直拉法生产单晶硅项目计划书

新能源产业

单晶硅项目可行性报告书

2014年01月作成

第一章总论

1.1项目概况

项目名称：直拉法生产单晶硅

新建企业名称：八零九零有限公司

项目负责人：刘冰

项目建设地点：山东济南

1.2项目提出的背景

硅是地球上储藏最丰富的材料之一，从19世纪科学家们发现了晶体硅的半导体特性后，它几乎改变了一切，甚至人类的思维。直到上世纪60年代开始，硅材料就取代了原有锗材料。硅材料――因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，目前的集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。

单晶硅又叫硅单晶（Monocrystalline silicon），分子式：Si，分子量：28.086. 单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

1.2.1.具体介绍

我们的生活中处处可见“硅”的身影和作用，晶体硅太阳能电池是近15年来形成产业化最快的。

单晶硅，英文：Monocrystallinesilicon。是硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

用途：单晶硅具有金刚石晶格，晶体硬而脆，具有金属光泽，能导电，但导电率不及金属，且随着温度升高而增加，具有半导体性质。单晶硅是重要的半导体材料。在单晶硅中掺入微量的第ЩA族元素，形成P型半导体，掺入微量的第VA族元素，形成N型，N型和P型半导体结合在一起，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能。

单晶硅是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等。在开发能源方面是一种很有前途的材料。

单晶硅按晶体生长方法的不同，分为直拉法（CZ）、区熔法（FZ）和外延法。直拉法、区熔法生长单晶硅棒材，外延法生长单晶硅薄膜。直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。

1.2.2.发展现状

单晶硅建设项目具有巨大的市场和广阔的发展空间。在地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。

各种晶体材料，特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展，成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。单晶硅作为一种极具潜能，亟待开发利用的高科技资源，正引起越来越多的关注和重视。

与此同时，鉴于常规能源供给的有限性和环保压力的增加，世界上许多国家正掀起开发利用太阳能的热潮并成为各国制定可持续发展战略的重要内容。

在跨入21世纪门槛后，世界大多数国家踊跃参与以至在全球范围掀起了太阳能开发利用的“绿色能源热”，一个广泛的大规模的利用太阳能的时代正在来临，太阳能级单晶硅产品也将因此受世人瞩目。

目前各国相继研发太阳能光伏系统，把太阳能发电终端，所产生的电能输送到电网，用电网使用。

1.2.3.物理特性

硅是地球上储藏最丰富的材料之一，从19世纪科学家们发现了晶体硅的半导体特性后，它几乎改变了一切，甚至人类的思维。直到上世纪60年代开始，硅材料就取代了原有锗材料。硅材料――因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。

熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒，则这些晶粒平行结合起来便结

晶成单晶硅。单晶硅具有准金属的物理性质，有较弱的导电性，其电导率随温度的升高而增加，有显著的半导电性。超纯的单晶硅是本征半导体。在超纯单晶硅中掺入微量的Ⅲ族元素，如硼可提高其导电的程度，而形成p型硅半导体；如掺入微量的Ⅴ族元素，如磷或砷也可提高导电程度，形成n型硅半导体。

1.3.应用领域

硅有晶态和无定形两种同素异形体。晶态硅又分为单晶硅和多晶硅，它们均具有金刚石晶格，晶体硬而脆，具有金属光泽，能导电，但导电率不及金属，且随温度升高而增加，具有半导体性质。单晶硅在日常生活中是电子计算机、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料。电视、电脑、冰箱、电话、手表、汽车，处处都离不开单晶硅材料，单晶硅作为科技应用普及材料之一，已经渗透到人们生活中的各个角落。在光伏技术飞速发展的今天，利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能，实现了迈向绿色能源革命的开始。

1.3.1.半导体

非晶硅是一种直接能带半导体，它的结构内部有许多所谓的“悬键”，也就是没有和周围的硅原子成键的电子，这些电子在电场作用下就可以产生电流，并不需要声子的帮助，因而非晶硅可以做得很薄，还有制作成本低的优点。

单晶硅主要用于制作半导体元件，其用途主要是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等。

1.3.

2.光伏组件

单晶硅是光伏行业中太阳能电池发电的转换器，其转换率的高低直接决定着太阳能利用率的多少，单晶硅生产处于太阳能光伏产业链的中游，在国内拉单晶技术已趋成熟，国家“863”计划超大规模集成电路（IC）配套材料重大专项总体组在组织专家北京对西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的“TDR-150型单晶炉（12英寸MCZ 综合系统）”完成了验收。这标志着拥有自主知识产权的大尺寸集成电路与太阳能用硅单晶生长设备，在我国首次研制成功。这项产品使中国能够开发具有自主知识产权的关键制造技术与单晶炉生产设备，填补了国内空白，初步改变了在晶体生长设备领域研发制造受制于人的局面，在生产装备上已经完全实现国产化。产业链最上游是多晶硅的生产厂商，多晶硅高新技术与设备为欧美国家所垄断，国内的多晶硅生产厂商与欧美厂商没有竞争优势，目前中国全年所需要的多晶硅中仍然有50%需要从美国等国的光伏企业进口。而处于下游的国内电池封装商面对的市场主要集中在欧美国家，其发展容易受制于人。因此在光伏产业中单晶硅生产企业相对最具安全。

江苏作为光伏产业大省，太阳能电池产量占了全国的三分之二、全球的四分之一，在世界太阳能电池产量前15位的电池制造商中，江苏占了5家，江苏的光伏产业呈现协调快速发展势头，并且在全国

率先出台了《江苏省新能源产业调整和振兴规划纲要》和《江苏省光伏发电推进意见》，果断提出将采取电价补贴的政策手段，计划通过3年努力，力争在全省建成光伏并网发电装机容量400兆瓦。《泰州市新能源产业振兴规划纲要（2009—2012年）》，在泰州建设30兆瓦屋顶电站、2兆瓦建筑一体化电站，中盛光电集团成为被重点扶持的企业之一。而作为泰州的邻市扬州，2010年光伏产业的年销售收入已达到400亿元以上，其中规模较大的企业有江苏顺大、晶澳太阳能，2010年12月19日，由波司登控股集团有限公司与江苏康博科技有限公司共同投资６０亿元打造的、年产６０００吨高纯硅项目也在扬州签约。不仅是电池制造，光伏电站，包括周边零配件的整个生产链在江苏已经初具规模，这将为单晶硅生产销售提供便利条件。

虽然近年来我国的光伏产业受到了极大地冲击，但是随着国家对新能源建设的不断的投入，这一产业终将会复兴。

第二章研究趋势

2.1.概述

日本、美国和德国是主要的硅材料生产国。中国硅材料工业与日本同时起步，但总体而言，生产技术水平仍然相对较低，而且大部分为2.5．3．4．5英寸硅锭和小直径硅片。中国消耗的大部分集成电路及其硅片仍然依赖进口。但我国科技人员正迎头赶上，于1998年成功地制造出了12英寸单晶硅，标志着我国单晶硅生产进入了新的发展时期。全世界单晶硅的产能为1万吨/年，年消耗量约为6000吨～7000吨。未来几年中，世界单晶硅材料发展将呈现以下发展趋势：

2.2.微型化

随着半导体材料技术的发展，对硅片的规格和质量也提出更高的要求，适合微细加工的大直径硅片在市场中的需求比例将日益加大。硅片主流产品是200mm，逐渐向300mm过渡，研制水平达到400mm～450mm。据统计，200mm硅片的全球用量占60%左右，150mm占20%左右，其余占20%左右。Gartner发布的对硅片需求的5年预测表明，全球300mm硅片将从2000年的1.3%增加到2006年的21.1%。日、美、韩等国家都已经在1999年开始逐步扩大300mm硅片产量。据不完全统计，全球已建、在建和计划建的300mm硅器件生产线约有40余条，主要分布在美国和我国台湾等，仅我国台湾就有20多条生产线，其次是日、韩、新及欧洲。

世界半导体设备及材料协会（SEMI）的调查显示，2004年和2005年，在所有的硅片生产设备中，投资在300mm生产线上的比例将分别为55%和62%，投资额也分别达到130.3亿美元和184.1亿美元，发展十分迅猛。而在1996年时，这一比重还仅仅是零。

2.3.国际化，集团化

研发及建厂成本的日渐增高，加上现有行销与品牌的优势，使得硅材料产业形成“大者恒大”的局面，少数集约化的大型集团公司垄断材料市场。上世纪90年代末，日本、德国和韩国（主要是日、德两国）资本控制的8大硅片公司的销量占世界硅片销量的90%以上。根据SEMI提供的2002年世界硅材料生产商的市场份额显示，

