当前位置：文档库 › 真空箱式氦检漏系统介绍及维修

真空箱式氦检漏系统介绍及维修

真空检漏常用方法和技巧

真空检漏1 一、概述1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为×105Pa，出口压力低于×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤1/10PwS (1) 式中Pw----系统工作压力S----系统的有效抽速对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间t内,容积为V的系统的压力由p 升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤(pt-p)V/t (2) 各种真空设备的

氦质谱检漏仪应用

Alcatel 氦质谱检漏仪使用和维护基础 By 姚晓荣, Aug., 2009

Alcatel 氦质谱检漏仪2代产品介绍 Self Contained Units Always the right solution for any leak detection application. Presentation Title —2All rights reserved?2004, Alcatel

Alcatel 氦质谱检漏仪2代产品介绍与第一代产品比较后的改进和特点 ? 1.可检精度:5*10E-12mBar.l/s ? 2.人机友好界面 ? 3.质谱室双灯丝结构 ? 4.氦本底清零功能 ? 5.可选配干泵/油泵做为前级泵 Touch sceen panel Color graphic interface Recording mode Presentation Title —3All rights reserved?2004, Alcatel

Alcatel 氦质谱检漏仪3代产品介绍 ?ASM310 新功能:? 1.中文界面 ? 2.触摸屏幕 ? 3.重量轻:21Kg ? 4. 具备蓝牙通讯模块 Presentation Title —4All rights reserved?2004, Alcatel

常用的几种氦质谱检漏方法(1)

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟常用的几种氦质谱检漏方法(1) 氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法, 要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。 1、测定漏点型氦质谱检漏方法确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。 1.1、喷氦法氦质谱检漏方法这是最常用的一种方法,通常用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,假如被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置; 再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,因此喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。图4 喷氦法检漏示意图在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽,就可以提高检漏效率和时间,如图5 所示,喷氦法在检查那些结构比较复杂的,密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时,由于氦喷出后会很快扩散开来,往往不容易准确地确定漏隙所在的部位,要采取从不同角度喷氦,仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法,就可以把漏孔逐个检出。

氦质谱检漏仪基本原理简介

氦质谱检漏仪基本原理简介氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。 (1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。 ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。。在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。 ②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。 ③逆流氦质谱检漏仪逆流氦质谱检漏仪是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。 (2)性能试验方法灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为q L.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检

氦质谱检漏仪使用说明剖析

氦质谱检漏仪使用说明书资产编号：型号：ZQJ-542 一、设备组成及工作原理 1、设备组成框图 2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。由于磁场参

数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。氦离子流正比于容器中氦分压。因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。二、设备工作外部条件氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。三、设备工作外部条件接通操作氦质谱检漏仪图1 检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。

