LDS 1000技术手册

vTH 10.216 / 5.02

0-1

LDS 1000

用于装入试漏系统的

模件式检漏系统

技术手册

目录

0-2

1.一般说明

1.1 本手册中的标志

1.1.1 真空符号

1.1.2 技术术语

1.2 莱宝公司支持

1.3 前言

1.3.1 用途

1.3.2 技术参数

1.3.

2.1 物理参数

1.3.

2.2 电气参数

1.3.

2.3 其它参数

1.3.

2.4 环境条件

1.4开箱

1.4.1 供货范围

1.4.2 辅件，选件

2. 安装

2.1 安装现场

2.1.1 电子学组件

2.1.2 操作单元

2.1.3 质谱仪组件

2.1.

3.1 真空连接

2.1.4 质谱仪组件与电子学组件之间的连接

2.2 电连接

2.3 工作模式的设定

2.3.1 控制模式的设定

2.3.2 工作模式的设定

2.4 连接系统控制器

2.4.1 连接编程控制器

2.4.2 连接计算机

2.4.3 图形记录仪输出

2.4.4 连接件

2.4.4.1 图形记录仪输出，连接件XP6 SST（4-脚）

2.4.4.2 继电器输出，连接件XP5 SST（16-脚）

2.4.4.3 编程控制器，连接件XP4 SST（16-脚）

2.4.4.4 RS 232连接件，XS2 SST25（25-脚）

2.4.4.5 RS 232连接件，XS3 SST25（25-脚）

2.5 音响输出

2.5.1 耳机

2.5.2 扬声器

3. 仪器如何工作

3.1 LDS 1000概述

3.2 功能说明

3.2.1 LDS 1000的真空图

3.2.1.1 有泵组件的粗检模式安排

3.2.1.2 无泵组件的粗检模式安排

3.2.1.3 细检模式安排

3.2.1.4吸入器模式安排0-3

3.3 组装件说明

3.3.1 电子学组件

3.3.1.1 电气和电子组件

3.3.1.2 风扇

3.3.1.3 操作单元

3.3.1.4 键操作开关

3.3.2 质谱仪组件

3.3.2.1 涡轮分子泵

3.3.2.2 质谱仪

3.3.2.3 离子源

3.3.2.4 分离系统

3.3.2.5 离子收集极

3.3.2.6 高阻抗输入放大器

4. LDS 1000的使用

4.1 启动

4.1.1 调整THERMOV AC真空计

4.1.2 确定真空模式下的机器因素

4.1.3 吸入器模式下的校正因素

4.2 控制器及其功能

4.2.1 控制器和显示元件概述

4.2.1.1 操作单元上的显示元件

4.2.1.2 操作单元上的控制器

4.2.2 电源开关

4.2.3 键操作开关

4.3 仪器设定值和菜单结构

4.3.1 仪器参数的设定

4.3.2 菜单功能（一览）

4.3.3 菜单功能说明

4.4 校准

4.4.1 内部校准

4.4.2 外部校准

4.4.2.1 真空和吸入器模式的标准校准

4.4.2.2 动态校准

4.5 通过编程控制器通讯

4.5.1 编程控制器输入

4.5.2 继电器输出

4.6 音响讯号

4.7 仃机

5. 维护

5.1 莱宝服务

5.2 维护工作

5.2.1 更换过滤件

5.2.2 检查THERNOV AC真空计TTR 211S

5.2.3 选件泵组件的维护

5.2.4 更换保险丝

5.2.5 清洗

5.3 维护计划

6. 信息1-1

6.1 警告和误差信息

7. 备件清单

8. LDS 1000的接口说明

1.一般说明

为确保仪器从开始就进入最佳工作状态，我们建议您仔细阅读本技术手册。

本手册内包含LDS 1000的功能、安装、启动和运行等重要内容。

附注

我们保留本手册设计与任何参数的修改权。图表是无约束的。

1.1 本手册中的标志

有关操作安全和保护的重要标志如下：

警告表示为防止人身伤害必须严格遵守的步骤。

注意表示为防止LDS 1000损伤或损坏必须严格遵守的步骤。

注

表示用户必须遵守的特殊技术要求。

参阅图例，例如（2-4/7），顺次表示第2章第4图中的第7项，这里是电压选择开关。

1.1.1 真空符号

在本手册中使用的真空技术主要符号如下：

真空泵, 通用阀门

旋片真空泵节流阀

涡轮分子泵气瓶（氦）