Shinetsu、SUMCO、Wacker、MEMC、Komatsu等5家公司占市场总额的比重达到89%，垄断地位已经形成。

2.4.硅基材料

随着光电子和通信产业的发展，硅基材料成为硅材料工业发展的重要方向。硅基材料是在常规硅材料上制作的，是常规硅材料的发展和延续，其器件工艺与硅工艺相容。主要的硅基材料包括SOI（绝缘体上硅）、GeSi和应力硅。SOI技术已开始在世界上被广泛使用，SOI 材料约占整个半导体材料市场的30%左右，预计到2010年将占到50%左右的市场。Soitec公司（世界最大的SOI生产商）的2000年～2010年SOI市场预测以及2005年各尺寸SOI硅片比重预测了产业的发展前景。

2.5.制造技术升级

半导体,芯片集成电路,设计版图,芯片制造,工艺世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺，使制片技术取得明显进展。在日本，Φ200mm硅片已有50%采用线切割机进行切片，不但能提高硅片质量，而且可使切割损失减少10%。日本大型半导体厂家已经向300mm 硅片转型，并向0.13μm以下的微细化发展。另外，最新尖端技术的导入，SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此，硅片生产厂家也增加了对300mm硅片的设备投资，针对设计规则的进一步微细化，还开发了高平坦度硅片和无缺陷硅片等，并对设备进行了改进。

硅是地壳中赋存最高的固态元素，其含量为地壳的四分之一，但在自然界不存在单体硅，多呈氧化物或硅酸盐状态。硅的原子价主要为4价，其次为2价；在常温下它的化学性质稳定，不溶于单一的强酸，易溶于碱；在高温下化学性质活泼，能与许多元素化合。

硅材料资源丰富，又是无毒的单质半导体材料，较易制作大直径无位错低微缺陷单晶。晶体力学性能优越，易于实现产业化，仍将成为半导体的主体材料。

多晶硅材料是以工业硅为原料经一系列的物理化学反应提纯后达到一定纯度的电子材料，是硅产品产业链中的一个极为重要的中间产品，是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料，是信息产业和新能源产业最基础的原材料。

第三章单晶硅的生产工艺

3.1.直拉法单晶硅生长

目前，生产单晶硅的方法主要有直拉法，区熔法，其他方法如基座法，片状生长法，气象生长法，外延法等，都因各自的不足未能被普遍推广。直拉法和区熔法比较，以直拉法为主要，它投料多，生产的单晶直径大，设备自动化程度高，工艺比较简单，生产效率高。直拉法生产的单晶硅，占世界单晶硅总量的70%以上。

直拉法又称切克劳斯基法，它是在1917年有切克劳斯基（Czochralski）建立起来的一种晶体生长方法，简称CZ法，CZ法的特点是在一个直通型的热系统中，用石墨电阻加热，将装在高纯石英坩埚中的多晶硅融化，然后将籽晶插入熔体表面进行熔接，同时转

动籽晶，再反向转动坩埚，籽晶缓慢向上提升，经过引晶、放大、转肩、等径生长、收尾等过程，一支单晶体就生长出来了。

3.2.加工工艺

加料—→熔化—→缩颈生长—→放肩生长—→等径生长—→尾部生长

（１）加料：将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内，杂质的种类依电阻的Ｎ或Ｐ型而定。杂质种类有硼，磷，锑，砷。

（２）熔化：加完多晶硅原料于石英埚内后，长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内，然后打开石墨加热器电源，加热至熔化温度（１４２０℃）以上，将多晶硅原料熔化。

（３）缩颈生长：当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力，会使籽晶产生位错，这些位错必须利用缩颈生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升，使长出的籽晶的直径缩小到一定大小（４－６ｍｍ）由于位错线与生长轴成一个交角，只要缩颈够长，位错便能长出晶体表面，产生零位错的晶体。

（４）放肩生长：长完细颈之后，须降低温度与拉速，使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。

（５）等径生长：长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不断调整，可使晶棒直径维持在正负２ｍｍ之间，这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。

（６）尾部生长：在长完等径部分之后，如果立刻将晶棒与液面

分开，那么热应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出，即完成一次生长周期。

3.2.单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片

加工流程：

单晶生长—→切断—→外径滚磨—→平边或Ｖ型槽处理—→切

片

倒角—→研磨腐蚀—→抛光—→清洗—→包装

切断：目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分，将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度，切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。

切断的设备：内园切割机或外园切割机

切断用主要进口材料：刀片

外径磨削：由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大，通过外径滚磨可以获得较为精确的直径。

外径滚磨的设备：磨床

平边或Ｖ型槽处理：指方位及指定加工，用以单晶硅棒上的特定结晶方向平边或Ｖ型。

处理的设备：磨床及Ｘ－ＲＡＹ绕射仪。

切片：指将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄晶片。

切片的设备：内园切割机或线切割机

倒角：指将切割成的晶片税利边修整成圆弧形，防止晶片边缘破裂及晶格缺陷产生，增加磊晶层及光阻层的平坦度。

倒角的主要设备：倒角机

研磨：指通过研磨能除去切片和轮磨所造的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅片的曲度、平坦度与平行度，达到一个抛光过程可以处理的规格。

研磨的设备：研磨机（双面研磨）

主要原料：研磨浆料（主要成份为氧化铝，铬砂，水），滑浮液。

腐蚀：指经切片及研磨等机械加工后，晶片表面受加工应力而形成的损伤层，通常采用化学腐蚀去除。

腐蚀的方式：（Ａ）酸性腐蚀，是最普遍被采用的。酸性腐蚀液由硝酸（ＨＮＯ3），氢氟酸（ＨＦ），及一些缓冲酸（ＣＨ3ＣＯＣＨ，Ｈ3ＰＯ4）组成。

（Ｂ）碱性腐蚀，碱性腐蚀液由ＫＯＨ或ＮａＯＨ加纯水组成。

抛光：指单晶硅片表面需要改善微缺陷，从而获得高平坦度晶片的抛光。

抛光的设备：多片式抛光机，单片式抛光机。

抛光的方式：粗抛：主要作用去除损伤层，一般去除量约在１０－２０ｕｍ；

精抛：主要作用改善晶片表面的微粗糙程度，一般去除量１ｕｍ以下

主要原料：抛光液由具有ＳｉＯ2的微细悬硅酸胶及ＮａＯＨ（或ＫＯＨ或ＮＨ4ＯＨ）组成，分为粗抛浆和精抛浆。

清洗：在单晶硅片加工过程中很多步骤需要用到清洗，这里的清洗主要是抛光后的最终清洗。清洗的目的在于清除晶片表面所有的污染源。

清洗的方式：主要是传统的ＲＣＡ湿式化学洗净技术。

主要原料：Ｈ2ＳＯ4，Ｈ2Ｏ2，ＨＦ，ＮＨ4ＯＨ，ＨＣＬ

（３）损耗产生的原因

Ａ．多晶硅——单晶硅棒

多晶硅加工成单晶硅棒过程中：如产生损耗是重掺埚底料、头尾料则无法再利用，只能当成冶金行业如炼铁、炼铝等用作添加剂；如产生损耗是非重掺埚底料、头尾料可利用制成低档次的硅产品，此部分应按边角料征税。

重掺料是指将多晶硅原料及接近饱和量的杂质（种类有硼，磷，锑，砷。杂质的种类依电阻的Ｎ或Ｐ型）放入石英坩埚内溶化而成的料。

重掺料主要用于生产低电阻率（电阻率＜０．０１１欧姆／厘米）的硅片。

损耗：单晶拉制完毕后的埚底料约１５％。

单晶硅棒整形过程中的头尾料约２０％。

单晶整形过程中（外径磨削工序）由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大，通过外径磨削可以获得较为精确的直径。损耗约１０％－１３％。

3.3.直拉法单晶生长技术的机械设备

上海汉虹的FT-CZ2008A、FT-CZ2208AE、FT-CZ2208A，西安理工大学的TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR85A-ZJS、

TDR95A-ZJS、TDR112A-ZJS，美国KAYEXCG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg,以及其他厂家的部分单晶生长炉。其中西安理工大学的单晶拉制炉作为国内自主创新的产品，有很大的优越性。