氦质谱检漏仪操作规程

氦质谱检漏仪操作规程氦质谱检漏仪菜单介绍 1启动：将检漏仪用专用堵头堵住，接通电源，按下电源到“—”的位置，仪器加电。设备显示启动会出现厂商的logo图案。数秒后会进入监测画面包括启动已用时间（显示从加电到当前所用的时间）；检漏口压力（检漏口的压力）；排气口压力（分子泵排气口压力）；报警阀值（显示报警设定值）。启动完成后会显示检漏模式（指示当前捡漏的工作状态）；检漏口压力；排气口压力；报警音量（显示报警时喇叭的音量）报警阀值；漏率（显示当前质谱室的本地漏率）；待检产品编号（点击后面数字可以对检漏产品进行编号。禁止输入空格）。如果有异常则会自动进入报警窗口（显示报警代码和具体信息）。注意：如果仪器是第一次使用或者停用很久时间，质谱室内残存气体比较多可能导致启动时间较长，启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。 2参数设定：在待机下选择点击“扳手螺丝刀”图标进入密码验证，点击密码区域，进入密码验证。密码分为低级密码和高级密码。不同密码等级进入的画面会有所不同，低级密码是客户进入参数设置区域，高级密码是厂家进入参数设置区域（不建议客户进入修改）。输入正确低级密码进入系统设置分别为报警阀值；捡漏模式；检漏精度；滤波方式；校准设置；音量；显示范围；单位；通讯；校零模式；SYS继电器;语言设置。输入正确高级密码进入系统设置分别为机器因数；高压设定；分子泵设定；背景抑制；报警记录。 3报警阀值设定：进入报警阀值图标会出现，会出现报警阀值（设定此值后如实际漏率值大于此值的报警值则报警）；报警延时（设定秒数可以延时报警。）报警继电器（禁止输出；发生报警不允许输出继电器动作。允许输出；发生报警允许输出继电器动作。）；当前使能通道（选中通道如报警阀值2后，则系统设置中“数据查看”中漏率值一列为此通道报警阀值2所设的值，“数据查看”测试结果）根据实际漏率值大于此通道报警阀值2值则为NG,小于此道通值则为ok。 4音量设定：按下音量选项进入画面有音量；模式（选择普通或渐强）、停止时报警(禁止或允许)等功能。 5仪器校准：仪器在停机或待机状态下进入系统设置选项，按下“校准设置”，进入选择标漏类型（外置标漏不带开关、外置标漏带开关、内置标漏、外置标漏时，建议使用外置标漏不带开关进行标定，内置标漏是使用检漏仪内部子标漏进行标定）；标漏漏率（根据校准标漏上标称的数值，输入标漏值即可，注意标漏单位。）；漏孔测试：开、关，设置为“开”时，内置标漏定标结束后按开始键，仪器自动检测内置标漏值，验证定标数值。真空定标按“真空标漏”进行真空标漏自动校准。吸枪定标时按“吸枪校准设定”进入参数设置，第一行数字为吸枪定标的标漏值，吸枪定标时，将此值设定为标准漏孔值。“吸枪堵压力”检测吸枪堵得标准值。“吸枪漏压力”检测吸枪漏的压力值。按“吸枪标漏”进行标定，点击会进入定标中，先将吸枪对准漏孔，待信号值稳定后按“采集信号”按钮，然后将吸枪远离漏孔，待本底值稳定，即“信号”显示数值稳定，按“采集本底”按钮，吸枪标定结束。 6滤波方式设定；仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“滤波方式”，进入选择滤波方式，有动态滤波（动态滤波精度高，但响应速度略慢）；静态滤波（静态滤波波动稍大，但速度快。） 7捡漏模式：仪器在停机或待机状态进入系统设置的选项，按下“捡漏模式”，进入画面。捡漏模式（真空模式、吸枪模式。真空模式中有喷氦模式、背压模式，真空模式为负压检漏，吸枪模式为工件正压检漏）。停止模式（停止放气、停止不放气，停止时检漏口是否放气）。灯丝模式（auto、灯丝1、灯丝2，改变参数后仪器须关机重启生效）。检测周期（设置为“0”时，仪器检测时间不受限制，手动控制停止；设置为其它数字时，时间到仪器自动停止。）精简压力（检漏仪开V4阀时检漏口压力）。延时记录（仪器处于主界面延时多长时间且仅记录一次数据，检测周期非零时必修不小于延时记录时间）。 8校零模式：仪器在停机或待机状态下进入系统设置选项，按下“校零模式”，进入。校零模式（自动：检漏阀打开后等待时间到后，系统自动进入校零模式，自动本底扣除。手动：需按面板上的“调零”才可以进入本底扣除方式。时间：在自动模式下，等待此时间后进入本底扣除方式。）校零量级（进入本底扣除模式后，零点显示值为扣除本底前值的指数减去此设定值。）零点模式（量级控制：进入调零模式后，零点显示值为扣除本底前值得指数减去校零量级；设定值：进入调零后，零点显示值为设定值）。 9机器因数：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，有“真空模式”和“吸枪模式”通过点击数字改变参数。真空模式和吸枪模式机器因数仪器默认为“1”。 10单位设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“单位设定”有“漏率”单位和“真空单位” 11通讯设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“通讯设定”，选择串口1或串口2.波率特性等。 12：输出设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，真空度继电器（根据采集检漏口真空度与设定输出开关量）；真空度继电器2；真空度继电器输出使能：是否让真空度的状态量在I/0输入输出接口输出。 13：时间设定：调节日期 14：密码设定：密码设定，输入新设置的低级密码。 15：检漏精度：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“检漏精度”分为自动、高、中、低，选择不同的精度仪器开启不同的检漏阀，无特别需求建议设置“自动” 16显示范围：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“显示范围”，真空模式、吸枪模式后面的数值为模式下的下限值。检漏精度（数值是显示漏率小数点后面几位数。 17SYS继电器：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“SYS继电器”继电器输出使能（禁止、允许仪器漏率报警和状态输出控制）；模拟量输出方式（线性、指数，仪器漏率输出方式） 18除此之外还有语言设置、外部控制等内容。氦质谱检漏仪操作步骤 1检漏（喷吹法）：仪器在停机或待机状态下，按下“开始”键，等待仪器给工件抽真空，进入抽空中，如果V1阀打开了，可以对工件喷氦检大漏；V3阀打开，可以对工件检中漏，V4阀打开，可以对工件检微漏。，进入检漏主界面，此时可以对被测工件进行喷氦检漏，漏率的数值在漏率指示器显示。点击屏幕右上角触摸键“图形”进入漏率曲线画面。 2标漏校准：将标漏口，仪器在待机状态下进入系统设置的选项，按下“校准设置”，进入如下，根据校准标漏上显示的数值，输入标漏值即可，注意标漏的单位Pa·m3/S。输入完成后按“返回”键设定别的参数，也可按下“真空标漏”进行标漏校准进入真空模式标定。（注：吸枪校准按“吸枪校准设定”进入参数设定后，按“吸枪标漏”进行吸枪校准。）等待机器自动采集信号、采集本底然后定标完成回到待机画面。漏孔测试设置为“开”时，返回待机状态后第一次按“开始”键，是对内置标漏进行检测验证。 3系统状态：点击屏幕的左下角“齿轮”图案触摸键，进入系统状态界面，查看检漏仪当前参数设置、各项指标状态。 4数据管理：进入参数设置后，按“数据查看”图标进入画面如下：数据下载：在检漏口的外部接口USB 接下U盘，确认后即可对检漏仪数据进行下载。数据删除按下删除键进行删除 5调零：仪器处于检漏状态，可按下“调零”键可扣除当前本底信号，使仪器指示的读书为绝对漏率 6停止：在待机或检漏状态下。按下“停止”键即可使仪器进入停止状态，长按设定键可打开放气阀对检漏口放入空气，以便更换检测的工件。 7：停机断电:检漏完成后确定仪器显示停机或待机状态下，将检漏口有专用堵头堵上即可，按下机箱后的电源按钮关闭电源，拔出电源插头。

