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ST2253数字式四探针测试仪技术使用说明书

ST2253数字式四探针测试仪技术使用说明书
ST2253数字式四探针测试仪技术使用说明书

高温四探针测试仪测试电阻率的原理和方法

高温四探针测试仪测试电阻率的原理和方法 高温四探针测试仪可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率和外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃(ITO)和其他导电薄膜的方块电阻。 那么高温四探针测试仪的测量原理是什么呢? 测量电阻率的方法很多,如三探针法、电容-电压法、扩展电阻法等,四探针法则是一种广泛采用的标准方法,高温四探针测试仪采用经典直排四探针原理,同时采用了双电测组合四探针法。 直排四探针法 经典的直排四探针法测试电阻率,要求使用等间距的探针,如果针间距离不等或探针有游移,就会造成实验误差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时,要求计入电场畸变的影响进行边界修正。

采用双电测组合四探针的出现,为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。 目前双电测组合(亦称双位组合)四探针法有三种模式:模式(1),模式(2),模式(3),高温四探针测试仪采用模式(2),通过用计算机对三种模式的理论进行比较研究的结果表明:对无穷大被测片三种模式都一样,可是测量小片或大片边缘位置时,模式(2)更好,它能自动消除边界影响,略优于模式(3),更好于模式(1)。 那么高温四探针测试仪采用双电测组合四探针法有哪些优势呢? 1、采用双电测组合四探针法进行测试,测试结果与探针间距无关,能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响,因此四探针测试台允许使用不等距探针头。 2、采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能,对小尺寸被测片或探针在较大样品边缘附近时,不需要对样品做几何测量,也不必寻找修正因子。 3、采用双电测组合四探针法,不移动四探针针头,同时使用三种模式测量,即可计算得到测试部位的电阻均匀性。

四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书

实验七四探针法测量材料的电阻率 一、实验目的 (1)熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理 (2)掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法 二、实验原理 半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一,已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性,是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一,对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。 直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见,测试过程中四根金属探针与样品表面接触,外侧1和4两根为通电流探针,内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降,同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针(探针2和探针3)之间的电压V23。 a b 图1 四探针法电阻率测量原理示意图 若一块电阻率为 的均匀半导体样品,其几何尺寸相对探针间距来说可以看

作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I ,由于均匀导体内恒定电场的等位面为球面,则在半径为r 处等位面的面积为22r π,电流密度为 2/2j I r π= (1) 根据电流密度与电导率的关系j E σ=可得 22 22j I I E r r ρ σ πσπ= = = (2) 距离点电荷r 处的电势为 2I V r ρ π= (3) 半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导,四探针法测量电阻率的公式可表示为 123 231224133411112( )V V C r r r r I I ρπ-=--+?=? (4) 式中,1 12241334 11112( )C r r r r π-=--+为探针系数,与探针间距有关,单位为cm 。 若四探针在同一直线上,如图1(a)所示,当其探针间距均为S 时,则被测样品的电阻率为 123 2311112()222V V S S S S S I I ρππ-=- -+?=? (5) 此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。 有时为了缩小测量区域,以观察不同区域电阻率的变化,即电阻率的不均匀性,四根探针不一定都排成一直线,而可排成正方形或矩形,如图1(b)所示,此时只需改变电阻率计算公式中的探针系数C 即可。 四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极,极大地方便了对样品电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率,从而可以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状样品的电阻率,适合于实际生产中的大批量样品测试。但由于该方法受到探针间距的限制,很难区别间距小于0.5mm 两点间电阻率的变化。 根据样品在不同电流(I )下的电压值(V 23),还可以计算出所测样品的电阻率。

四探针操作手册

南开大学 硅光电子学与储能实验室 Four-Point Probe Operation | 2011 四探针操作手册

四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1) 1. 目的 (1) 2. 应用范围 (1) 3. 测试设备 (1) 四探针 (1) 数字电压源表 (2) 第2章原理简述 (3) 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率: (3) 2. 薄膜方块电阻 (3) 第3章操作方法 (5) 1. 引言 (5) 2. 测试线连接方式 (5) 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6) 4. 探针接触方式 (8) 5. 数据测试指南 (8) 第4章注意事项 (10) 附表 ................................................................................................................................................... I

