食品机械实验报告
题目: 打浆机的结构和工作原理
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2012 年11月16日
打浆机的结构和工作原理
一、实验目的
1、了解打浆机的结构和工作原理
2、利用打浆机打浆苹果,并与市场上的苹果汁进行对比。
二、打浆机的结构
打浆机主要用于浆果、番茄等原料的打浆、去果皮、去果核等,使果肉、果汁等与其它部分分离,便于果汁的浓缩和其它后续工序的完成。打浆机分单道打浆机和多道打浆机,后者也称为打浆机组。
(一)单道打浆机
设备外形
结构:主要由圆筒筛、破碎浆叶、刮板、轴、机架及传动系统等构成。
圆筒筛是一个两端开口的渣汁分离装置,水平安装在机壳内并固定在机架上。它用0.35~1mm厚的不锈钢制造,孔径范围在0.4~1.5mm,开孔率约为50%。
螺旋推进器、破碎桨叶和刮板依次安装在由传动系统驱动的轴上。
刮板实际上是长方形的不锈钢板,它由夹持器固定在轴上,一般刮板数为两块,也有三块的(此时在圆筒的径向夹解呈120°)。每一刮板与轴线有一称为导程角的夹角(导程角范围在5°左右)。
刮板与圆筒筛内壁之间距离可通过螺栓调节。为了保护圆筒筛不被刮板碰破,有时还在刮板上装有无毒耐酸橡胶板。
单道打浆机的工作过程
物料从进料斗12进入筛筒,电动机通过传动系统,带动刮板转动,由于刮板转动和导程角的存在,使物料在刮板和筛筒之间,沿着筒壁向出口端移动,移动轨迹为一条螺旋线。物料在移动过程中由于受离心力作用,汁液和已成浆状的肉质从圆筒筛的孔眼中流出,在收集料斗1的下端流入贮液桶。物料的皮和籽等下脚料则从圆筒筛左端的出渣口卸下,从而达到分离目的。
(二)打浆机组
打浆机联动
上面介绍的是单机操作的打浆机。在很多场合中,如番茄酱生产流水线中,是把
2~3台打浆机串联起来使用的,它同安装在一个机架上,由一台电动机带动,这叫打浆机的联动。打浆机联动时,各台打浆机的筛筒孔眼大小不同,前道筛孔比后道筛孔孔眼大,即一道比一道打得细。
三道打浆机工作原理
它与单道打浆机不同,没有破碎原料用的桨叶,破碎专门由破碎机进行。
破碎后的番茄用螺杆泵(浓浆泵)送到第I道打浆机打浆,汁液汇集于底部,经管道进入第II道打浆机中。同第I道打浆机一样,汁液是由其本身的重力经管道流入第III道打浆机中继续打浆。
因此,打浆机联动时,由第I至第III道打浆机是自上而下排列的。
第I道打浆机离地面有一定高度,必须在操作台上进行操作和管理。
实验总结:这次实验开始是将苹果煮制3分熟,灭酶杀菌,然后开始打浆,打浆是纯人工的体力活,我们要自己操作,一点都不先进,要不停的反复打浆,最后才得以成功,打浆出来的果汁经过柠檬酸的调配,口感比超市买的要醇厚,很不错的感觉。这次实验我们掌握了打浆机的工作原理,并进行了实际操作,为以后工作打下了一定基础。
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冲击式压路机(图6)使用多边形方滚,具有静压、冲击、振动、捣实和抒搓的综合作用适用于大型填方、塌
陷性土壤和干砂填筑工程的压实。 振动平板夯实机与振动冲击夯实机(图7)同属于振动压实机械。蛙式夯机是我国特有的一种小型压实设备,目前被除广泛使用。夯实机械通常用于小型工程的压实或作为压路机的补充。 2. 按工作质量大小分类 按工作质量大小,压路机分为小型、轻型、中型、重型和超重型,见表2、表3、表4。 表2 拖式轮胎压路机按质量分类
方面分类,这为选购和应用提供了相当大的空间。 (1)按压轮型式分类压路机的光面钢轮能适应路面的光整作业,且在转移工地时可在公路上行驶。但这种刚性滚轮难于保证铺层材料压实度的均匀性,这种压实度不均匀的道路经行车和沉陷后就会出现凹凸不平。 凸块轮对土壤兼有压实、冲击、拌合与揉搓的综合作用,特别适用于压实粘土。由于凸块对铺层材料的压应力大,经多遍压实后可得到高强度的工程基础。凸块轮振动压路机(图10)在工程基础与堤坝的建设施工中得到了广泛应用。 轮胎压实较之刚性压轮,其优越性在于其揉搓作用能使被压实材料在轮胎接地面积范围内得以均匀压实,而物料很少向侧面移动,这就使铺层各处的压实度相一致,且不会出现裂纹。由于柔性压实,不会破坏铺层材料的原有粘度和混合料中的骨科结构,使沥青混凝土路面有很好的封闭性和抗滑性能。 (2)按驱动轮数量分类单轮驱动压路机在进行压实作业时,从动轮有较为严重的推土现象,降低了铺层材料表面的压实品质。全轮驱动压路机的压轮都是主动轮,驱动力将铺层材料推向后方,能明显地发送表面的压实品质。 单轮驱动压路机往往是一个轮驱动,另一个从动轮转向,全轮驱动较单轮驱动有更大的驱动能力和制动能力,使压路机压实作业时不易陷车,刹车时能缩短制动距离。 (3)按振动轮数量分类振动压路机有单轮振动和双轮振动两种结构型式。与单轮振动串联压路机相比,双轮振动串联压路机虽然结构较复杂,但压实能力强,生产效率高。单轮振动串联压路机在结构上比较简单在一些小型压实工程及路面维修作业中被广泛采用。轮胎驱动单轮振动压路机的驱动能力大,横向稳定性好,几乎占领了岩石填土和工程基础的所有压实工作。 (4)按压轮布置分类压轮串联布置使作业面平整度好,三轮布置的压路机横向稳定性好,轮胎压路机的前后轮应相互错开安装。前后轮应有必要的重叠量,不致于在作业面留下空白处。 组合振动压路机(图11)的压轮布置独具匠心,前轮振动,后轮为四个光面轮胎。