泄漏检测技术分析

无损检测课程报告 ——泄漏检测技术一、概述泄漏检测技术(Leak Testing，L T)主要用于真空容器，压力容器或储液容器等探测，例如漏孔、裂纹等穿壁缺陷以及气密缺陷，以防止发生泄漏而酿成事故，避免能源、资源的损失以及污染环境等。泄漏检测俗称“检漏”。它主要是用于发现漏孔类缺陷，即指封闭壳体壁在压力作用下或者壁的两侧存在浓度差时，气体或液体通过它能够由一侧到达另一侧的孔洞或缝隙——称为穿壁缺陷。泄漏检测的基本原理是利用示漏介质（气体或液体）来判断有无穿壁缺陷（漏孔）存在，并根据示漏介质的漏率（压强差和温度一定时，单位时间内通过漏孔的示漏介质的数量），可以测定漏孔的大小。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。泄漏是绝对的，不漏则是相对的。对于真空系统来说，只要系统内的压力在一定的时间间隔内能维持在所允许的真空度以下，这时即使存在漏孔，也可以认为系统是不漏的；对于压力系统来说，只要系统的压力降能维持在所允许的值以下，不会影响系统的正常操作，同样也可以认为系统是不漏的。对于密封有毒的、易燃易爆的、对环境有污染的、贵重的介质，则要求系统的泄漏率必须小于环保、安全以及经济性决定的最大允许泄漏率指标。二、检漏方法的选择和分类 1、检漏方法的选择泄漏检测方法很多，每种方法的特点不同，检漏前应首先根据检漏要求、检漏环境等选择合适的检漏方法。选择泄漏检测方法要考虑如下几个方面因素：（1）检漏原理不论采用哪种检漏方法，必须理解它的基本原理。泄漏检测方法涉及的内容较广，集中反映了各种计量和测试技术。（2）灵敏度检漏方法的灵敏度可以用该方法可检测到的最小泄漏率来表示。选择检漏方法时应考虑各种方法的灵敏度，即采用哪种方法可以检测出哪一级的泄漏。（3）响应时间不论采用什么方法，要检测出泄漏率，总要花费一定的时间。响应时间的长短可能会影响检漏的精度和灵敏度。响应时间包括检测仪器本身的应答时间，气体流动的滞后时间和各种准备所需的时间。选择检漏方法时，必须考虑到这一点。（4）泄漏点的判断有些检漏方法仅仅可以判断出系统有无泄漏，但无法确定泄漏点在何处，有的检漏方法不仅可以确定泄漏点，而且还可以确定泄漏率的大小。（5）一致性对有些检漏方法来说，不管检测人员是否熟练，所得到的检测结果都基本相同；有些方法则是内行和外行使用，其结果全然不同。每种方法都有不同的技术关键，不同的检漏人员未必能得出一致的检漏结果（6）稳定性泄漏检测是一种计量和测试的综合技术。正确的泄漏检测不仅需要检测仪器具有稳定性，而且需要检测方法本身也具有较好的稳定性。 1

