除氧器结构及工作原理课件

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的： 按照平面晶体管和集成电路的设计要求，在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形，以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理： 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 （一）光刻原理图 （一）光刻胶的特性： 1．性能，光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量，使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构，从而提高了抗蚀能力，不再溶于有机溶剂，也不再受一般腐蚀剂的腐蚀． 2．组成：以KPR 光刻胶为例： 感光剂－－聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂－－环己酮。 增感剂－－5·硝基苊， 3．配制过程： 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀，然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀，静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内，加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 （二）光刻设备及工具： 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1．曝光机－－光刻专用设备。 2．操作箱甩胶盘－－涂复光刻胶。 3．烘箱――烤硅片。 4．超级恒温水浴锅－－腐蚀SiO2片恒温用。 5．检查显为镜――检查SiO2片质量。 6．镊子――夹持SiO2片。 7．定时钟――定时。 8．培养皿及铝盒――装Si片用。 9．温度计――测量温度。 图（二）受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1．涂胶：利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上，涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上，然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上，利用转动时产生的离心力，将片子上多余的胶液甩掉，在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求：厚度适当（观看胶膜条纹估计厚薄），胶膜层均匀，粘附良好，表面无颗粒无划痕。 图（三）光刻工艺流程示意图

喷砂系统工作原理

喷砂系统工作原理 全自动机械回收式喷砂房是根据产品加工工艺流程及产品本身特性而设计的，适用于大型铸件锻件、焊接钢结构、工程机械、工业锅炉、化工机械、船舶修造等表面去氧化皮、除锈、强化，提高涂料的附着力等。其结构及配套设备主要由喷砂室、喷砂系统、磨料回收系统、通风和除尘系统、照明和电气控制系统六大部分组成 一、喷砂室 喷砂室是喷砂工人面对工件进行喷砂清理的地方。 喷砂室采用砖墙结构，防水性能好，且具有很好的防震效果。 室内采用耐磨橡胶皮保护，能有效保护室内设施。喷砂室地面铺设钢格栅，防止磨料在操作平台上积聚，对喷喷砂工人的安全造成威胁。磨料回收斗铺设钢板网,防止杂物进入喷丸系统。 为了喷砂工人的安全，喷砂室的两侧均设计有安全门，这是喷砂工人在遭遇危险时能及时逃生的需要。喷砂室两侧布置有观察窗，方便随时了解喷砂工人的作业情况。 该喷砂室建在室外，因此一定要注意做好防风挡雨的工作，防止雨水进入喷砂室，防止被雨淋湿的工件进入喷砂室。 二、喷砂系统 喷砂系统由喷砂机和喷砂工人的专用防护用具组成。 喷砂作业的工作效率和作业安全都与喷砂 作业机具有着密不可分的关系。该喷砂系统采用双腔连续工作型喷砂机为喷砂清理机具。 1、设备结构： (1)桶体 由二级料仓组成，上仓与下仓，以保证连续加砂。 (2)自动加砂： 由上仓料位感应器、下仓料位感应器及加料阀等组成。 (3喷砂部分 由进气阀、磨料阀、喷砂管、喷嘴等组成。 (4)控制部分 由电控箱及电缆线、气动遥控开关等组成。 2、设备工作原理； 该机为自动添料可供两人连续工作的喷砂机。 连续工作型喷砂机在上下两仓分别配有满仓料位仪和空仓料位仪。当下仓内的磨料料位下降到空仓料位仪的感应杆以下时，料位仪发出空仓信号，使上仓升压，控制上仓内的磨料流入下腔。在设定时间内，上仓进气阀自动关闭，上仓排气阀自动打开，上仓排气卸压，上仓加料阀打开（气缸控制），上仓添料备用。 连续工作型喷砂机与磨料储砂箱配套使用，当上仓料位升高到满仓料位仪感应杆的高度时，料位仪发出满仓信号，将加料阀关闭，停止加料。 3、设备性能特点 (1)该设备采用双仓结构，因此，可达到连续作业的要求，喷砂工作可连续作业，不需一般喷砂机的停机加砂，大大提高了喷砂效率。 (2)该设备配置了下仓空仓料位仪和上仓满仓料位仪，并与储砂箱加料阀、进气电气控制联动，以保证当下仓无料时，始终能得到补充；上仓料满时，加料阀会自动关闭。控制系统中设置了延时继电器，按照实际工作情况，延时继电器可调，以满足各种工况条件下使用。(3)该系统的气动遥控阀件都采用了汤姆森磨料阀，动作灵活、反应灵敏、耐磨性强，特别是气动遥控磨料阀采用超耐磨复合材料，寿命长、流量调节方便，磨料阀采用斜体45°结