TDL-FZ35型区熔单晶炉

TDL-FZ35型区熔单晶炉，是在高纯氮气环境中，用单匝高频感圈加热，对多晶体棒进行区域熔炼，达到提供并用FZ法拉制高纯无位错大直径(3″～4″)单晶硅的设备。获省级科技进步三等奖。

该设备的主要性能指标如下：

晶体直径：3″～4″(Φ75～Φ100mm)

晶体长度：1000mm

高频发生器功率：60KW

晶轴拉速范围：0.5～20mm／min

TDL(R)-J40型光学晶体炉

内容简介：

该炉是用直拉法控制激光固体材料(如钇铝石榴石，铝酸钇等)单晶体的专用设备。它可以在大气或充入各种纯净保护气体下工作。

曾获机械工业部和陕西省科技进步二等奖。

该设备的主要性能指标如下：

炉室尺寸：Φ400mm

采用中频加热电源：20KW 2500HZ

采用电阻加热电源：42KVA

最高加热温度：2100℃

最大投料量：3kg

籽晶在炉内行程：300mm

TDR(L)-J60型光学晶体生长设备

主要内容：

TDR(L)—J60型光学晶体生长设备是在高真空、保护气体条件下以石墨电阻或以中频感应加热方法将原材料熔化，用直拉法生长红宝石、蓝宝石、YAG、化学计量比铌酸锂等光学晶体的设备。

技术水平：

TDR(L)—J60型光学晶体生长设备具有稳定可靠的低速运动性能、程序控制工作速度的变化功能、上称重计算机自动控制直径功能或下称重计算机自动控制直径功能，综合性能达到了国际先进国内领先水平，具有自主的知识产权。

主要技术参数:

1．熔料量： 10kg

2．晶体直径： 3"

3．加热功率 30kW

4．最高加热温度 2100℃

5．主炉室尺寸φ600×900mm

6．冷炉极限真空度 3Pa

7．充气压力0.08MPa

TDR-62CP型单晶炉

内容简介：

TDR-62CP型单晶炉，是在惰性气体环境中，以石墨电阻加热器将硅材料熔化，用软轴直拉法生长无位错单晶的设备。它可以生长大规模集成电路所需要的高质量单晶。这种单晶炉能够使用12″的石英坩埚，投料20kg，拉制4″或5″的单晶，其最大裕度可允许使用14″的石英坩埚，投料30kg拉制6″的单晶。采用计算机控制等径生长晶体。

该设备的主要性能指标如下：

投料量：30kg

晶体规格：5″

籽晶炉内行程：2200mm

最大功率：130kw

TDR-GY652型高压单晶炉

主要内容：

TDR—GY652型高压单晶炉室在惰性保护气体--氩气高压条件下，采用石墨电阻加热方式，将GaAs、InP等材料合成熔化，已LEC法从熔体中拉制大直径(4"～6") GaAs、InP单晶的专用设备。

技术水平：

TDR-GY652型高压单晶炉是目前国际上最大的GaAs、InP单晶制备设备，具有先进的上称重计算机自动控制直径功能、加热温度自动控制功能、各种安全自动保护功能，具备三段加热能力，可满足生长6" GaAs单晶的能力。综合性能达到了国际先进国内领先水平，具有自主的知识产权。

主要技术参数:

1．熔料量： 40kg

2．晶体直径： 6"

3．加热功率 120×55×35kW

4．最高加热温度 1600℃

5．主炉室尺寸φ652×1000mm

6．冷炉极限真空度 1Pa

7．充气压力10MPa

TDR-70A（B）型单晶炉

主要内容：

TDR-70A型单晶炉是软轴提拉型人工晶体生长设备，是在惰性气体环境中以石墨电阻加热器将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无位

错硅单晶的设备，它可生产太阳能电池用的6″硅单晶和大规模集成电路所需要的高质量硅单晶。

技术水平：

该产品采用了磁流体密封技术、浮动式翻版隔离阀、拱形封头式炉盖结构、浮动式提升结构等先进技术，采用计算机自动控制直径系统，综合性能达到了国际先进国内领先水平，具有自主的知识产权。

主要技术参数:

熔料量： 60kg （18 "热系统）

晶体直径： 6 " ---6.5 "

TDR—70A 圆筒副室（TDR—70B 开门副室）

1．加热功率 120kW

2．最高加热温度 1600℃

11．冷炉极限真空度 1Pa

12．主炉室尺寸Ф700×1000

14．翻版阀通径Ф200mm

TDR-80A（B）型单晶炉

主要内容：

TDR—80A型单晶炉是软轴提拉型人工晶体生长设备，是在惰性气体环境中以石墨电阻加热器将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无位错硅单晶的设备，它可生产太阳能电池用的6″硅单晶和大规模集成电路所需要的高质量硅单晶。

技术水平：

该产品采用了磁流体密封技术、浮动式翻版隔离阀（或旋盖式隔离阀）、拱形封头式炉盖结构、浮动式提升结构等先进技术，采用计算机自动控制直径系统，综合性能达到了国际先进国内领先水平，具有自主的知识产权。

主要技术参数:

熔料量： 60kg （18 "热系统）

晶体直径： 8 "

TDR—80A 圆筒副室（TDR—80B 开门副室）

1．加热功率 160kW

2．最高加热温度 1600℃

11．冷炉极限真空度 1Pa

12．主炉室尺寸Ф800×1000

14．翻版阀通径Ф260mm

而上海汉虹是上海申和热磁电子有限公司和日本磁性技术株式会社合资企业，在单晶炉制作，研发等方面有很强的实力，其单晶炉自动化程度较高

第四章市场预测和产品方案

4.1.市场概况

2007年，中国市场上有各类硅单晶生产设备1500余台，分布在70余家生产企业。2007年5月24日，国家“863”计划超大规模集成电路（IC）配套材料重大专项总体组在北京组织专家对西安理工大

单晶硅制备方法

金属1001 覃文远3080702014 单晶硅制备方法 我们的生活中处处可见“硅”的身影和作用，晶体硅太阳能电池是近15年来形成产业化最快的。 单晶硅，英文，Monocrystallinesilicon。是硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。 用途：单晶硅具有金刚石晶格，晶体硬而脆，具有金属光泽，能导电，但导电率不及金属，且随着温度升高而增加，具有半导体性质。单晶硅是重要的半导体材料。在单晶硅中掺入微量的第ЩA族元素，形成P型半导体，掺入微量的第VA族元素，形成N型，N型和P型半导体结合在一起，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能。 单晶硅是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等。在开发能源方面是一种很有前途的材料。 单晶硅按晶体生长方法的不同，分为直拉法（CZ）、区熔法（FZ）和外延法。直拉法、区熔法生长单晶硅棒材，外延法生长单晶硅薄膜。直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。 直拉法 直拉法又称乔赫拉尔基斯法（Caochralski）法，简称CZ法。它是生长半导体单晶硅的主要方法。该法是在直拉单晶氯内，向盛有熔硅坩锅中，引入籽晶作为非均匀晶核，然后控制热场，将籽晶旋转并缓慢向上提拉，单晶便在籽晶下按照籽晶的方向长大。拉出的液体固化为单晶，调节加热功率就可以得到所需的单晶棒的直径。其优点是晶体被拉出液面不与器壁接触，不受容器限制，因此晶体中应力小，同时又能防止器壁沾污或接触所可能引起的杂乱晶核而形成多晶。直拉法是以定向的籽晶为生长晶核，因而可以得到有一定晶向生长的单晶。 直拉法制成的单晶完整性好，直径和长度都可以很大，生长速率也高。所用坩埚必须由不污染熔体的材料制成。因此，一些化学性活泼或熔点极高的材料，由于没有合适的坩埚，而不能用此法制备单晶体，而要改用区熔法晶体生长或其