氦质谱检漏仪操作规程

8校零模式：仪器在停机或待机状态下进入系统设置选项，按下“校零模式”，进入。校零模式（自动：检漏阀打开后等待时间到后，系统自动进入校零模式，自动本底扣除。手动：需按面板上的“调零”才可以进入本底扣除方式。时间：在自动模式下，等待此时间后进入本底扣除方式。）校零量级（进入本底扣除模式后，零点显示值为扣除本底前值的指数减去此设定值。）零点模式（量级控制：进入调零模式后，零点显示值为扣除本底前值得指数减去校零量级；设定值：进入调零后，零点显示值为设定值）。 9机器因数：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，有“真空模式”和“吸枪模式”通过点击数字改变参数。真空模式和吸枪模式机器因数仪器默认为“1”。 10单位设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“单位设定”有“漏率”单位和“真空单位” 11通讯设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“通讯设定”，选择串口1或串口2.波率特性等。 12：输出设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，真空度继电器（根据采集检漏口真空度与设定输出开关量）；真空度继电器2；真空度继电器输出使能：是否让真空度的状态量在I/0输入输出接口输出。 13：时间设定：调节日期 14：密码设定：密码设定，输入新设置的低级密码。 15：检漏精度：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“检漏精度”分为自动、高、中、低，选择不同的精度仪器开启不同的检漏阀，无特别需求建议设置“自动” 16显示范围：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“显示范围”，真空模式、吸枪模式后面的数值为模式下的下限值。检漏精度（数值是显示漏率小数点后面几位数。 17SYS继电器：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“SYS继电器”继电器输出使能（禁止、允许仪器漏率报警和状态输出控制）；模拟量输出方式（线性、指数，仪器漏率输出方式） 18除此之外还有语言设置、外部控制等内容。

氦质谱检漏技术与仪器的相关技术指标

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟氦质谱检漏技术与仪器的相关技术指标氦质谱检漏仪的工作原理氦质谱检漏仪是一种用来检漏的对比仪器。它是一种质谱分析仪,检漏时以氦气作为示踪介质,当氦气与其它气体一同进入仪器内部时即被电离,并在质谱室的电磁场中作圆周运动;由于各种气体的质量不一样,因而形成许多束圆半径不一样的电子流,其中只有氦子流可被接收,经放大后在仪器的输出表上显示一个电量,进入的氦气越多,显示的电量越大。工件检漏时,可以用不同的方式将工件与检漏仪连接在一起,使氦气通过工件漏孔并进入检漏仪。检漏仪上只有电量显示,但相应的电量相当于多大的漏率还不知道。为此,可以用一支已知漏率的漏孔(习惯上称作标准漏孔) ,将它与检漏仪连接在一起,使通过标准漏孔的氦气也在检漏仪上有一电量显示。以标准漏孔显示的电量作为基准,与工件检漏时在检漏仪上显示的电量作比对,再参照其它因素,按一定的公式即可算出工件的漏率。这是确定工件漏率的基本方法。但有一点应特别强调,被检工件的漏孔所处的检漏条件应与标准漏孔所处的检漏条件相同,这样它们在检漏仪上显示的电量才好进行比对, 以计算工件漏率的大小。检漏技术与仪器的相关技术指标随着航天技术的发展,检漏技术也在不断取得进步。目前比较成熟的检漏方法有喷吹法、氦罩法、充压法、吸枪法、探漏盒法、累积检漏法、背压法及四极质谱检漏法。各种方法都有其特点及适用条件。在检漏实践中,由于我们所遇到的被检器件的结构、大小、要求等各不相同,如何根据这些特定的条件选择检漏方法,这是检漏工作人员必须解决的首要问题。因此,了解各种检漏方法及其特点,熟练地运用它们来满足被检器件的检漏要