热力除氧原理

摘要：通过对准能黑岱沟实业公司锅炉房除氧系统工作状态研究,解决除氧系统自动控制，改善除氧器进水温度，降低除氧系统能耗，提高除氧系统运行稳定性。请提宝贵意见! 关键词：除氧系统除氧器自动控制 1.引言： 本设计与研究是通过对准能黑岱沟实业公司锅炉房现场情况和除氧系统工作状态进行了调研，充分考虑除氧系统未来运行的要求等问题。如锅炉给水泵由于水温过高汽蚀问题、除氧器进水温度过低，耗能（汽）过大及稳定差等问题，针对除氧系统进行自动控制技术改 造。 2.设备技术参数： 设备名称、大气式热力除氧器二台 设备型号：CYA20 D—20m3/h 额定出力：20 t/h 水箱容积：V= 35 m3 工作压力：19.6 kPa 工作水温：T = 104 ℃ 生产厂家：营口县锅炉辅机厂 出厂日期：1990年 3.大气式热力除氧原理 根据水中气体的溶解特性，要想将水中任何一种气体除去时，只要将水面上存在的该气体除去即可，因此希望排除水中的各种气体，最好水面上只有水蒸汽而无其它气体。热力除氧就是将水加热至沸点，氧的溶解度减小而逸出，再将水面上产生的氧气排除，使充满蒸汽，如此使水中氧气不断逸出，而保证给水含氧量达到给水质量标准要求。 热力除氧器：为了保证水面上只有水蒸汽存在，必须将水加热至沸腾温度（在稍高于大器压

4.大气式热力除氧器耗汽量计算 DQ= （5～10%）·G（i2—i1）/（i—i2）0·98 kg / h 式中G ——除氧处理最大水量，kg / h ； i2 ——除氧器出口水的焓，kcal / kg ； i1 ——进入除氧器水的焓，kcal / kg ； i ——进入除氧器蒸汽的焓，kcal / kg ；

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm（正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，

除氧器原理

一、除氧器是什么？ ——除去水中溶解氧的密闭容器。 注解：水——指锅炉给水，即进入锅炉的水； 溶解氧——以分子形式存在于水中的氧气，即氧分子O2； 密闭容器——压力容器，一般为低压。 二、为什么要对锅炉给水进行除氧？ ——锅炉水中的溶解氧，和炉体金属铁组成腐蚀电池，铁是阳极，失去电子成为亚铁离子，氧为阴极进行还原，溶解氧的这种阴极去极化的作用，造成对锅炉铁的腐蚀，此外氧还会把溶于水的氢氧化铁沉淀，使亚铁离子浓度降低，从而使腐蚀加剧。当水中含有溶解氧时，造成对炉体的腐蚀，随着含氧浓度的增加，腐蚀

如图，进入锅炉的给水经过加热成为高温高压水蒸汽，高温高压水蒸汽推动汽轮机作功，从而带动发电机发电；作功后的蒸汽（称为乏汽）进入凝汽器被凝结成水（凝结水）；凝结水经过低压加热器加热后进入除氧器；经过除氧后的凝结水进入高压加热器，进一步提高水温，然后进入锅炉，从而完成一个工质循环。这里工质当然是水及水蒸汽。 四、除氧器为什么通常都很大？ ——当某种原因上述循环中断而锅炉停机时，为了使锅炉有足够的时间冷却，需要继续向锅炉进水，这部分水从何而来呢？只能是存储在某个容器中，高低压加热器作为换热设备不具备存储功能，所以这个储水功能有除氧器承担，这就是为什么除氧器通常都很大的原因之一。 五、 如图，进水含氧量50ppb，出水含氧量5ppb，问其余45ppb哪儿去了？ 显然它只能被排出容器外。将溶解氧排出容器外的装置称为排汽装置。由此可见，排汽装置是否正确合理，是决定出水含氧量是否合格的主要因素之一。简单地说，本来需要除去45ppb的溶解氧，因排汽装置不合理，只排出了30ppb，于是剩下的20ppb重新溶入水中，出水含氧量必然超标。

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里，我们介绍如何将图形转移到硅片表面上，包括以下内容：a)将图形投影到硅片表面的装置（即光刻对准仪或光刻翻版机），由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具（即光掩模版和中间掩模版）。在介绍光刻机或掩模版之前，把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前，有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征：a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常，分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的，我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而，和光刻机的分辨率一样，最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解，但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小，且各层都需正确匹配，所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此，首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形，然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如，如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版，这样也许仍 然是经济的。不过，在大 部分生产应用中，加工和 机器的产率是很重要的， 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的，因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的，所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制，而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的，那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念，包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图（1）：一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

