起步早，进展晚的状况。中国于公元三世纪在四州就有用竹子做管道输送天然气用于制盐业的记载，做为都市燃气，则从1865年由英商在上海建水平炉生产煤气用于照明设立了最早的煤气公司开始，但进展极为缓慢。到1949年，全国只有上海、大连、沈阳、鞍山、抚顺、长春、锦州、哈尔滨、丹东九个都市有煤制气。 新中国成立以后，燃气事业有了较大的进展。五十年代燃气进展要紧是改造和兴建小焦炉和利用冶金工业的焦炉余气。六十年代初，四川、东北、华北等地区先后供应部分天然气，随着石油工业的进展，大中都市以LPG和开发重油制气技术为气源。七十年代，由于LPG和天然气受资源和政策限制仅略有进展，较多的依旧建设以煤和石油产品为原料的煤气厂。八十年代，国内LPG的供应量逐步增加，做为优质民用燃料进入千家万户。九十年代，由于大量进口国外的LPG和天然气的开采利用使中国都市燃气事业得到了专门大进展，并己成为都市建设的重要基础设施和现代化都市的重要标志。 依照建设部统计公报，到1997年底，全国共有都市668个。非农业人口1．95亿人中，已有1．47亿人用上了各种燃气，普及率达到了75．71％。在燃气构成中，人工煤气呈下降趋势，天然气和LPG呈增加趋势。那个地点需要说明的是目前多种气源供应，是中国都市燃气进展的特点。相当长一段时刻，中国的都市燃气的进展遵循着“多种气源，多种用途，因地制宜，合理利用资源”的方针。到目前气源资源依然是煤、石油(轻油或重油)、天然气和LPG，由于能源价格逐步向国际价靠拢，因而产生了各种能源资源(包括电力在内)的替代关系，中国在由打算经济向市场经济的转变中，使燃气的决策和进展变得更加复杂和困难。煤炭是中国制气的要紧原料，煤炭价格上涨使煤制气企业连年处于亏损状态，产生了与国际上煤制气衰落的相同情形。近几年来，中国液化石油气用户进展专门快，这是因为LPG工程具有投资省、建设快、少污染等优点，加之国内LPG生产量不断增长，沿海地区又能够国际价进口LPG，对都市燃气事业起到了良好的推动作用，也使LPG成为进展都市燃气的一种可替代能源。并由此形成了一个经济比较的对比指标。即凡燃气价格低于LPG项目工程应是可取的。凡高于LPG工程项目的是不可取的。这也是市场经济条件下进展中国燃气事业的一个重大进步，为向国际接轨迈近了一步。因此LPG工程的缺点也应考虑。国际上价格最低的是天然气，但进口LNC受经济规模限制，达到一定的规模后才有经济价值，因登陆后要配之以管道运输，投资较大，通常差不多上结合发电和地区性的环保要求来进行论证，这也是LPG因此成为过渡性气源的要紧缘故。近几年来天然气作为都市气源进展较快，是应该优先使用的一种都市燃气气源，但天然气气源在中国分布不均，由于资源相对分散，大部分就地使用。远距离输送要做到发达国家国内联网、国际联网还有待我国综合国力以及天然气资源的进展规模来定。目前，中国的天然气作都市气源己达到本世纪