真空计带氦储存器的标准漏孔

第5 页共52 页

1-2 1.1.2 技术术语

质谱仪组件LDS 1000的组装件，包含检测系统和真空连接件。

电子学组件LDS 1000的组装件，在19吋机箱中包含整套控制与计算的电子学

器件与电源。

自动换量程自动转换预放大器的量程。

自动调谐，这模式运行质谱仪的自动微调以达到最大的漏率显示。控制微机在

（质量调整）可选质量范围内调整离子的加速电压直到离子检测器收集到最大离

子流。在每次校准过程中自动运行质量微调。

自动抑零减除与补偿氦本底。这个模式用于确定漏率信号的内部本底，以避

免因读出内部氦本底而干扰正确的测量值。

每次当从STBY转换到MEAS或调用CAL模式时执行。零值测量

只在预放大器最灵敏的量程运行，并对其它测量量程进行计算。为

不同量程确定的零值均储存在储存器中，随后将它们用于校准所有

的漏率值。

如果由于这个校准而产生负漏率，储存的偏离值会随着变化使最低

值成为零值。仪器用这个方法自动适应下降的本底（自动本底修正）。

机器因素相对于泵组件有效抽速的系统泵组的有效抽速测量值。

校正因素在内部校准的情况下，校正因素校正在气体注入点对氦的灵敏度与

安装内部标准漏孔位置处的差别。

粗检LDS 1000的真空模式，此时测试室允许最大入口压强为3毫巴，检

测上限为3.5 · 10-10毫巴·升/ 秒。

细检LDS 1000的真空模式，此时测试室允许最大入口压强为0.2毫巴，

检测上限为5 · 10-11毫巴·升/ 秒。

P V用内部真空计测量的背压泵与涡轮分子泵之间的前级真空压强。

菜单页为进入特定的参数，将菜单分解为24个连续编号的页。

STBY 待用模式，在这个模式中，LDS 1000指示内部氦本底。

1-3

MEAS 测量模式，在这个模式中LDS 1000确定连接试件的氦漏率。这

里抑制了在进入测量模式时确定的内部氦本底。根据应用需要可订

购用于LDS 1000基本设备上的辅助设备选件。

PC 编程控制器（由用户编程）用于控制系统的运行，也驱动LDS 1000。

缺省状态LDS 1000的离厂状态。

内部氦本底测量系统中的氦分压。在待用模式中仪器一直测量内部氦本底值，

并将它从测量模式中得到的测量讯号中扣除。

1.2莱宝公司支持

莱宝服务

如将设备返回莱宝INFICON公司或莱宝授权的代理商，请说明该设备无危及健康的物质或已污染。如已污染请说明危害的性质。没有污染申报的任何设备莱宝将按发送地址退回。污染申报表附于下页。

如有紧急需要帮助请与您所在地区的莱宝服务部门或德国科隆的服务热线联系。

电话：+49 221 347 - 2222

传真：+49 221 347 – 2221

1-4

VDMA

真空设备和元件污染申报表

我们只检修提交正确完整申报表的真空设备和元件。手续不完整的将导致延迟。制造厂可拒绝任何无申报的设备。本申报表应由经过授权和有资格的人员填写。

*）受生物、易爆或放射性物质污染的真空设备和元件无书面的污染资料是不能接受的！

请列出与设备接触过的物质、气体和副产品：

5. 有法律约束的申报

本人申明本申报表中的信息是完整和正确的。污染的真空设备和元件将按相应的对危险性物质的包装、运输和标志的规定发运。

公司名称：

地址：邮政编码：

电话：

传真：电传：

姓名：

职称：

日期：公司盖章：

有法律约束的签名：

1-5

1.3 前言

1.3.1 用途

LDS 1000是用于安装在工业检漏系统中的检漏组件。它可用下述方法定量确定试件中

存在的漏孔：

- 如将试件暴露于氦气中后，将它放置在与LDS 1000真空连接的测试室中，或

- 试件中充有高于常压的氦试验气体，用吸入器探头从试件外面探索漏孔（吸入法）1.3.2 技术参数

1.3.

2.1 物理参数

最大测量压强 3 毫巴

最小可检氦漏率

细检模式≥5·10-11毫巴·升·秒-1

粗检模式≥3.5·10-10毫巴·升·秒-1

吸入器模式≥1·10-7毫巴·升·秒-1可显示的最大氦漏率0.1毫巴·升·秒-1

质谱仪180°磁偏转

离子源两根镀钇长寿命铱灯丝

设备特定的过程时间

漏率讯号的时间常数（标准漏孔接在细模式入口时

讯号达到63%的时间）≤1秒

真空连接DN 16 KF

达到准备测量需要的时间≤3分

1.3.