带钢抛丸机结构及工作原理

结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成 抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理 被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。 3. 各部件主要结构 3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。 室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成 抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理

被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。 3. 各部件主要结构 3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。 室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。 结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成 抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理 被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带

热力喷雾式除氧器的工作原理

热力喷雾式除氧器的工作原理 发布日期：2011-10-09 来源：网络浏览次数：105 热力喷雾式除氧器是一类能够从水中除去氧气的设备。除氧器种类繁多，较重要的大致可分为以气体溶解定律为基础的热力除氧器、真空除氧器、解析除氧器，类似离子交换器的氧化还原树脂除氧器，利用氧与铁发生化学反应的铁屑除氧器等，后二者往往被纳入除氧剂法，但从其除氧作用的方式和必须要有的设备等特征来看，归入除氧器法则更为合适。本文为您详细介绍了热力喷雾式除氧器的工作原理。 热力喷雾式除氧器的工作原理 概述： 锅炉给水有严格的要求，首先需要经软化水工艺或除盐水处理，使锅炉受热面内部不结水垢。但是，水中仍含有氧气和其他气体，氧气是一种主要的去极化剂，能造成锅炉设备及热力系统金属面产生腐蚀，这种腐蚀经常是局部性溃疡腐蚀，严重时造成金属壁穿孔，不仅大大降低了锅炉设备的寿命，而且影响锅炉及热力系统的安全性。 给水的除氧是电厂锅炉或工业锅炉防止腐蚀的主要方法。为了确保锅炉安全经济运行，国家颁布的《低压锅炉水质标准》(GB1576-85)中规定，凡是额定蒸发量大于2T/H 的锅炉均要除氧。锐志环保公司设计生产的热力喷雾式除氧器作为驱除锅炉用水中所含的溶解氧的环保设备，能很好地保护锅炉免受氧的腐蚀。 为了防止锅炉系统的氧腐蚀，国内外研制开发的重点在从给水中除去溶解氧，除氧器法是使软化水通过除氧器后再供给锅炉的方法，软化法可有效地防止硬度成分结垢，能否防止氧腐蚀和腐蚀产物结垢，关键要看除氧器的性能 除氧器是一类能够从水中除去氧气的设备。除氧器种类繁多，较重要的大致可分为以气体溶解定律为基础的热力除氧器、真空除氧器、解析除氧器，类似离子交换器的氧化

手动喷砂机的设计和工作原理之令狐文艳创作

令狐文艳 手动喷砂机的设计与工作原理 一、手动喷砂机用途： 上海良时专业设计制造的手动喷砂机，专用于小批量产品(重量小于20kg)工件外表面湿喷砂处理，达到表面光饰、清除毛刺、氧化皮等要求，亦可用于电镀前处理,如有其它的特别要求,需要重新设计手动湿喷砂机。 二、工作原理： 本机采用吸入式喷砂，即利用压缩空气负压将机内磨液贮箱里的砂水混合料通过输砂管吸入喷枪内，然后随压缩空气流由喷嘴高速射到工件表面，达到湿喷砂加工目的。 三、喷砂特点： 1．砂液循环使用，耗砂低，喷嘴磨耗小，成本低。

2．密闭性佳，不会产生粉尘污染。 3．操作简单，故障少、密闭式空间，噪音低。 4．具窗口清洗功能，使用时视线佳。 5．不锈钢制之机身，经久耐用。 6．配备清水清洗枪，可手动清洗工件。 7．工作区域内设置有过滤网，目的是为了防止工人在上班工作时不小心或者由于机器故障的原因，较大杂物掉入高压砂泵槽内，损坏高压砂泵的叶片，造成不应有的损失而影响正常的生产。 四、加工范围： 适用于小批量产品(每次加料约15～20kg)表面湿喷砂。 五、喷砂介质：

46#～120#白刚玉、棕刚玉、玻璃珠等多种砂料。 六、加工效率： 使用φ8mm喷嘴时，理论喷砂效率约2～3m2/分钟，实际喷砂效率以产品喷砂效果定。 七、喷砂加工流程： 本机喷砂加工时，工人只进行开关机的操作和装入工件的工作，其余完全由机器完成,其工作程序如下： 1．喷砂前，工人应检查机舱底部的磨液是否全部将砂泵的叶轮淹没，水和砂料的比例是否符合喷砂的工艺要求，然后打开总电源开关，启动照明开关，启动排雾风扇。 2．喷砂前工人将一定量的工件放入机舱内(工件放入量由加工工件的大小而定，最重≤20kg)后关闭舱门。 3．启动主机电源，操作者用手握牢喷枪，然后用脚踩住气囊开关启动喷枪，用喷枪按所需角度方位对工件进行喷砂。