第1章引言 1.目的 本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 2.应用范围 测量参数:方块电阻,电阻率 测量样品:均匀薄膜,均匀薄片 方块电阻测试范围:0.01?~500M? 电阻率测试范围:10-5??cm~103??cm 样品大小:直径>1cm 精度:<±5% 3.测试设备 四探针 生产厂商: 广州四探针有限公司RTS-2型 基本指标: 间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ; 机械游移率: ≤0.3%; 探针:碳化钨或高速钢材质,探针直径Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力); 使用环境: 温度::23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射; 基本参数: Fsp=0.1 探针间距:1.0mm

ETCR钳形接地电阻测试仪操作方法

E T C R钳形接地电阻测试 仪操作方法 Document serial number【NL89WT-NY98YT-NC8CB-NNUUT-NUT108】

ETCR2000 钳形接地电阻测试仪操作方法ETCR2000 钳形接地电阻测试仪操作方法 1.开机 开机前,扣压扳机一两次,确保钳口闭合良好。 按POWER键,进入开机状态,首先自动测试液晶显示器,其符号全部显示,见图1。然后开始自检,自检过程中依次显示“CAL6、CAL5、CAL4…CAL0、OLΩ”,见图2。当“OLΩ”出现后,自检完成,自动进入电阻测量模式,见图3。 自检过程中,不要扣压扳机,不能张开钳口,不能钳任何导线。 自检过程中,要保持钳表的自然静止状态,不能翻转钳表,不能对钳口施加外力,否则不能保证测量的准确度。 自检过程中,若钳口钳绕了导体回路,测量结果是不准确的,请去除导体回路重新开机。 如果开机自检后未出现OL,而是显示一个较大的阻值,见图4。但用测试环检测时,仍能给出正确的结果,这说明钳表仅在测大阻值时(如大于100欧)有较大误差,而在测小阻值时仍保持原有准确度,用户仍可放心使用 *ETCR2000C自检完成显示“OLΩ”的同时还闪烁显示符号,见图5。因空载电阻“OL”已超出电阻报警临界值。 2.关机 钳表在开机后,按POWER键关机。 钳表在开机5分钟后,液晶显示屏进入闪烁状态,闪烁状态持续30秒后自动关机,以降低电池消耗。在闪烁状态按POWER键可延时关机,钳表继续工作。 在HOLD状态下,需先按HOLD键退出HOLD状态,再按POWER键关机。 *ETCR2000C在HOLD状态下,需先按SET键或POWER键退出HOLD状态,再按POWER键关机。 *ETCR2000C在设定报警临界值状态下,需先按POWER键或按SET键3秒退出设定报警临界值状态,再按POWER键关机。 3.电阻测量