它集振动压路机与轮胎压路机的优点于一身,在路面铺层的压实工作中获得了很好的压实效果。 (5)按传动型式分类压路机的传动型式可以是机械传动、液压传动、液力机械传动。机械传动系统只能实现有级变速,且不能实现全轮驱动。液压传动能很容易地实现无级变速和全轮驱动、全轮振动,能在相当大的调速范围内保持高效率,操纵也很方便。液力机械传动能在一定的范围内根据行驶阻力的变化自动无级调速,提高了发动机的功率利用率。现在几乎所有的振动压路机上都采用了液压传动,液力机械传动只在超重型的轮胎压路机上应用。 (6)按转向方式分类压路机的转向方式分为偏转轮转向和铰接转向两大类。偏转轮转向的压压路机用整体式车架,结构比较简单。偏转轮转向有前轮转向、后轮转向和前后轮同时转向,其中前轮转向较有得司机掌握行车方向。前后轮同时转向也称“全轮转向”,全轮转向压路机的转弯半径小,且能保证弯道压实时不出现漏压现象,但需采用液压传动技术才能实现。
光 刻 工 艺 一、目的: 按照平面晶体管和集成电路的设计要求,在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理: 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术,它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中,未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化,很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用,对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀,从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 (一)光刻原理图 (一)光刻胶的特性: 1.性能,光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量,使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构,从而提高了抗蚀能力,不再溶于有机溶剂,也不再受一般腐蚀剂的腐蚀. 2.组成:以KPR 光刻胶为例: 感光剂--聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂--环己酮。 增感剂--5·硝基苊, 3.配制过程: 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀,然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀,静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内,加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 (二)光刻设备及工具: 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口
1.曝光机--光刻专用设备。 2.操作箱甩胶盘--涂复光刻胶。 3.烘箱――烤硅片。 4.超级恒温水浴锅--腐蚀SiO2片恒温用。 5.检查显为镜――检查SiO2片质量。 6.镊子――夹持SiO2片。 7.定时钟――定时。 8.培养皿及铝盒――装Si片用。 9.温度计――测量温度。 图(二)受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1.涂胶:利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上,涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上,然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上,利用转动时产生的离心力,将片子上多余的胶液甩掉,在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求:厚度适当(观看胶膜条纹估计厚薄),胶膜层均匀,粘附良好,表面无颗粒无划痕。 图(三)光刻工艺流程示意图
项目一压路机构造与装配 (2) 任务一认识压路机 (2) 1.压路机的用途 (2) 2.公路的结构 (2) 3. 压路机的分类 (2) 4. 压路机的型号编著 (3) 5.振动式压路机的应用 (3)
