文档库 最新最全的文档下载
当前位置:文档库 › 半导体基础知识

半导体基础知识

半导体基础知识
半导体基础知识

外延基础知识

一、基本概念

能级:电子是不连续的,其值主要由主量子数N决定,每一确定能量值称为一个能级。

能带:大量孤立原子结合成晶体后,周期场中电子能量状态出现新特点:孤立原子原来一个能级将分裂成大量密集的能级,构成一相应的能带。(晶体中电子能量状态可用能带描述)

导带:对未填满电子的能带,能带中电子在外场作用下,将参与导电,形成宏观电流,这样的能带称为导带。价带:由价电子能级分裂形成的能带,称为价带。(价带可能是满带,也可能是电子未填满的能带)

直接带隙:导带底和价带顶位于K空间同一位置。

间接带隙:导带底和价带顶位于K空间不同位置。

同质结:组成PN结的P型区和N型区是同种材料。(如红黄光中的:GaAs上生长GaAs,蓝绿光中:U(undope)-GaN上生长N(dope)- GaN)

异质结:两种晶体结构相同,晶格常数相近,但带隙宽度不同的半导体材料生长在一起形成的结,称为异质结。(如蓝绿光中:GaN上生长Al GaN)

超晶格(superlatic):由两种或两种以上组分不同或导电类型各异的超薄层(相邻势阱内电子波函数发生交迭)的材料,交替生长形成的人工周期性结构,称为超晶格材料。

量子阱(QW):通常把势垒较厚,以致于相邻电子波函数不发生交迭的周期性结构,称为量子阱(它是超晶格的一种)。

二、半导体

1.分类:元素半导体:Si 、Ge

化合物半导体:GaAs、InP、GaN(Ⅲ-Ⅴ)、ZnSe(Ⅱ-Ⅵ)、SiC

2.化合物半导体优点:

a.调节材料组分易形成直接带隙材料,有高的光电转换效率。(光电器件一般选用直接带隙材料)

b.高电子迁移率。

c.可制成异质结,进行能带裁减,易形成新器件。

3.半导体杂质和缺陷

杂质:替位式杂质(有效掺杂)

间隙式杂质

缺陷:点缺陷:如空位、间隙原子

线缺陷:如位错

面缺陷:(即立方密积结构里夹杂着少量六角密积)如层错

4.外延技术

LPE:液相外延,生长速率快,产量大,但晶体生长难以精确控制。(普亮LED常用此生长方法)

MOCVD(也称MOVPE):Metal Organic Chemical Vapour Deposition金属有机汽相淀积,精确控制晶体生长,重复性好,产量大,适合工业化大生产。

HVPE:氢化物汽相外延,是近几年在MOCVD基础上发展起来的,适应于Ⅲ-Ⅴ氮化物半导体薄膜和超晶格外延生长的一种新技术。生长速率快,但晶格质量较差。

MBE:分子束外延,可精确控制晶体生长,生长出的晶体异常光滑,晶格质量非常好,但生长速率慢,难以用于工业化大生产。

三、MOCVD设备

1.发展史:国际上起源于80年代初,我国在80年代中(85年)。

国际上发展特点:专业化分工,我国发展特点:小而全,小作坊式。

技术条件:a.MO源:难合成,操作困难。

b.设备控制精度:流量及压力控制

c.反应室设计:Vecco:高速旋转

Aixtron:气浮式旋转

Tomax Swan :CCS系统(结合前两种设备特点)

Nichia:双流式

2.MOCVD组成

常用MO源:TMGa(三甲基镓,液态)

TMAl(三甲基铝,液态)

TMIn(三甲基铟,固态,现已有液态)

TEGa(三乙基镓,液态)

Cp2Mg(二茂基镁,固态,现已有液态)

载气为纯度很高(99.999999%)的氢气和氮气

特气:高纯度(99.9999%)的AsH3(砷烷,液态)PH3(磷烷,液态)Si2H6(乙硅烷,气态)(前三种为红黄光生产使用)NH3(氨气,液态)SiH4(硅烷,气态)(后两种为蓝绿光生产使用)

气控单元:主要由MFC(流量计)、PC(压力计)和一些管道组成,用于气体的控制和输送。

控制单元:根据PC机输入的生长程序,对工艺进行控制。

反应室:a.按压力分可分为常压反应室(如Nichia公司的设备)和低压反应室(如Veeco和Aixtron公司的设备)。两者区别:气体流速。低压反应室优点:气体切换快,停滞层薄,预反应小,界面转换快。B.按形状分:水平式(Aixtron)、立式(Vecco和Tomax Swan)、桶式(常用于Si外延)和双流式(Nichia)。

衬底:红黄光生长用GaAs(砷化镓),蓝绿光生长用Al2O3(蓝宝石)(最通用)、SiC(Cree)和GaAs(砷化镓)、Si(硅)(后两种仍处于实验室阶段)等。

尾气处理器:主要用于生长后的废气处理,使其达到无污染排放。红黄光生长产生尾气用化学尾气处理器处理,蓝绿光生长产生的尾气用湿法尾气处理器处理。

四、LED的MOCVD外延生长

1.基本反应:

红黄光:TMGa+AsH3 GaAs+CH4

TMGa+PH3 GaP+CH4

蓝绿光:TMGa+ NH3 GaN+CH4

反应特点:a.远离化学平衡:Ⅴ/Ⅲ>>1

b.晶体生长速率主要由Ⅲ族元素决定

2.外延层结构及生长过程

(1)红黄光LED

半导体器件工艺基础知识

半导体基础知识和半导体器件工艺 第一章半导体基础知识  通常物质根据其导电性能不同可分成三类。第一类为导体,它可以很好的传导电流,如:金属类,铜、银、铝、金等;电解液类:NaCl水溶液,血液,普通水等以及其它一些物体。第二类为绝缘体,电流不能通过,如橡胶、玻璃、陶瓷、木板等。第三类为半导体,其导电能力介于导体和绝缘体之间,如四族元素Ge锗、Si硅等,三、五族元素的化合物GaAs砷化镓等,二、六族元素的化合物氧化物、硫化物等。 物体的导电能力可以用电阻率来表示。电阻率定义为长1厘米、截面积为1平方厘米的物质的电阻值,单位为欧姆*厘米。电阻率越小说明该物质的导电性能越好。通常导体的电阻率在10-4欧姆*厘米以下,绝缘体的电阻率在109欧姆*厘米以上。 半导体的性质既不象一般的导体,也不同于普通的绝缘体,同时也不仅仅由于它的导电能力介于导体和绝缘体之间,而是由于半导体具有以下的特殊性质: (1) 温度的变化能显著的改变半导体的导电能力。当温度升高时,电阻率会降低。比如Si在200℃时电阻率比室温时的电阻率低几千倍。可以利用半导体的这个特性制成自动控制用的热敏组件(如热敏电阻等),但是由于半导体的这一特性,容易引起热不稳定性,在制作半导体器件时需要考虑器件自身产生的热量,需要考虑器件使用环境的温度等,考虑如何散热,否则将导致器件失效、报废。 (2) 半导体在受到外界光照的作用是导电能力大大提高。如硫化镉受到光照后导电能力可提高几十到几百倍,利用这一特点,可制成光敏三极管、光敏电阻等。 (3) 在纯净的半导体中加入微量(千万分之一)的其它元素(这个过程我们称为掺杂),可使他的导电能力提高百万倍。这是半导体的最初的特征。例如在原子密度为5*1022/cm3的硅中掺进大约5X1015/cm3磷原子,比例为10-7(即千万分之一),硅的导电能力提高了几十万倍。 物质是由原子构成的,而原子是由原子核和围绕它运动的电子组成的。电子很轻、很小,带负电,在一定的轨道上运转;原子核带正电,电荷量与电子的总电荷量相同,两者相互吸引。当原子的外层电子缺少后,整个原子呈现正电,缺少电子的地方产生一个空位,带正电,成为电洞。物体导电通常是由电子和电洞导电。 前面提到掺杂其它元素能改变半导体的导电能力,而参与导电的又分为电子和电洞,这样掺杂的元素(即杂质)可分为两种:施主杂质与受主杂质。 将施主杂质加到硅半导体中后,他与邻近的4个硅原子作用,产生许多自由电子参与导电,而杂质本身失去电子形成正离子,但不是电洞,不能接受电子。这时的半导体叫N型半导体。施主杂质主要为五族元素:锑、磷、砷等。 将施主杂质加到半导体中后,他与邻近的4个硅原子作用,产生许多电洞参与导电,这时的半导体叫p型半导体。受主杂质主要为三族元素:铝、镓、铟、硼等。 电洞和电子都是载子,在相同大小的电场作用下,电子导电的速度比电洞

半导体基础知识

半导体基础知识(详细篇) 2.1.1概念 根据物体导电能力(电阻率)的不同,来划分导体、绝缘体和半导体。 1. 导体:容易导电的物体。如:铁、铜等 2. 绝缘体:几乎不导电的物体。如:橡胶等 3. 半导体:半导体是导电性能介于导体和半导体之间的物体。在一定条件下可 导电。 半导体的电阻率为10-3?109 cm 典型的半导体有硅 Si 和锗Ge 以 及砷化傢GaAs 等。 半导体特点: 1) 在外界能源的作用下,导电性能显著变化。光敏元件、热敏元件属于此 类。 2) 在纯净半导体内掺入杂质,导电性能显著增加。二极管、三极管属于此 类。 2.1.2本征半导体 1. 本征半导体一一化学成分纯净的半导体。制造半导体器件的半导体材料的纯度 要达到99.9999999%常称为“九个9”。它在物理结构上呈单晶体形态。电子 技术中用的最多的是硅和锗。 硅和锗都是4价元素,它们的外层电子都是4个。其简化原子结构模型如下 图: 外层电子受原子核的束缚力最 小, 成为价电子。物质的性质是由价 电子决 定的。 2. 本征半导体的共价键结构 本征晶体中各原子之间靠得很近, 相邻原子的吸引,分别与周围的四个原子 的价电子形成共价键。 外层电子受原子核的束缚力最小, 的。 使原分属于各原子的四个价电子同时受到 共价键中的价电

3.共价键 共价键上的两个电子是由相邻原子各用 一个电子组成的,这两个电子被成为束缚电子。 束缚电子同时受两个原子的约束,如果没有足 够的能量,不易脱离轨道。因此,在绝对温度 T=0° K (-273° C )时,由于共价键中的电子 被束缚着,本征半导体中没有自由电子,不导 电。只有在激发下,本征半导体才能导电 4. 电子与空穴 当导体处于热力学温度0°K 时,导体中没有自由电子。当温度升高或受到 光的照射时,价电子能量增高,有的价电子可以挣脱原子核的束缚,而参与导电, 成为自由电子。这一现象称为本征激发,也称热激发。 自由电子产生的同时,在其原来的共价键中就出现了一个空位, 原子的电中 性被破坏,呈现出正电性,其正电量与电子的负电量相等,人们常称呈现正电性 的这个空位为空穴。 电子与空穴的复合 可见因热激发而出现的自由电子和空穴是同时成对出现的, 称为电子空穴对。 游离的部分自由电子也可能回到空穴中去, 称为复合,如图所示。本征激发和复 合在一定温并为它们所束缚,在空间形成排列有序的晶体。如下图所 硅晶体的空间排列与共价键结构平面示意图 空A * 电 子为这些原子所共有,

半导体器件基础测试题

第一章半导体器件基础测试题(高三) 姓名班次分数 一、选择题 1、N型半导体是在本征半导体中加入下列物质而形成的。 A、电子; B、空穴; C、三价元素; D、五价元素。 2、在掺杂后的半导体中,其导电能力的大小的说法正确的是。 A、掺杂的工艺; B、杂质的浓度: C、温度; D、晶体的缺陷。 3、晶体三极管用于放大的条件,下列说法正确的是。 A、发射结正偏、集电结反偏; B、发射结正偏、集电结正偏; C、发射结反偏、集电结正偏; D、发射结反偏、集电结反偏; 4、晶体三极管的截止条件,下列说法正确的是。 A、发射结正偏、集电结反偏; B、发射结正偏、集电结正偏; C、发射结反偏、集电结正偏; D、发射结反偏、集电结反偏; 5、晶体三极管的饱和条件,下列说法正确的是。 A、发射结正偏、集电结反偏; B、发射结正偏、集电结正偏; C、发射结反偏、集电结正偏; D、发射结反偏、集电结反偏; 6、理想二极管组成的电路如下图所示,其AB两端的电压是。 A、—12V; B、—6V; C、+6V; D、+12V。 7、要使普通二极管导通,下列说法正确的是。 A、运用它的反向特性; B、锗管使用在反向击穿区; C、硅管使用反向区域,而锗管使用正向区域; D、都使用正向区域。 8、对于用万用表测量二极管时,下列做法正确的是。 A、用万用表的R×100或R×1000的欧姆,黑棒接正极,红棒接负极,指针偏转; B、用万用表的R×10K的欧姆,黑棒接正极,红棒接负极,指针偏转; C、用万用表的R×100或R×1000的欧姆,红棒接正极,黑棒接负极,指针偏转; D、用万用表的R×10,黑棒接正极,红棒接负极,指针偏转; 9、电路如下图所示,则A、B两点的电压正确的是。 A、U A=3.5V,U B=3.5V,D截止;