静电测试仪使用说明书

Hand-held static sensor locates and meas-ures static voltages, tests air ionizers.New from 3M,the 718 Static Sensor can help companies competing in the global high-tech marketplace prevent cost-ly losses due to electro static discharge (ESD) damage by playing a vital and valuable role in their own ESD control program. Easy to use,the hand-held 3M ?718 Static Sensor is designed to measure static voltages on objects and sur-faces arising from electrostatic charge buildups,and can help identify ESD trouble-spots — ensuring product relia-bility and customer satisfaction which translates into com-pany profits. As a bonus,when used in conjunction with the 3M TM Model 718A Air Ionizer Test Kit,the 718 can also be used to verify the operation of air ionizers.718 Static Sensor Features ? Small-size,lightweight,conductive plastic housing ? Membrane switches for Power,Range/Zero,and Hold functions. ? Digital,LCD (liquid-crystal) display is easy to read and updates quickly. ? Ranging system assists user in making quick and easy measurements ? Measurements accurate to 5% ? Output jack available for continuous measurements Convenient Size/Low Power Requirements The 718 is small enough to be carried in a pocket and weighs less than 5 oz. (142 g),including battery. The light-weight plastic housing is conductive,allowing a properly-grounded user to dissipate all electrostatic charges from the surface of the meter.Meter Functions The meter is equipped with three membrane switches which control different functions. The POWER switch turns the instrument on and off. The RANGE/ZERO button performs two functions; when pressed momentarily it switches between the two measurement ranges of 0-2,000 volts and 0-20,000 volts,and if held for longer than 3 seconds,it resets the voltage display to 0 volts. The HOLD button allows the user to freeze a measurement on the LCD for later review.Ranging System Included with the 3M 718 Static Sensor is a ranging system consisting of two light-emitting diodes (LEDs) which each emit a circular red light onto the surface being measured for static. When the two lights intersect and form a single focused light,the measurement distance is the prescribed 1 inch (2.54 cm). Accuracy The Model 718 Static Sensor is accurate to within ±5% of the displayed measurement,at a distance of one inch (2.54 cm) from the target. Accuracy will vary as the dis-tance between measured object and instrument changes from the one inch (2.54 cm) specification.Analog Output Jack The analog output jack located in the front of the unit pro-vides a convenient hook-up,via a 3/32 inch (2.5 mm)monophone jack,to a recorder/data acquisition console. The 3M 718 Static Sensor may then be used for remote monitoring or permanent recording of electrostatic voltage readings. 3M 718 Static Sensor Specifications Dimensions 0.85" (H) x 2.4" (W) x 4.15" (L) 2.2 cm (H) x 6.1 cm (W) x 10.5 cm (L)Weight 4.5 oz. (128 g) with battery Power Requirements One 9-volt alkaline battery Measurement Ranges 0 – 2 kV Low Range 0 - 20 kV High Range V oltage Display 3) digit liquid crystal display V oltage Output 1/1000 of measured voltage @ low range 1/10,000 of measured voltage @ high range Distance Indicator LED targets. Aligned targets indicate 1 in. (2.54 cm) measurement distance Measurement Accuracy Within 5% of actual voltage Certifications UL,C-UL,CE,CB-scheme,NOM 3 718 Static Sensor 718A Air Ionizer Test Kit 718 Range Finder Unfocused 718 Range Finder at 1" away 3M 718 Static Sensor 1 2 3

M2型手持式数字式四探针测试仪简介

M-2型手持式数字式四探针测试仪简介 一、M-2型手持式数字式四探针测试仪 二、概述 M-2型手持式数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准。 仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头等二部分组成,也可加配测试台。 主机主要由数控恒流源,高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成,自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入;具有零位、满度自校功能;全自动转换量程;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电,适合手持式变动场合操作使用! 探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可

对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头,也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。 仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。 仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 三、基本技术参数 1. 测量范围、分辨率 电阻:0.010 ~9999Ω, 分辨率0.001 ~1 Ω 电阻率:0.010~2000Ω-cm,分辨率0.001 ~1 Ω-cm 方块电阻:0.050~2000Ω/□分辨率0.001 ~1 Ω/□ 2. 材料尺寸 手持方式不限材料尺寸,但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定 直径:SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15~130mm。 SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。 长(高)度:测试台直接测试方式H≤100mm。. 测量方位: 轴向、径向均可. 3. 量程划分及误差等级

四探针一体机使用说明书

SZT-2A四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置,配上专用的四探针测试架,即可以测量片状,块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。四探针测试架有电动,手动,手持三种可以选配,另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中,低阻阻值。 仪器由主机,测试架等部份组成,测试结果由液晶显示器显示,同时,液晶显示器还显示测量类型(电阻率,方块电阻和电阻)以及探头修正系数, 主机由开关电源,DC/DC变换器,高灵敏度电压测量部份,高稳定度恒流源,和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路,所以仪器可靠性高,测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针,定位准确,游移率小,使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为: 温度:23℃±3℃ 相对湿度:50%~70%

工作室内应无强磁场干扰,不与高频设备共用电源。 二,技术参数 1,测量范围 电阻率: 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10-?- 105? 2,可测半导体材尺寸 直径:Ф15-100mm 长(或高)度:≤400mm 3,测量方位 轴向,径向均可 4,数字电压表: (1)量程:20mV,200mV,2V (2)误差:±0.5%读数±2字 (3)输入阻抗:>10?? (4)最大分辨率:10μV (5)点阵液晶显示,过载显示。 5,恒流源: (1)电流输出:共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择,各挡均为定值不可调节,电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后,直接显示修正后的结果。

