干式螺杆真空泵质量及工作原理

干式螺杆真空泵质量及工作原理

干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。

如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断：

1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa左右。

2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。

3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。

4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。

基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。

总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。

干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。

1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空

2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况

3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体

4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。

5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。

6、不耗油,无滴漏

7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小

8、结构简单，维护方便。

10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组

与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。

阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

转于端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

螺杆泵的排气过程，齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出，

常用真空泵的工作原理图(1)

常用真空泵的工作原理图(1) 真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的真空泵相组合。 代表的真空泵 1：旋转式机械泵 2：分子泵（TMP） 3：离子泵 4：Ti升华泵 5：低温泵 曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。 旋转式机械泵 以油封式真空泵为例加以介绍。 构造：偏心轴转子,固定翼,油。旋转动力是电机。 原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。 特征： 排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度。操作简单。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。 为了避免油或其它液体进入真空腔内,不用油或其它液体的干式真

空泵正在成为主要的旋转式机械泵。 分子泵（TMP） 构造：电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。 原理：每分钟旋转数万次的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。 特征： 不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求。有振动。需要和其它初段排气泵组合。 离子泵

构造：强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。 原理：通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。 一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。 特征： 能达到超高真空(10-10Pa) 需要和其它初段排气泵组合。 有一定寿命。 Ti升华泵 构造：加热电阻丝、Ti材料(线或球)。 原理：通过加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到24000升/s的排气速度。在压力较高时(>10-3Pa)、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用。 特征： 排气速度大。 没有运动部分,没有振动。 需要和其它初段排气泵组合。

干式螺杆真空泵质量及工作原理

干式螺杆真空泵质量及工作原理 干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。 如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断： 1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa 左右。 2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。 3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。 4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。 基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。 总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。 干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。

1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小 8、结构简单，维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

真空泵的工作原理

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。各种真空泵的工作原理水环式真空泵/液环真空泵工作原理水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。罗茨泵的工作原理罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比

干式真空泵介绍及发展现状

干式真空泵介绍及发展现状 干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气，又能将气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。 目前，大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科技发展及真空应用领域的扩大，原有的真空泵出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作解释返流污染被抽容器，在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本;其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，是泵不能正常工作。这时就要用到干式真空泵。 干式真空泵的应用主要有以下几个方面： 1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺 2.半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。 3.除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。 4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。 5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。 随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。 为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 水环式真空泵/液环真空泵的工作原理： 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2

水环式真空泵的工作原理说明

水环式真空泵的工作原理说明 关键词：水环真空泵、水环真空泵工作原理、水环真空泵工作原理图示。 水环式真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限压力，对于单级泵为2.66～9.31kPa；对于双级泵为0.133～0.665kPa。水环泵也可用作压缩机，它属于低压的压缩机，其压力范围为（1～2）X105Pa表压力（在特定的条件下）。水环泵在石油、化工、机械、矿山、轻工、造纸、动力、冶金、医药和食品等工业及市政与农业等部门的许多工艺过程中，如真空过滤、真空送料、真空脱气、真空蒸发、真空浓缩和真空回潮等，得到了广泛的应用，由于水环泵压缩气体的过程是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘，含水的气体，因此，水环泵的应用日益增大。 如图为水环泵的工作原理示意图，水环泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。 叶轮被偏心的安装在泵体中，当叶轮按图示方向旋转时，进入水环泵泵体的水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切（如Ⅰ-Ⅰ断面），水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上，叶片在水环内有一定的插入深度）。此时，叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时，小腔的容积逐渐由小变大（即从断面Ⅰ-Ⅰ到Ⅱ-Ⅱ），压强不断的降低，且与吸排气盘上的吸气口相通，当小腔空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进小腔，此时正处于吸气过程。当吸气完成时与吸气口隔绝，从Ⅱ-Ⅱ到Ⅲ-Ⅲ断面，小腔的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程，当压缩的气体提前达到排气压力时，从辅助排气阀提前排气。从断面Ⅲ-Ⅲ到Ⅰ-Ⅰ，而与排气口相通的小腔的容积进一步地减小压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体从排气口被排出，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。

真空泵用途及工作原理

真空泵用途及工作原理 一、真空泵产品用途： 1. 真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。它可单独作用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵，维持泵，钛泵的预抽泵用。可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。 2. 真空泵在环境温度540范围内，进气口压强小于1.3X103帕的条件下允许长期连续运转，被抽气体相对湿度大于90%时，应开气镇阀。 3.泵进气口连续畅通大气运转不得超过一分种。 4.泵不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高的，有爆炸性的，有毒的气体。 二、真空泵故障与排除： 1.极限真空不高及其消除 （1）油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。 （2）泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。 （3）泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。 （4）进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。 （5）进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。 （6）真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。 （7）旋片弹簧折断，应予调换。