半导体基本知识

一、半导体基本知识 太阳电池是用半导体材料硅做成的。容易导电的是导体,不易导电的是绝缘体,即不像导体那样容易导电又不像绝缘体那样不容易导电的物体叫半导体,譬如:锗、硅、砷化缘等。 世界上的物体都是由原子构成的,从原子排列的形式来看,可以把物体分成2大类,晶体和非晶体。晶体通常都有特殊的外形,它内部的原子按照一定的规律整齐地排列着;非晶体内部原子排列乱七八糟,没有规则;大多数半导体都是晶体。半导体材料硅是原子共价晶体,在晶体中,相邻原子之间是以共用电子结合起来的。硅是第四族元素,硅原子的电子层结构为2、8、4,它的最外层的四个电子是价电子。因此每个硅原子又分别与相邻的四个原子形成四个共价键,每个共价键都是相邻的两个原子分别提供一个价电子所组成的。 如果硅晶体纯度很高,不含别的杂质元素,而且晶体结构很完美,没有缺陷,这种半导体叫本征半导体,而且是单晶体。而多晶体是由许多小晶粒聚合起来组成的,每一晶体又由许多原子构成。原子在每一晶粒中作有规则的整齐排列,各个晶粒中原子的排列方式都是相同的。但在一块晶体中,各个晶粒的取向(方向)彼此不同,晶粒与晶粒之间并没有按照一定的规则排列,所以总的来看,原子的排列是杂乱无章的,这样的晶体,我们叫它多晶体。 半导体有很特别的性质:导电能力在不同的情况下会有非常大的差别。光照、温度变化、适当掺杂都会使半导体的导电能力显著增强,尤其利用掺杂的方法可以制造出五花八门的半导体器件。但掺杂是有选择的,只有加入一定种类和数量的杂质才能符合我们的要求。 我们重点看一下硼和磷这两种杂质元素。硼是第三族主族元素,硼原子的电子层结构为2、3,由于硼原子的最外电子层只有三个电子,比硅原子缺少一个最外层电子,因此当硼原子的三个最外层价电子与周围最邻近的三个硅原子的价电子结合成共价键时,在与第四个最邻近的硅原子方向留下一个空位。这个空位叫空穴,它可以接受从邻近硅原子上跳来的电子,形成电子的流动,参与导电。硼原子在硅晶体中起着接受电子的作用,所以叫硼原子为受主型杂质。掺有受主型杂质的半导体,其导电率主要是由空穴决定的,这种半导体又叫空穴型或P型半导体。 磷是周期表中第五族元素,磷原子的电子层结构为2、8、5,它的最外层的五个电子是价电子。由于磷原子比硅原子多一个最外层电子,因此当磷原子的四个价电子与周围最邻近的四个硅原子的价电子形成共价键后,还剩余一个价电子。这个价电子很容易成为晶体中的自由电子参与导电。磷原子在硅晶体中起施放电子的作用,所以叫磷原子为施主型杂质。掺有施主型杂质的半导体,其导电率主要是由电子决定的,这种半导体又叫电子型半导体或n型半导体。 二、扩散基本知识 我们知道,太阳能电池的心脏是一个PN结。我们需要强调指出,PN结是不能简单地用两

(整理)半导体基础知识.

1.1 半导体基础知识概念归纳 本征半导体定义:纯净的具有晶体结构的半导体称为本征半导体。 电流形成过程:自由电子在外电场的作用下产生定向移动形成电流。 绝缘体原子结构:最外层电子受原子核束缚力很强,很难成为自由电子。 绝缘体导电性:极差。如惰性气体和橡胶。 半导体原子结构:半导体材料为四价元素,它们的最外层电子既不像导体那么容易挣脱原子核的束缚,也不像绝缘体那样被原子核束缚得那么紧。 半导体导电性能:介于半导体与绝缘体之间。 半导体的特点: ★在形成晶体结构的半导体中,人为地掺入特定的杂质元素,导电性能具有可控性。 ★在光照和热辐射条件下,其导电性有明显的变化。 晶格:晶体中的原子在空间形成排列整齐的点阵,称为晶格。 共价键结构:相邻的两个原子的一对最外层电子(即价电子)不但各自围绕自身所属的原子核运动,而且出现在相邻原子所属的轨道上,成为共用电子,构成共价键。 自由电子的形成:在常温下,少数的价电子由于热运动获得足够的能量,挣脱共价键的束缚变成为自由电子。 空穴:价电子挣脱共价键的束缚变成为自由电子而留下一个空位置称空穴。 电子电流:在外加电场的作用下,自由电子产生定向移动,形成电子电流。 空穴电流:价电子按一定的方向依次填补空穴(即空穴也产生定向移动),形成空穴电流。 本征半导体的电流:电子电流+空穴电流。自由电子和空穴所带电荷极性不同,它们运动方向相反。 载流子:运载电荷的粒子称为载流子。 导体电的特点:导体导电只有一种载流子,即自由电子导电。 本征半导体电的特点:本征半导体有两种载流子,即自由电子和空穴均参与导电。 本征激发:半导体在热激发下产生自由电子和空穴的现象称为本征激发。 复合:自由电子在运动的过程中如果与空穴相遇就会填补空穴,

半导体基础知识

半导体基础知识(详细篇) 概念 根据物体导电能力(电阻率)的不同,来划分导体、绝缘体和半导体。 1. 导体:容易导电的物体。如:铁、铜等 2. 绝缘体:几乎不导电的物体。如:橡胶等 3. 半导体:半导体是导电性能介于导体和半导体之间的物体。在一定条件下可导电。半导体的电阻率为10-3~109 Ω·cm。典型的半导体有硅Si和锗Ge以及砷化镓GaAs等。 半导体特点: 1) 在外界能源的作用下,导电性能显着变化。光敏元件、热敏元件属于此类。 2) 在纯净半导体内掺入杂质,导电性能显着增加。二极管、三极管属于此类。 本征半导体 1.本征半导体——化学成分纯净的半导体。制造半导体器件的半导体材料的纯度要达到%,常称为“九个9”。它在物理结构上呈单晶体形态。电子技术中用的最多的是硅和锗。 硅和锗都是4价元素,它们的外层电子都是4个。其简化原子结构模型如下图: 外层电子受原子核的束缚力最小,成为价电子。物质的性质是由价电子决定的。 ? 外层电子受原子核的束缚力最 小,成为价电子。物质的性质是由价 电子决定的。 ?