检测仪使用说明书

检测仪使用说明书 一.概述 核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是液湘色谱仪中的一种紫外检测装置,核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是根据生命科学的发展对于现代色谱仪器的要求而改进设计的一种新型紫外检测仪。该仪器在创新方面的主要特点为: 1.该仪器除配有输出10mV记录仪信号外,还配有输出适合计算机积分仪的输口,这 样很方便构成色谱工作站系统。(可同时进行计算机和记录仪信号输出,亦可省去记录仪) 2.该仪器的数字显示设计为固定光吸收,A显示计算机用和可变量程光吸收A显示记 录仪用两种可选模式,这样可方便于规范化读数(特别是可应用于药品生产的GMP 工艺规范化管理),同时亦可根据科研需要进行可变量程的高灵敏度读数,这样可方便于对低浓度样品检测。 3.该仪器采用新型进口IP28光电倍增管和改进型电路结构,使仪器工作更为稳定可 靠。 该仪器配有上层析柱、恒流泵、部分收集器等等,即组成一套完整的液色湘色谱分离分析系统。它可应用于现代生物学研究,药物测定、农业科研、化工、食品及医疗单位对具有紫外吸收的样品作定量分析。本仪器主要元器件均采用进口,仪器全部采用LED数字显示,使用方便。 二.主要技术性能 (1)核酸蛋白检测仪提供波长:254nm、280nm。 (2)紫外检测仪提供波长:220nm、254nm、280nm、340nm。 (3)量程范围:0~100%T、0~2A、0~1A、0~0.5A、0~0.2A、0~0.1A、0~0.05A。 (4)流式样品池:容积100微升、光程3毫米。 微量样品池:容积30微升、光程10毫米。 (5)记录仪输出:10mV (6)积分仪输出:0.1A/mV (7)数显模式:固定A量程读数(0~2.0A);可变A量程读数(0~2.0A、0~1.0A、0~0.5A、0~0.2A、0~0.1A、0~0.05A)。 (8)量程在0.05A档时:噪音≦0.002A。 (9)工作环境温度:0℃~35℃。 (10)仪器可连续工作。 (11)电源:220VAC±10%50HZ。 (12)单体外形尺寸:280×180×158(mm)。 (13)主机重量:5㎏。 三.工作原理 从光源发出的光经狭缝,滤色器聚焦到样品池上,此单色光通过样品池射到光电倍增管的光阴极面上,使光束由于样品浓度不同所引起透光强度的变化转换成光电流变化,此光电流经放大器放大,并输入到对数转换器、使透光率T转换成光吸收A输出即A=lgT/1=ε·CL式中ε为待测样品的摩尔消光系数,C为样品浓度,采用摩尔/升单位,L为光程,用厘米作单位。根据上式只要测出了A、L和ε就可求出样品浓度C。若从放大器直接输入到记录仪,则在记录仪上绘出的是样品透光率T变化的图谱,若从对数转换器输入到记录仪上,在记录仪上绘出的是样品光吸收变化的图谱。 四.仪器结构 核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是单光路结构,由紫外检测器、和记录仪部分组成现将其构造分别说明如下: 1.紫外检测仪: 它由光源、干涉滤色片、样品池、光电倍增管、放大和对数板、低压板和高压板等组成。面板上有四氟塑料管的进样口和出样口,A调零以及调节“光量”大小旋(光

KEITHLEY四探针操作手册

南开大学硅光电子学与储能实验室四探针操作手册 Four-Point Probe Operation | 2011

四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言................................................错误!未定义书签。 1. 目的..................................................错误!未定义书签。 2. 应用范围..............................................错误!未定义书签。 3. 测试设备..............................................错误!未定义书签。 四探针............................................错误!未定义书签。 数字电压源表......................................错误!未定义书签。第2章原理简述............................................错误!未定义书签。 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率:...............................错误!未定义书签。 2. 薄膜方块电阻..........................................错误!未定义书签。第3章操作方法............................................错误!未定义书签。 1. 引言..................................................错误!未定义书签。 2. 测试线连接方式........................................错误!未定义书签。 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南........................错误!未定义书签。 4. 探针接触方式..........................................错误!未定义书签。 5. 数据测试指南..........................................错误!未定义书签。第4章注意事项............................................错误!未定义书签。附表 .........................................................错误!未定义书签。