第7讲_真空检漏

42　真空 V acuum2V acuum T echno logy and M aterial 第5期 1997年10月真空技术及应用系列讲座东北大学真空工程博士点,博士导师杨乃恒先生主持第一讲:真空科学的发展及其应用李云奇　95(2) ………………………………………… 第二讲:真空物理基础张世伟　95(3) ……………………………………………………… 第三讲:机械真空泵(一)(二)(三)(四)(五)(六)…张以忱95(4)、(5)、(6)、96(1)、(2)、(3) 第四讲:蒸汽流真空泵姚民生　96(4) ……………………………………………………… 第五讲:气体捕集式真空泵徐成海　96(5) ………………………………………………… 第六讲:真空测量刘玉岱　96(6)、97(1)、(2)、(3)、(4) …………………………………… 第七讲:真空检漏关奎之 (东北大学) 一、概述 11概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏,是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏,是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能,它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲,最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。检漏灵敏度是指在具体条件下,某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。反应时间,即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。消除时间,即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。漏率,即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。 21漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔,由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示),无法用几何尺寸表示其大小,所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。其中正压吸枪法采用检漏仪吸枪对被检产品外表面进行扫描探查，可以实现漏孔的精确定位; 正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，采用检漏仪吸枪测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量，实现被检产品总漏率的精确测量。正压法的优点是不需要辅助的真空系统，可以精确定位，实现任何工作压力下的检测。正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。

真空测量与检漏分析

真空测量与检漏主讲人：刘玉岱东北大学真空测量与检漏东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之三

真空测量与检漏 1 真空测量概述 2 全压力测量 3 分压力测量 4 真空计校准 I 真空测量 II 检漏 5 检漏概述 6 检漏方法 7 检漏仪真空测量与检漏

I 真空测量 1 真空测量概述 1.1 什么是真空测量 1. 2 真空度的表征及单位 1.3 真空计分类 1.4 真空计测量范围 1.5 真空测量特点 1.6 选择真空计原则真空测量与检漏

1.1 什么是真空测量真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。真空度是用压力来表示的。真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准。真空计是指探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器。大气压力为101325Pa 。直接测量压力是比较少的。测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象，然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设法间接确定出真实压力来。被测量气体多为混合气体，上述压力测量是指混合气体全压力测量，等于其各组成成分的分压力之和。真空测量与检漏

现代分压力真空计都属于电离类。有时只需知晓被测系统残余气体成分和相对含量，并不要求测出分压力值，所用仪器为残余气体分析仪。正确的压力测量必须用标准真空计或能产生已知低压的校准装置对真空计进行校准。真空计量器具分三类：计量基准器具、计量标准器具和工作计量器具。前两类用于复现和传递真空度量值，统一全国真空度量值；后一类是在现场应用。真空测量与检漏

1.2 真空度的表征及单位一般用压力来表示真空度。根据真空度定义，真空度最好用分子密度n 表示，而以压力表示真空度与此并不矛盾。气体处于平衡态并满足麦克斯威速度分布定律，即p ＝nkT 成立。当温度T 一定时，所以气体压力p 正比于分子密度n ，也就是说，压力是分子密度的量度。还可以用如下参数表示真空度：粒子密度n 、分子平均自由程λ、碰撞次数z 、覆盖时间τ。单位：1Pa ＝ 1Nm -2 真空度百分数：当压力p >102 Pa 时，δ＝（p 0－p ）/p 0×100％式中p —— 标准大气压力，Pa 。真空测量与检漏