项目一压路机构造与装配 任务一认识压路机 一、任务描述 二、任务要求 三、相关知识 (一)压路机的用途、分类与型号编制 1.压路机的用途 在公路、铁路、机场、水利工程、建筑工程中,压路机主要用于对路基、路面、大堤、围堰、建筑基础等进行压实。 所谓压实,就是通过碾压、冲击等方法,以外力克服土壤、砂石、沥青混合料的颗粒之间的摩擦力、凝聚力进行重新排列,互相之间靠拢、将水与空气挤出,使材料颗粒之间的摩擦力、凝聚力变得更大,被压实材料也就更密实。 压实经过了四个过程:重新排列、充填过程、分离过程与夯实过程。即较大的颗粒重新排列,使它们之间的间隙变小,小颗粒充填到大颗粒这间的间隙中,将间隙中的水与空气挤出,在外力的作用下颗粒碎裂,造成进一步的充填。 造成压实的作用力有以下几种:静压力、冲击力、激振力、振荡力与搓揉力。能产生以上几种力进行压实工作的机器就是压路机。 2.公路的结构 公路分二层:路面层与路基层。 路基层有二种:一种是未经挖动的土层,这种不需要进行压实;另一种是填起来的土层,必须进行分层压实。 路面层分为面层、基层与垫层,均需要进行压实。其中各层的材料与厚度各不相同,有沥青混凝土、水泥混凝土、稳定土、级配沙石、泥结沙石等。对于不同的层面、不同的材料就采用不同的压实方法,采用不同的压实机械。 3.压路机的分类 1 按压实原理分:静作用式、振动式、振荡式。 3按碾压轮的形式分:光钢轮、振动轮、羊脚轮。 4按机架分:整体机架、铰接机架。 5按碾压轮数量分:单轮、双轮、叁轮。
第四节汽轮发电机 汽轮发电机是同步发电机的一种,它是由汽轮机作原动机拖动转子旋转,利用电磁感应原理把机械能转换成电能的设备。 汽轮发电机包括发电机本体、励磁系统及其冷却系统等。 一、汽轮发电机的工作原理 按照电磁感应定律,导线切割磁力线感应出电动势,这是发电机的基本工作原理。汽轮发电机转子与汽轮机转子高速旋转时,发电机转子随着转动。发电机转子绕组内通入直流电流后,便建立一个磁场,这个磁场称主磁极,它随着汽轮发电机转子旋转。其磁通自转子的一个极出来,经过空气隙、定子铁芯、空气隙、进入转子另一个极构成回路。 根据电磁感应定律,发电机磁极旋转一周,主磁极的磁力线北装在定子铁芯内的U、V、W三相绕组(导线)依次切割,在定子绕组内感应的电动势正好变化一次,亦即感应电动势每秒钟变化的次数,恰好等于磁极每秒钟的旋转次数。 汽轮发电机转子具有一对磁极(即1个N极、一个S极),转子旋转一周,定子绕组中的感应电动势正好交变一次(假如发电机转子为P对磁极时,转子旋转一周,定子绕组中感应电动势交变P次)。当汽轮机以每分钟3000转旋转时,发电机转子每秒钟要旋转50周,磁极也要变化50次,那么在发电机定子绕组内感应电动势也变化50次,这样发电机转子以每秒钟50周的恒速旋转,在定子三相绕组内感应出相位不同的三相交变电动势,即频率为50Hz的三相交变电动势。这时若将发电机定子三相绕组引出线的末端(即中性点)连在一起。绕组的首端引出线与用电设备连接,就会有电流流过,这个过程即为汽
轮机转子输入的机械能转换为电能的过程。 二、汽轮发电机的结构 火力发电厂的汽轮机发电机皆采用二极、转速为3000r/min的卧式结构。发电机与汽轮机、励磁机等配套组成同轴运转的汽轮发电机组。 发电机最基本的组成部件是定子和转子。 为监视发电机定子绕组、铁芯、轴承及冷却器等各重要部位的运行温度,在这些部位埋置了多只测温元件,通过导线连接到温度巡检装置,在运行中进行监控,并通过微机进行显示和打印。 在发电机本体醒目的位置装设有铭牌,标出发电机的主要技术参数,作为发电机运行的技术指标。 (一)定子 发电机的定子由定子铁芯、定子绕组、机座、端盖及轴承等部件组成。 1.定子铁芯 定子铁芯是构成磁路并固定定子绕组的重要部件,通常由0.5mm或0.35mm厚,导磁性能良好的冷轧硅钢片叠装而成。大型汽轮发电机的定子铁芯尺寸很大,硅钢片冲成扇形,再用多片拼装成圆形。 2.定子绕组 定子绕组嵌放在定子铁芯内圆的定子槽中,分三相布置,互成120°电角度,以保证转子旋转时在三相定子绕组中产生互成120°相位差的电动势。每个槽内放有上下两组绝缘导体(亦称线棒),每个线棒分为直线部分(置于铁芯槽内)和两个端接部分。直线部分是切割磁力线并产生感应电动势的有效边,端接部分起连接作用,把各线棒按一定的规律连接起来,构成发电机的定子绕
板框压滤机的工作原理 板框压滤机是由交替排列的滤板和滤框共同构成一组滤室。在滤板的表面有沟槽构造,它凸出部位是用来支撑滤布的。滤框和滤板的边角上各有通孔,组装以后可以构成一个完整的通道,能够通入洗涤水、悬浮液和引出滤液来。板和框的两侧各有把手支托在横梁的上面,由压紧装置压紧板、框。板、框之间的滤布起到密封垫片的作用。由供料泵将悬浮液压入滤室,在滤布的上面形成滤渣,直至充满了滤室。 滤液穿过滤布并沿滤板沟槽流至板框边角通道,集中排出。过滤完毕之后,可以通入清洗涤水洗涤滤渣。洗涤后,有时还通入压缩空气,除去剩余的洗涤液。随后打开压滤机卸除滤渣,清洗滤布,重新压紧板、框,开始下一工作循环。 板框压滤机主要由压紧板(活动滤板)、止推板(固定滤板)、过滤介质(滤布或滤纸等)、滤板和滤框、横梁(扁铁架)、压紧装置、集液槽等组成(参见附图),其中的过滤介质和集液槽上由用户自备,当然也可以由上海大张过滤设备代配。 板框压滤机对于滤渣压缩性大或近于不可压缩的悬浮液都能适用。适合的悬浮液的固体颗粒浓度一般为10%以下,操作压力一般为0.3~0.6兆帕,特殊的可达3兆帕或更高。过滤面积可以随所用的板框数目增减。板框通常为正方形,滤框的内边长为 320~2000毫米,框厚为16~80毫米,过滤面积为1~1200米2。板与框用手动螺旋、电动螺旋和液压等方式压紧。板和框用木材、铸铁、铸钢、不锈钢、聚丙烯和橡胶等材料制造。 板框压滤机共有手动压紧、机械压紧和液压压紧三种形式。 手动压紧是螺旋千斤顶推动压紧板压紧;机械压紧是电动机配H型减速箱,经机架传动部件推动压紧板压紧;液压压紧是有液压站经机架上的液压缸部件推动压紧板压紧。