继电保护测试仪说明书

微机继电保护测试仪 使 用 说 明 书

目录 目录 (1) 第一部分微机继电保护测试仪使用说明 (3) 第一章装置特点与技术参数 (4) 第二章装置硬件结构 (6) 第三章单机操作模块功能说明 (8) 第四章外接PC机操作说明 (21) 第二部分继保软件操作说明 (21) 第五章软件操作方法简介 (22) 第六章交流试验 (24) 第七章直流试验 (32) 第八章状态系列 (34) 第九章谐波叠加试验 (38) 第十章频率及高低周试验 (41) 第十一章功率方向及阻抗试验 (45) 第十二章同期试验 (49) 第十三章整组试验Ⅰ和Ⅱ (54) 第十四章距离和零序保护 (59) 第十五章线路保护 (64) 第十六章阻抗特性 (70) 第十七章差动保护 (73) 第十八章 6-35KV微机线路保护综合测试 (80) 附录1:外接电脑串行通信口的设置 (85) 附录2:插接U盘等设备时设备驱动安装方法 (87) 附录3:各种继电器的试验方法 (87)

第一部分 继保使用说明

第一章装置特点与技术参数 第一节主要特点 ◆标准的4相电压3相电流输出具有4相电压3相电流输出,可方便地进行各种组合输出进行各种 类型保护试验。每相电压可输出120V,电流三并可输出120A,第4相电压Ux为多功能电压项,可设为4种3U0或检同期电压,或任意某一电压值的情况输出。 ◆单机操作方便单机由方便灵活的旋转鼠标通过大屏幕液晶显示屏进行操作,全部中文显示。可 完成现场大多数试验检定工作,可对各种继电器及微机保护进行检定,并可模拟各种复杂的瞬时性、永久性、转换性故障进行整组试验。开机即可使用,操作方便快捷。 ◆双操作方式,联接电脑运行通过Windows平台上的全套中文操作软件,可进行各种大型复杂 及自动化程度更高的校验工作,可方便地测试及扫描各种保护定值,可实时存贮测试数据,显示矢量图,绘制故障波形,联机打印报表等。 ◆软件功能强大可完成各种自动化程度高的大型复杂校验工作,如三相差动试验、厂用电快切、 备自投试验、线路保护检同期重合闸等,能方便地测试及扫描各种保护定值,进行故障回放,实时存储测试数据,显示矢量图,联机打印报告等。 ◆开关量接点丰富7路接点输入和2对空接点输出。输入接点为空接点和0~250V电位接点兼容, 可智能自动识别。输入、输出接点可根据用户需要扩展。 ◆大屏幕LCD显示屏本机采用320×240点阵大屏幕高分辨率图形液晶显示屏,全部操作过程均在 显示屏上设定,操作界面和试验结果均汉化显示,显示直观清晰。 ◆自我保护采用合理设计的散热结构,并具有可靠完善的多种保护措施及电源软启动,和一定的 故障自诊断及闭锁功能。 ◆具有独立专用直流电源输出装置设有一路110V 及220V专用可调直流电源输出。 ◆性价比高属于跨专业联合设计产品,综合了多专业的先进科技成果。兼具大型测试仪的性能, 和小型测试仪的价位,具有很高的性能价格比。

XXX软件用户手册

XXX软件用户手册 (软件版本:FMS2.1)

目录 用户手册 (3) 概述 (3) 功能特点 (3) 系统要求 (3) 软件安装 (3) 硬件安装 (4) 请用户在阅读本手册及操作本软件前先详读《RTS-8型四探针测试仪》

用户手册 因有的概念跟理论要了解后,阅读此手册和使用本软件时更容易理解、操作。 概述 RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序,程序操作直观易用。测试程序在计算机与RTS-8型四探针测试仪连接的状态下,通过计算机的并口实现通讯。 测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析。 功能特点 可以选择进行手动测量或者是自动测量; 对可疑测量点的数据进行重测; 详细记录被测试材料各种参数,结合测试数据进行数据统计分析; 以直方图形式统计分析数据; 打开、保存、打印测试数据; 把测试数据导出到Excel中进行更详细的数据统计分析; 系统要求 请确定你的电脑是IBM PC兼容型并具备以下最低的系统要求: Intel兼容586DX-500MHz中央处理器或者更高; 一个IEEE-1284标准并行通讯端口; 显示卡分辨率支持1024*768模式; 软件安装 本软件可安装在Win98、Win2000、XP操作系统上。请按以下步骤进行安装。 1.将四探针软件测试系统的安装光盘放入光驱中,执行光盘目录下的【Setup.exe】进行安