热力除氧器工作原理

热力除氧器工作原理 给水的除氧是防止锅炉腐蚀的主要方法，在容器中，溶解于水中的气体量主要由两个方面决定：一方面与水面上该气体的分压力成正比例（即压力越高，该气体在水中的溶解度就越大，反之则越小），另外一方面与水的温度有关（即水的温度越高，那么该气体在水中的溶解度就越小，当温度为相应工作压力下的饱和温度时，气体在水中的溶解度为零）采用热力除氧的方法，即用蒸汽来加热给水，提高水的温度，且使水面上蒸汽的分压力逐步增大，而溶解气体的分压力则渐渐降低，溶解于水中的气体就不断逸出，当水被加热至相应压力下的饱和温度时，水面上全部是水蒸汽，溶解气体的分压力为零，水不再具有溶解气体的能力，亦即溶解于水中的气体，包括氧气均可被除去。 除氧的效果一方面决定于是否把给水加热至相应压力下的饱和温度，另一方面决定于溶解气体的排除速度，谁是否能加热到相应压力下的饱和温度与水和蒸汽的接触表面积的大小有很大的关系，采用旋膜管、水篦子加填料的方式，水通过旋膜管，形成的水膜群下落，与上升的蒸汽流相遇。形成水的膜群大大地增加了水和蒸汽的热交换面积，强化了汽水热交换的效果，形成水膜群的水经过水篦子换热后继续流经无规则堆放的填料层时，受到蒸汽的进一步加热。水迅速被加热，溶解于其中的气体的排除速度也更快。最后除氧水流经除氧水箱，经蒸汽再沸腾管加热，充分的保证了除氧水在工作压力下为饱和温度，因此，虽然水在除氧器中停留时间很短，而除氧效果较彻底。出

水含氧量≤0.1mg/l 本公司生产的旋膜热力除氧器实际上是喷雾---挡板膜---填料式除氧，热力除氧的工作情况主要决定于传热和传质两个过程。从传热角度考虑，能把水汽之间的接触面积增至最大，即把水流分散成水膜。旋膜式除氧器由于采用了比表面积较大的不锈钢丝网填料，不仅有利于传热过程，而且有利于传质过程。 锅炉来的蒸汽主要由设备图上的一次蒸汽口进入除氧水箱，当除氧水的温度达不到要求时，这时开启二次蒸汽口阀门，如果仍不能满足要求开启辅助加热管，让除氧水再次被加热。所以经过蒸汽的一、二次及辅助加热，充分的保证了出水为饱和温度，进而保证了水中溶解的氧被彻底的清除。 （一）、旋膜式除氧器 （1）旋膜式除氧器概述 旋膜式除氧器(又称膜式除氧器及水膜式除氧器)是一种新型热力除氧器,是用汽轮机抽汽将锅炉给水加热到对应除氧器工作压力下的饱和温度,除去溶解于给水的氧及其它气体,防止和降低锅炉给水管、省煤器和其它附属设备的腐蚀.可用于定压、滑压等方式运行,并且具有运行稳定,除氧效率高,适应性能好等特点.适用于各类电力系统锅炉、工业锅炉给水及热电厂补给水的除氧旋膜改进型除氧器是近年来研究并推广的一种全新结构除氧器。其设计主要是将原射流式改为旋射膜式，是集旋膜及泡沸缩合为一体的高效能新型除氧器，具有除氧效率高，换热均匀，耗气量小，运行稳定，适应性能好，对水质、水温要求不苛刻等优点，而且可超出运行。 （2）原理： 新型旋膜改进型除氧器的传热，传质方式与已有的淋水盘式、水膜式、旋膜式和雾化式不同，主要是将射流，旋转膜和悬挂式三种传热方式缩化为一体的传热、传质方式，它具有很高的效率。新型旋射膜管具有很大的解析能力，并造成液膜沿管壁强力旋转卷吸大量蒸汽，增强换热，传质功能，将相向泡沸改为悬挂式泡沸，提高各层中蒸汽流速搞时泛点（飞贼）并能保持汽（气）体通道；将独立的三种传热、传质装置缩化为一体，在一个单元的部件内完成。由于它具有很高的效率和某些特殊工能，突破了已有除氧器的技术性能。

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm （正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，将产生一个对准电信号，该信号以中断信号的形式输入计算机，X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时，计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候，一个标记中两个象限的光栅同时参与，在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数，但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同，如图2所示。在对准扫描的过程中，每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号，由于两个象限的光栅条纹间距不同，所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号，而这个点就是在X