激光光刻技术的研究与发展

第41卷第5期红外与激光工程2012年5月Vol.41No.5Infrared and Laser Engineering May.2012 激光光刻技术的研究与发展 邓常猛1,2，耿永友1，吴谊群1,3 (1.中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料重点实验室，上海201800； 2.中国科学院研究生院，北京100049； 3.功能无机材料化学省部共建教育部重点实验室(黑龙江大学)，黑龙江哈尔滨150080) 摘要：光刻技术作为制备半导体器件的关键技术之一将制约着半导体行业的发展和半导体器件的性能。随着半导体工业的发展，集成电路的特征尺寸越来越小，光刻技术将面临新的挑战。分析了激光光刻技术，包括投影式光刻和激光无掩膜光刻技术的研究现状，着重介绍了极紫外光刻(EUVL)作为下一代光刻技术的发展前景和技术难点、激光无掩膜光刻技术的发展，特别是激光近场扫描光刻、激光干涉光刻、激光非线性光刻等新技术的最新进展及其在高分辨率纳米加工领域的应用前景。 关键词：投影式光刻；无掩膜光刻；发展趋势 中图分类号：TN305.7文献标志码：A文章编号：1007-2276(2012)05-1223-09 Research development of laser lithography technology Deng Changmeng1,2,Geng Yongyou1,Wu Yiqun1,3 (1.Key Laboratory of Material Science and Technology for High Power Lasers,Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai201800,China;2.Graduate University of the Chinese Academy of Sciences,Beijing100049,China;3.Key Laboratory of Functional Inorganic Material Chemistry(Heilongjiang University), Ministry of Education,Harbin150080,China) Abstract:Lithography technology,as one of the key technologies in the manufacture of semiconductor devices,has played an important role in the development of semiconductor industry.As the critical dimension of integrated circuit is decreased to smaller and smaller,lithography technology will face new challenges.In this review,the progress and status on laser lithography were presented,including projection lithography and laser maskless lithography.The foreground and technology challenges of extreme ultraviolet lithography(EUVL),which was considered to be the next generation lithography,were analyzed.The progress and application prospect in high-resolution nano lithography patterning of laser maskless lithography,especially of near-field scanning optical microscopy,laser interference and nonlinearity lithography etc,were discussed. Key words:projection lithography;maskless lithography;development trend 收稿日期：2011-09-05；修订日期：2011-10-03 基金项目：国家自然科学基金(60977004，50872139) 作者简介：邓常猛(1985-)，男，博士生，主要从事光刻技术和光刻材料方面的研究。Email:chmdeng@https://www.wendangku.net/doc/7116045313.html, 导师简介：吴谊群(1957-)，女，研究员，博士生导师，主要从事高密度光存储和光电子学功能材料方面的研究。Email:yqwu@https://www.wendangku.net/doc/7116045313.html,

浅论网络技术的发展趋势

浅论网络技术的发展趋势 概要：面临着网络的普及，日益恶化的网络安全威胁是网民们生畏，那如今的网络技术发野兔没迅猛…… 关键词：网络安全技术、网络安全威胁、网络安全意识、解决方案 正文： 随着信息时代的全球化，信息化网络裂变式高速发展,网络交流的频繁化促使人们利用网络进行一些如银行事务,电子邮件、电子商务和自动化办公等事务,但随之网络特别是互联网的开放性、互联性、匿名性也给网络应用带来了安全隐患…… 网络安全： 网络安全是指致力于解决诸如如何有效进行介入控制，以及何如保证数据传输的安全性的技术手段，主要包括物理安全分析技术，网络结构安全分析技术，系统安全分析技术，管理安全分析技术，及其它的安全服务和安全机制策略。 网络安全威胁： 1) 网络窃听：由于在广播网络系统中,每个结点都可以读取网上传送的数据,网络体系结 构允许监视器接受网上传送的所有数据,使得窃取网上的数据或非授权访问变得很容易。 2) 假冒：利用重放数据帧的方法,产生被授权的效果,假冒另一实体进行网络非授权活 动。 3) 数据修改：在非授权和不能检测的环境下对数据的修改，当节点修改加入网中的帧 并传送修改版本时就发生了数据修改》 4) 完整性破坏：破坏数据完整性,包括设备故障或人为有意无意破坏修改系统信息。 5) 服务否认：受到网络攻击使网络设备或数据遭到破坏,并可能产生拒绝某种网络服务 功能的后果。 6）重发：重发就是重复一份保文或报文的一部分，以便产生一个被授权效果， 7）计算机病毒：这是一种人为编制隐藏在计算机中很难别发现且具有破坏能力的程序或代码，能够通过软盘、硬盘、通信连路和其他路径在计算机网络传播额和蔓延。 网络安全技术的分类： 一.虚拟网技术 虚拟网技术主要基于近年发展的局域网交换技术(ATM和以太网交换）。交换技术将传统的基于广播的局域网技术发展为面向连接的技术。因此，网管系统有能力限制局域网通讯的范围而无需通过开销很大的路由器。 网络层通讯可以跨越路由器，因此攻击可以从远方发起。IP协议族各厂家实现的不完善，因此，在网络层发现的安全漏洞相对更多，如IP sweep, teardrop, sync-flood, IP spoofing攻击等 二.防火墙技术 网络防火墙技术是一种用来加强网络之间访问控制,防止外部网络用户以非法手段通过外部网络进入内部网络,访问内部网络资源,保护内部网络操作环境的特殊网络互联设备.它对两个或多个网络之间传输的数据包如链接方式按照一定的安全策略来实施检查,以决定网络之间的通信是否被允许,并监视网络运行状态. 防火墙产品主要有堡垒主机,包过滤路由器,应用层网关(代理服务器)以及电路层网关,屏蔽主机防火墙,双宿主机等类型. 三.病毒防护技术 1) 阻止病毒的传播。 在防火墙、代理服务器、SMTP服务器、网络服务器、群件服务器上安装病毒过

