原子力显微镜探针悬臂弹性常数校正技术进展

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原子力显微镜探针悬臂弹性常数校正技术进展

作者：屈泽华卜娟潘晓霞

来源：《中国测试》2016年第03期

摘要：利用原子力显微镜对材料表面的力学性能进行定量表征时，需要准确知道原子力显微镜探针悬臂的弹性常数，所以对弹性常数进行校正十分重要。该文综述近年来对探针悬臂弹性常数的校正方法，主要包括维度法、静态挠度法、动态挠度法。维度法对不同悬臂形状（主要针对矩形、v型）进行阐述，分析不同方法使用的数学模型与优缺点；静态挠度法不仅对方法的数学模型进行阐述，还着重介绍近年来对该方法精确度的改进研究；动态挠度法以附加质量法、sader法与热调谐法分别阐述，比较3种方法的模型特点与先进性；最后分析常用探针

适合使用的校正方法，对今后校正方法的发展提供参考。

关键词：探针悬臂；弹性常数；校正；综述

文献标志码：A 文章编号：1674-5124（2016）03-0001-06