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TEM中EDX元素分析步骤

1、选择元素(markers下选择的伪彩图为应该含有全部元素的伪彩图,此时也应该包括Cu,ROI里面出来伪彩图为所分析的伪彩图)、点击automap的generate out,得到以下伪彩图(以钯负载的丝光沸石为例)

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在上面选择后点击中的Generate output,即可以得到伪彩图。如下图所示

TEM中EDX元素分析步骤

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2、点击工具栏的方框,框中HAADF,双击方框,输入实际扫描时的点数(本次实验是20*20,图1所示),点Sum选项中的integrate,得到选中区域的EDX图(图2);

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图1 输入实际扫描的分辨率

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图2 HAADF分析的EDX图。

3、删除原先机器给出的EDX图,剩余Integrate的EDX图(图2),点击Sum选项中的integrate,选择Log中的数据,复制到Word,字体大小12,即得到Integrate的EDX图的元素积分(表1所示);

表1、Integrate积分得到的元素分析表

**Quantification Results***

Correction method: None

Detector

Element Weight % Atomic % Uncert. % Correction k-Factor ------- -------- -------- --------- ---------- -------- C(K) 3.36 5.48 0.24 0.26 3.940

O(K) 51.45 62.95 0.47 0.49 1.974

Al(K) 4.14 3.00 0.11 0.92 1.027

Si(K) 40.92 28.52 0.30 0.92 1.000

Pd(K) 0.11 0.02 0.16 0.98 6.031