中国城市燃气事业的现状与发展(c)(1)

中国城市燃气事业的现状与发展 中国城市燃气协会秘书长 迟国敬 女士们、先生们，大家好！ 做为中国城市燃气协会的代表，很高兴应邀出席今天的研讨会，借主办方提供的学习交流机会，我向各位介绍一下我们协会的概况及中国城市燃气事业的现状与发展。 一、中国城市燃气协会概况 中国城市燃气协会是在建设部领导下、由城市燃气经营企业（包括天然气、人工煤气、液化石油气），燃气设备制造企业、相关大专院校、科研、设计单位组成的社会团体，现有会员1800多个。 中国城市燃气协会自1988年成立以来，本着为会员服务的宗旨、围绕主管部门的中心工作，一直注重发挥政府与企业、企业与企业之间的桥梁和纽带作用，为中国燃气事业发展做出了各种努力。协会各工作机构参与和组织了许多专业性、技术性的会议，包括国际会议和国际展览会，促进了中国燃气界和国际燃气界的交流和合作。我们期望着加强与世界各国燃气界的联系，共同为燃气事业的发展做出新的努力。 二、中国城市燃气基本状况 1．主要特点 中国的城市燃气行业已发展了140多年，到目前已经形成了较大的规模，并具备了快速发展的条件。行业中既有最原始的人工煤气生产供应方式，也有当今世界上较为先进的LPG、油制气、天然气（包括CNG和LNG）的生产供应方式。人工煤气、LPG、天然气三种气源并存仍然是我国城市燃气的主要特点。 2．发展规模 根据建设部统计年报2003年末，全国660个设市城市中，有157个城市有人工煤气（销售量202亿m3），645个城市有LPG（销售量1126万吨），167个城市有天然气（销售量142亿m3），其中一些大城市中三种气源都有。 660个城市中，城市人口33805万人，其中使用各种燃气的25946万人（使用人工煤气的4792万人，使用LPG的16834万人，使用天然气的4320万人），城市气化率为76.75%。用气结构中，LPG占64.9%，人工煤气占18.4%，天然气占16.7%。 3．城市化进程给燃气发展带来机会 2002年末，全国660个城市中，100万人以上特大超大城市171个，50-100万人口的大城市279个，50万人口以下的中小城市210个，建制镇2万个以上。全国总人口128453万人，其中含在城镇中生活半年以上的农业人口的城镇人口为50212万人，城市化率为39.1%。

光刻技术及其应用的现状及展望

光刻技术及其应用的现状与展望

1 引言 光刻技术作为半导体及其相关产业发展和进步的关键技术之一，一方面在过去的几十年中发挥了重大作用；另一方面，随着光刻技术在应用术问题的增多、用户对应用本身需求的提高和光刻技术进步滞后于其他技术的进步凸显等等，寻找解决技术障碍的新方案、寻找COO更加低的技术和找到下一俩代可行的技术路径，去支持产业的进步也显得非常紧迫，备受人们的关注。就像ITRS对未来技术路径的修订一样，上世纪基本上3～5年修正一次，而进入本世纪后，基本上每年都有修正和新的版本出现，这充分说明了光刻技术的重要性和对产业进步的影响。2005年ITRS对未来几种可能光刻技术方案进行预测。也正是基于这一点，新一轮技术和市场的竞争正在如火如荼的展开，大量的研发和开发资金投入到了这场竞赛中。因此，正确把握光刻技术发展的主流十分重要，不仅可以节省时间和金钱，同时可以缩短和用户使用之间的周期、缩短开发投入的回报时间，因为光刻技术开发的投入比较庞大。 2 光刻技术的现状及其应用状况