内置式除氧器的工作原理

內置式除氧器的工作原理 凝結水從盤式恒速噴嘴噴入除氧器汽空間，進行初步除氧，然後落入水空間流向出水口；加熱蒸汽排管沿除氧器筒體軸向均布，加熱蒸汽通過排管從水下送入除氧器，加熱蒸汽與水混合加熱，同時對水流進行擾動，並將水中的溶解氧及其它不凝結氣體從水中帶出水面，達到對凝結水進行深度除氧的目的；水在除氧器中的流程越長，則對水進行深度除氧的效果越好。 蒸汽從水下送入，未凝結的加熱蒸汽（此時為飽和蒸汽）攜帶不凝結氣體逸出水面流向噴嘴的排氣區域（噴嘴周圍排氣區域為未飽和水噴霧區），在排氣區域未凝結的加熱蒸汽凝結為水、不凝結氣體則從排氣口排出。 不凝結氣體在流向排氣口的流程中，除氧器筒體直徑越大,在水容積一定的情況下，則汽空間不凝結氣體分壓力越小，這樣就能有效控制不凝結氣體在液面的擴散，避免二次溶氧的發生，因此，除氧器筒體採用大直徑為佳。我公司供貨的300MW及以上的內置式除氧器通常採用φ3800的直徑。 內置式除氧器突出特點 設備整機價格低於常規有頭除氧器（300MW及以上機組）；節省土建費用：除氧間高度降低3－4米； 排汽損失低：每台機組每年可節省運行費用幾十萬元；負荷變化範圍在10％－110％之間時，均能保證出水含氧量小於5ppb； 單容器結構，系統設計簡單優化，避免應力裂紋，抗震性能優越；重量較輕，低振動；

Stork公司原裝噴嘴，無轉動部件，免維護，性能高度可靠；直徑及介面設計靈活，便於運輸和安裝佈置； 特點 ?高可靠性和實用性 ?講含氧量降低至任意期望的水準。保證在10％－110％的負荷變化範圍內，含氧量遠低於5ppb ?由於水的噴射裝置同時作為一個內置的混合式排汽冷凝器，使得出口蒸汽排放非常低 ?易於控制，可滑壓運行 ?低噪音 ?無游離的CO2（水中的CO2溶入量取決於水的PH值） ?在起動時，除氧器加壓即可獲得除氧水 ?（加熱）蒸汽或汽/水混合物均可作為除氧/加熱介質?水加熱除氧；無需外置的排汽擴容器 ?可直接與自然和強制迴圈鍋爐的蒸發盤管相連接 ?優異的應付緊急情況（如汽輪機突然停機）的能力（除氧器的汽空間起著平衡管線的作用） ?除氧器出力在10－6000t/h，可滿足特殊出力要求 ?噴嘴的調節比至少可達10：1

喷砂机技术参数

喷砂机技术参数 移动气动喷砂机（单枪） 由于磨料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善，因此提高了工件的抗疲劳性，增加了它和涂层之间的附着力，延长了涂膜的耐久性，也有利于涂料的流平和装饰，把表面的杂质、杂色及氧化层清除掉，同时使介质表面粗化，消除工件残余应力和提高基材表面硬度的作用。分类 吸入式 1．一般组成 喷砂机 喷砂机 一个完整的吸入式干喷砂机一般由六个系统组成，即结构系统、介质动力系统、管路系统、除尘系统、控制系统和辅助系统。 2. 工作原理是吸入式干喷砂机是以压缩空气为动力，通过气流的高速运动在喷枪内形成的负压，将磨料通过输砂管吸入喷枪并经喷嘴射出，喷射到被加工表面，达到预期的加工目的。在吸入式干喷砂机中，

压缩空气既是供料动力又是射流的加速动力。 压入式 高压喷砂机 对于压入式干喷砂机我们重点介绍压入式喷砂工作单元，即由压力罐和喷枪组成的基本工作单元。 1．一般组成 一个完整的压入式干喷砂机工作单元一般由四个系统组成，即压力罐、介质动力系统、管路系统、控制系统。 2．压入式干喷砂机的工作原理 压入式干喷砂机是以压缩空气为动力，通过压缩空气在压力罐内建立的工作压力，将磨料通过出砂阀压入输砂管并经喷嘴射出，喷射到被加工表面达到预期的加工目。在压入式干喷砂机中，压缩空气既是供料动力又是射流的加速动力。 液体式 液体喷砂机相对于干式喷砂机来说，最大的特点就是很好地控制了喷砂加工过程中粉尘污染，改善了喷砂操作的工作环境。下面将对液体喷砂机的结构组成和工作原理进行详细地介绍。