绝缘电阻测试仪操作规程、步骤和使用方法

仪器控制面板 ?(1)电压显示窗口:测试电压设定值显示,单位为V。(2)量程显示窗口:显示当前量程段。 ?(3)测试值显示窗口:测试的绝缘电阻值,显示4位有效值。(4)单位指示灯:显示当前电流及阻值单位。 ?(5)分选指示灯:NG指示灯:不合格指示灯,低于设定值时亮,G00D灯:正品指示,测试值高于上限时亮。 ?(6)设定/确认键:设定:进入设定状态,上下键选择功能;确认:进入修改或设定状态完毕确认退出。 ?(7)自动键:量程自动/手动切换按键,指示灯亮表示当前是量程自动状态,在测量时自动切换量程,否则在测试中使用上下键切换来改变量程。(8)清零键:放电状态时,对仪器开路清零校正。(9)放电键:测试返回放 电状态 ?(10)R/I测试键:放电状态或设定状态下进入测试状态。测试状态下切换电阻/电流显示。 ?(11)接地端:接地屏蔽端。(12)测试“-”端:电压输出端。(13)测试“+”端:采样输入端。 ?(14)高压警示灯:提示当前“-”端有电压输出。(15)仪器电源开关。各参数设定及操作步骤 ? 1.检查仪器电源插头接插良好后,打开仪器面板的电源开关,预热5—10分钟。 ? 2.根据检验文件要求,设定相关的测试参数,步骤如下:

(1)1.VOL电压设定:在电压项1.VOL上按动“设定/确认”键,进入电压设定子菜单。此时通过“∧”、“∨”键调整所需的电压值,共10档(10~1000V)。按动“设定/确认”键设定完成,电压值将自动保存并返回菜单。 (2)电阻上下限设定:在极限2.LO或3.Hi上按动“设定/确认”键,进入设定状态。此时通过“〈”、“〉”键可左右移动选择位数和小数点,按动“∧”、“∨”键可改变光标所在位数的大小及改变小数点位置。设定好后按“设定/确认”键,仪器将自动保存设定参数。 (3)充电时间设定:可根据需要设定充电时间(一般为10S以内),如不需定时请设为000 (4)蜂鸣开关设定:在5.bep上按动“设定/确认键”进入蜂鸣设定。可根据需要选择:NG(测试不合格时报警)GOOD(测试合格时报警),OFF(蜂鸣开关处于关闭)。 ? 3.参数设定完成后对测试仪器进行开路清零,具体步骤如下: (1)在放电状态下插上“+”端测试线,开路并将测试线悬空(“-”端测试线取下)。 (2)按“清零”键,电压显示窗口显示开路信息,测试值显示窗口显示当前量程的零值,此时按动“∧”、“∨键可选择其它量程的零值。 (3)再次按动“清零”键,开始对各量程逐一清零,清零成功显示“PASS”字样。清零失败时显示”FAIL”(当零值大于1mV时清零失败,主要原因应为未开路或测试线不标准造成,检查后重试)。 (4)清零完毕后各量程的零值自动保存,并返回放电状态。 ? 4.进入测试:请按照图示方法连接被测件(带极性的被测件一定要按照正负极连接) ? 5.按动“测试”键即进入测试状态或在测试类别――阻抗或电流间切换。 ? 6.测试完成后按动“放电”键,仪器对被测件放电,同时高压指示灯熄灭,放电完成,此时方可取出被测器件。

IXIA测试仪使用手册

IXIA测试仪使用手册 一、设备开机、关机 (一)开机 打开IXIA测试仪电源,等待设备启动完成,需将测试客户端IP设置为192.168.1.200,测试仪IP地址为192.168.1.100,开IxNetwork或IxLoad可连接测试仪表明设备完成开机。 (二)关机 在运行中输入mstsc进入远程桌面,连接到计算机192.168.1.100,在运行中输入shutdown.exe -s -t 3让设备在3秒内关闭,让系统自动关闭。 二、二三层测试配置(IxNetwork) 使用IxNetwork配置测试基本流程如下图所示。 (一)添加测试端口 点击标题栏中的 或Overview表页中的