直拉单晶硅相关知识汇总

直拉单晶硅国标相关知识汇总 参考标准： 硅单晶GB/T12962-2005 硅片径向电阻率变化测定方法GB/T11073 硅单晶电阻率的测量GB/T1551-2009 代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T1558-2009 光电衰减法测硅和锗体内少子寿命测定GB/T1553-2009 红外吸收光谱测量硅晶体中间隙氧GB/T1557-2006 非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1550 1. 径向电阻率变化 1）定义：晶片中心点与偏离中心的某一点或若干对称分布的设定点（晶片半径的1/2处或靠晶片边缘处）的电阻率之间的差值。差值与中心值的百分数即为径向电阻率变化。 2）测量方法：GB/T11073规定径向电阻率变化的测量方法为：用四探针法测量硅片中心点和设定点的电阻率。按以下公式计算：RV=（ρM－ρC）/ρM×100% 其中：ρM为硅片中心点处测得的两次电阻率的平均值。 ρC为硅片半径中点或距边缘6mm处，90°间隔4点电阻率的平均值。 3）国标对径向电阻率变化的要求：GB/T12962-2005规定掺杂硼元素的P 型单晶（直径为200mm的）电阻率范围为：0.0025～60Ω·cm。 其径向电阻率变化为：0.0025～0.1Ω·cm ≤12% 0.1～60Ω·cm ≤5% 2. O、C含量 GB/T12962-2005规定直拉硅单晶的间隙氧含量应小于 1.8×1018a/cm3 (36ppma)，具体指标应根据客户要求而定。其测定的依据标准为：GB/T1557-2006。 替位碳含量应小于 5.0×1016a/cm3 (1ppma)，其测定的依据标准为：GB/T1558-2009 利用红外吸收光谱测量间隙氧的有效范围从 1.0×1016a/cm3到硅中间隙氧的最大固溶度。 3．少子寿命 GB/T1553-2009规定用光电导衰减法不能测量硅单晶抛光片的少子寿命。本方法测量硅单晶的少子寿命单个实验室测量的精密度为±20%。 本方法可以测的最低寿命值为10μs,而最高可测寿命值主要取决于试样的尺寸和抛光的表面。所要求的试样尺寸和最高可测寿命值如下：

家居智能项目计划书

家居智能项目计划书 第一章项目总论 第二章项目建设背景及可行性分析 第三章项目实施进度计划 第四章投资估算与资金筹措 第五章项目经济评价 第六章项目综合评价

第一章项目总论 一、项目基本情况 （一）项目名称 1、项目名称：家居智能项目 （二）项目建设单位 某某有限公司 二、项目拟建地址及用地指标 （一）项目拟建地址 该项目选址在某某工业园区。 （二）项目用地规模 1、该项目计划在某某工业园区建设。 2、项目拟定建设区域属于工业项目建设占地规划区，建设区总用地面积83333.8 平方米（折合约125.0 亩），代征地面积750.0 平方米，净用地面积82583.8 平方米（折合约123.9 亩），土地综合利用率100.0%；项目建设遵循“合理和集约用地”的原则，按照家居智能行业生产规范和要求进行科学设计、合理布局，符合家居智能制造和经营的规划建设需要。 （三）项目用地控制指标 1、该项目实际用地面积82583.8 平方米，建筑物基底占地面积56652.6 平方米，计容建筑面积93237.2 平方米，其中：规划建设生产车间75812.0 平方米，仓储设施面积10405.6 平方米（其中：原辅材料库房6276.4 平

方米，成品仓库4129.2 平方米），办公用房3633.6 平方米，职工宿舍2064.6 平方米，其他建筑面积（含部分公用工程和辅助工程）1321.4 平方米；绿化面积5450.5 平方米，场区道路及场地占地面积20480.8 平方米，土地综合利用面积82583.9 平方米；土地综合利用率100.0%。 2、该工程规划建筑系数68.6%，建筑容积率1.1 ，绿化覆盖率6.6%，办公及生活用地所占比重5.2%，固定资产投资强度3280.5 万元/公顷，场区土地综合利用率100.0%；根据测算，该项目建设完全符合《工业项目建设用地控制指标》（国土资发【2008】24号）文件规定的具体要求。 三、项目背景分析 深化供给侧结构性改革，重构竞争优势。强化创新驱动，推动产、学、研、用协同创新，加快制定智能制造标准体系，开发并推广应用智能制造操作系统，研发具有自主知识产权的工业机器人、增材制造装备、智能传感与控制装备等关键技术装备，全面提升智能制造的产业化水平。鼓励生产和商业模式创新，以消费者为中心，建立“需求定制+大数据营销+参与制造”的“产品+服务”新型生产和商业模式。支持企业建立平台生态圈，通过服务生态化、系统化和产品智能化，创造新的价值增值机会。培育自主品牌和骨干企业，集中资源重点培育一批自主创新能力强、主业突出、产品市场前景好、对产业带动作用大的企业。鼓励企业利用全球创新资源、拓展全球市场，打造强大的智能制造生态系统。完善企业内部价值链管理，增强企业智能化管理能力，建立高效的智能化运营系统。随着《中国制造

智能制造装备项目商业计划书

智能制造装备项目商业计划书 规划设计/投资分析/产业运营

报告摘要 适应智能制造产业发展趋势，发挥湖北现有技术优势和产业基础，瞄 准国内外市场需求，加快推进智能制造装备的技术研发和产业化，积极拓 展应用市场，不断壮大产业规模。到2020年，智能制造装备产业规模提高 到2000亿元。 2017年7月20日，国务院出台《新一代人工智能发展规划》，提出了面向2030年我国新一代人工智能发展的指导思想、战略目标、重点任务和 保障措施。《规划》提出坚持科技引领、系统布局、市场主导、开源开放 的基本原则和三步走的战略目标，部署构筑我国人工智能发展的先发优势，加快建设创新型国家和世界科技强国。 安徽省是全国重要的科教基地，科技人才供给相对充足，为人工智能 产业发展提供了人才保障。以中国科学技术大学、合肥工业大学、安徽大学、中科院合肥物质科学研究院、中国电子科技集团第三十八所、中国科 学技术大学先进技术研究院、合肥工业大学智能制造技术研究院为代表的 高校、科研院所在人工智能领域具有较强的研发和人才培养能力。安徽省 还拥有语音及语言信息处理国家工程实验室、类脑智能技术及应用国家工 程实验室、农业农村部农业物联网技术集成与应用重点实验室、教育部过 程优化与智能决策重点实验室、国家发展改革委智能机器人先进机构与控 制技术国家地方联合工程研究中心以及正在争创的量子信息科学国家实验

室等一批国家科技创新平台，这些创新平台将为安徽省人工智能理论和技 术创新及产业发展提供强大支撑。 人工智能作为新一轮产业变革的核心驱动力，正在深刻改变人类生产 生活方式，推动经济结构调整和社会生产力进步。大力发展人工智能产业，是培育安徽省经济增长新动能、构筑产业竞争新优势的迫切需要，也是推 动创新驱动发展、产业转型升级和社会变革进步的重要途径，对于加快建 设现代化五大发展美好安徽具有重要意义。 该智能制造装备项目计划总投资4302.83万元，其中：固定资产 投资3698.78万元，占项目总投资的85.96%；流动资金604.05万元，占项目总投资的14.04%。 达产年营业收入6038.00万元，净利润955.05万元，达产年纳税 总额573.79万元；达产年投资利润率29.59%，投资利税率35.53%， 投资回报率22.20%，全部投资回收期6.01年，提供就业职位92个。 报告依据国家产业发展政策和有关部门的行业发展规划以及项目 承办单位的实际情况，按照项目的建设要求，对项目的实施在技术、 经济、社会和环境保护、安全生产等领域的科学性、合理性和可行性 进行研究论证；本报告通过对项目进行技术化和经济化比较和分析， 阐述投资项目的市场必要性、技术可行性与经济合理性。

智能电子项目商业计划书

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智能电子项目商业计划书目录 第一章基本情况 第二章项目基本情况 第三章项目市场研究 第四章项目规划分析 第五章工程设计 第六章运营管理模式 第七章建设风险评估分析 第八章 SWOT分析 第九章项目实施进度 第十章投资方案计划 第十一章经济效益 第十二章项目结论

摘要 目前，智能制造装备主要应用于汽车行业及电子行业。以汽车行业为例，根据中国汽车工业协会统计数据，2014年-2017年，我国汽车销量年复合增长率约达7.42%，2017年销量达约2,912万辆，连续八年稳居全球第一。与汽车销量高速增长相对应的是，汽车行业固定资产投资保持稳步增长，统计数据显示，2017年，我国汽车行业固定资产投资额达13,100亿元，同比增长10.2%，高于制造业投资增速5.4个百分点。下游产业投资的稳步增长将进一步带动其对智能制造装备的需求，从而给本行业增长带来有利影响。 该智能电子项目计划总投资10756.32万元，其中：固定资产投资8269.82万元，占项目总投资的76.88%；流动资金2486.50万元，占项目总投资的23.12%。 达产年营业收入18323.00万元，总成本费用14084.63万元，税金及附加195.81万元，利润总额4238.37万元，利税总额5018.78万元，税后净利润3178.78万元，达产年纳税总额1840.00万元；达产年投资利润率39.40%，投资利税率46.66%，投资回报率29.55%，全部投资回收期4.88年，提供就业职位273个。