众说周知，电子产业发展的主流和不可阻挡的趋势是“轻、薄、短、小”，这给光刻技术提出的技术方向是不断提高其分辨率，即提高可以完成转印图形或者加工图形的最小间距或者宽度，以满足产业发展的需求；另一方面，光刻工艺在整个工艺过程中的多次性使得光刻技术的稳定性、可靠性和工艺成品率对产品的质量、良率和成本有着重要的影响，这也要求光刻技术在满足技术需求的前提下，具有较低的COO和COC。因此，光刻技术的纷争主要是厂家可以提供给用户什么样分辨率和产能的设备及其相关的技术。 2.1 以Photons为光源的光刻技术 在光刻技术的研究和开发中，以光子为基础的光刻技术种类很多，但产业化前景较好的主要是紫外(UV)光刻技术、深紫外(DUV)光刻技术、极紫外(EUV)光刻技术和X射线(X-ray)光刻技术。不但取得了很大成就，而且是目前产业中使用最多的技术，特别是前两种技术，在半导体工业的进步中，起到了重要作用。 紫外光刻技术是以高压和超高压汞(Hg)或者汞-氙(Hg-Xe)弧灯在近紫外(350～450nm)的3条光强很强的光谱(g、h、i线)线，特别是波长为365nm的i线为光源，配合使用像离轴照明技术(OAI)、移相掩模技术(PSM)、光学接近矫正技术(OPC)等等，可为0.35～0.25μm的大生产提供成熟的技术支持和设备保障，在目前任何一家FAB中，此类设备和技术会占整个光刻技术至少50％的份额；同时，还覆盖了低端和特殊领域对光刻技术的要求。光学系统的结构方面，有全反射式(Catoptrics)投影光学系统、折反射式(Catadioptrics)系统和折射式(Dioptrics)系统等。主要供应商是众所周知的ASML、NIKON、CANON、ULTRATECH和SUSS MICROTECH等等。系统的类型方面，ASML以提供前工

电力系统仿真分析技术的发展趋势.doc

电力系统仿真分析技术的发展趋势 0 引言 随着化石能源逐渐枯竭,发展利用清洁能源和可再生能源成为世界各国的必然选择,也是新能源变革的主要内容。中国新能源变革的目标可以归纳为：以可再生能源逐步替代化石能源,提高化石能源的清洁高效利用水平,实现可再生能源(水能、风能、太阳能、地热能、生物质能)和核能利用在一次能源消耗占较大份额。在新能源变革形势下,电网的使命也将发生变化,智能电网是适应新能源变革和承担电网新使命的新一代电网。 中国自 21 世纪初就提出了建设特高压电网的设想,并逐步加以实施,近两年根据国际电力系统发展的最新动向,又进一步提出了建设智能电网的宏伟蓝图。中国的智能电网是以特高压电网为骨干网架、各级电网协调发展的坚强网架为基础,以通信信息平台为支撑,具有信息化、自动化、互动化特征,包含电力系统的发电、输电、变电、配电、用电和调度各个环节的现代电网。与此同时,随着电网规模的不断扩大,新能源、新设备的不断加入,当今电力系统已经日益变得复杂,这使得运行人员更加难于对其进行监视、分析和控制。近些年,国内外不断发生大规模的停电事故,这些事故都造成了很大的经济损失和社会影响,不断地为人们敲响警钟,也给电网的安全稳定运行提出了更高的要求。 在上述的大停电事故中,电力系统从第一次元件故障,到整个系统崩溃,一般会有一个较长的过程,如果这期间运行人员能够进行正确的处理,大停电是可以避免的。换言之,电网缺乏有效的在线监测和预警系统,不能及时掌握实时电网稳定情况并采取有效的控制措施是导致大停电事故发生的重要原因。 电力系统仿真分析是电力系统规划设计和调度运行的基础,涵盖的范围非常广泛,包括从稳态分析、动态分析到暂态分析的各个方面。根据实时电力系统动态过程响应时间与系统仿真时间的关系,可分为非实时仿真和实时仿真；根据仿真的数据来源,又可分为离线仿真、在线仿真。其中在线仿真是实现在线预警和决策支持的必要手段。 电力系统仿真分析涵盖电力系统、数学、计算机、通信等多学科技术领域,面对智能电网建设提出的要求,需要不断地引入先进的计算机和通信技术以及数学方法等,推动仿真分析技术在仿真的准确性、快速性、灵活性等方面的发展。具体体现在以下几个方面：1）可实现更大规模电网的仿真计算,同时仿真数据的粗细程度可根据需要自动调整。 2）仿真计算应具有更快的速度及更高的准确性。 3）仿真计算应具备更多的效用,并与环境、经济等相关领域相结合。 4）仿真建模应具备更大的灵活性,以适应智能电网中层出不穷的新元件、新设备建模的需要。 5）需加强对电力系统智能建模方法的应用以及仿真结果的智能化分析。 6）电网自愈对实时决策控制的要求。要求能实时跟踪评价电力系统行为,一旦发生故障,立即进行快速仿真并提供决策控制支持,防止大面积停电,并快速从紧急状态恢复到正常状态。 7）仿真试验应具备更大的灵活性。未来的仿真试验将可实现对多个异地试验设备的同步测试。 8）仿真计算应适应新的计算模式,如云计算、协同计算等。 9）可实现智能人机交互仿真,显著提高用户操作的便捷性和仿真系统的使用效率。 10）数据融合技术在仿真分析中应用,提高对仿真分析中对多源海量数据的整合能力。 本文将依据计算机、网络、通信等技术当前和未来可能的发展,探讨和预测新的先进计算技术(如云计算等)及其在电力系统仿真分析中的应用。 1 发展现状 1.1 电力系统仿真分析技术概述 如图 1 所示,电力系统仿真分析技术可分为电力系统建模、电力系统数字仿真分析方法、电力系统在线仿真分析和电力系统实时仿真等4项技术,其中电力系统建模技术包括建模方法和模型研究技术,电力系统数字仿真分析方法主要指针对各类仿真应用的基础方法,后2种技术则分别针对在线应用和实时应用。其中先进计算技术包括计算机及网络、与电力系统仿真分析相关的计算数学和计算模式这3项技术。下文分别描述上述各项技术的发展现状。