（8）旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。 （9）泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。 2.喷油 （1）油位过高，可入出多余油量。 （2）减雾器中有泵油或杂物，应清除。 3.漏油 放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不当，螺钉拧紧； 油标未拧紧，有机玻璃过热变形； 泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好； 油封装配不当或磨损；应予调整或更换。 4.噪声 （1）旋片弹簧折断，可调换弹簧。

LZG-30单头螺杆型干式真空泵的建模与仿真

摘要 本文的研究对象,螺杆型干式真空泵,吸入腔没有任何工作液,保证了空间用泵无污染;没有油蒸汽排放,保证清洁的外部环境。由于转子齿面之间有间隙,因而可以抽除含有灰尘或腐蚀性的有毒气体。本课题主要集中在以下几个方面:基本原理的干式螺杆真空泵,阴阳转子螺杆型线的研究,螺旋型面线是单边等螺距型线,演绎数学的计算,建立几何模型面型线方程推导,然后螺旋齿面方程推导。几何特征研究等。 设计完成后应用solidworks软件做运动仿真对真空泵转子做三维建模,并且模拟转子运动展示其工作过程. 关键词:干式螺杆真空泵转子型线三维建模运动仿真

Modeling and Simulation of LGZ-30 single screw dry vacuum pump Abstract The research object of this paper, Dry screw vacuum pump, The suction chamber with no working fluid, ensure the space is pumped from pollution; No oil vapor emissions, guarantee the clean of the external environment. Due to the gaps between the rotor tooth surface of Yin and Yang, thus it can be pumped in addition to containing dust, or corrosive, poisonous gases. The author studies mainly focus on the following aspects: the basic principles of dry screw vacuum pump. Yin and Yang screw type line of research. Screw type face line made bilateral symmetric circular arc line, deduce the mathematical expressions of meshing principle, establish geometric model face type line equation is deduced, and then screw tooth surface equation is deduced. Geometric characteristics research, etc. After the design is completed using SolidWorks software to do motion simulation to do 3D modeling of vacuum pump rotor.And the simulation of rotor motion display their works. Keywords: dry screw vacuum pump rotor type line Three-dimensional modeling Motion simulation

真空机的作用与工作原理

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 不同真空包装机中真空泵的工作原理 水环式真空泵/液环真空泵工作原理 水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。 水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空

旋片式真空泵工作原理简介

旋片式真空泵结构原理与工作原理 旋片式真空泵是机械容积泵，是利用转子旋转，叶片在转子槽中随离心力和定子内表面形状出进产生容积变化，使油液获得压力能的一种液泵。该泵不仅容易获得2.5～7.0 MPa的压力，而且各密封容腔在旋转的每一瞬间所排出的油液是基本相同的，所以供油脉冲较小，排量和压力较均匀。旋片式真空泵的结构有许多种，最常的是中低压定量单级双作用泵，旋片式真空泵型即属此种。和单作旋片式真空泵相比，双作泵的转子，工作时能使所受的液体径向压力得到平衡。不仅轴承的载荷减到最小，延长了使寿命;而且工作较稳定。叶片是靠旋转离心力甩出的，因此，为使叶片(b)定子很好的接触，一般要求最低转速不得低于600 r/min,否则，便会内漏多、效率低;由此也产生一个启动扭矩低的优点。旋片式真空泵结构比齿轮泵稍复杂，成本稍高，价位比柱塞泵便宜。 因此，目前在中低压供油系统和液压系统中，旋片式真空泵得到了十分广泛的应用。除广泛应用于喷油泵试验台燃油供给系统外;还广泛应用于组合机床、液压磨床、液压车床、液压刨床和注塑机等液压系统。 1、主要技术参数与性能指标(见表1) 2、结构特点与工作原理 2.1结构特点(如图1) 该泵由法兰、泵轴5,泵体1.配油盘6、转子4、叶片3、定子2、压力侧板、泵盖以及滚动轴承、骨架油封、O形橡胶密封圈(以下简称O形圈)、螺栓(共3种9个全是圆柱头内六角螺栓，均简称螺栓)和