2.2 电气参数

电源电压（可选择）115±15%；230±15%

电源频率50 / 60赫

最大功率损耗≤120瓦

保护：电子学组件IP 30

操作组件IP 54 电源电缆 2.5米

过压类型Ⅱ

1.3.

2.3 其它参数

尺寸（宽×高×深）毫米483×133×375 （相当于19″×3HU）

重量：电子学组件10公斤质谱仪组件8.5公斤

1-6

1.3.

2.4 环境条件

允许环境温度（在运行过程中）10℃至40℃

允许储存温度- 40℃至60℃

最大相对湿度80%（无凝结）

污染等级 2

最大允许海拔高度（在运行过程中）2000米

质谱仪组件最大允许磁感应强度7mT

1.4 开箱

LDS 1000到货后应立即开箱，即使暂时不安装。

检查包装箱是否有外伤。取出全部包装材料。

注

保留包装箱和包装材料以便于任何有关损坏的申诉。

检查LDS 1000是否完整齐备（见1.4.1节），并仔细进行目测检查。

如发现任何损坏，请立即通知运输公司和保险公司。

如需要更换损坏的部件，请与我公司订货部门联系。

1.4.1供应设备

LDS 1000 基本设备包括：订货号：145 00

-19″电子学机箱组件，装有操作单元

-质谱仪组件（MS组件，见图2.-2）

-电源电缆2.5米

-编程控制器插头XS5 SST

-图形记录仪AS6 SST

使用说明书

-LDS 1000技术手册TH 10.216

-LDS 1000 备件清单ET 10.216（本文件第7章）

-LDS 1000接口说明SB 10.216（本文件第8章）

-TFERMOV AC TTR211 GA 09.216

1.4.2辅件, 选件订货号

泵组件D 2.5 E ,100 – 120 V AC / 200 – 240 V AC , 50/60Hz 145 10

泵组件D 5 E ,110 – 120 V AC / 208 – 240 V AC , 50/60Hz 145 11

泵组件D 5 E ,三相马达145 12

所有泵组件供货时均带有DN 16 KF / 500不锈钢真空波纹管，一个排气过滤器和全部连

接泵组件需要的部件。

1-7

连接电缆

质谱仪/ 电子学机箱组件1.5米长145 34

质谱仪/ 电子学机箱组件3 米长145 33

质谱仪/ 电子学机箱组件5 米长145 30

质谱仪/ 电子学机箱组件10 米长145 31

质谱仪/ 电子学机箱组件15 米长145 32

延伸电缆

电子学机箱组件/ 操作单元5 米长145 40

电子学机箱组件/ 操作单元10 米长145 41

电子学机箱组件/ 操作单元15 米长145 42

内部标准漏孔TL 7 145 49

吸入器阀门145 20

吸入器管线3米，带有红/ 绿指示灯和按钮145 21

吸入器管线5米，带有红/ 绿指示灯和按钮145 22

吸入器管线10米，带有红/ 绿指示灯和按钮145 23

编程控制器软件，用于数据收集和处理按要求供货

编程控制器软件，用于设定特定的参数按要求供货

编程控制器软件，用于故障查找和状态监测按要求供货

2-1

2. 安装

2.1 安装现场

注意LDS 1000 不能在静止、流动或液滴的水或任何液体中运行。

注意不要将LDS 1000 暴露于碱、酸或溶剂中，或恶劣的气候条件下。

注意确保新鲜空气的供应。

准备第一次启动

初始启动在4.1节中详述。

2.1.1 电子学组件

电子学组件准备安装在19″机箱中。

警告仪器不遵循应用于桌面仪器的触摸保护规程。

注

仪器安装在机箱中后，考虑到不易操作它的电源开关（2-6/11）；必须另外提供断开电源

的方法。

2.1.2 操作单元

操作单元用于与操作人员联络。它通过键盘接受指令，显示测量结果和信息，并通过显

示元件显示状态。

操作单元装在电子学组件中。必要时可卸下用延伸电缆安装在需要的位置（见1.2.4节）。

-关断仪器电源。

-松开面板上的四个螺栓后，将操作单元从它的槽中拉出。

-从操作板上卸下连接的电缆。

-从仪器后板上卸下连接电缆。

-截断连接电缆，并将它从PG接头上拉出。

2-2

注意无用的连接电缆必须完全去除，以免影响仪器的电磁屏蔽和防止短路。

-按图2-1安装操作单元。

-连接延伸电缆至仪器的后板和

操作单元。

操作单元的供电按保护级IP 54。

图2-1 操作单元的面板开孔

2.1.3 质谱仪组件

质谱仪组件悬挂在金属架中以吸收任何振动。安装金属架必须使用振动吸收块（2-2/24）。图注

1 --

2 --

3 同轴管

4 十字接管

5 涡轮分子泵

6 质谱仪

7 细检接口

8 真空计

9 内部标准漏孔选件

10 --

11 --

12 --

13 --

14 --

15 --

16 --

17 T形接管

18 粗检接口（测试室）

19 --

20 吸入器阀门选件

21 --

22 永久磁铁

23 钢架

24 振动吸收块

25 预放大器

26 离子源

27 泵组件选件的接口

图2-2 质谱仪组件

2-3

警告质谱仪防震架必须能可靠地吸收在涡轮分子泵断电时产生的动能。

质谱仪组件的安装结构必须能吸收当涡轮分子泵可能突然中止时产生的150

牛顿米的制动力矩，否则质谱仪组件可能松脱或另件飞出。不要使用无正确安

装的质谱仪组件，如在桌上测试是不允许的。

为了达到尽可能短的反应时间，质谱仪组件与测试室的连接应采用尽可能短的DN 16

KF真空软管（见3.2.1节）。

同轴管应始终通过十字接管与涡轮分子泵连接（见图2-2/3）。这样粗检接口始终通过同

轴管。当使用标准漏孔TL 7选件时，标准漏孔TL 7必须通过同轴管前面的T形接管

（2-2/17）连接。

安装附注

垂直安装（法兰向下）的真空计（2-2/8）在工厂中已校准好。如其它方向安装真空计必

须重新校准（见使用说明书GA 09.216）。

2.1.