报告依据国家产业发展政策和有关部门的行业发展规划以及项目承办单位的实际情况，按照项目的建设要求，对项目的实施在技术、经济、社会和环境保护、安全生产等领域的科学性、合理性和可行性进行研究论证；本报告通过对项目进行技术化和经济化比较和分析，阐述投资项目的市场必要性、技术可行性与经济合理性。

智能制造装备项目计划书

智能制造装备项目 计划书 规划设计/投资分析/产业运营

报告说明— 该智能制造装备项目计划总投资9139.52万元，其中：固定资产投资6717.34万元，占项目总投资的73.50%；流动资金2422.18万元，占项目 总投资的26.50%。 达产年营业收入18886.00万元，总成本费用14462.50万元，税金及 附加166.20万元，利润总额4423.50万元，利税总额5199.84万元，税后 净利润3317.63万元，达产年纳税总额1882.22万元；达产年投资利润率48.40%，投资利税率56.89%，投资回报率36.30%，全部投资回收期4.25年，提供就业职位319个。 我国已经成为世界工厂，制造业是我国的支柱产业，但与发达国家的 技术差异使我国只能从事劳动密集型产业，效率低、利润少。所以智能制 造装备是制造业转型升级的关键。因为智能制造装备系统的主要特征体现 了制造业生产的智能化，意味着从本质上提高生产效率，我国也将大力发展。未来，智能制造装备行业也将向自动化发展，自动化工厂建设是趋势。

目录 第一章项目概论 第二章建设单位基本信息第三章项目建设必要性分析第四章产品规划及建设规模第五章项目选址方案 第六章土建工程分析 第七章工艺说明 第八章项目环保分析 第九章项目生产安全 第十章风险评价分析 第十一章节能评估 第十二章实施计划 第十三章投资情况说明 第十四章项目经济收益分析第十五章综合结论 第十六章项目招投标方案

第一章项目概论 一、项目提出的理由 我国已经成为世界工厂，制造业是我国的支柱产业，但与发达国家的 技术差异使我国只能从事劳动密集型产业，效率低、利润少。所以智能制 造装备是制造业转型升级的关键。因为智能制造装备系统的主要特征体现 了制造业生产的智能化，意味着从本质上提高生产效率，我国也将大力发展。未来，智能制造装备行业也将向自动化发展，自动化工厂建设是趋势。 二、项目概况 （一）项目名称 智能制造装备项目 （二）项目选址 xxx经济新区 对各种设施用地进行统筹安排，提高土地综合利用效率，同时，采用 先进的工艺技术和设备，达到“节约能源、节约土地资源”的目的。 （三）项目用地规模 项目总用地面积23244.95平方米（折合约34.85亩）。 （四）项目用地控制指标

直拉硅单晶的氧和碳

直拉硅单晶的氧和碳 直拉硅单晶中的氧和碳是一类很重要的杂质，氧和碳在直拉单晶中，可能形成微沉淀，可能在微沉淀基础上形成微缺陷，严重影响单晶质量，影响大规模集成电路性能和制造。 氧原子在硅单晶中大部以间隙原子状态存在，成Si-O-Si状态或SiO 2和SiO 4 状态，熔点 时，氧在固态硅的溶解度为(2.75±0.15)×1018/cm3，在熔硅中的溶解度为（2.20±0.15)× 1018/cm3。直拉硅单晶的氧主要来源于多晶硅，它的含氧量一般为1016/cm3~1017/cm3数量级，而直拉单晶硅中的氧含量一般在6×1017/cm3~2×1018/cm3，可见，单晶生长过程中有大量的氧进入。 石英坩埚对硅单晶的氧沾污非常严重，在1420℃以上高温下，硅熔体和石英坩埚进行化学反应： Si(熔体)+SiO 2 (固体)=2SiO 反应结果，石英坩埚上生成一层固体一氧化硅，并不断溶解于熔硅中，生成一氧化硅气体也会溶解于熔硅，使熔硅氧浓度增高。 氩气氛下拉晶时，氩气中的氧会以不同形成溶入熔硅中，使硅单晶氧浓度增高。 直拉硅单晶一般单晶并没有部氧浓度高，尾部氧浓度低，单晶新面中心氧浓度高，边缘氧浓度低。硅单晶的这种氧浓度分布既受坩埚污染影响，也受拉晶时氧蒸发和氧分凝效应影响。坩埚中熔硅虽然离坩埚壁越近氧浓度越高，但在拉晶过程中，被单晶覆盖的熔硅氧不能蒸发，其余部分氧蒸发较快，在熔硅对流作用下，形成单晶中氧含量边缘高中心低的现象。氧在硅中的平衡分凝系数一般认为是1.25，这很容易解释硅单晶头部含氧高尾部含氧低的事实。但是，从硅氧二元相图看，氧在硅中的平衡分凝系数应该小于1，这和一般认为氧在硅中平衡分凝系数等于1.25相矛盾。氧在单晶中分布呈并没有部高尾部低现象可以这样解释： 由于多晶硅熔化时温度高，硅和石英坩埚（SiO 2 ）反应激烈，大量的硅氧物进入熔硅，它们比重小，浮于熔硅上部，使得生长的单晶氧含量头部高，单晶在以后生长中，虽然硅和石英坩埚继续反应生成硅氧物进入熔硅，但由于温度较低反应缓慢，而且由于晶体和坩埚转动搅拌熔体中氧蒸发作用增强，使单晶尾部氧含量降低。另外由于目前都是测量硅中的间隙氧，不是全部氧，因此也会出现差异。总之，氧在硅单晶中行为复杂，一些现象还不甚清楚。目前对硅单晶中氧的作用认为既有害，也有利。氧在硅单晶中形成氧沉淀，产生微缺陷和氧条纹，影响单晶质量也可以利用硅单晶含氧高的特点制造某些大规模集成电路，化害为利。

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智能项目商业计划书模板规范版 Smart project business plan template specification 汇报人：JinTai College

智能项目商业计划书模板规范版 前言：本文档根据题材书写内容要求展开，具有实践指导意义，适用于组织或个人。便于学习和使用，本文档下载后内容可按需编辑修改及打印。 有建筑的地方就有智能家居市场：酒店厂房楼宇住家 小区学校，甚至养殖场都可以成为家居的目标市场，进入 20xx年，行业进入群雄逐鹿的阶段，各种渠道家居如雨后春 笋层出不穷，犹如当年的手机市场一样，可见这块蛋糕之大，难以想象，接下来中金产业研究网就带大家来分析行业的现状。 一、智能家居行业发展现状 20xx年初，作为消费电子风向标的CES展上智能家居成 为了最大的看点。众多企业开始布局智能家居市场，互联网企业、家电企业、地产企业之间更是频频跨界合作，使得智能家居行业成为大众的焦点。 根据智能家居相关报告， 20xx年中国智能家居市场规模将达到3000亿元，同比增长31.4%。 20xx-20xx年中国智能家居市场规模走势 20xx年中国智能电视20xx年销售量达3400万台，销售 额达xx50亿元，销售量同比增长30.7%，销售额同比增长

31.5%。截止20xx年年底，中国智能电视保有量达1亿台，当年渗透率达73%，较20xx年提高了xx个百分点。 互联网企业成为竞争主力 智能家居囊括的产业很多，有软件开发、硬件制造、服务、销售等等，产业链长，产品种类众多，单一企业难以独占市场。各大智能家居平台为增强自身的竞争力，纷纷开放平台吸引各类相关企业来搭建自己的智能家居生态圈，平台化竞争开启。 互联网智能化技术尚不成熟 目前，xx亿人口的中国拥有1亿多潜在智能家居家庭客户，这个群体相当于大半个欧洲，构成了一个巨大的、时尚的市场。在这个市场中，平均每家每年花费1000元，就有1000 亿元的市场。事实上，市场调查数据表明，属于感性和持继性消费群体，每年在家居方面的支出人均远远不止1000元。 20xx-20xx年中国智能家居行业市场规模及预测 在经历“十二五”战略规划后，相信在20xx年后，智能 家居市场能迎来快速发展时期，年复合增长率将一举突破20%，甚至更高。