1．一般组成 一个完整的液体喷砂机一般由五个系统组成，即结构系统、介质动力系统、管路系统、控制系统和辅助系统。 2．工作原理 液体喷砂机是以磨液作为磨液的供料动力，通过磨液泵将搅拌均匀的磨液（磨料和水的混合液）输送到喷枪内。压缩空气作为磨液的加速动力，通过输气管进入喷枪，在喷枪内，压缩空气对进入喷枪的磨液加速，并经喷嘴射出，喷射到被加工表面达到预期的加工目的。在液体喷砂机中，磨液泵为供料动力，压缩空气为加速动力。 冷冻喷砂机，全称为自动喷射式冷冻修边机，冷冻喷砂理论起源于上世纪70年代欧美，后被日本昭和炭酸株式会社发明改良该设备主要用于替代手工对橡胶模压件、精密注塑及压铸件产品进行去毛边处理，此类设备从70年代末开始已经在发达国家被广泛使用，国内也在2000年后开始逐步推广并成为橡塑合金行业必备的后道工序设备之一。 特点 1、操作简单：普通工人经过半小时培训即可熟练操作机器，并且有先进的自动控制系统可防止工人误操作。

热力除氧器说明书

热力除氧器说明书

大气热力喷雾式除氧器 使用说明书 一、用途 热力喷雾式除氧器是作为驱除锅炉用水中所含的氧气的设备，以保护锅炉免受氧的腐

蚀。 三、工作原理 给水和补给水的除氧是电站锅炉或工业锅炉防止腐蚀的主要方法。在压力容器中，溶解于水中的气体量和水面上气体的分压力成正比，采用热力除氧的方法，亦即用蒸汽来加热给水，提高水的温度，水面上蒸汽的分压力就逐渐增加，而溶解气体的分压力逐渐降低，溶解于水的气体就不断逸出，当维持容器于一定的压力下，蒸汽加热给水达到沸腾温度，水面上全部是水蒸汽，溶解气体的分压力为零，亦即溶解于水的气体可被去掉。 除氧的效果一方面决定于是否把给水加热到沸腾温度了，另一方面决定于溶解气体的排除速度，这个速度与水和蒸汽接触表面积的大小有很大的关系。采用喷雾和填 圈的方式，水通过喷咀被强烈地播撒成雾滴下落，与上升的蒸汽流相遇，雾化的结果 大大增加了水和热蒸汽的接触面积，强化了汽水热交换的效果。雾状的水滴继续经无规则堆放的填圈层时，受到蒸汽的进一步加热，水迅速被加热，使溶解于其中的气体的排除速度也就更快，因此水在除氧器中停留的时间很短，而除氧效果很彻底。这样，与陈旧的淋水盘式热力除氧器相比，喷雾填圈型式的除氧器有下列优点： 1、由于传热效果的迅速而充分，在相同的体积时，喷雾填圈式就有较大的出力，或者在具有相同的出力时，喷雾填圈式有较小的体积和重量，从而降低了钢材的消耗量。 2、除氧器的出力可以在很大范围内变动，除氧效果仍然保持稳定，当负荷从30％变 型 号 额定 出力 工作 压力 工作 温度 进水 压力 进水 温度 设备 净重 水箱有 效容积 运行 重量 t/h 表压 MPa ℃ 表压 MPa ℃ kg m 3 吨 YDQ －1200/6.5 6.5 0.02 104 0.2 20 1453 3.3 6.5 YDQ －1500/10 10 0.02 104 0.2 20 2400 5.0 10 YDQ －1600/15 16 0.02 104 0.2 20 3260 7.5 13.5 YDQ －1800/20 20 0.02 104 0.2 20 3580 10.0 17 YDQ －1800/25 25 0.02 104 0.2 20 3980 12.5 20 YDQ －2000/30 30 0.02 104 0.2 20 4840 15.0 24 YDQ －2500/40 40 0.02 104 0.2 40 6500 20.0 30 YDQ －2500/50 50 0.02 104 0.2 40 7200 25.0 36 YDQ －2500/70 70 0.02 104 0.2 40 9700 35.0 52 YDQ －2500/80 80 0.02 104 0.2 40 9900 35.0 52 YDQ －2600/100 100 0.02 104 0.2 40 10800 40.0 58 YDQ －2800/150 150 0.02 104 0.2 40 12000 50.0 68