? 2.本征半导体的共价键结构 本征晶体中各原子之间靠得很近,使原分属于各原子的四个价电子同时受到相邻原子的吸引,分别与周围的四个原子的价电子形成共价键。共价键中的价电子为这些原子所共有,并为它们所束缚,在空间形成排列有序的晶体。如下图所示: 硅晶体的空间排列与共价键结构平面示意图 3.共价键 共价键上的两个电子是由相邻原子各用 一个电子组成的,这两个电子被成为束缚电 子。束缚电子同时受两个原子的约束,如果没 有足够的能量,不易脱离轨道。因此,在绝对 温度T=0°K(-273°C)时,由于共价键中的电 子被束缚着,本征半导体中没有自由电子,不 导电。只有在激发下,本征半导体才能导电 ? ? 4.电子与空穴 当导体处于热力学温度0°K时,导体中没有自由电子。当温度升高或受到光的照射时,价电子能量增高,有的价电子可以挣脱原子核的束缚,而参与导电,成为自由电子。这一现象称为本征激发,也称热激发。

半导体基础知识学习

我们知道,电子电路是由晶体管组成,而晶体管是由半导体制成的。所以我们在学习电子电路之前, 一定要了解半导体的一些基本知识。 这一章我们主要学习二极管和三极管的一些基本知识,它是本课程的基础,我们要掌握好在学习时我们把它的内容分为三节,它们分别是: 1、1 半导体的基础知识 1、2 PN结 1、3 半导体三极管 1、1 半导体的基础知识 我们这一章要了解的概念有:本征半导体、P型半导体、N型半导体及它们各自的特征。一:本征半导体 纯净晶体结构的半导体我们称之为本征半导体。常用的半导体材料有:硅和锗。它们都是四价元素,原子结构的最外层轨道上有四个价电子,当把硅或锗制成晶体时,它们是靠共价键的作用而紧密联系在一起。 共价键中的一些价电子由于热运动获得一些能量,从而摆脱共价键的约束成为自由电子,同时在共价键上留下空位,我们称这些空位为空穴,它带正电。我们用晶体结构示意图来描述一下;如图(1)所示:图中的虚线代表共价键。 在外电场作用下,自由电子产生定向移动,形成电子电流; 同时价电子也按一定的方向一次填补空穴,从而使空穴产生定向移动,形成空穴电流。 因此,在晶体中存在两种载流子,即带负电自由电子和带正电空穴,它们是成对出现的。二:杂质半导体 在本征半导体中两种载流子的浓度很低,因此导电性很差。我们向晶体中有控制的掺入特定的杂质来改变它的导电性,这种半导体被称为杂质半导体。 1.N型半导体 在本征半导体中,掺入5价元素,使晶体中某些原子被杂质原子所代替,因为杂质原子最外层有5各价电子,它与周围原子形成共价键后,还多余一个自由电子,因此使其中的空穴的浓度远小于自由电子的浓度。但是,电子的浓度与空穴的浓度的乘积是一个常数,与掺杂无关。在N型半导体中自由电子是多数载流子,空穴是少数载流子。 2.P型半导体 在本征半导体中,掺入3价元素,晶体中的某些原子被杂质原子代替,但是杂质原子的最外层只有3个价电子,它与周围的原子形成共价键后,还多余一个空穴,因此使其中的空穴浓度远大于自由电子的浓度。在P型半导体中,自由电子是少数载流子,空穴使多数载流子。 1、2 P—N结

第一章半导体基础知识(精)

第一章半导体基础知识 〖本章主要内容〗 本章重点讲述半导体器件的结构原理、外特性、主要参数及其物理意义,工作状态或工作区的分析。 首先介绍构成PN结的半导体材料、PN结的形成及其特点。其后介绍二极管、稳压管的伏安特性、电路模型和主要参数以及应用举例。然后介绍两种三极管(BJT和FET)的结构原理、伏安特性、主要参数以及工作区的判断分析方法。〖本章学时分配〗 本章分为4讲,每讲2学时。 第一讲常用半导体器件 一、主要内容 1、半导体及其导电性能 根据物体的导电能力的不同,电工材料可分为三类:导体、半导体和绝缘体。半导体可以定义为导电性能介于导体和绝缘体之间的电工材料,半导体的电阻率为10-3~10-9 cm。典型的半导体有硅Si和锗Ge以及砷化镓GaAs等。半导体的导电能力在不同的条件下有很大的差别:当受外界热和光的作用时,它的导电能力明显变化;往纯净的半导体中掺入某些特定的杂质元素时,会使它的导电能力具有可控性;这些特殊的性质决定了半导体可以制成各种器件。 2、本征半导体的结构及其导电性能 本征半导体是纯净的、没有结构缺陷的半导体单晶。制造半导体器件的半导体材料的纯度要达到99.9999999%,常称为“九个9”,它在物理结构上为共价键、呈单晶体形态。在热力学温度零度和没有外界激发时,本征半导体不导电。 3、半导体的本征激发与复合现象 当导体处于热力学温度0 K时,导体中没有自由电子。当温度升高或受到光的照射时,价电子能量增高,有的价电子可以挣脱原子核的束缚而参与导电,成为自由电子。这一现象称为本征激发(也称热激发)。因热激发而出现的自由电子和空穴是同时成对出现的,称为电子空穴对。 游离的部分自由电子也可能回到空穴中去,称为复合。 在一定温度下本征激发和复合会达到动态平衡,此时,载流子浓度一定,且自由电子数和空穴数相等。 4、半导体的导电机理 自由电子的定向运动形成了电子电流,空穴的定向运动也可形成空穴电流,因此,在半导体中有自由电子和空穴两种承载电流的粒子(即载流子),这是半导体的特殊性质。空穴导电的实质是:相邻原子中的价电子(共价键中的束缚电子)依次填补空穴而形成电流。由于电子带负电,而电子的运动与空穴的运动方向相反,因此认为空穴带正电。

(完整word版)半导体物理知识点及重点习题总结

基本概念题: 第一章半导体电子状态 1.1 半导体 通常是指导电能力介于导体和绝缘体之间的材料,其导带在绝对零度时全空,价带全满,禁带宽度较绝缘体的小许多。 1.2能带 晶体中,电子的能量是不连续的,在某些能量区间能级分布是准连续的,在某些区间没有能及分布。这些区间在能级图中表现为带状,称之为能带。 1.2能带论是半导体物理的理论基础,试简要说明能带论所采用的理论方法。 答: 能带论在以下两个重要近似基础上,给出晶体的势场分布,进而给出电子的薛定鄂方程。通过该方程和周期性边界条件最终给出E-k关系,从而系统地建立起该理论。 单电子近似: 将晶体中其它电子对某一电子的库仑作用按几率分布平均地加以考虑,这样就可把求解晶体中电子波函数的复杂的多体问题简化为单体问题。 绝热近似: 近似认为晶格系统与电子系统之间没有能量交换,而将实际存在的这种交换当作微扰来处理。