智能装备项目合作计划书

智能装备项目合作计划书 第一章项目概况 一、项目承办单位基本情况 （一）公司名称 xxx科技发展公司 （二）公司简介 公司一直秉承“坚持原创，追求领先”的经营理念，不断创造令客户 惊喜的产品和服务。本公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚 持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。公司坚持“责任+爱心”的服务理念，将诚信经营、诚信服务作为企业立世之本，在服务社会、方 便大众中赢得信誉、赢得市场。“满足社会和业主的需要，是我们不懈的 追求”的企业观念，面对经济发展步入快车道的良好机遇，正以高昂的热 情投身于建设宏伟大业。公司是一家集研发、生产、销售为一体的高新技 术企业，专注于产品，致力于产品的设计与开发，各种生产流水线工艺的 自动化智能化改造，为客户设计开发各种产品生产线。 公司坚持走“专、精、特、新”的发展道路，不断推动转型升级，使 产品在全球市场拥有一流的竞争力。公司能源计量是企业实现科学管理的

基础性工作，没有完善而准确的计量器具配置，就不能为企业能源消费的 各个环节提供可靠的数据，能源计量工作也是评价一个企业管理水平的一 项重要标志；项目承办单位依据ISO10012-1标准建立了完善的计量检测体系，并通过审核认证；随后又根据国家质检总局、国家发改委《关于加强 能源计量工作的实施意见》以及xx省质监局《关于加强全省能源计量工作 的通知》的文件精神，依据国家《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（GB17176-2006）的要求配备了计量器具并实行量化管理；项目承办单位 已经建立了“能源量化管理体系”并通过了当地质量技术监督局组织的评 审认证，该体系的建立，进一步强化了项目承办单位对能源计量仪器（设备）的管理力度，实现了以量化管理促节能，提高了能源计量数据的真实性、准确性，凭借着不断完善的能源量化体系，实现了对各计量数据进行 日统计、周分析、月汇总、年总结，通过能源计量数据的有效采集、处理、分析、控制，真实反映了项目承办单位能源消费的实际状态，为节能降耗、保护环境、提高企业的市场竞争力，做出了积极的贡献，从而大大提高了 项目承办单位的能源综合管理水平。 公司以生产运行部、规划发展部等专业技术人员为主体，依托各单位 生产技术人员，组建了技术研发团队。研发团队现有核心技术骨干十余人，均有丰富的科研工作经验及实践经验。贯彻落实创新驱动发展战略，坚持 问题导向，面向未来发展，服务公司战略，制定科技创新规划及年度实施

直拉法单晶硅生长技术的现状

直拉法单晶硅生长技术的现状 摘要 综述了制造集成电路（IC）用直拉硅单晶生长的现状与发展。对大直径生长用磁场拉晶技术，硅片中缺陷的控制与利用（缺陷工程），大直径硅中新型原生空位型缺陷，硅外延片与SOI片，太阳电池级硅单和大直径直拉硅生长的计算机模拟，硅熔体与物性研究等进行了论述。 关键词：直拉硅单晶；扩散控制；等效微重力；空洞型缺陷；光电子转换效率；硅熔体结构 一、光伏产业的发展趋势，及对硅材料的前景要求，直拉法单晶硅生长技术是现在主流生长技术之一 光伏产业，是一种利用太阳能电池直接把光能转换为电能的环保型新能源产业。由于从太阳光能转换成电能的光电转换装置，是利用半导体器件的“光生伏打效应”原理进行光电转换的，因此把与太阳能发电系统构成链条关系的产业称为光伏产业。光伏产业的链条，包括：硅矿-硅矿石（石英砂）-工业硅（也称金属硅）-多晶硅、单晶硅-晶圆或多晶硅切片-太阳能电池-组件-发电系统。工业硅的纯度，一般为98-99.99%；太阳能级硅的纯度，一般要求在6N级即99.9999%以上。 与其他常规能源相比，光伏发电具有明显的优越性：一是高度的清洁性，发电过程中无损耗、无废物、无废气、无噪音、无毒害、无污染，不会导致“温室效应”和全球性气候变化；二是绝对的安全性，利用太阳能发电，对人、动物、植物无任何伤害或损害；三是普遍的实用性，不需开采和运输，使用方便，凡是有太阳照射的地方就能实现光伏发电，可广泛用于通信。交通、海事、军事等各个领域，上至航天器，下至家用电器，大到兆瓦级电站，小到玩具，都能运行光

伏发电；四是资源的充足性，太阳能是一种取之不尽用之不竭的自然能源。据计算，仅一秒钟发出的能量就相当于1.3亿亿吨标准煤燃烧时所放出的热量。而到达地球表面的太阳能，大约相当于目前全世界所有发电能力总和的20万倍。地球每天接收的太阳能，相当于全球一年所消耗的总能量的200倍。人类只要利用太阳每天光照的5%，就可以解决和满足全球所需能源。正因为如此，加上由于传统的化石能源是不可再生资源，越来越接近枯竭，世界各国越来越达成必须加快发展新的替代能源的共识，从而加大了政策扶持的力度，世界光伏产业呈现出蓬勃发展的势头，光伏产业正在向大批量生产和规模化应用发展，其运用几乎遍及所有用电领域。 从整体来看，世界各国对太阳能光伏发电的政策扶持力度在逐年加大。各国的补贴政策主要分为两类：一类是对安装光伏系统直接进行补贴，如日本；另一类是对光伏发电的上网电价进行设定，如德国、西班牙等国。而美国加利福尼亚州，则是将两种政策混合执行。 光伏科技的进步，使光电转换效率不断提高、光能发电成本不断降低。技术进步是降低光伏发电成本，提高光能利用效率、促进光伏产业和市场发展的重要因素。几十年来围绕着降低成本的各种研究开发项工作取得了显著成就，表现在电池效率不断提高。硅片厚度持续降低、产业化技术不断改进等方面，对降低光伏发电成本起到了决定性的作用。 多晶硅是太阳能电池必不可少的基础材料，其占到太阳能电池成本的80%，每生产1兆瓦太阳能电池需要12-14吨多晶硅。多晶硅主要采用化学提纯、物理提纯两种方法进行生产，其中化学提纯方法主要有西门子法（气象沉淀反应法）、硅烷热分解法、流态化床法，物理提纯方法主要有区域熔化提纯法（FZ）、定向凝固多晶硅锭法（筹造法）等等。 二、直拉法单晶生长技术的机械设备 上海汉虹的FT-CZ2008A、FT-CZ2208AE、FT-CZ2208A，西安理工大学的TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR85A-ZJS、TDR95A-ZJS、TDR112A-ZJS，美国KAYEXCG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg,以及其他厂家的

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智能商业计划书 篇一：智能手环商业计划书 gfsdg 篇二：智能家居商业计划书 商 业 计 划 书 XX年01月28日编制 商业计划书 【主联系人】 【电话号码】 【电子邮件】 【地址】 【邮政编码】【保密须知】 本《商业计划书》内容属商业机密，所有权属于。其所涉及的内容和资料只限于投资公司的投资者使用。收到本计划书后，（投资者）请在7个工作日内予以回复，确认立项与否，并遵守以下的规定： 1. 若请按上述地址尽快将本计划书完整退回； 2. 未经本公司许可，部分地传递给他人；

3. 贵公司应该像对待本公司机密资料一样对待本《商业计划书》所提供的所有机密资 料；本《商业计划书》所涉及的项目投资与管理内容均可具体协商。 申请公司（签章）： 公司负责人（签字）： 申请日期：XX年月日 目录 一、基本情况 ................................................ ................................................... (4) 二、商业模式 ................................................ ................................................... (9) （一）构成 ................................................ ................................................... .. 9 （二）外部影响因素 ................................................