3.1 真空连接件

真空连接件必须按第3.2.1节中的图示提供。根据应用的真空图可能不需要所有供应件。

您必须确认所用的元件（软管，阀门）符合真空工程的基本要求。在安装过程中尤其要

确保密封垫圈的正确位置、完好与清洁。

当使用内部标准漏孔选件时，必须将标签上的漏率值在待用模式中输入菜单页07（见

4.4.1节）。

2.1.4 质谱仪与电子学组件之间的连接

质谱仪组件通过连接电缆（见1.4.2节）与电子学组件连接（见图2-3）。

电缆插头与相匹配的插座的标志是相同和明显的。

初始运行在4.1节中说明。

注意在连接其余电缆之前，质谱仪组件与电子学组件之间的两侧均必须连接保护接地导线。如不这样做，质谱仪组件与电子学组件之间的电位差可导致电子学组

件中元件的损坏。

2-4

操作单元的电缆

带滤波器的

电源开关

保险丝

电子学合的后板

连接电缆

连接电缆

内部标准漏孔选件

吸入器管线

选件的接头

注意：切勿错换！抑制器（同轴）

连接吸入器阀门

选件

TTR电缆

图注

XS--= 凹插口

XP--= 凸插口

图2-3 连接图

2-5

2.2 电连接

注

必须遵守新版VDE 0100规程中的规定。

注意将仪器连接电源前，首先检查在仪器上设定的电源是否与当地的电源电压相符。LDS 1000 可设定220至240伏或100至120伏两个电压范围中的一个。

可用电压选择开关（2-4/7）选用正确的电压。LDS 1000 出厂时预先设定在220

至240伏。仪器电源运行必须有保护接地。

警告打开仪器前必须拔下电源插头！

更换电源电压设定值：

松开面板上的6个螺栓卸下面板。如220伏电源可将电压选择开关（2-4/7）设定于位置

（2-4/8）。如110伏可设定于位置（2-4/9）。

图注

1 LDS 1000 电子学单元 6 面板右风扇的连接件

2 跨接片，设定工作模式（XJ2）7 电压选择开关

3 跨接片（未用）8 230伏电源位置

4 键操作开关的连接件9 110伏电源位置

5 面板左风扇的连接件10 键操作开关

11 键的位置（这里表示在“0”位置）

图2-4 电源电压和工作模式的设定

2-6

2.3 工作模式的设定

2.3.1 控制模式的设定

LDS 1000可通过编程控制或RS 232接口操作。可在菜单页16中选择工作模式。

2.3.2 工作模式的设定

如1.3.1节所述，LDS 1000 可工作在两个模式中的任一个模式：

-真空连接至测试室或测试样品，或

-用作吸入器检漏仪。

两种工作模式，其内部控制过程的运行方法是不同的。

按表格中提供的信息根据跨接片XJ1或XJ2和编程控制输入SNIFF选择工作模式。

警告打开仪器前拔下电源插头！

通过跨接片XJ2改变工作模式：

松开面板上的6个螺栓卸下面板。

跨接片XJ2（2-4/2）在位置1-2 ：真空检漏（缺省）

在位置2-3 ：吸入器检漏

2-7

2.4 连接系统控制器

在测试系统的概念中，LDS 1000 用作确定测试样品漏率的传感器。测试系统由与LDS

1000 通讯的系统控制器控制。LDS 1000 可由编程控制器或通过RS 232接口/ 计算机

控制。

2.4.1 连接编程控制器

LDS 1000 可按图2-5与编程控制器连接。连接件的接脚分配见2.4.4.3节。

图2-5 连接编程控制器的接脚图

2.4.2 连接计算机

LDS 1000 通过它的RS 232接口（2-6/5）可使用市场购买的接口电缆与计算机连接（见