连接192.168.1.100测试板卡 添加测试用端口

然后点击OK键,完成测试端口添加。 (二)配置端口、协议 启用测试端口Ping及ARP,如下图所示。 添加测试端口IP地址、网关,并使能端口,如下图所示,添加的网关地址需是实际存在的,可以是交换机的网关地址或测试端口对端IP地址。

(三)配置流量 选择配置流量。 Type of Traffic选项可选择Raw、Ethernet/vlan、IPV4分别对应原始报文流(需手动编辑,用来打广播包流)、二层流、三层流(需配置IP地址及网关),Bi-Directional表示流是双向流。 1、IPV4(三层流)

在设置好Type of Traffic、Traffic Mesh以及选择好端口后,点击添加Endpoint。点击NEXT,在Packet/QoS、Flow Group Setup、Frame Setup、Rate Setup保持默认配置。点击NEXT,进入Flow Tracking,选择Traffic Item选项。点击NEXT,在后续Protocol Behaviors、 Preview以及Validate中保持默认选项,同时检查配置的有效性。

绝缘电阻测试仪操作规程步骤和使用方法

绝缘电阻测试仪操作规程步骤和使用方法 Coca-cola standardization office【ZZ5AB-ZZSYT-ZZ2C-ZZ682T-ZZT18】

仪器控制面板 (1)电压显示窗口:测试电压设定值显示,单位为V。(2)量程显示 窗口:显示当前量程段。 (3)测试值显示窗口:测试的绝缘电阻值,显示4位有效值。(4)单 位指示灯:显示当前电流及阻值单位。 (5)分选指示灯:NG指示灯:不合格指示灯,低于设定值时亮,G00D 灯:正品指示,测试值高于上限时亮。 (6)设定/确认键:设定:进入设定状态,上下键选择功能;确认:进入修改或设定状态完毕确认退出。 (7)自动键:量程自动/手动切换按键,指示灯亮表示当前是量程自动状 态,在测量时自动切换量程,否则在测试中使用上下键切换来改变量 程。(8)清零键:放电状态时,对仪器开路清零校正。(9)放电键: 测试返回放电状态 (10)R/I测试键:放电状态或设定状态下进入测试状态。测试状态下 切换电阻/电流显示。 (11)接地端:接地屏蔽端。(12)测试“-”端:电压输出端。(13)测试“+”端:采样输入端。 (14)高压警示灯:提示当前“-”端有电压输出。(15)仪器电源开 关。 各参数设定及操作步骤 1.检查仪器电源插头接插良好后,打开仪器面板的电源开关,预热5— 10分钟。 2.根据检验文件要求,设定相关的测试参数,步骤如下:

(1)电压设定:在电压项上按动“设定/确认”键,进入电压设定子菜单。此时通过“∧”、“∨”键调整所需的电压值,共10档(10~1000V)。按动“设定/确认”键设定完成,电压值将自动保存并返回菜单。 (2)电阻上下限设定:在极限或上按动“设定/确认”键,进入设定状态。此时通过“〈”、“〉”键可左右移动选择位数和小数点,按动“∧”、“∨”键可改变光标所在位数的大小及改变小数点位置。设定好后按“设定/确认”键,仪器将自动保存设定参数。 (3)充电时间设定:可根据需要设定充电时间(一般为10S以内),如不需定时请设为000 (4)蜂鸣开关设定:在上按动“设定/确认键”进入蜂鸣设定。可根据需要选择:NG(测试不合格时报警)GOOD(测试合格时报警),OFF(蜂鸣开关处于关闭)。 3.参数设定完成后对测试仪器进行开路清零,具体步骤如下: (1)在放电状态下插上“+”端测试线,开路并将测试线悬空(“-”端测试线取下)。 (2)按“清零”键,电压显示窗口显示开路信息,测试值显示窗口显示当前量程的零值,此时按动“∧”、“∨键可选择其它量程的零值。 (3)再次按动“清零”键,开始对各量程逐一清零,清零成功显示“PASS”字样。清零失败时显示”FAIL”(当零值大于1mV时清零失败,主要原因应为未开路或测试线不标准造成,检查后重试)。 (4)清零完毕后各量程的零值自动保存,并返回放电状态。 4.进入测试:请按照图示方法连接被测件(带极性的被测件一定要按照 正负极连接) 5.按动“测试”键即进入测试状态或在测试类别――阻抗或电流间切 换。