人工智能产业园项目投资计划书

人工智能产业园项目投资计划书 xxx科技发展公司

摘要说明— 立足“两地”。依托芜湖和马鞍山战略性新兴产业集聚发展基地，打 造智能工业机器人和特种机器人产业集聚区。立足两地工业基础，实施机 器人智能化升级改造，形成特色鲜明的智能工业机器人和智能特种机器人 生产基地，并向其他智能装备产业延伸。 人工智能作为新一轮产业变革的核心驱动力，正在深刻改变人类生产 生活方式，推动经济结构调整和社会生产力进步。大力发展人工智能产业，是培育安徽省经济增长新动能、构筑产业竞争新优势的迫切需要，也是推 动创新驱动发展、产业转型升级和社会变革进步的重要途径，对于加快建 设现代化五大发展美好安徽具有重要意义。 人工智能作为新一轮产业变革的核心驱动力，正在深刻改变人类生产 生活方式，推动经济结构调整和社会生产力进步。大力发展人工智能产业，是培育安徽省经济增长新动能、构筑产业竞争新优势的迫切需要，也是推 动创新驱动发展、产业转型升级和社会变革进步的重要途径，对于加快建 设现代化五大发展美好安徽具有重要意义。 该人工智能设备项目计划总投资9236.87万元，其中：固定资产投资7901.74万元，占项目总投资的85.55%；流动资金1335.13万元，占项目 总投资的14.45%。

达产年营业收入12358.00万元，总成本费用9408.45万元，税金及附加178.78万元，利润总额2949.55万元，利税总额3535.16万元，税后净利润2212.16万元，达产年纳税总额1323.00万元；达产年投资利润率31.93%，投资利税率38.27%，投资回报率23.95%，全部投资回收期5.68年，提供就业职位211个。 报告内容：项目基本信息、项目建设必要性分析、市场调研预测、产品规划及建设规模、项目选址评价、建设方案设计、工艺先进性分析、项目环境保护和绿色生产分析、项目安全卫生、项目风险评估、节能、计划安排、投资情况说明、经济收益、总结评价等。 泓域咨询规划设计/投资分析/产业运营

温州智能制造项目商业计划书

温州智能制造项目商业计划书 规划设计/投资方案/产业运营

报告摘要 随着中国经济的起飞，自上世纪末本世纪初，经过近二十年的发展， 国内自助售货机行业发展态势良好。据不完全统计，我国自助售货机主要 分布在北京、上海、广州、深圳、大连、杭州、浙江等沿海发达地区。由 于自助售货机的灵活性和经营成本低等优势，广受消费者和商家的欢迎。 自助售货机行业发展潜力巨大，市场空间广阔。 目前我国约有90%的自助售货机管理主要由自助售货机运营商运营，其余10%自助售货机由饮料品牌商或者由某些使用者自行运营。全国性的运营商在10家左右，区域性的小型运营商有30-40家。全国性的运营商主要有：友宝、米源、银海之星、苏州乐美、广州富宏等。除贩售商品外，广告业 务是国内运营商正积极摸索的新型盈利模式。 该自动售货机项目计划总投资15310.43万元，其中：固定资产投 资13384.73万元，占项目总投资的87.42%；流动资金1925.70万元，占项目总投资的12.58%。 达产年营业收入17770.00万元，净利润2952.20万元，达产年纳 税总额1797.67万元；达产年投资利润率25.71%，投资利税率31.02%，投资回报率19.28%，全部投资回收期6.69年，提供就业职位366个。

温州智能制造项目商业计划书目录 第一章概论 第二章背景和必要性研究 第三章市场研究分析 第四章项目建设方案 第五章项目工程设计研究 第六章运营管理模式 第七章风险应对评价分析 第八章 SWOT分析 第九章实施方案 第十章投资方案说明 第十一章经济收益分析 第十二章综合评估

第一章概论 一、项目名称及建设性质 （一）项目名称 温州智能制造项目 （二）项目建设性质 该项目属于新建项目，依托xxx经济开发区良好的产业基础和创新氛围，充分发挥区位优势，全力打造以自动售货机为核心的综合性产业基地，年产值可达18000.00万元。 二、项目承办单位 xxx公司 三、战略合作单位 xxx有限责任公司 四、项目建设背景 自动售货机是能根据投入的钱币自动付货的机器。自动售货机是商业自动化的常用设备，它不受时间、地点的限制，能节省人力、方便交易。是一种全新的商业零售形式，被称为24小时营业的微型超市,所以又有永不下班的超市之称，售货机大致分为三种：饮料自动售货机、食品自动售货机、综合自动售货机。

智能家电项目计划书

智能家电项目计划书 第一章基本信息 一、项目承办单位基本情况 （一）公司名称 xxx有限责任公司 （二）公司简介 在本着“质量第一，信誉至上”的经营宗旨，高瞻远瞩的经营方针，不断创新，全面提升产品品牌特色及服务内涵，强化公司形象，立志成为全国知名的产品供应商。公司始终坚持“人本、诚信、创新、共赢”的经营理念，以“市场为导向、顾客为中心”的企业服务宗旨，竭诚为国内外客户提供优质产品和一流服务，欢迎各界人士光临指导和洽谈业务。 公司秉承以市场的为导向，坚持自主创新、合作共赢。同时，以产业经营为主体，以技术研究和资本经营为两翼，形成“产业+技术+资本”相生互动、良性循环的业务生态效应。公司实行董事会领导下的总经理负责制，推行现代企业制度，建立了科学灵活的经营机制，完善了行之有效的管理制度。项目承办单位组织机构健全、管理完善，遵循社会主义市场经济运行机制，严格按照《中华人民共和国公司法》依法独立核算、自主开

展生产经营活动；为了顺应国际化经济发展的趋势，项目承办单位全面建 立和实施计算机信息网络系统，建立起从产品开发、设计、生产、销售、 核算、库存到售后服务的物流电子网络管理系统，使项目承办单位与全国 各销售区域形成信息互通，有效提高工作效率，及时反馈市场信息，为项 目承办单位的战略决策提供有利的支撑。 公司近年来的快速发展主要得益于企业对于产品和服务的前瞻性研发 布局。公司所属行业对产品和服务的定制化要求较高，公司技术与管理团 队专业和稳定，对行业和客户需求理解到位，以及公司不断加强研发投入，保证了产品研发目标的实施。未来，公司将坚持研发投入，稳定研发团队，加大研发人才引进与培养，保证公司在行业内的技术领先水平。为实现公 司的战略目标，公司在未来三年将进一步坚持技术创新，加大研发投入， 提升研发设计能力，优化工艺制造流程；扩大产能，提升自动化水平，提 高产品品质；在巩固现有业务的同时，积极开拓新客户，不断提升产品的 市场占有率和公司市场地位；健全人才引进和培养体系，完善绩效考核机 制和人才激励政策，激发员工潜能；优化组织结构，提升管理效率，为公 司稳定、快速、健康发展奠定坚实基础。公司凭借完整的产品体系、较强 的技术研发创新能力、强大的订单承接能力、快速高效的资源整合能力， 形成了为客户提供整体解决方案的业务经营模式。经过多年的发展，公司 产品已覆盖全国各省市。公司与国内多家知名厂商的良好关系为公司带来

南宁智能制造项目商业计划书

南宁智能制造项目商业计划书 规划设计/投资分析/产业运营

报告摘要 随着中国经济的起飞，自上世纪末本世纪初，经过近二十年的发展， 国内自助售货机行业发展态势良好。据不完全统计，我国自助售货机主要 分布在北京、上海、广州、深圳、大连、杭州、浙江等沿海发达地区。由 于自助售货机的灵活性和经营成本低等优势，广受消费者和商家的欢迎。 自助售货机行业发展潜力巨大，市场空间广阔。 目前我国约有90%的自助售货机管理主要由自助售货机运营商运营，其余10%自助售货机由饮料品牌商或者由某些使用者自行运营。全国性的运营商在10家左右，区域性的小型运营商有30-40家。全国性的运营商主要有：友宝、米源、银海之星、苏州乐美、广州富宏等。除贩售商品外，广告业 务是国内运营商正积极摸索的新型盈利模式。 该自动售货机项目计划总投资12221.56万元，其中：固定资产投 资9368.18万元，占项目总投资的76.65%；流动资金2853.38万元， 占项目总投资的23.35%。 达产年营业收入23636.00万元，净利润3641.09万元，达产年纳 税总额2099.62万元；达产年投资利润率39.72%，投资利税率46.97%，投资回报率29.79%，全部投资回收期4.86年，提供就业职位465个。

南宁智能制造项目商业计划书目录 第一章项目总论 第二章项目建设背景分析 第三章市场研究 第四章项目规划分析 第五章项目工程方案 第六章运营管理模式 第七章项目风险说明 第八章 SWOT分析 第九章进度说明 第十章投资可行性分析 第十一章经济收益分析 第十二章综合结论

第一章项目总论 一、项目名称及建设性质 （一）项目名称 南宁智能制造项目 （二）项目建设性质 该项目属于新建项目，依托xx产业集聚区良好的产业基础和创新氛围，充分发挥区位优势，全力打造以自动售货机为核心的综合性产业基地，年产值可达24000.00万元。 二、项目承办单位 xxx公司 三、战略合作单位 xxx实业发展公司 四、项目建设背景 自动售货机是能根据投入的钱币自动付货的机器。自动售货机是商业自动化的常用设备，它不受时间、地点的限制，能节省人力、方便交易。是一种全新的商业零售形式，被称为24小时营业的微型超市,所以又有永不下班的超市之称，售货机大致分为三种：饮料自动售货机、食品自动售货机、综合自动售货机。