挡圈等组成。 泵轴由装在泵体和泵盖座孔中的轴承支承，转子(b)轴用花键联接，转子上开有倾角为10°～14°(有的无倾角)的径向均布狭槽，槽内装有可沿槽径向滑动的叶片，叶片外套装着转子同心的定子(也称腰形套或内凸轮)，转子前有配油盘，后有压力侧板，最后由泵盖封闭。 配油盘上对称的开有:2个进油口相通的吸油窗和2个出油口相通的压油窗;压力侧板(兼配油盘)上只对称的开有2个配油盘吸油窗相对、也进油口相通的吸油窗。 通过键动力源联接的泵轴带着转子旋转时，叶片受到离心力的作用，其端部便顶在定子即内凸轮表面上(油压建立后，叶片底部还受到油液压力的作用，这样会使其端部X加紧贴内凸轮表面)，叶片在离心力和内凸轮推力的共同作用下，便在槽中刹复运动。 其他零件无有运动。配油盘(b)泵体装成一体，前边有法兰封闭;定子和压力侧板用两只螺栓固定在配油盘上;侧板上固定螺栓圆柱头(兼定位销)(b)泵盖上定位孔对正并进入定位孔后，用 4只螺栓7固定在泵体上。 2.2 工作原理(如图2) (1)吸油压油。定子内表面、转子外表面和两侧配油盘压力侧板端面之间形成一个密封容积。在图2A中，叶片1,4,4,7，和7,10,10,1等把这个容积分为abcd,cdef和efgh,ghab 4部分。当转子按图示箭头方向旋转时，叶片1,4和7,10各组成一个吸油腔;4,7和10,1各组成一个压油腔(在1～4和4～7间的叶片2,3和5,6都不能互成独立的工作腔)。从图2B中。可以看出，转子旋转某一角度后，cdd o c o(ghh o g o)大于abb o a o(eff o e o)，表明叶片从小半径圆弧面过渡到大半径圆弧面，叶片从槽内甩出，吸油腔容积不断增大，形成局部真空，油箱内的油液在大气压力作用下，经泵盖进油口(大)、配油盘和压力侧板吸油窗，吸入吸油腔;这便是泵的进油过程。eff o e o(abb o a o)小于cdd o c o(ghh o g o)，表明叶片从大半径圆弧面过渡到小半径圆弧面，叶片被内凸轮推进槽内，压油腔容积不断减小，压迫油液，使其获得压力能，经配油盘压油窗，泵体出油口(小)，将压油腔的油液排出;这便是泵的排油过程。 (2)双作用力平衡。因为泵轴每旋转一转，叶片在转子槽中刹返运动2次，每个由叶片构成的容积完成2次吸油和排油过程。所以，这种泵称双作用泵。又因为这种泵的吸油(低压)和压油(高压)区是分别对称分布的;所以这种泵转子受到的液体径向压力是平衡的。因此，双作用泵输出压力比单作用泵要高。目前一般可达到7.0～10.5 MPa。 (3)内漏困油(如图3)

各种真空泵的工作原理

各种真空泵的工作原理 水环式真空泵/液环真空泵工作原理 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。 水环泵初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。 在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩;当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。 综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。 泵的工作原理

sihidry干式真空泵说明手册范本

中石化高桥分公司SIHIdry螺杆干式真空泵 说明手册 SIHIdry螺杆干式真空泵

第一部分安全说明 安全说明部分描述了SIHIdry干式真空泵的操作和维护过程中需要了解和遵守的指示和警告。泵的操作和维护人员务必掌握有关安全知识，提高自身防护以及设备防护能力。 1.1前言 1、在阅读说明手册之前请不要操作设备； 2 1.2注意 以上安全说明标签贴在你所购买的设备上，请勿移除、覆盖或弄脏； 如果不正确遵守以上警告，有可能会导致操作人员的人身伤害。 1.3安全 1.个人培训及上岗认证 必须明确操作此设备人员的职责。如果不具备必须的专业知识，必须经过卖方的培训以保证机器的安全操作。 2.不遵守安全指令的风险 不遵守安全指令会对个人、环境、系统都面临一定的风险，更会导致损失。举例来说，可能会面临如下风险： 导致系统产生重大故障 一些特定的维护和修复程序产生损坏 让操作人员面临电气、机械以及化学危害的风险 向环境释放危险物质的风险 3.操作运行安全指南 当吸入自燃气体时，尤其含有氧气时，需引入惰性气体。 当进料介质为化学性质不稳定的气体或蒸汽时，这些被认为是可能的危险源，额外的安全措施是需要的，以阻止聚合或过氧化氢物的形成。 当易燃、易爆、有毒和高温的气体或水蒸气作为进料介质时，要确保对环境和人没有危害。 真空系统中流量、温度、压力的参数的设置是为了安全操作，改变时需要咨询真空泵厂家系统在运行时，避免拆除部件，比如说拆除冷却液输送泵的联轴器。 泄漏的危险介质必须立即处理以避免对人员、环境造成伤害。相应的法律法规必须遵守。 由于电气造成的风险已经排除.(详情如下：通过地方企业认证、VDE认证). 4.维护、检查和安装时安全指南 在开关泵时，严格安装操作守则中的条目进行。 泵系统输送危险介质时要及时进行排出。 5.所有安全保护装置必须重新安装，在完成安装后，必须进行一次操作调试。 当重新调试设备时，要遵循操作手中的相关条款。 如需对泵进行拆卸等工作，泵需要先停机，必须完全停下时，在与电气单元脱开连接后方可进行拆卸。 6未经过授权的改变和使用非原厂备件