板框压滤机知识 基本概述 板框压滤机分为厢式压滤机与板框式压滤机二种。 组成部分 板框压滤机的结构由三部分组成: 1、机架 机架是压滤机的基础部件,两端是止推板和压紧头,两侧的大梁将二者连执着起来,大梁用以支撑滤板、滤框和压紧板。为了满足高级卫生需要或防腐需要,机架需要包上不锈钢。 A、止推板:它与支座连接将压滤机的一端坐落在地基上,厢式压滤机的止推板中间是进料 孔,四个角还有四个孔,上两角的孔是洗涤液或压榨气体进口,下两角为出口(暗流结构还是滤液出口) b、压紧板:用以压紧滤板滤框,两侧的滚轮用以支撑压紧板在大梁的轨道上滚动。 C、大梁:是承重构件,根据使用环境防腐的要求,可选择硬质聚氯乙烯、聚丙烯、不锈钢包覆或新型防腐涂料等涂覆。 2、压紧机构 手动压紧、机械压紧、液压压紧。 A、手动压紧:是以螺旋式机械千斤顶推动压紧板将滤板压紧。 B、机械压紧:压紧机构由电动机(配置先进的过载保护器)减速器、齿轮、丝杆和固定螺母组成。压紧时,电动机正转,带动减速器、齿轮,使丝杆在固定丝母中转动,推动压紧板将滤板、滤框压紧。当压紧力越来越大时,电机负载电流增大,当大到保护器设定的电流值时,达到最大压紧力,电机切断电源,停止转动,由于丝杆和固定丝母有可靠的自锁螺旋角,能可靠地保证工作过程中的压紧状态,退回时,电机反转,当压紧板上的压块,触压到行程开关时退回停止。 C、液压压紧:液压压紧机构的组成由液压站、油缸、活塞、活塞杆以及活塞杆与压紧板连 接的哈夫兰卡片液压站的结构组成有:电机、油泵、溢流阀(调节压力)换向
阀、压力表、油路、油箱。液压压紧机械压紧时,由液压站供高压油,油缸与活塞构成的元件腔充满油液,当压力大于压紧板运行的摩擦阻力时,压紧板缓慢地压紧滤板,当压紧力达到溢流阀设定的压力值(由压力表指针显示)时,滤板、滤框(板框式)或滤板(厢式)被压紧,溢流阀开始卸荷,这时,切断电机电源,压紧动作完成,退回时,换向阀换向,压力油进入油缸的有杆腔,当油压能克服压紧板的摩擦阻力时,压紧板开始退回。液压压紧为自动保压时,压紧力是由电接点压力表控制的,将压力表的上限指针和下限指针设定在工艺要求的数值,当压紧力达到压力表的上限时,电源切断,油泵停止供电,由于油路系统可能产生的内漏和外漏造成压紧力下降,当降到压力表下限指针时,电源接通,油泵开始供油,压力达到上限时,电源切断,油泵停止供油,这样循环以达到过滤物料的过程中保证压紧力的效果。 3、过滤机构 过滤机构由滤板、滤框、滤布、压榨隔膜组成,滤板两侧由滤布包覆,需配置压榨隔膜时,一组滤板由隔膜板和侧板组成。隔膜板的基板两侧包覆着橡胶隔膜或聚丙烯隔膜,隔膜外边包覆着滤布,侧板即普通的滤板。物料从止推板上的进料孔进入各滤室,固体颗粒因其粒径大于过滤介质(滤布)的孔径被截留在滤室里,滤液则从滤板下方的出液孔流出。滤饼需要榨干时,除用隔膜压榨外,还可用压缩空气或蒸气,从洗涤口通入,气流冲去滤饼中的水份,以降低滤饼的含水率。 (1)过滤方式 滤液流出的方式分明流过滤和暗流过滤。 A、明流过滤:每个滤板的下方出液孔上装有水咀,滤液直观地从水咀里流出。 B、暗流过滤:每个滤板的下方设有出液通道孔,若干块滤板的出液孔连成一个出液通 道,由止推板下方的出液孔相连接的管道排出。 (2)洗涤方式滤饼需要洗涤时,有明流单向洗涤和双向洗涤,暗流单向洗涤和双向洗涤。 A、明流单向洗涤是,洗液从止推板的洗液进孔依次进入,穿过滤布再穿过滤饼,从无孔滤板流出,这时有孔板的出液水咀处于关闭状态,无孔板的出液水咀是开启状态。 B、明流双向洗涤是,洗液从止推板上方的两侧洗液进孔先后两次洗涤,即洗液先从一侧洗涤再从另一侧洗涤,洗液的出口同进口是对角线方向,所以又叫双向交叉洗涤。 C、暗流单向流涤是,洗液从止推板的洗液进孔依次进入有孔板,穿过滤布再穿过滤饼,从无孔滤板流出。
投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm(正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,
第一章600WM汽轮机低压缸及发电机结构简介 一、汽轮机热力系统的工作原理 1、汽水流程: 1〉再热后的蒸汽从机组两侧的两个中压再热主汽调节联合阀及四根中压导汽管从中部进入分流的中压缸,经过正反各9 级反动式压力级后,从中压缸上部四角的4 个排汽口排出,合并成两根连通管,分别进入Ⅰ号、Ⅱ号2个低压缸。低压缸为双分流结构,蒸汽从中部流入,经过正反向各7 级反动式压力级后,从2个排汽口向下排入凝汽器。排入凝汽器的乏汽在凝汽器内凝结成凝结水,由凝结水泵升压后经化学精处理装置、汽封冷却器、四台低压加热器,最后进入除氧器,除氧水由给水泵升压后经三台高压加热器进入锅炉省煤器,构成热力循环。 二、汽轮机本体缸体的常规设计 低压汽缸为三层缸结构,能够节省优质钢材,缩短启动时间。汽机各转子均为无中心孔转子,采用刚性联接,,提高了转子的寿命及启动速度。#1 低压转子的前轴承采用两瓦块可倾瓦轴承,这种轴承不仅有良好的自位性能,而且能承受较大的载荷,运行稳定。低压转子的另外三个轴承为圆筒轴承,能承受更大的负荷。 三、岱海电厂的设备配置及选型 1)我公司的汽轮机组选用上海汽轮机厂生产的 N600-16.7/538/538 型600MW 机组。最大连续出力可达 648.624MW。这是上海汽轮机厂在引进美国西屋电气公司技术的基础上,对通流部分作了设计改进后的新型机组,它采用积木块式的设计。形式为亚临界参数、一次中间再热、单轴、四缸、四排汽凝汽式汽轮机。具有较好的热负荷和变负荷适应性,采用数字式电液