智能家居项目计划书

智能家居项目计划书 投资分析/实施方案

智能家居项目计划书 信息技术的快速发展给人们的生活带来了巨大的改变，智能家居就是 在互联网影响之下物联化的体现。近年来，我国传统刚需类家电消费增长 乏力，而智能家居以其智能化、便捷化的家居体验逐渐占领消费者的心智，成为家居市场的新宠儿。目前，我国智能家居作为物联网应用落地较为成 熟的领域，产品种类不断丰富，市场规模迅速扩张。 该智能家居项目计划总投资7332.87万元，其中：固定资产投资 6318.90万元，占项目总投资的86.17%；流动资金1013.97万元，占项目 总投资的13.83%。 达产年营业收入7891.00万元，总成本费用6056.50万元，税金及附 加132.09万元，利润总额1834.50万元，利税总额2219.62万元，税后净 利润1375.88万元，达产年纳税总额843.75万元；达产年投资利润率 25.02%，投资利税率30.27%，投资回报率18.76%，全部投资回收期6.83年，提供就业职位153个。 本报告是基于可信的公开资料或报告编制人员实地调查获取的素材撰写，根据《产业结构调整指导目录（2011年本）》（2013年修正）的要求，依照“科学、客观”的原则，以国内外项目产品的市场需求为前提，大量 收集相关行业准入条件和前沿技术等重要信息，全面预测其发展趋势；按

照《建设项目经济评价方法与参数（第三版）》的具体要求，主要从技术、经济、工程方案、环境保护、安全卫生和节能及清洁生产等方面进行充分 的论证和可行性分析，对项目建成后可能取得的经济效益、社会效益进行 科学预测，从而提出投资项目是否值得投资和如何进行建设的咨询意见， 因此，该报告是一份较为完整的为项目决策及审批提供科学依据的综合性 分析报告。 ......

人工智能项目商业计划书

人工智能项目 商业计划书 泓域咨询 规划设计/投资分析/产业运营

报告摘要 培育人工智能产业生态，促进人工智能在经济社会重点领域推广应用，打造国际领先的技术体系。加快人工智能支撑体系建设。推动类脑研究等 基础理论和技术研究，加快基于人工智能的计算机视听觉、生物特征识别、新型人机交互、智能决策控制等应用技术研发和产业化，支持人工智能领 域的基础软硬件开发。加快视频、地图及行业应用数据等人工智能海量训 练资源库和基础资源服务公共平台建设，建设支撑大规模深度学习的新型 计算集群。鼓励领先企业或机构提供人工智能研发工具以及检验评测、创 业咨询、人才培养等创业创新服务。 积极建立国际合作机制，推动签署落实政府间新兴产业和创新领域合 作协议。推动双边互认人员资质、产品标准、认证认可结果，参与国际多 边合作互认机制。以发达国家和“一带一路”沿线国家为重点，建设双边 特色产业国际合作园区，引导龙头企业到海外建设境外合作园区。创新合 作方式，提升重点领域开放合作水平。加强国际科技成果转化和孵化、人 才培训等公共服务体系建设。 战略性新兴产业代表新一轮科技革命和产业变革的方向，是培育发展 新动能、获取未来竞争新优势的关键领域。“十三五”时期，要把战略性 新兴产业摆在经济社会发展更加突出的位置，大力构建现代产业新体系， 推动经济社会持续健康发展。

要加快培育和发展战略性新兴产业，必须把科技创新作为中心环节， 把市场需求作为重要拉动力量，把国际化发展作为必要的条件，着力提升 产业核心竞争力、营造良好市场环境、提高国际化发展水平。 该人工智能设备项目计划总投资4922.45万元，其中：固定资产 投资3840.60万元，占项目总投资的78.02%；流动资金1081.85万元，占项目总投资的21.98%。 达产年营业收入8065.00万元，净利润1470.50万元，达产年纳 税总额848.66万元；达产年投资利润率39.83%，投资利税率47.11%，投资回报率29.87%，全部投资回收期4.85年，提供就业职位148个。 报告目的是对项目进行技术可靠性、经济合理性及实施可能性的 方案分析和论证，在此基础上选用科学合理、技术先进、投资费用省、运行成本低的建设方案，最终使得项目承办单位建设项目所产生的经 济效益和社会效益达到协调、和谐统一。

智能制造解决方案商业计划书

智能制造解决方案商业计划书

目录 第一章摘要 (1) 第二章某公司简介 (14) 第三章某公司管理分析 (21) 第四章智能制造行业发展分析 (29) 第五章LED照明行业及市场分析 (43) 第六章某公司产品及核心技术介绍 (56) 第七章项目盈利模式分析 (65) 第八章运营和竞争策略 (67) 第九章财务预测与分析 (76) 第十章项目融资分析 (81) 第十一章社会及经济效益评价 (85) 第十二章风险因素及防范措施分析 (88) 附表 (93)

第一章摘要 一、公司概况 某公司（以下简称AD照明）始建于1987年，注册资金5000万元，拥有5.2万平方米生产厂房及研发基地，是一家科技创新为先导，掌握核心技术、拥有自主知识产权、自主品牌的专业照明产品解决方案提供商。AD品牌是国内建照明领域的领先品牌。 目前，公司还拥有超过100项授权的知识产权成果，包括了发明专利3项、软件著作权和实用新型专利60多项；2013年新申请发明专利41项、实用新型专利46项。核心技术为公司提倡以“智慧之光创造空间价值”的经营理念提供了有力的支撑，近几年大力推动技术创新和模式创新，历经多次转型升级，已从一家代工型传统制造企业转型为一家具高科技创新能力的照明解决方案提供商；公司打造的出色科技创新能力，并结合以客户价值为核心的新的系统销售模式也使公司跳出了仅仅靠同质化产品竞争的红海，形成独特的核心竞争力。 二、某公司竞争优势分析 公司具有“一颗芯片，两套系统”等领先的技术优势，即“指挥家Conductor”——基于互联网的城市LED照明智能控制系统；“银河系Galaxy”——基于集中供电技术的直流载波多网融合无极调控LED路灯智能控制系统；“星座Constellation”——IC LED光电一体

人工智能项目商业计划书

人工智能项目商业计划书 （项目可行性报告） 中金企信国际咨询公司拥有10余年项目商业计划书撰写经验(注：与项目可行性报告同期开展的业务板块)，拥有一批高素质编写团队，为各界客户提供实效的材料支持。 商业计划书撰写目的 商业策划书，也称作商业计划书，目的很简单，它就是创业者手中的武器，是提供给投资者和一切对创业者的项目感兴趣的人，向他们展现创业的潜力和价值，说服他们对项目进行投资和支持。因此，一份好的商业计划书，要使人读后，对下列问题非常清楚：（1、公司的商业机会。2、创立公司，把握这一机会的进程。3、所需要的资源。4、风险和预期回报。 5、对你采取的行动的建议 6、行业趋势分析。） 撰写商业计划书的七项基本内容 一、项目简介 二、产品/服务 三、开发市场 四、竞争对手 五、团队成员 六、收入 七、财务计划 商业策划书用途 1、沟通工具 2、管理工具 3、承诺工具 相关报告 行业研究报告、市场调查报告、产业分析报告

项目立项可行性报告 资金申请可行性报告 市场研究预测报告 专项调查报告 市场投资前景报告 市场行情监测报告 竞争格局分析预测报告 上下游产业链研究报告 投融资可行性报告 编撰商业计划书所需材料清单（根据具体项目要求进行提供） 1、企业简介、企业历史变革以及股东情况，管理团队简历；项目组织机构简介； 2、项目介绍； 3、企业营销策略； 4、项目商业模式； 5、企业近三年财务年度报表及财务分析报告；年度审计报告；企业相关财务评价资料； 6、项目投资金额及融资计划； 7、资金使用规划，预期收入及投资回报率； 8、企业未来战略规划。 由于商业计划书（项目可行性报告）属于订制报告，以下报告目录仅供参考，成稿目录可能根据客户需求和行业分类有所变化。 第一章摘要 1.1 项目基本信息 1.2 市场前景 1.3 资金筹措 第二章项目概况 2.1 建设环境