四探针电阻率测试仪检定规程

四探针电阻率测试仪检定规程 Verification Regulation of Resistivity Measuring Instruments with FourPorope Array Method 本检定规程经国家计量局于1987年7月6日批准,并自1988年5月6日起施行。 归口单位:中国计量科学研究院 起草单位:中国计量科学研究院 本规程技术条文由起草单位负责解释。 本规程主要起草人: 鲁效明(中国计量科学研究院) 参加起草人: 张鸿祥(中国计量科学研究院) 李利保(中国计量科学研究院) 四探针电阻率测试仪检定规程 本规程适用于新生产、使用中和修理后的接触式测量范围在0.001~103Ω·cm的电阻率测试仪的检定。对某些多功能的测试或只能测方块电阻的测试仪也同样适用,方块电阻的测量范围在0.01~104Ω/□。本规程不适用于二探针、三探针和六探针以及方形探头电阻率测试仪。 一概述 电阻率测试仪是用来测量半导体材料及工艺硅片的电阻率,或扩散层及外延层方块电阻的测量 仪器。它主要由电气部分和探头部分组成,电气部分一般包括稳流源、数字电压表或电位差计、换向开关等仪器。探头部分一般包括探针架、探针头和样品台。其原理图及外形结构如图1和图2所示。

图1 1-稳流源;2-换向开关;3-标准电阻;4-探针接线;5-无热电势开关;6-数字电压表;7-被测样品 图2 1-微型计算机部分;2-电气箱部分;3-手动升降机构、探针架、探针头及样品台部分 二技术要求 1 整体方法检定电阻率测试仪的标准样片,表面应没有任何脏物,长期使用应注意定期清洗(按标准样片使用说明中规定的方法清洗),以保持样片表面的清洁。 表1

最新四探针法测电阻率

四探针法测电阻率

实验四探针法测电阻率 1.实验目的: 学习用四探针法测量半导体材料的体电阻率和扩散薄层的电阻率及方块电阻。 2.实验内容 ①硅单晶片电阻率的测量:选不同电阻率及不同厚度的大单晶圆片,改变 条件(光照与否),对测量结果进行比较。 ②薄层电阻率的测量:对不同尺寸的单面扩散片和双面扩散片的薄层电阻 率进行测量。改变条件进行测量(与①相同),对结果进行比较。 3.实验原理:

在半导体器件的研制和生产过程中常常要对半导体单晶材料的原始电阻率和经过扩散、外延等工艺处理后的薄层电阻进行测量。测量电阻率的方法很多,有两探针法,四探针法,单探针扩展电阻法,范德堡法等,我们这里介绍的是四探针法。因为这种方法简便可行,适于批量生产,所以目前得到了广泛应用。 所谓四探针法,就是用针间距约1毫米的四根金属探针同时压在被测样品的平整表面上如图1a 所示。利用恒流源给1、4两个探针通以小电流,然后在2、3两个探针上用高输入阻抗的静电计、电位差计、电子毫伏计或数字电压表测量电压,最后根 据理论公式计算出样品的电阻率[1] I V C 23 =ρ 式中,C 为四探针的修正系数,单位为厘米,C 的大小取决于四探针的排列方法和针距,探针的位置和间距确定以后,探针系数C 就是一个常数;V 23为2、3两探针之间的电压,单位为伏特;I 为通过样品的电流,单位为安培。 半导体材料的体电阻率和薄层电阻率的测量结果往往与式样的形状和尺寸密切相关,下面我们分两种情况来进行讨论。 ⑴ 半无限大样品情形 图1给出了四探针法测半无穷大样品电阻率的原理图,图中(a)为四探针测量电阻率的装置;(b)为半无穷大样品上探针电流的分布及等势面图形;(c)和(d)分别为正方形排列及直线排列的四探针图形。因为四探针对半导体表面的接触均为点接触,所以,对图1(b )所示的半无穷大样品,电流I 是以探针尖为圆心呈径向放射状流入体内的。因而电流在体内所形成的等位面为图中虚线所示的半球面。于是,样品电阻率为ρ,半径为r ,间距为dr 的两个半球等位面间的电阻为 dr r dR 2 2πρ = , 它们之间的电位差为 dr r I IdR dV 2 2πρ= =。

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