1.2克龙尼克—潘纳模型解释能带现象的理论方法 答案: 克龙尼克—潘纳模型是为分析晶体中电子运动状态和E-k关系而提出的一维晶体的势场分布模型,如下图所示 利用该势场模型就可给出一维晶体中电子所遵守的薛定谔方程的具体表达式,进而确定波函数并给出E-k关系。由此得到的能量分布在k空间上是周期函数,而且某些能量区间能级是准连续的(被称为允带),另一些区间没有电子能级(被称为禁带)。从而利用量子力学的方法解释了能带现象,因此该模型具有重要的物理意义。 1.2导带与价带 1.3有效质量 有效质量是在描述晶体中载流子运动时引进的物理量。它概括了周期性势场对载流子运动的影响,从而使外场力与加速度的关系具有牛顿定律的形式。其大小由晶体自身的E-k 关系决定。 1.4本征半导体 既无杂质有无缺陷的理想半导体材料。

半导体厂GAS系统基础知识

GAS 系 统 基 础 知 识

概述 HOOK-UP专业认知 一、厂务系统HOOK UP定义 HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOK UP是将厂务提供的UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。 机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOK UP 项目主要包括∶CAD,MOVE IN ,CORE DRILL,SEISMIC ,VACUU,GAS,CHEMICAL, D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN. 二、GAS HOOK-UP专业知识的基本认识 在半导体厂,所谓气体管路的Hook-up(配管衔接)以Buck Gas (一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等)而言,自供气源之气体存贮槽出口点经主管线(Main Piping)至次主管线(Sub-Main Piping)之Take Off点称为一次配(SP1

Hook-up),自Take Off出口点至机台(Tool)或设备(Equipment)的入口点,谓之二次配(SP2 Hook-up)。以Specialty Gas(特殊性气体如:腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体)而言其供气源为气柜(Gas Cabinet)。自G/C出口点至VMB(Valve Mainfold Box.多功能阀箱)或VMP(Valve Mainfold Panel多功能阀盘)之一次测(Primary)入口点,称为一次配(SP1 Hook-up),由VMB或VMP Stick之二次侧(Secondary)出口点至机台入口点谓之二次配(SP2 Hook-up)。

半导体物理与器件基础知识

9金属半导体与半导体异质结 一、肖特基势垒二极管 欧姆接触:通过金属-半导体的接触实现的连接。接触电阻很低。 金属与半导体接触时,在未接触时,半导体的费米能级高于金属的费米能级,接触后,半导体的电子流向金属,使得金属的费米能级上升。之间形成势垒为肖特基势垒。 在金属与半导体接触处,场强达到最大值,由于金属中场强为零,所以在金属——半导体结的金属区中存在表面负电荷。 影响肖特基势垒高度的非理想因素:肖特基效应的影响,即势垒的镜像力降低效应。金属中的电子镜像到半导体中的空穴使得半导体的费米能级程下降曲线。附图:

电流——电压关系:金属半导体结中的电流运输机制不同于pn结的少数载流子的扩散运动决定电流,而是取决于多数载流子通过热电子发射跃迁过内建电势差形成。附肖特基势垒二极管加反偏电压时的I-V曲线:反向电流随反偏电压增大而增大是由于势垒降低的影响。 肖特基势垒二极管与Pn结二极管的比较:1.反向饱和电流密度(同上),有效开启电压低于Pn结二极管的有效开启电压。2.开关特性肖特基二极管更好。应为肖特基二极管是一个多子导电器件,加正向偏压时不会产生扩散电容。从正偏到反偏时也不存在像Pn结器件的少数载流子存储效应。 二、金属-半导体的欧姆接触

附金属分别与N型p型半导体接触的能带示意图 三、异质结:两种不同的半导体形成一个结 小结:1.当在金属与半导体之间加一个正向电压时,半导体与金属之间的势垒高度降低,电子很容易从半导体流向金属,称为热电子发射。

2.肖特基二极管的反向饱和电流比pn结的大,因此达到相同电流时,肖特基二极管所需的反偏电压要低。 10双极型晶体管 双极型晶体管有三个掺杂不同的扩散区和两个Pn结,两个结很近所以之间可以互相作用。之所以成为双极型晶体管,是应为这种器件中包含电子和空穴两种极性不同的载流子运动。 一、工作原理 附npn型和pnp型的结构图 发射区掺杂浓度最高,集电区掺杂浓度最低

半导体基础知识和半导体器件工艺

半导体基础知识和半导 体器件工艺 Standardization of sany group #QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8-HHMHGN#

半导体基础知识和半导体器件工艺 第一章半导体基础知识 通常物质根据其导电性能不同可分成三类。第一类爲导体,它可以很好的传导电流,如:金属类,铜、银、铝、金等;电解液类:NaCl水溶液,血液,普通水等以及其他一些物体。第二类爲绝缘体,电流不能通过,如橡胶、玻璃、陶瓷、木板等。第三类爲半导体,其导电能力介於导体和绝缘体之间,如四族元素Ge锗、Si矽等,三、五族元素的化合物GaAs砷化镓等,二、六族元素的化合物氧化物、硫化物等。 物体的导电能力可以用电阻率来表示。电阻率定义爲长1厘米、截面积爲1平方厘米的物质的电阻值,单位爲欧姆*厘米。电阻率越小说明该物质的导电性能越好。通常导体的电阻率在10-4欧姆*厘米以下,绝缘体的电阻率在109欧姆*厘米以上。 半导体的性质既不象一般的导体,也不同于普通的绝缘体,同时也不仅仅由於它的导电能力介於导体和绝缘体之间,而是由於半导体具有以下的特殊性质: (1) 温度的变化能显着的改变半导体的导电能力。当温度升高时,电阻率会降低。比如Si在200℃时电阻率比室温时的电阻率低几千倍。可以利用半导体的这个特性制成自动控制用的热敏元件(如热敏电阻等),但是由於半导体的这一特性,容易引起热不稳定性,在制作半导体器件时需要考虑器件自身産生的