调节(DEH)系统。机组能在冷态、温态、热态和极热态等不同工况下启动。 汽轮机有两个双流的低压缸;通流级数为28级。低压汽缸为三层缸结构,能够节省优质钢材,缩短启动时间。汽机各转子均为无中心孔转子,采用刚性联接,提高了转子的寿命及启动速度。低压缸设有四个径向支持轴承。#1 低压缸的前轴承采用两瓦块可倾瓦轴承,这种轴承不仅有良好的自位性能,而且能承受较大的载荷,运行稳定。低压转子的另外三个轴承为圆筒轴承,能承受更大的负荷。 汽轮机低压缸有4级抽汽,分别用于向4 台低压加热器提供加热汽源。N600-16.7/538/538汽轮机采用一次中间再热,其优点是提高机组的热效率,在同样的初参数条件下,再热机组一般比非再热机组的热效率提高4%左右,而且由于末级蒸汽温度较非再热机组大大降低,因此,对防止汽轮机组低压末级叶片水蚀特别有利。但是中间再热式机组的热力系统比较复杂。 汽轮机额定基本参数 型号N600-16.7/538/538 铭牌出力603.7MW 结构形式亚临界、一次中间再热、单轴、四缸、四排汽、反动式、冷凝式 主汽压力16.7MPa 主汽温度538℃ 再热汽压力 3.194MPa 再热汽温度538℃ 背压11.8kPa(a) 冷却水温18℃ 给水温度278.2℃ 转速3000r/min 旋转方向从汽轮机端向发电机端看为顺时针 汽轮机抽汽级数8级
十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里,我们介绍如何将图形转移到硅片表面上,包括以下内容:a)将图形投影到硅片表面的装置(即光刻对准仪或光刻翻版机),由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具(即光掩模版和中间掩模版)。在介绍光刻机或掩模版之前,把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前,有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征:a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常,分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的,我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而,和光刻机的分辨率一样,最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解,但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小,且各层都需正确匹配,所以需要配合紧密。
微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此,首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形,然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如,如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版,这样也许仍 然是经济的。不过,在大 部分生产应用中,加工和 机器的产率是很重要的, 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的,因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的,所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制,而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的,那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念,包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图(1):一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射
1.压滤机是一种间歇性分离细微悬浮的过滤机械,既可适用于分离低浓度悬浮液,又能分离粘度高或接近于饱和状态的悬浮液是固液分离的理想设备。 厢式压滤机为无滤框之压滤机,当压紧后,两邻滤板间所形成的空间即起滤室作用。 该机操作压力较高,适用于难过滤物料,更多应用于含微量固体杂质的液相澄清。压紧板的压紧和松开均采用液压操作,结构简单,使用方便,广泛应用于化工、石油、冶金、染料,制药、食品环保等部门。 ▲滤板采用增强聚丙稀(玻纤改性)热塑模压成型制板,强度高、重量轻、无毒无味、耐酸、碱、盐溶液。 ▲采用复式油缸,液压压紧,压紧板行程650,700mm,下料方便,操作简便,安全可靠,没有顶缸现象。 ▲滤板型腔设计先进可靠,没有脱点、脱框现象,使用寿命长。 ▲流道设计独特,过滤速度快,缩短生产周期产量高 2. 带式压滤脱水机 2-1.用途 带式压滤机主要用于给排水工程中污泥的脱水,使其体积减少,以利于进一步进行填埋、焚烧等处理。 工作原理及构造: 通过带式压滤机上一系列的辊及滚筒,将上下两层滤带张紧,滤带上的污泥在剪力作用下,污泥中的游离小不断被挤出,从而完成泥水分离过程。脱水过程