干式真空泵装置

（自主）研究开发项目计划书 项目名称VD炉上的干式真空泵组装置 企业名称无锡东雄重型电炉有限公司 企业法人（签名） 项目负责人高建华电话0510-8 项目联系人谢立民电话0510-8 项目起止时间2014 年3月至2014 年8 月填报日期2014年10月20日

一、立项依据 1.国内外现状、水平和发展趋势： 真空脱气处理工艺，作为炉外精炼的一种，在冶金工业得到广泛使用。其原理利用对真空室进行抽真空，在真空状态下 对钢水进行脱气，降低钢水中的[H]、[N]，同时利用钢渣界面 反应进行脱硫处理。在大型现代化冶金生产中，VD钢包真空 精炼已成为现代二次冶金的基本手段。在世界钢铁冶炼技术 中，VD钢包真空精炼炉作为钢铁企业生产高洁净度钢水的必 备精炼装置，其应用可直接影响产品结构和钢材品质的优化提 升；而在全球VD精炼工艺100多年的发展应用中，尤其是国 内的近二十年，全部采用的是成熟的湿法（以蒸汽为动力的蒸 汽喷射泵）抽真空技术。 钢水真空脱气（VD）及真空氧脱碳（VOD）是两个主要二次炼钢法。处理时钢水中会逸出大量溶解杂质气体并产生金属细粉及氧化物粉尘，因而需采用坚固、抽力极大的真空抽吸设备。目前面世的最新干式机械真空抽吸设备之所以比先前所用同类用途设备优越，就在于新设备能更有效地排除粉尘、提高抽吸速度、降低生产成本及维护费用。干式（机械）真空泵与蒸汽喷射泵的最大区别在于驱动能源，前者采用电能，而后者则采用蒸汽。然而，炼钢生产本身就是钢铁流程中最为复杂的工序之一，其中精炼又是炼钢工序中技术最密集的环节，从工艺到技术结构上都有巨大的挑战。 2.项目开发的目的、意义 目前，无论是新建设备，还是已有设备的升级，对真空脱气处理的项目投资都在继续增加，其原因是厂家们看准了这种投资带来的机遇：提高产品质量，推出独具特色的钢就能使钢

干式螺杆真空泵的优点和缺点上传百度文库

北京卓力新航代理爱德华真空包括（GXS系列、EOS系列、EH系列、E系列）、soluvac干式螺杆真空泵WIN系列。 干式螺杆真空泵俗称螺杆泵，主要是利用一对螺杆，其特点是两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定的间隙，所以使得干式螺杆真空泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高。但是在我国使用的螺杆泵主要依靠进口，进口的主要泵是韩国的soluvac、英国的爱德华、美国的希赫，其中韩国性价比比较符合国内大多数医药化工企业，爱德华属于在全球属于最受欢迎的品牌，有适用于各种工况的成品和机组。 干式螺杆真空泵，它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足，我们都称之为油封式真空泵的升级版。但是干式螺杆真空泵的造价也是它的不足之处。接下来主要介绍它的优点和缺点： 干式螺杆真空泵的优点： 1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况 2、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体 3、不耗油，无滴漏 4、结构简单，维护方便。 5、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。 干式螺杆真空泵的缺点：

1、由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。 2、不适于抽除含有爆炸性的气体。 3、不适于抽除含氧过高的气体。 随着我国工业界的发展，在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中，对清洁真空环境的要求越来越高，而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的重视，在干式真空泵市场中占有重要的地位。在欧美和日本等发达国家，螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。