真空理论基础知识

实验十真空的获得与测量实验目的 1．学习高真空的获得与测量方法。 2．熟悉有关设备和仪器的使用方法。实验仪器高真空装置，机器泵，扩散泵，复合真空计，检漏仪。实验原理真空技术在工业生产和科学研究中广泛的应用。真空技术主要包括真空的获得、测量和检查漏气等方面的内容。 1．高真空的获得获得真空用真空泵。真空泵按工作条件的不同分为两类：能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵（如机器泵），用来产生预备真空，需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵（如扩散泵），次级泵用来进一步提高真空度，获得高真空。（1）机器泵一般采用油封转片式机器泵，其结构如图3－10－1所示，在圆柱形气缸（定子）内有偏心圆柱作为转子，当转子绕轴转动时，其最上部与气缸内表面紧密接触，沿转子的直径装有两个滑动片（简称滑片），其间装有弹簧，使滑动片在转子转动时与气缸内表面紧密接触，当转子沿箭头所指方向转动时，就可以把被抽容器内的气体由进气管吸入而经过排气孔，排气阀排出机械泵。为了减少转动摩擦和防止漏气，排气阀及其下部的机械泵内部的空腔部分用密封油密封。机械泵用的密封油是一种矿物油，要求在机械泵的工作温度下有小的饱和蒸汽压和适当的粘度，机器泵的极限真空度一般在10－2～10 －4mmHg ，抽气速率一般为每分钟数十升到数百升。（2）扩散泵一般多采用油扩散泵，其结构如图3－10－2所示，扩散泵是高真空泵，当机器泵的极限真空度不能满足要求时，通常加扩散泵来获得高真空。这种泵不能从通常气压下开始工作，只能在低于1Pa 气压下才能工作。因此，必须与初级泵串联使用。油扩散泵使用的工作液体有许多种，目前广泛使用的是274号硅油（20℃时饱和汽压为1.3×10－7 Pa ）和275号硅油（20℃时饱和汽压为1.3×10－8 Pa ）。

井控检查考试题库—基础知识

井控检查考试题库—基础知识一、选择题（本题共有72小题） 1．闸板防喷器关井后进行手动锁紧，若锁紧圈数为23圈，则开井解锁圈数为（）圈。 (A)20 (B)22 (C)23 (D)25 2．井涌可通过（）探测到。 (A)钻井液罐液位计(B)立管压力表(C)节流管汇(D)循环系统 3．钻遇大裂缝或溶洞时，由于钻井液密度比天然气密度大而导致天然气侵入井内的现象称之为（）。 (A)岩屑气侵(B)置换气侵(C)扩散气侵(D)气体溢流 4．下钻时发生溢流的显示是：从井内返出的钻井液量（）下入钻具的体积。 (A)大于(B)小于(C)等于(D)不确定 5．钻具止回阀结构形式代号FJ所代表的是（）。 (A)箭形止回阀(B)球形止回阀(C)碟形止回阀(D)投入止回阀 6．液压防喷器产品代号中“FH”所表述的含义是（）。 (A)环形防喷器(B)闸板防喷器(C)单闸板防喷器(D)双闸板防喷器 7．产生抽汲压力的工况是( )。 (A)起钻(B)下钻(C)钻进(D)空井 8．真空除气器的工作原理是通过（）来分离气侵钻井液中的气体的。 (A)正压(B)常压(C)负压(D)密度差 9．液压防喷器与采用纯机械传动的防喷器比较其主要优点是（）。 (A)能够预防井喷(B)关井动作迅速且操作方便(C)壳体机械强度高(D)密封性能好 10．为了保证钻进和起下钻过程的安全，做到井壁稳定，既不压漏地层也不会引起溢流，必须控制钻井液的（）和粘度。 (A)密度(B)失水(C)静切力(D)泥饼 11．地层破裂压力是确定( )的重要依据之一。 (A)地层压力(B)抽吸压力(C)坍塌压力(D)最大允许关井套管压力 12．H S浓度为（）ppm时，人吸上一口就会立即死亡。 (A)50 (B)150 (C)200 (D)2000 13．起钻时，从井内每起出（）柱钻铤必须向井内灌一次钻井液。 (A)1 (B)2 (C)3 (D)4 14．下列井控设备中（）属于常规井控作业设备。 (A)灭火设备(B)井下安全阀(C)起钻自动灌浆装置(D)不压井起下钻及加压装置 15．设计钻井液方案时，钻井液的（）和粘度性能必须满足携带岩屑并且在循环停止时悬浮岩屑的需要。 (A)密度(B)失水(C)静切力(D)泥饼 16．开启手动平板阀的动作要领是（）。 (A)顺旋，到位(B)逆旋，到位(C)逆旋，到位，回旋(D)顺旋，到位，回旋 17．下列关于井控设备的功能叙述正确的是（）。 (A)关井动作迅速(B)操作方便(C)能够关闭井口，密封钻具内和环空的压力(D)现场维修方便 18．自动灌注钻井液装置的优点是按预定时间向井内灌注钻井液并能自动计量和（），预报溢流和井漏。 (A)压力控制(B)自动停灌(C)定时停止(D)免于维护 19．四通出口至节流管汇、压井管汇之间的管线、平行闸板阀、法兰及连接螺柱或螺母等零部件组成（）。 (A)放喷管线(B)压井管线(C)灌浆管线(D)防喷管线 20．液压防喷器的公称通径与（）是液压防喷器的两项主要技术参数。