软光刻技术的研究现状

大连理工大学研究生试卷 系别：机械工程学院 课程名称：微制造与微机械电子系统 学号： 姓名： 考试时间：2015年1 月15日

PDMS软光刻技术的研究现状 摘要：软光刻技术作为一种新型的微图形复制技术，和传统的光刻技术相比，软光刻技术更加灵活，而且 有许多技术方面的优势。软光刻技术已经广泛应用于光学、生物技术、微电子、传感器以及微全分析系统 的加工诸领域，并且取得了一定的进展。本文，从软光刻技术的原理、分类、国内外以及我们实验室的应 用上来说明软光刻技术的研究现状，是一种很有发展的重要光刻技术。 关键词：软光刻技术研究现状应用 Research Status of PDMS Soft Lithography Abstract：Soft lithography technology as a new type of micro-replication technology graphics, and compared to conventional lithographic techniques, soft lithography technology is more flexible and has many technical advantages. Soft lithography technology has been widely used in optical processing areas such as biotechnology, microelectronics, sensors and micro total analysis system, and has made some progress. In this paper, the principle soft lithography techniques, classification, abroad and in our lab up on the status of the application of soft lithography, photolithography technique is a very important development. Keywords：Soft lithography technologyResearch StatusApplication 1. 软光刻技术概况 20世纪90年代末，一种新的微图形复制技术脱颖而出。该技术用弹性模（大多为PDMS 材料制作）替代传统光刻技术中使用的硬模来产生微结构或者微模具，被称作软光刻技术[1]。软光刻技术作为一种新型的微图形复制技术，和传统的光刻技术相比，软光刻技术更加灵活，而且有许多技术方面的优势，主要有：能制造复杂的多层结构或者三维结构，甚至能在不规则曲面上来制作模具，而且不受材料和化学表面的限制；能突破光刻技术100nm 的限制，实现更为精细的微加工等。此外，它所需设备比较简单，进而在制作成本上也比以前的光刻技术更经济使用。在普通的实验室环境下就能应用，因此软光刻是一种便宜、方便、适于实验室使用的技术。 目前，软光刻技术已经广泛应用于光学、生物技术、微电子、传感器以及微全分析系统的加工诸领域，并且取得了一定的进展。 1.1 软光刻技术的分类 软光刻的核心技术是制作弹性模印章（elastomeric stamp）。通过光刻蚀和模塑的方法，可以快速、高效的获得这种印章。PDMS，即聚二甲基硅氧烷，是软光刻中最常用的弹性模印章制作材料，在设计过程中应该注意防止在PDMS弹性模上产生缺陷，此外，由于PDMS 材料的弹性，过大的深宽比也会导致弹性模结构的倒塌。软光刻的关键技术包括：毛细管成模（micromolding in capillaries，MIMIC）、再铸模（replica molding，REM）、微接触印刷（microcontact printing，uCP）、溶剂辅助成模（solventassistedmicromolding，SAMIM）、