一般分为三个阶段:重力脱水段,楔形预压榨段,中、高压剪切脱水段。 压滤机一般由架体、辊、纠偏装置、张紧装置、布泥系统、滤带、刮泥板、冲洗系统等组成。 2-2.特点 ①结构紧凑、整体刚性好。 ②无级调速电动机,可以随时调节运行速度,适应性强。 ③特制冲洗喷嘴及防堵塞装置,使滤带冲洗干净。 ④控制系统自动纠偏,并有限位开关保护滤带,确保设备正常运行。 ⑤处理量大,脱水效果好,运行费用低。 ⑥附属设备选用名牌产品,性能可靠。 ⑦可提供PLC远程控制接口,利用管理。 压滤机是一种常用的固液分离设备,在18世纪初就应用于化工生产,至今仍广泛应用于化工、制药、冶金、染料、食品、酿造、陶瓷以及环保等行业。 基本概述 名称:压滤机 定义:利用一种特殊的过滤介质,对对象施加一定的压力,使得液体渗析出来的一种机械设备。 功能:使混合液中的固体提取出来,实现固、液分离的作用。 用途:医药、化工、标准件、制药、冶金、非标螺丝、染料、食品、酿造、陶瓷、炼油、污水处理等环保行业。 特点:过滤板具有性能稳定、操作方便、安全、省力;金属榨筒由无缝钢管加工、塑钢滤板精铸成型,耐高温、高压,经久耐用。 功能配置 手动压紧、电机压紧、自动液压压紧、自动保压、电气控制/电脑程控、自动拉板、自动接液翻板等 进料方式、液流形式 中进料、或角进料、中上进料 明流出液、暗流出液
汽轮机设备结构与工作原理(4) 81.汽轮机的滑销有哪些种类?它们各起什么作用? 根据滑销的构造形式、安装位置可分为下列六种: ⑴横销:一般安装在低压汽缸排汽室的横向中心线上,或安装在排汽室的尾部,左右两侧各装一个。横销的作用是保证汽缸横向的正确膨胀,并限制汽缸沿轴向移动。由于排汽室的温度是汽轮机通流部分温度最低的区域,故横销都装于此处,整个汽缸由此向前或向后膨胀,形成了轴向死点。 ⑵纵销:多装在低压汽缸排汽室的支撑面、前轴承箱的底部、双缸汽轮机中间轴承的底部等和基础台板的接合面间。所有纵销均在汽轮机的纵向中心线上。纵销可保证汽轮机沿纵向中心线正确膨胀,并保证汽缸中心线不能作横向滑移。因此,纵销中心线与横销中心线的交点形成整个汽缸的膨胀死点,在汽缸膨胀时,这点始终保持不动。 ⑶立销:装在低压汽缸排汽室尾部与基础台板间,高压汽缸的前端与轴承座间。所有的立销均在机组的轴线上。立销的作用可保证汽缸的垂直定向自由膨胀,并与纵销共同保持机组的正确纵向中心线。 ⑷猫爪横销:起着横销作用,又对汽缸起着支承作用。猫爪一般装在前轴承座及双缸汽轮机中间轴承座的水平接合面上,是由下汽缸或上汽缸端部突出的猫爪,特制的销子和螺栓等组成。猫爪横销的作用是:保证汽缸在横向的定向自由膨胀,同时随着汽缸在轴向的膨胀和收缩,推动轴承座向前或向后移动,以保持转子与汽缸的轴向相对位置。 ⑸角销:装在排汽缸前部左右两侧支撑与基础台板间。销子与销槽的间隙为0.06~0.08mm。 斜销是一种辅助滑销,不经常采用,它能起到纵向及横向的双重导向作用。 82.什么是汽轮机膨胀的“死点”,通常布置在什么位置? 横销引导轴承座或汽缸沿横向滑动并与纵销配合成为膨胀的固定点,称为“死点”。也即纵销中心线与横销中心线的交点。“死点”固定不动,汽缸以“死点”为基准向前后左右膨胀滑动。对凝汽式汽轮机来说,死点多布置在低压排汽口的中心线或其附近,这样在汽轮机受热膨胀时,对于庞大笨重的凝汽器影响较小。国产200MW和125MW汽轮机组均设两个死点,高、中压缸向前膨胀,低压缸向发电机侧膨胀,各自的绝对膨胀量都可适当减小。 83.汽轮机联轴器起什么作用?有哪些种类?各有何优缺点? 联轴器又叫靠背轮。汽轮机联轴器是用来连接汽轮发电机组的各个转子,并把汽轮机的功率传给发电机。汽轮机联轴器可分为刚性联轴器、半挠性联轴器和挠性联轴器。以下介绍这几种联轴器的优缺点。刚性联轴器:优点是构造简单、尺寸小、造价低、不需要润滑油。缺点是转子的振动、热膨胀都能相互传递,校中心要求高。半挠性联轴器:优点是能适当弥补刚性靠背轮的缺点,校中心要求稍低。缺点是制造复杂、造价较大。挠性联轴器:优点是转子振动和热膨胀不互相传递,允许两个转子中心线稍有偏差。缺点是要多装一道推力轴承,并且一定要有润滑油,直径大,成本高,检修工艺要求高。大机组一般高低压转子之间采用刚性联轴器,低压转子与发电机转子之间采用半挠性联轴器。 84.刚性联轴器分哪两种? 刚性联轴器又分装配式和整锻式两种型式。 装配式刚性联轴器是把两半联轴器分别用热套加双键的方法,套装在各自的轴端上,然后找准中心、铰孔,最后用螺栓紧固;整锻式刚性联轴器与轴整体锻出。这种联轴器的强度和刚度都比装配式高,且没有松动现象。为使转子的轴向位置作少量调整,在两半联轴器之间装有垫片,安装时按具体尺寸配制一定厚度的垫片。 .什么是半挠性联轴器?85. 半挠性联轴器的结构是在两个联轴器间用半挠性波形套筒连接,并用螺栓紧固。波形套筒在
