几种常见气体传感器的研究进展

几种常见气体传感器的研究进展

李冬梅; 黄元庆; 张佳平; 张鑫; 辜克兢

【期刊名称】《《传感器世界》》

【年(卷),期】2006(012)001

【摘要】气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛.简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和可燃性气体(氢气、甲烷)的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍,同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望.【总页数】6页(6-11)

【关键词】敏感材料; 气体传感器; 有毒气体; 可燃性气体; MEMS技术

【作者】李冬梅; 黄元庆; 张佳平; 张鑫; 辜克兢

【作者单位】厦门大学机电工程系

【正文语种】中文

【中图分类】TP212.2

【相关文献】

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