光刻机的技术原理和发展趋势

光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要： 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变，传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字：光刻；原理；提高性能；浸没式光刻；下一代光刻 引言： 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸，是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一，光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此，了解光刻技术的基本原理，了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理： 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上，然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形，首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日，已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前，对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有：甩胶、喷胶和气相沉积，但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转，将多余的胶甩出去，而在芯片上留下一层均匀的胶层，通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性（边缘除外）。胶层的厚度由下式决定： 式中：F T为胶层厚度，ω为角速度，η为平衡时的粘度，ρ为胶的密度，t为时间。由该式可见，胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系，此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有：气泡、彗星（胶层上存在的一些颗粒）、条纹、边缘效应等，其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。

除氧器除氧的原理

除氧器除氧的原理（热力除氧） 两个必要条件： 1、亨利定律：当液体表面的某种气体与溶解于液体中该气体处于进/正 比：b=KPb/Po ( mg/L ) 当液面上不凝结气体的分压力一直维持零值，小于水中该溶解气体的平衡压力Pb时，该气体就会在不平衡压力差△P的作用下，自水中离析出来。即要及时将液面上的气体排出，使液面上不凝结气体的分压力近似为零。 2、道尔顿定律：混合气体的全压力等于各组成气体的分压力之和，除氧塔空间的总压力P等于水中所溶解各种气体在水面上不凝结气体的分压力Pi与水面上蒸汽分压力Ps之和，即：P=∑Pi ﹢Ps 在除氧器中，将水加热至工作压力下的饱和温度，水逐渐蒸发，水表面的蒸汽压力逐渐增大，近似等于总压力，其它气体的分压力近于或等于零，就可能让水中的各种气体完全析出。 热力除喷雾式氧器 原理：热力除氧的原理是根据气体溶解定律（道尔顿和亨利定律）来除掉水中的溶解氧及CO2等其它气体。 需要除氧的含氧水经过除氧头中的喷嘴雾化成细滴，雾状的水滴在经过填料层落至除氧水贮水箱内。蒸气由下而上流动以加热水滴，被除去的氧气和部分蒸气由顶部排气管排出。与淋水盘式除氧器相比，喷雾式除氧器具有体积小、重量轻、结构简单、维护方便、除氧效果好和对进水温度要求低等优点，因此应用较为广泛。 按照工作压力可将热力除氧器分为低压热力除氧器（工作蒸汽压力为0.02Mpa，水温104℃）和高压热力除氧器（工作蒸汽压力大于0.32Mpa，水温大于145℃）。 内置式除氧器及安全节能分析 2007-6-28 16:42:00 朱志忠供稿收藏 1概要 目前国内电站大多使用传统式除氧器对给水进行除氧，各种教材、资料基本上都是介 绍传统式除氧器的原理及其使用和维护。随着传统式除氧器一些弊端的出现，研究人员 开发了一种新型的内置式除氧器，并在电站中实际应用。尽管还存在一些问题，但这种 除氧器结构新颖、加热速度快、除氧效果好，只要善于使用和维护，仍不失为一种优良 的除氧器。 2内置式除氧器原理 2．1传统除氧器存在的问题

喷砂一般常识

喷砂作业的一般常识 喷砂定义：利用高速砂流的冲击作用清理和粗化基体表面的过程。 吸入式干喷砂机原理 : 1．一般组成 一个完整的吸入式干喷砂机一般由六个系统组成，即结构系统、介质动力系统、管路系统、除尘系统、控制系统和辅助系统。 2. 工作原理 喷砂是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料（铜矿砂、玻璃石英砂、金刚砂、铁砂、海南砂）高速喷射到需要处理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形状发生变化，由于磨料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善，因此提高了工件的抗疲劳性，增加了它和涂层之间的附着力，延长了涂膜的耐久性，也有利于涂料的流平和装饰。 喷砂的主要应用范围 : （一）工件涂镀、工件粘接前处理喷砂能把工件表面的锈皮等一切污物清除，并在工件表面建立起十分重要的基础图式（即通常所谓的毛面），而且可以通过调换不同粒度的磨料，比如飞展磨料磨具的磨料达到不同程度的粗糙度，大大提高工件与涂料、镀料的结合力。或使粘接件粘接更牢固，质量更好。 （二）铸造件毛面、热处理后工件的清理与抛光喷砂能清理铸锻件、热处理后工件表面的一切污物（如氧化皮、油污等残留物），并将工