第8章）。

2.4.3 图形记录仪输出

图形记录仪输出（见图2.4.4.1）可用于记录漏率、进气口压强和背压压强。设定1是工

厂的缺省设定。在故障的情况下，输出电压为0伏。

图形记录仪输出的设定只能通过RS 232接口改变（见第8章，指令U9）。

测量数据模拟输出电压范围为0-10伏。分辨率限制为10毫伏。图形记录仪，例如X(t) 记

录仪，必须连接2.5千欧的输入电阻。测量数据通过两个通道，接脚1和接脚4输出。

接脚2和接脚3为参考地电位(GND)。接脚编号从左向右。

2-8

a) 选择设定1 ：漏率的数值部分和指数部分

接脚1

数值部分

接脚4

b) 选择设定2 ：漏率和前级压强P V

接脚1 LR

接脚4 P V

取决于为漏率设定的测量单位（4.3.3节，第15项）

图形记录仪输出可使用的的单位如下：

2-9

注

图形记录仪输出与其它连接件是电绝缘的。即使如此，如发生图形记录仪讯号受到交流

电源的干扰，建议将图形记录仪与LDS 1000 接在不同的电源相线上。如不可能做到，

则必须确保图形记录仪与LDS 1000之间的保护接地电位正确均衡。

2.4.4 连接件

2.4.4.1 图形记录仪输出，连接件XP6 SST（4-脚）

见图2-6/7和2.4.3节。

设定1：漏率的数值部分和指数部分（缺省）

脚1 漏率的数值部分

脚2 参考地电位（GND）

脚3 参考地电位（GND）

脚4 漏率的指数部分（多量程功能）

设定1：漏率和前级压强P V

（必须通过RS 232接口设定）

脚1 漏率（对数）

脚2 参考地电位（GND）

脚3 参考地电位（GND）

脚4 前级压强P V（对数）

图注

1操作单元的连接件7图形记录仪输出（XP6 SST）

2预放大器的连接件8继电器输出（XP5 SST）

3真空计和吸入器管线的连接件9编程控制器的连接件（XP4 SST）

4电源，离子源和涡轮分子泵的连接件10电源插口

5接口V24（XS2 SST）11电源开关

6未用12质谱仪组件需用的保护接地导线插口

图2-6 连接件

2-10

2.4.4.2 继电器输出连接件，XP5 SST（16-脚）

参见图2-6/8。

注意每个继电器的最大负荷为60伏/ 1安AC / DC。

触点编号从左向右。

脚1,2 继电器输出触发器常闭

脚3,4 继电器输出触发器常闭

脚5,6 继电器输出触发器常闭

脚7,8 继电器输出触发器常闭

脚9,10 继电器输出准备好常开

脚11,12 继电器输出故障常闭

脚13,14 继电器输出要求校准常闭

脚15,16 继电器输出量程溢出常闭

说明见4.5.2节。

2.4.4.3 编程控制器连接件，XP6 SST（16-脚）

参见图2-6/9。

注意最大允许输入电压为35伏。

触点编号从左向右。

脚1 编程控制器输入校准模式

脚2 编程控制器输入吸入器/ 真空

脚3 编程控制器输入启动/ 停止

脚4 编程控制器输入抑零

脚5 编程控制器输入校准

脚6 编程控制器输入打印

脚7 编程控制器输入清除

脚8 编程控制器参考电位

脚9 用于标准漏孔的阀门

脚10 吸入器阀门

脚11 阀门输出，未用

脚12 阀门接地

脚13 +24伏（最大0.8安），用0.8安保险丝保护

脚14 +24伏的接地

脚15,16 音响输出（最小32欧姆），见2.5节。操作说明见4.5.1节。

2-11