板框压滤机的选型及工作原理 板框压滤机由交替排列的滤板和滤框构成一组滤室。滤板的表面有沟槽,其凸出部位用以支撑滤布。滤框和滤板的边角上有通孔,组装后构成完整的通道,能通入悬浮液、洗涤水和引出滤液。板、框两侧各有把手支托在横梁上,由压紧装置压紧板、框。板、框之间的滤布起密封垫片的作用。由供料泵将悬浮液压入滤室,在滤布上形成滤渣,直至充满滤室。滤液穿过滤布并沿滤板沟槽流至板框边角通道,集中排出。过滤完毕,可通入清洗涤水洗涤滤渣。洗涤后,有时还通入压缩空气,除去剩余的洗涤液。随后打开压滤机卸除滤渣,清洗滤布,重新压紧板、框,开始下一工作循环。 板框压滤机对于滤渣压缩性大或近于不可压缩的悬浮液都能适用。适合的悬浮液的固体颗粒浓度一般为10%以下,操作压力一般为0.3~0.6兆帕,特殊的可达3兆帕或更高。过滤面积可以随所用的板框数目增减。板框通常为正方形,滤框的内边长为 320~2000毫米,框厚为16~80毫米,过滤面积为1~1200米2。板与框用手动螺旋、电动螺旋和液压等方式压紧。板和框用木材、铸铁、铸钢、不锈钢、聚丙烯和橡胶等材料制造。 板框式压滤机主要由止推板(固定滤板)、压紧板(活动滤板)、滤板和滤框、横梁(扁铁架)、过滤介质(滤布或滤纸等)、压紧装置、集液槽等组成(参见附图一-一八),其中过滤介质和集液槽由用户自备,也可由本厂代配。 板框压滤机有手动压紧、机械压紧和液压压紧二种形式。手动压紧是螺旋千斤顶推动压紧板压紧;机械压紧是电动机配H型减速箱,经机架传动部件推动压紧板压紧;液压压紧是有液压站经机架上的液压缸部件推动压紧板压紧。两横梁把止推板和压紧装置连在一起构成机架,机架上压紧板与压紧装置饺接,在止推板和压紧板之间依次交替排列着滤板和滤框,滤板和滤框之间夹着过滤介质;压紧装置推动压紧板,将所有滤板和滤框压紧在机架中,达到额定压紧力后,即可进行过滤。悬浮液从止推板上的进料孔进入各滤室(滤框与相邻滤板构成滤室),固体颗粒被过滤介质截留在滤室内,滤液则透过介质,由出液孔排出机外。 压滤机的出液有明流和暗流两种形式,滤液从每块滤板的出液孔直接排出机外的称明流式,明流式便于监视每块滤板的过滤情况,发现某滤板滤液不纯,即可关闭该板出液口;若各块滤板的滤液汇合从一条出液管道排出机外的则称暗流式,暗流式用于滤液易挥发或滤液对人体有害的悬浮液的过滤。 压滤机根据是否需要对滤渣进行洗涤,又可分为可洗和不可洗两种形式,可以洗涤的称可洗式,否则称为不可洗式。可洗式压滤机的滤板有两种形式,板上开有洗涤液进液孔的称为有孔滤板(也称洗涤板),未开洗涤液进液孔的称无孔滤板(也称非洗涤板)。可洗式压滤机
项目一压路机构造与装配...................................... 错误!未定义书签。 任务一认识压路机........................................ 错误!未定义书签。 1.压路机的用途 .............................................. 错误!未定义书签。 2.公路的结构 ................................................ 错误!未定义书签。 3. 压路机的分类 ............................................. 错误!未定义书签。 4. 压路机的型号编着 ......................................... 错误!未定义书签。 5.振动式压路机的应用 ........................................ 错误!未定义书签。
项目一压路机构造与装配 任务一认识压路机 一、任务描述 二、任务要求 三、相关知识 (一)压路机的用途、分类与型号编制 1.压路机的用途 在公路、铁路、机场、水利工程、建筑工程中,压路机主要用于对路基、路面、大堤、围堰、建筑基础等进行压实。 所谓压实,就是通过碾压、冲击等方法,以外力克服土壤、砂石、沥青混合料的颗粒之间的摩擦力、凝聚力进行重新排列,互相之间靠拢、将水与空气挤出,使材料颗粒之间的摩擦力、凝聚力变得更大,被压实材料也就更密实。 压实经过了四个过程:重新排列、充填过程、分离过程与夯实过程。即较大的颗粒重新排列,使它们之间的间隙变小,小颗粒充填到大颗粒这间的间隙中,将间隙中的水与空气挤出,在外力的作用下颗粒碎裂,造成进一步的充填。 造成压实的作用力有以下几种:静压力、冲击力、激振力、振荡力与搓揉力。能产生以上几种力进行压实工作的机器就是压路机。 2.公路的结构 公路分二层:路面层与路基层。 路基层有二种:一种是未经挖动的土层,这种不需要进行压实;另一种是填起来的土层,必须进行分层压实。 路面层分为面层、基层与垫层,均需要进行压实。其中各层的材料与厚度各不相同,有沥青混凝土、水泥混凝土、稳定土、级配沙石、泥结沙石等。对于不同的层面、不同的材料就采用不同的压实方法,采用不同的压实机械。 3.压路机的分类 1 按压实原理分:静作用式、振动式、振荡式。 2按结构质量分:轻型、小型、中型、重型、超重型。 3按碾压轮的形式分:光钢轮、振动轮、羊脚轮。 4按机架分:整体机架、铰接机架。 5按碾压轮数量分:单轮、双轮、叁轮。
各种过滤设备工作原理及结构分析(动画演示)
各种过滤设备工作原理及结构分析(动画演示) 更多好内容:化工707网 下载此文档:化工707论坛过滤设备是用来进行过滤的机械设备或者装置,是工业生产中常见的通用设备。过滤设备总体分为真空和加压两类,真空类常用的有转筒、圆盘、水平带式等,加压类常用的有压滤、压榨、动态过滤和旋转型等。按操作方式分类:间歇过滤机、连续过滤机 按操作压强差分类:压滤、吸滤和离心过滤 工业上使用的典型过滤设备:板框压滤机(间歇操作)转筒真空过滤机(连续操作) 过滤式离心机1 板框压滤机1)结构由许多块带凹凸纹路的滤板与滤框交替排列组装于机构成。主要包括滤板、滤框、夹紧机构、机架等组成。 滤板:凹凸不平的表面,凸部用来支撑滤布,凹槽是滤液的流道。滤板右上角的圆孔,是滤浆通道;左上角的圆孔,是洗水通道。