热量,需要考虑器件使用环境的温度等,考虑如何散热,否则将导致器件失效、报废。 (2) 半导体在受到外界光照的作用是导电能力大大提高。如硫化镉受到光照後导电能力可提高几十到几百倍,利用这一特点,可制成光敏三极管、光敏电阻等。 (3) 在纯净的半导体中加入微量(千万分之一)的其他元素(这个过程我们称爲掺杂),可使他的导电能力提高百万倍。这是半导体的最初的特徵。例如在原子密度爲5*1022/cm3的矽中掺进大约5X1015/cm3磷原子,比例爲10-7(即千万分之一),矽的导电能力提高了几十万倍。 物质是由原子构成的,而原子是由原子核和围绕它运动的电子组成的。电子很轻、很小,带负电,在一定的轨道上运转;原子核带正电,电荷量与电子的总电荷量相同,两者相互吸引。当原子的外层电子缺少後,整个原子呈现正电,缺少电子的地方産生一个空位,带正电,成爲电洞。物体导电通常是由电子和电洞导电。 前面提到掺杂其他元素能改变半导体的导电能力,而参与导电的又分爲电子和电洞,这样掺杂的元素(即杂质)可分爲两种:施主杂质与受主杂质。 将施主杂质加到矽半导体中後,他与邻近的4个矽原子作用,産生许多自由电子参与导电,而杂质本身失去电子形成正离子,但不是电洞,不能接受电子。这时的半导体叫N型半导体。施主杂质主要爲五族元素:锑、磷、砷等。 将施主杂质加到半导体中後,他与邻近的4个矽原子作用,産生许多电洞参与导电,这时的半导体叫p型半导体。受主杂质主要爲三族元素:铝、镓、铟、硼等。

半导体的基础知识

半导体的基础知识 半导体器件是现代电子技术的重要组成部分,是由半导体材料制造而成的。为了能够更好的了解半导体器件的性能,有必要先了解一些半导体材料的基本性质。 1.物质的分类 自然界有很多不同种类的物质。这些物质按照导电性强弱来分类,大致可以分为三类:导体、半导体和绝缘体。导体是很容易导电的物质,例如铜和铝等等;绝缘体是几乎不能导电的物质,比如塑料、橡胶、玻璃等;而半导体的导电能力是介于导体和绝缘体之间的这样一类物质。常用的半导体材料有硅、锗等。其中,硅是目前最常用的一种半导体材料。 2.半导体导电的特性 半导体除了在导电能力方面与导体和绝缘体不同以外,它还具有不同于其他物质的特点。例如:当半导体受到外界光和热的刺激时,其导电能力将发生显著的变化;在纯净的半导体中加入某种特定的微量杂质,其导电能力也会有显著的增加。 这些特点说明,半导体导电的机制一定和导体、绝缘体不同。为了更好的理解这些特点,就必须了解半导体的结构。 3.半导体的内部结构 在电子器件中,用得最多的半导体材料就是硅和锗,它们都是四价元素;半导体内部的原子具有严格的晶体结构,原子之间形成有序的排列,每个硅原子周围和四个相邻的硅原子以共价键相连接,形成共价键的这一对电子就称为“价电子”。通常情况下,共价键对价电子的束缚能力很强,绝大多数价电子被束缚在共价键中而不能自由移动,所以半导体的导电性能较差。在绝对零度下,纯净的半导体内部所有的价电子都被共价键所束缚,在半导体内部没有可以自由导电的带电粒子,所以此时半导体是没有导电能力的;在本征激发时,半导体才会具有导电能力。 下面,我们来学习什么是本征激发。 4.本征激发 首先来学习几个概念。 (1)本征半导体:我们把结构完整、完全纯净的半导体晶体称为本征半导体。 (2)激发:半导体晶体内部共价键中的价电子由于获得足够的能量而挣脱掉共价键的束缚成为自由电子的过程称为“激发”。 (3)载流子:可以自由移动的带电粒子称为“载流子”。 本征激发的物理过程: 在绝对零度和没有外界激发的条件下,由于每个原子的外围电子都被共价键所束缚,所以对电流的形成没有作用。但是,半导体内共价键的价电子绝缘体中束缚的那么紧,在室温下,一些价电子就会获得足够的热振动能量而挣脱共价键的束缚,成为自由电子。这种现象就称为“本征激发”。 当电子挣脱共价键的束缚成为自由电子以后,共价键中就留下一个空位,这个空位叫做“空穴”。空穴的出现时半导体区别于导体的一个重要特点。由于共价键中出现了空穴,在外电场或其他能量作用下,临近的价电子就可以填补到这个空位上,而在这个电子原来的位置上又留下新的空位,其他电子又可以转移到这个空位上,这样就相当于出现的电荷的迁移。因此在分析半导体导电过程的时候,用空穴的运动来代替共价键中电子的运动更为方便,在这里可以把空穴看成是一个带正电的粒子,可以和自由电子一样参与导电。因此空穴也是半导体中的一种载流子。 总结一下本征激发的过程:T↑→价电子获得足够能量→挣脱共价键束缚→自由电子↑→空穴↑结论:在本征半导体内,本征激发产生的自由电子和空穴总是成对出现的,是电子-空穴对,且载流子的数量与温度等外界条件有关。 5.杂质半导体 在本征半导体中掺入微量的杂质,就会使半导体的导电性能发生显著的变化。根据掺入的杂质不同,杂质半导体可以分为两种:N型杂质半导体和P型杂质半导体。