干式螺杆真空泵研究现状与展望(1)

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟 干式螺杆真空泵研究现状与展望(1) 目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，通常的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大, 真空获得产品已经出现更新换代的局面, 大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵, 是20 世纪90 年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点, 但其制造技术为国外掌握, 我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。 1、研究现状干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。螺杆泵的技术关键问题。 （1）转子端面型线螺杆真空泵主要部件是一对旋向相反的螺距螺杆，电机的传动轴连接主动转子，通过一对高精度的同步齿轮带动从动螺杆，两螺杆间留有间隙，通过两转子的啮合达到抽气的目的(如核心技术是螺杆齿形，不同的齿形直接决着泵的极限真空、抽气速率、容积效率、振动和噪声等技术性能指标的差异。目前螺杆真空泵的端面型线主要分为两种，单头转子型线和多头转子型线。如源于螺杆压缩机的多头转子型线起步较早，有的厂家直接用螺杆压缩机的转子型线用在真空泵上使用。日立公司很早就把4－6 头螺杆转子型线用在真空泵上，韩国LG 公司的真空泵目前也使用多头转子型线，由于两啮合

干式螺杆真空泵价格特点与使用条件

干式螺杆真空泵价格特点与使用条件 干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。 如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断： 1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa左右。 2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。 3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。 4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。 基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。 总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。 干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。 1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小结构简单，维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

常用三种真空泵的原理

常用三种真空泵的原理 水环式真空泵: 液环真空泵工作原理水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为 2000~4000Pa，串联大气喷射器可270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真 空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。 在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部 为起点那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。 综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。 罗茨泵的工作原理: 罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。 由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返

螺杆真空泵在结晶工艺的应用

干式螺杆真空泵 在原料药生产（结晶工艺）的应用 一、概述 采用溶媒结晶工艺的原料药，通常在结晶后进行过滤(固液分离)、洗涤和真空干燥。常见的真空干燥器有双锥干燥器和过滤洗涤干燥一体机(三合一)。固液分离的工艺不同，物料含湿量不同，含湿量(干基)通常在20%~200%。干燥后原料药成品的含湿量(干基)一般要求低于5%(结晶水除外)。湿物料所带溶媒通常是易燃、易爆、有毒、有害的危险化学品，它们在干燥过程中被真空泵组抽走。 真空泵组有湿式和干式两大类。传统的湿式真空干燥系统由于受使用湿式真空泵工作时需要液体做工作液及湿式真空泵所能达到的极限真空的局限, 不仅能耗高、生产效率低、不能充分回收溶媒，而且产生大量的废水、废气；这不仅对化学制药企业形成成本压力，更对健康、安全和环保带来挑战。采用干式螺杆泵真空系统，不仅可以实现溶剂的全回收, 以及废水和废气的零排放，而且可以做到节能和生产效率的大幅提高。 二、干式螺杆真空泵简介 干式螺杆真空泵是相对液环泵而言，泵的工作腔内不需要密封冷却液 而得名。干式真空泵由于没有密封液，且排气压力大于大气压，就可以在 排气侧对排出的气体进行冷凝。 干式螺杆真空泵具有运行效率高、寿命周期长和成本低的优点，已逐 渐成为应用最广泛的干式真空泵。

图1 干式螺杆真空泵结构图 干式螺杆真空泵的转子是一对间隙很小且互不接触的螺杆，通过同步齿轮变速后，推动气体向出口运动。它的优点是： 1、可以在大气压和极限真空下全速运行； 2、单级可以达到较高的真空度，极限压力3-5Pa； 3、泵工作腔内没有油或水接触工艺气体； 4、转子互不接触，减少了磨损；

5、泵内气体通道短，可以快速排气； 6、既可以单独运行，也可以作为前级泵运行。 7、转子、壳体、过流部件可以采用特氟龙、镀镍磷、哈氏合金等防腐涂层； 8、螺杆真空泵也可选用耐腐蚀材料制造，以满足强腐蚀等苛刻复杂的工艺条件下的应用。 三、在结晶工艺中的应用 结晶是从均一溶液中析出固体晶体的过程，一般包含过饱和溶液的形成、晶核生成、晶种成形三个过程。从目前化学原料药生产看，存在的问题主要有结晶析出不彻底、纯度不够、晶型差或不一致、结晶时间过长、发生粘壁等现象。 工艺介绍：将前道工序制备的青霉素钠盐溶液通过真空上料进入到结晶罐中，在真空状态下通过蒸气加热、搅拌器搅拌、添加丁醇将青霉素溶液中的水分和丁醇抽到冷凝器中冷凝至集液罐，可重复利用。