洗涤板:左上角的洗水通道与两侧表面的凹槽相通,使洗水流进凹槽; 非洗涤板:洗水通道与两侧表面的凹槽不相通。 滤框:滤浆通道:滤框右上角的圆孔 洗水通道:滤框左上角的圆孔为了避免这两种板和框的安装次序有错,在铸造时常在板与框的外侧面分别铸有一个、两个或三个小钮。非洗涤板为一钮板,框带两个钮,洗涤板为三钮板。 2)操作过程板框压滤机为间歇操作,每个操作循环由装合、过滤、洗涤、卸饼、清理5个阶段组成。 装合:将板与框按1-2-3-2-1-2-3的顺序,滤板的两侧表面放上滤布,然后用手动的或机动的压紧装置固定,使板与框紧密接触。 过滤:悬浮液在指定压强下送进滤浆通道,由通道流进每个滤框里;滤液分别穿过滤框两侧的滤布,沿滤板板面的沟道至滤液出口排出;颗粒被滤布截留而沉积在滤布上,待滤饼充满全框后,停止过滤。根据滤液排出方式分为:明流和暗
Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm (正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,将产生一个对准电信号,该信号以中断信号的形式输入计算机,X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时,计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候,一个标记中两个象限的光栅同时参与,在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数,但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同,如图2所示。在对准扫描的过程中,每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号,由于两个象限的光栅条纹间距不同,所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号,而这个点就是在X
带式压滤机工作原理 三、工作原理 该设备主要由驱动装置、传动滚筒、输送带、槽型上托辊、下托辊、机架、清扫器、拉紧装置、改向滚筒、导料槽、重锤张紧装置及电器控制装置等组成。 输送带绕经传动滚筒和尾部改向滚筒形成环行封闭带。托辊承载输送带及上面输送的物料。张紧装置使输送带具有足够的张力,保证与传动滚筒间产生摩擦力使输送带不打滑。工作时,减速电机带动传动滚筒,通过摩擦力驱动输送带运行,物料由进料装置进入并随输送带一起运动,经过一定的距离到达出料口转入下一道工艺环节。 四、结构和控制特点 上托辊采用槽形托辊,利于承载松散物料。回程托辊采用V型托辊,有效防止皮带机跑偏。在空段清扫器前后安装下平托辊有利于清除物料。 输送带张紧采用螺旋张紧和重锤张紧两套装置。螺旋张紧装置还可以调整皮带机的跑偏。 在输送带的工作面两侧,沿输送带全长安装有导料槽,导料槽由槽板和橡胶板组合而成,橡胶板与输送带接触,形成槽形断面,起到增加输送量的作用,同时也防止物料洒落。导料槽板同橡胶板的固定方式采用螺栓和压板压紧的形式,橡胶板不需要钻孔,同时可以根据 橡胶板的磨损情况,方便的进行调整,保证橡胶板保持同输送带的密封状态。 在输送机头部和尾部安装有头部及空段清扫器。头部清扫器为重锤刮板式结构,安装于传动滚筒下方,用于清除输送带工作面的粘料。空段清扫器为刮板式结构,安装于靠近尾部的输送带非工作面的上方,用于清除输送带非工作面上的物料。
输送带采用聚酯帆布带,具有耐油、耐酸碱的性质。接头采用硫化接头,接头安全系数10-12。 输送机一侧安装有拉绳开关,当发生紧急情况时拉动开关上的钢丝绳启动此开关,可以立即停机。故障排除后,拉动复位销开关可复位。 输送机头尾部安装有跑偏开关,当输送带发生跑偏时,输送带带动开关上的立辊旋转并倾斜,倾斜大于一级动作角度12?时,发出一组开关信号;如立辊继续倾斜大于二级动作角度30?时,发出另一组开关信号。两组信号分别用于报警和停机。当输送机恢复正常运行后,立辊自动复位。 五、安装调试 1.输送机的各支腿、立柱或平台用化学锚栓牢固地固定于地面上。 2.机架上各个部件的安装螺栓应全部紧固。各托辊应转动灵活。托辊轴心线、传动滚筒、改向滚筒的轴心线与机架纵向的中心线应垂直。 3.螺旋张紧行程为机长的 1,,1.5,。 4.拉绳开关安装于输送机一侧,两开关间用覆塑钢丝绳连接,松紧适度。 5.跑偏开关安装于输送机头尾部两侧,成对安装。开关的立辊与输送带带边垂直,且保证带边位于立辊高度的1/3处。立辊与输送带边缘距离为50,70mm。 6.各清扫器、导料槽的橡胶刮板应与输送带完全接触,否则,调节清扫器和导料槽的安装螺栓使刮板与输送带接触。 7.安装无误后空载试运行。试运行的时间不少于2小时。并进行如下检查: (1)各托辊应与输送带接触,转动灵活。 (2)各润滑处无漏油现象。 (3)各紧固件无松动。 (4)轴承温升不大于40?C,且最高温度不超过80?C。 (5)正常运行时,输送机应运行平稳,无跑偏,无异常噪音。