半导体基础知识培训课件

外延基础知识 一、基本概念 能级:电子是不连续的,其值主要由主量子数N决定,每一确定能量值称为一个能级。 能带:大量孤立原子结合成晶体后,周期场中电子能量状态出现新特点:孤立原子原来一个能级将分裂成大量密集的能级,构成一相应的能带。(晶体中电子能量状态可用能带描述) 导带:对未填满电子的能带,能带中电子在外场作用下,将参与导电,形成宏观电流,这样的能带称为导带。价带:由价电子能级分裂形成的能带,称为价带。(价带可能是满带,也可能是电子未填满的能带) 直接带隙:导带底和价带顶位于K空间同一位置。 间接带隙:导带底和价带顶位于K空间不同位置。 同质结:组成PN结的P型区和N型区是同种材料。(如红黄光中的:GaAs上生长GaAs,蓝绿光中:U(undope)-GaN上生长N(dope)- GaN) 异质结:两种晶体结构相同,晶格常数相近,但带隙宽度不同的半导体材料生长在一起形成的结,称为异质结。(如蓝绿光中:GaN上生长Al GaN) 超晶格(superlatic):由两种或两种以上组分不同或导电类型各异的超薄层(相邻势阱内电子波函数发生交迭)的材料,交替生长形成的人工周期性结构,称为超晶格材料。 量子阱(QW):通常把势垒较厚,以致于相邻电子波函数不发生交迭的周期性结构,称为量子阱(它是超晶格的一种)。 二、半导体 1.分类:元素半导体:Si 、Ge 化合物半导体:GaAs、InP、GaN(Ⅲ-Ⅴ)、ZnSe(Ⅱ-Ⅵ)、SiC 2.化合物半导体优点: a.调节材料组分易形成直接带隙材料,有高的光电转换效率。(光电器件一般选用直接带隙材料) b.高电子迁移率。 c.可制成异质结,进行能带裁减,易形成新器件。 3.半导体杂质和缺陷 杂质:替位式杂质(有效掺杂) 间隙式杂质 缺陷:点缺陷:如空位、间隙原子 线缺陷:如位错 面缺陷:(即立方密积结构里夹杂着少量六角密积)如层错 4.外延技术 LPE:液相外延,生长速率快,产量大,但晶体生长难以精确控制。(普亮LED常用此生长方法) MOCVD(也称MOVPE):Metal Organic Chemical Vapour Deposition金属有机汽相淀积,精确控制晶体生长,重复性好,产量大,适合工业化大生产。 HVPE:氢化物汽相外延,是近几年在MOCVD基础上发展起来的,适应于Ⅲ-Ⅴ氮化物半导体薄膜和超晶格外延生长的一种新技术。生长速率快,但晶格质量较差。 MBE:分子束外延,可精确控制晶体生长,生长出的晶体异常光滑,晶格质量非常好,但生长速率慢,难以用于工业化大生产。 三、MOCVD设备 1.发展史:国际上起源于80年代初,我国在80年代中(85年)。 国际上发展特点:专业化分工,我国发展特点:小而全,小作坊式。 技术条件:a.MO源:难合成,操作困难。 b.设备控制精度:流量及压力控制 c.反应室设计:Vecco:高速旋转 Aixtron:气浮式旋转

半导体基础知识

一.名词解释: 1..什么是半导体?半导体具有那些特性? 导电性介于导体与绝缘体之间的物质称为半导体 热敏性:导电能力受温度影响大,当环境温度升高时,其导电能力增强。可制作热敏元件。 光敏性:导电能力受光照影响大,当光照增强时候,导电能力增强。可制作光敏元件。 掺杂性:导电能力受杂质影响极大,称为掺杂性。 2.典型的半导体是SI和Ge , 它们都是四价元素。Si是一种化学元素,在地壳中含量仅次于氧,其核外电子排布是?。 3.半导体材料中有两种载流子,电子和空穴。电子带负电,空穴带正电,在纯净半导体中掺入不同杂质可得到P型和N型半导体,常见P型半导体的掺杂元素为硼,N型半导体的掺杂元素为磷。P型半导体主要空穴导电,N型半导体主要靠电子导电。 4. 导体:导电性能良好,其外层电子在外电场作用下很容易产生定向移动,形成电流,常见的导体有铁,铝,铜等低价金属元素。 5.绝缘体:一般情况下不导电,其原子的最外层电子受原子核束缚很强,只有当外电场达到一定程度才可导电。惰性气体,橡胶等。 6.半导体:一般情况下不导电,但在外界因素刺激下可以导电,例如强电场或强光照射。 其原子的最外层电子受原子核的束缚力介于导体和绝缘体之间。Si,Ge等四价元素。 7. 本征半导体:无杂质的具有稳定结构的半导体。 8晶体:由完全相同的原子,分子或原子团在空间有规律的周期性排列构成的有一定几何形状的固体材料,构成晶体的完全相同的原子,分子,原子团称为基元。 9.晶体结构:简单立方,体心立方,面心立方,六角密积,NACL结构,CSCL结构,金刚石结构。 10.七大晶系:三斜,单斜,正交,四角,六角,三角,立方。 11.酸腐蚀和碱腐蚀的化学反应方程式: SI+4HNO3+HF=SIF4+4NO2+4H2O SI+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2 12.自然界的物质,可分为晶体和非晶体两大类。常见的晶体有硅,锗,铜,铅等。常见的非晶体有玻璃,塑料,松香等。晶体和非晶体可以从三个方面来区分:1.晶体有规则的外形 2.晶体具有一定的熔点 3.晶体各向异性。 13.晶胞:晶体中有无限在空间按一定规律分布的格点,叫空间点阵。组成空间点阵最基本的单元叫晶胞。晶胞具有很多晶体的性质,很多晶胞在空间重复排列起来就得到整个晶体。不同的晶体,晶胞的形状不同。 14.根据缺陷相对晶体尺寸或影响范围大小,可分为以下几类: A:点缺陷 B:线缺陷 C:面缺陷 D:体缺陷 15.位错:一种晶体缺陷。晶体的位错是围绕着一条很长的线,在一定范围内原子都发生规律的错动,离开它原来的平衡位置,叫位错。 16. CZ 法生长单晶工艺过程: 装炉-融化-引晶-缩细颈-转肩-放肩-等径生长-收尾-停炉 A装炉:将腐蚀好的籽晶装入籽晶夹头,装正,装好,装牢。将清理干净的石墨器件装入单晶炉,调整石墨器件位置,使加热器,保温罩,石墨托碗保持同心。

半导体基础知识

1.什么是导体、绝缘体、半导体? 容易导电的物质叫导体,如:金属、石墨、人体、大地以及各种酸、碱、盐的水溶液等都是导体。 不容易导电的物质叫做绝缘体,如:橡胶、塑料、玻璃、云母、陶瓷、纯水、油、空气等都是绝缘体。 所谓半导体是指导电能力介于导体和绝缘体之间的物质。如:硅、锗、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅等。半导体大体上可以分为两类,即本征半导体和杂质半导体。本征半导体是指纯净的半导体,这里的纯净包括两个意思,一是指半导体材料中只含有一种元素的原子;二是指原子与原子之间的排列是有一定规律的。本征半导体的特点是导电能力极弱,且随温度变化导电能力有显著变化。杂质半导体是指人为地在本征半导体中掺入微量其他元素(称杂质)所形成的半导体。杂质半导体有两类:N型半导体和P型半导体。 2.半导体材料的特征有哪些? (1)导电能力介于导体和绝缘体之间。 (2)当其纯度较高时,电导率的温度系数为正值,随温度升高电导率增大;金属导体则相反,电导率的温度系数为负值。 (3)有两种载流子参加导电,具有两种导电类型:一种是电子,另一种是空穴。同一种半导体材料,既可形成以电子为主的导电,也可以形成以空穴为主的导电。 (4)晶体的各向异性。 3.简述N型半导体。 常温下半导体的导电性能主要由杂质来决定。当半导体中掺有施主杂质时,主要靠施主提供电子导电,这种依靠电子导电的半导体叫做N型半导体。 例如:硅中掺有Ⅴ族元素杂质磷(P)、砷(As)、锑(Sb)、铋(Bi)时,称为N型半导体。 4.简述P型半导体。 当半导体中掺有受主杂质时,主要靠受主提供空穴导电,这种依靠空穴导电的半导体叫做P型半导体。 例如:硅中掺有Ⅲ族元素杂质硼(B)、铝(Al)、镓(Ga)、铟(In)时,称为P型半导体。 5.什么是半绝缘半导体材料?