真空泵的工作原理

真空泵的工作原理 使用真空的原理是一种依靠气压差产生挟裹污水的高速气流，并把污水从器具中取走的排水系统，其具备的优势在于：1.可以简单地解决排水沼坡，使污水可以任意地提升；2.管道管径小，埋深浅，施工更为方便快捷；3.没有外溢，不会污染地下水，环保程度高；4.整体密闭性强，没有气味，清洁度高；5.系统安全自检性强。 室内系统的工作原理是当污水达到一定水量时，真空控制阀（3）会自动开启。真空泵站中的真空泵使管道内维持着0.6bar的负压，污水将以4m/s的速度通过真空管道（9.10）进入真空泵站中的真空罐（1）。真空排水避免了传统的重力向下的排水局限性，所以管道布置具有任意性。在图1中我们可以看到地下室的洗脸盆（5）及洗衣机的污水通过管道被提升再进入真空罐。污水在真空罐内存储到一定水位后，污水泵会开启，把污水排入市政管道。 室外系统的工作原理是不改变建筑物内原重力排水，使用真空收集箱作为功能设备，连接其出水口，通过气动传感原理将内部真空阀门打开，从而使进入的污水处于真空负压状态。污水及废水就会通过收集箱吸入真空管道，再进入真空泵站中的真空罐。室外的真空管道可以随意绕过各种障碍物，甚至在同一沟渠内将污水管同其它管线布在同一平面。一个中心真空泵站的辐射半径最高可达3公里而不需要另外的提升泵，在有水系的地方可以将真空管道直接沿着桥下布管；在野外管线长，放坡大或是地下室有卫生间，需将集水池深挖的情况下，真空管道只需埋深地下60cm至1.2m。真空泵站的工作原理和室内系统相同。 CG-17玻璃三级高真空油扩散泵工作原理 先由转动真空泵把系统抽到10-2Pa扩散泵油被加热沸腾,以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高真空. 水环式真空泵/液环真空泵工作原理 水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。 水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、

干式真空泵

干式真空 --个人整理、总结

目录 干式真空泵及现状 1.往复式干泵 (3) 2.爪式干泵 (4) 3.多级罗茨泵 (5) 4.干式螺杆真空泵 (5) 5.涡旋干泵 (7) 6.涡轮式干泵 (8) 7.分子泵 (9)

干式真空泵是清洁真空获得设备的代表，在各类真空泵的市场份额中占23%，年增长率超过15%。干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等行业。 1.往复式干泵 往复式干泵是往复式真空泵（又称活塞式真空 泵）的一种，依靠气缸内的活塞作往复式运动来吸 入和排出气体。 往复式干泵的主要特点是①结构简单，易于操 作，价格便宜；②工作过程中不产生粉尘；③耐粉 尘，排水蒸气压力强；④流量跨度较大。但这种泵 又具有往复式真空泵易损件多，寿命短，可靠性 差，效率低等特点。往复式干泵最常见的就是活塞 干泵（Dry Piston Vacuum Pump）和无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）可抽除He，H2，Ar和N2等气体，可作为涡轮分子泵、低温泵的粗抽泵和前级泵使用。 活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）的典型代表为莱宝（EcoDry系列）和普发（Pfeiffer XtraDry系列）。EcoDry系列泵，流量在11m3/hr至48m3/hr之间，极限真空度为5.5Pa。XtraDry系列泵，两级活塞泵流量为13m3/hr，极限真空度为103Pa(10mbar)，四级活塞泵流量为7.5m3/hr,极限真空度为10Pa。主要作为气体分析泵及高真空泵的前级泵使用。 无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）主要有普发(Pfeiffer)的MVP系列，凯孚(KNF)的Laboport系列以及莱宝(Leybold)的DiVac系列。此类泵主要应用在实验室及作为分子泵的前级泵使用。实验室应用主要有旋转蒸发器(rotary evaporators)、真空干燥箱(drying chambers)、真空过滤设备(filtration units)、真空蒸馏设备(vacuum distillation configurations)、凝胶干燥(gel drying)、真空升华(sublimation)、疏散真空干燥(evacuating desiccators)、分析仪器(analysis preparation)、流体灭菌(stream sterilization)、小样本真空冷冻干燥(small sample freeze drying)及其他医疗应用。作前级泵主要有质谱分析仪(Mass Spectrum Analysis)、ICP_MS测试仪、清罐仪及电子加速器等。