件表面抛光提高工件的光洁度，能使工件露出均匀一致的金属本色，使工件外表更美观，好看。 （三）机加工件毛刺清理与表面美化喷砂能清理工件表面的微小毛刺，并使工件表面更加平整，消除了毛刺的危害，提高了工件的档次。并且喷砂能在工件表面交界处打出很小的圆角，使工件显得更加美观、更加精密。 （四）改善零件的机械性能机械零件经喷砂后，能在零件表面产生均匀细微的凹凸面，使润滑油得到存储，从而使润滑条件改善，并减少噪声提高机械使用寿命。 （五）光饰作用对于某些特殊用途工件，喷砂可随意实现不同的反光或亚光。如不锈钢工件、塑胶的打磨，玉器的磨光，木制家具表面亚光化，磨砂玻璃表面的花纹图案，以及布料表面的毛化加工等。 安全操作规程： 喷砂机是现代效率最高，投资较少的一种高性价比的铸造清理设备，喷砂机通常用于，易腐蚀材料或工件的表面 除锈、去锈，和非生锈金属的去氧化皮处理。在日常工作中，喷砂机操作规程直接关系着能否安全生产。 喷砂机安全操作规程 1.工作前必须穿戴好防护用品，不准赤裸膀臂工作，持证上岗。 2.每班喷砂工作结束。人工将洒落的磨料清理干净。 3.定期检查系统的各连接口是否良好，确保压缩空气管路密封性能。若有漏气现象需及时维护（该项工作，每月进行一次）。

除氧器工作原理

除氧器的工作原理 一、概述 除氧器的主要作用是除去给水中的氧气,保证给水的品质。水中溶解了氧气,就会使与水接触的金属腐蚀;在热交换器中若有气体聚集就会妨碍传热过程的进行,降低设备的传热效果。因此水中溶解有任何气体都是不利的,尤其是氧气,它将直接威胁设备的安全运行。 除氧器本身又是给水回热系统中的一个混合式加热器,同时高压加热器的疏水、化学补水及全厂各处水质合格的疏水、排气等均可通入除氧器汇总并加以利用,减少发电厂的汽水损失。当水和某种气体混合物接触时,就会有一部分气体融解到水中去。气体的溶解度就是表示气体溶解于水中的数量,以毫克/升计值,它和气体的种类以及它在水面的分压力、和水的温度有关。在一定的压力下,水的温度越高,气体的溶解度就越小；反之,气体的溶解度就越大。同时气体在水面的分压力越高,其溶解度就越大,反之,其溶解度也越低。天然水中常含有大量溶解的氧气,可达10毫克/升。汽轮机的凝结水可能融有大量氧气,因为空气能通过处于真空状态下的设备不严密部分渗入进去.此外,补充水中也含有氧气及二氧化碳等其他气体。液面上气体混合物的全压力中,包括有液体蒸汽的分压力.将水加热时,液面附近水蒸气的分压力就会增加,相应的液面附近其他气体的分压力就会降低.当水加热到沸点时,蒸汽的分压力就会接近液面上的全压力,此时液面S J E E A G Q I

上其他气体的分压力几乎接近于零,于是这些气体将完全自水中清除出去。要达到这一点,不仅要将水加热到沸点,还要使液面上没有这些气体存在,即将逸出的气体随时排走。除氧器的工作原理即利用蒸汽对水进行加热,使水达到一定压力下的饱和温度,即沸点。这时除氧器的空间充满着水蒸汽,而氧气的分压力逐渐降低为零,溶解于水的氧气将全部逸出,以保证给水含氧量合格。在高参数的电厂,一般采用0.59兆帕的除氧器.这样可以减少价格昂贵而运行不十分可靠的高压加热器的数目,至少可以减少一台。高参数的锅炉给水温度一般为230~250摄氏度。采用高压除氧器,在机组高压加热器故障停用时,进入锅炉的给水温度仍可以维持在150~160摄氏度,这样对锅炉的运行影响就可以小一点。此外,提高锅炉除氧器的压力,可以避免凝结水进入除氧器时产生沸腾现象,后者会使水泵进口产生汽蚀,这对水泵是不允许的。 二、结构介绍 N125-135/550/550型机组采用的除氧器为0.59兆帕、225吨/时的喷雾式除氧器,其结构如图所示。它有两根凝结水进水管3,每根进水管上有21只喷嘴每只喷嘴在进水压降0.098兆帕时,喷水量为6吨/时;另设两根补水管14,每根补水管有10只喷嘴,每只喷嘴在进水压降为0.098兆帕时,喷水量为2吨/时。喷嘴喷出的雾状水滴均向上部空间,与二次蒸汽混合加热,然后被加热的滴落至下部蒸汽喷盘7中。蒸汽也分两路进入除氧器。一路从下部蒸汽管道入口4进入蒸汽喷盘,与头部落下来的水接触,使水受到第二次加热，然后从盘中溢出,流入水S J E E A G Q I