半导体的基础知识试题

第一章半导体的基础知识 一、填空题 1、物质按导电能力的强弱可分为、和三大类。 2、电子技术的核心是半导体,它的三个特性是:、、 3、半导体中存在着两种载流子,其中带正电的载流子叫做,带负电的 载流子叫做;N型半导体中多数载流子是,P型半导体中的多数载流子是。 4、PN结具有性能,即:加电压时PN结导通,加电压时PN结 截止。 5、二极管的主要特性是具有。二极管外加正向电压超过死区电压以后,正向电 流会,这时二极管处于状态。 6、晶体二极管的伏安特性可简单理解为正向,反向的特性。导通后, 硅管的管压降约为,锗管约为。 7、整流电路将交流电变为直流电,滤波电路将直流电变为 的直流电。 8、整流电路按整流相数,可分为与两种;按被整流后输出电压(或电 流)的波形分,又可分为与两种。 9、把脉动直流电变成比较平滑直流电的过程称为。 10、电容滤波电路中的电容具有对交流电的阻抗,对直流电的阻抗的特性, 整流后的脉动直流电中的交流分量由电容,只剩下直流分量加到负载的两端。 二、选择题 1、稳压管() A、是二极管 B、不是二极管 C、是特殊二极管 2、稳压管电路如图1—1所示,稳压管的稳压值为() A、6.3V B、0.7V C、7V D、14V 3、稳压管稳压电路如图1—2所示,其中U Z1=7V、U Z2=3V,该电路输出电压为() A、0.7V B、1.4V C、3V D、7V 4、NPN型和PNP型晶体管的区别是() A、由两种不同材料硅和锗制成的 B、掺入杂质元素不同 C、P区和N区的位置不同 5、三极管的I CEO大,说明其() A、工作电流大 B、击穿电压高 C、寿命长 D、热稳定性差 6、用直流电压表测得放大电路中某晶体管电极1、2、3的电位各为V1=2V,V2=6V, V3=2.7V,m则() A、1为e 2为b 3为c B、1为e 2为c 3为b C、1为b 2为e 3为c D、1为b 2为c 3为e

半导体物理知识点总结

一、半导体物理知识大纲 核心知识单元A:半导体电子状态与能级(课程基础——掌握物理概念与物理 过程、是后面知识的基础) →半导体中的电子状态(第1章) →半导体中的杂质和缺陷能级(第2章) 核心知识单元B:半导体载流子统计分布与输运(课程重点——掌握物理概念、掌握物理过程的分析方法、相关参数的 计算方法) →半导体中载流子的统计分布(第3章) →半导体的导电性(第4章) →非平衡载流子(第5章) 核心知识单元C:半导体的基本效应(物理效应与应用——掌握各种半导体物理 效应、分析其产生的物理机理、掌握具 体的应用) →半导体光学性质(第10章) →半导体热电性质(第11章) →半导体磁和压阻效应(第12章)

二、半导体物理知识点和考点总结第一章半导体中的电子状态 本章各节内容提要: 本章主要讨论半导体中电子的运动状态。主要介绍了半导体的几种常见晶体结构,半导体中能带的形成,半导体中电子的状态和能带特点,在讲解半导体中电子的运动时,引入了有效质量的概念。阐述本征半导体的导电机构,引入了空穴散射的概念。最后,介绍了Si、Ge和GaAs的能带结构。 在1.1节,半导体的几种常见晶体结构及结合性质。(重点掌握) 在1.2节,为了深入理解能带的形成,介绍了电子的共有化运动。介绍半导体中电子的状态和能带特点,并对导体、半导体和绝缘体的能带进行比较,在此基础上引入本征激发的概念。(重点掌握) 在1.3节,引入有效质量的概念。讨论半导体中电子的平均速度和加速度。(重点掌握)在1.4节,阐述本征半导体的导电机构,由此引入了空穴散射的概念,得到空穴的特点。(重点掌握) 在1.5节,介绍回旋共振测试有效质量的原理和方法。(理解即可) 在1.6节,介绍Si、Ge的能带结构。(掌握能带结构特征) 在1.7节,介绍Ⅲ-Ⅴ族化合物的能带结构,主要了解GaAs的能带结构。(掌握能带结构特征) 本章重难点: 重点: 1、半导体硅、锗的晶体结构(金刚石型结构)及其特点;三五族化合物半导体的闪锌矿型 结构及其特点。 2、熟悉晶体中电子、孤立原子的电子、自由电子的运动有何不同:孤立原子中的电子是在 该原子的核和其它电子的势场中运动,自由电子是在恒定为零的势场中运动,而晶体中的电子是在严格周期性重复排列的原子间运动(共有化运动),单电子近似认为,晶体中的某一个电子是在周期性排列且固定不动的原子核的势场以及其它大量电子的平均势场中运动,这个势场也是周期性变化的,而且它的周期与晶格周期相同。 3、晶体中电子的共有化运动导致分立的能级发生劈裂,是形成半导体能带的原因,半导体 能带的特点: ①存在轨道杂化,失去能级与能带的对应关系。杂化后能带重新分开为上能带和下能带, 上能带称为导带,下能带称为价带 ②低温下,价带填满电子,导带全空,高温下价带中的一部分电子跃迁到导带,使晶体 呈现弱导电性。 ③导带与价带间的能隙(Energy gap)称为禁带(forbidden band).禁带宽度取决于晶体 种类、晶体结构及温度。 ④当原子数很大时,导带、价带内能级密度很大,可以认为能级准连续。 4、晶体中电子运动状态的数学描述:自由电子的运动状态:对于波矢为k的运动状态,自 由电子的能量E,动量p,速度v均有确定的数值。因此,波矢k可用以描述自由电子的运动状态,不同的k值标志自由电子的不同状态,自由电子的E和k的关系曲线呈抛物线形状,是连续能谱,从零到无限大的所有能量值都是允许的。晶体中的电子运动:服从布洛赫定理:晶体中的电子是以调幅平面波在晶体中传播。这个波函数称为布洛赫波函数。求解薛定谔方程,得到电子在周期场中运动时其能量不连续,形成一系列允带和禁带。一个允带对应的K值范围称为布里渊区。

相关文档