氦检漏卤素检漏

一、氦检漏 TSG R0004-2009 《固定式压力容器安全技术监察规程》规定，对于介质毒性程度为极度、高度危害或者设计上不允许有微量泄漏的压力容器，应当进行泄漏试验。因此，泄漏检测已经成为该类压力容器普遍使用的无损检测方法之一。氦质谱泄漏检测技术具有检漏灵敏度高、可靠性好、对漏孔既能定位又能定量等优点，从而在压力容器泄漏检测中得到了广泛的应用。氦质谱检漏按照检测过程中氦气的流向，可分为正压检漏（氦气流出被检容器）和真空检漏（氦气流进被检容器）两种情况。１.正压检漏氦质谱正压检漏通过在被检容器中充入一定压力的空气和氦气的混合气体，然后在容器压力较低的外侧采用一定的方式检测泄漏的氦气，从而达到对容器局部或整体、定位或定量的检漏目的。常见的氦质谱正压检漏方法主要有吸枪直测法和氦罩积累法。（1）吸枪直测法吸枪直测法是指用吸枪在大气中从压力容器被检部位直接获得示漏氦气，从而对压力容器进行检漏的一种氦泄漏检测方法。吸枪直测法检漏示意图见下图。１．氦质谱检漏仪２．吸枪３．被检容器４．氦气瓶该法为一种定性、定位检测技术，用以探测泄漏并确定其位置，检测灵敏度可达10－ 7Pa·m３/s。扫查距离、速度以及不同操作人员对吸枪直测法的检测灵敏度均有一定程度的影响。吸枪直测法一般用于容器焊缝、密封面等部位的泄漏检测，也可用于整体检漏后漏孔的定位。（2）氦罩积累法如果被检容器的泄漏率很小，用吸枪直测法难以检测到泄漏时，则需采用氦罩积累法进行检漏。相对于吸枪直测法的定性检测而言，氦罩积累法通过一定的积累时间，可以实现被检容器的定量微漏检测。氦罩积累法可以对被检容器的局部或整体进行泄漏检测。如果容器较小，用氦罩将其整个罩住，就可以对容器整体泄漏情况进行检测。但对于焊缝、密封面较多的容器，则无法同时实现漏孔的定位。若容器较大而且结构复杂，则需用多个小氦罩将被检部位罩住，这样既可以实现容器整体泄漏情况的检测，还可以对具体的泄漏位置以及泄漏率进行判定。如果将氦罩抽成真空，其检测灵敏度可以提高2～3个数量级。氦罩积累法检测示意图见下图。在实际检漏过程中，根据不同的情况，氦罩可采用金属容器、塑料简单包封等形式。 1.氦质谱检漏仪 2.被检容器 3.氦罩 4.氦气瓶

真空检漏常用方法和技巧

真空检漏1 一、概述 1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。漏率，即单位时间流过漏孔(包括间隙)的气体量。 2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤1/10PwS (1) 式中Pw----系统工作压力 S----系统的有效抽速对于静态真空系统，要求在一定时间，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间t,容积为V的系统的压力由p 升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤(pt-p)V/t (2) 各种真空设

压力容器氦质谱检漏法介绍

被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法： 1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。 2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。下图是喷吹法原理示意图。喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪

易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。 3、背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。图1－7为背压法检漏示意图。 4、真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。如果真空可以抽下来则关闭V3，然后打开V2使用工件预抽系统对工件被检件真空箱预抽系统检漏仪氦气检漏仪