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All Sensors ACPC 系列C等级微型压力传感器资料

All Sensors ACPC 系列C等级微型压力传感器资料
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压力传感器分类与简介

将压力转换为电信号输出的传感器。通常把压力测量仪表中的电测式仪表称为压力传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件(或应变计)组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变,然后由位移敏感元件(见位移传感器)或应变计(见电阻应变计、半导体应变计)转换为与压力成一定关系的电信号。有时把这两种元件的功能集于一体,如压阻式传感器中的固态压力传感器。压力是生产过程和航天、航空、国防工业中的重要过程参数,不仅需要对它进行快速动态测量,而且还要将测量结果作数字化显示和记录。大型炼油厂、化工厂、发电厂和钢铁厂等的自动化还需要将压力参数远距离传送(见遥测),并要求把压力和其他参数,如温度、流量、粘度等一起转换为数字信号送入计算机。因此压力传感器是极受重视和发展迅速的一种传感器。压力传感器的发展趋势是进一步提高动态响应速度、精度和可靠性以及实现数字化和智能化等。常用压力传感器有电容式压力传感器、变磁阻式压力传感器(见变磁阻式传感器、差动变压器式压力传感器)、霍耳式压力传感器、光纤式压力传感器(见光纤传感器)、谐振式压力传感器等。 传感器的基本知识 一、传感器的定义 国家标准GB7665-87对传感器下的定义是:“能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成”。传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。 二、传感器的分类 目前对传感器尚无一个统一的分类方法,但比较常用的有如下三种: 1、按传感器的物理量分类,可分为位移、力、速度、温度、流量、气体成份等传感器 2、按传感器工作原理分类,可分为电阻、电容、电感、电压、霍尔、光电、光栅、热电偶等传感器。 3、按传感器输出信号的性质分类,可分为:输出为开关量(“1”和"0”或“开”和“关”)的开关型传感器;输出为模拟型传感器;输出为脉冲或代码的数字型传感器。 关于传感器的分类: 1.按被测物理量分:如:力,压力,位移,温度,角度传感器等; 2.按照传感器的工作原理分:如:应变式传感器、压电式传感器、压阻式传感器、电感式传感器、电容式传感器、光电式传感器等; 3.按照传感器转换能量的方式分: (1)能量转换型:如:压电式、热电偶、光电式传感器等; (2)能量控制型:如:电阻式、电感式、霍尔式等传感器以及热敏电阻、光敏电阻、湿敏电阻等; 4.按照传感器工作机理分: (1)结构型:如:电感式、电容式传感器等; (2)物性型:如:压电式、光电式、各种半导体式传感器等; 5.按照传感器输出信号的形式分: (1)模拟式:传感器输出为模拟电压量; (2)数字式:传感器输出为数字量,如:编码器式传感器。 三、传感器的静态特性 传感器的静态特性是指对静态的输入信号,传感器的输出量与输入量之间所具有相互关系。因为这时输入量和输出量都和时间无关,所以它们之间的关系,即传感器的静态特性可用一个不含时间变量的代数方

压力传感器工作原理

电阻应变式压力传感器工作原理细解 2011—10-14 15:37元器件交易网 字号: 中心议题: 电阻应变式压力传感器工作原理 微压力传感器接口电路设计 微压力传感器接口系统得软件设计 微压力传感器接口电路测试与结果分析 解决方案: 电桥放大电路设计 AD7715接口电路设计 单片机接口电路设计 本文采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输出得模拟变量,然后用INA118放大器将此信号放大,用7715A/D 进行模数转换,将转换完成得数字量经单片机处理,最后由LCD 将其显示,采用LM334 做得精密5 V 恒流源为电桥电路供电,完成了微压力传感器接口电路设计,既能保证检测得实时性,也能提高测量精度。 微压力传感器信号就是控制器得前端,它在测试或控制系统中处于首位,对微压力传感器获取得信号能否进行准确地提取、处理就是衡量一个系统可靠性得关键因素.后续接口电路主要指信号调节与转换电路,即能把传感元件输出得电信号转换为便于显示、记录、处理与控制得有用电信号得电路。由于用集成电路工艺制造出得压力传感器往往存在:零点输出与零点温漂,灵敏度温漂,输出信号非线性,输出信号幅值低或不标准化等问题。本文得研究工作,主要集中在以下几个方面: (1)介绍微压力传感器接口电路总体方案设计、系统得组成与工作原理。

(2)系统得硬件设计,介绍主要硬件得选型及接口电路,包括A/D 转换电路、单片机接口电路、1602显示电路。 (3)对系统采用得软件设计进行研究,并简要阐述主要流程图,包括主程序、A/D转换程序、1602显示程序。 1 电阻应变式压力传感器工作原理 电阻应变式压力传感器就是由电阻应变片组成得测量电路与弹性敏感元件组合起来得传感器。当弹性敏感元件受到压力作用时,将产生应变,粘贴在表面得电阻应变片也会产生应变,表现为电阻值得变化。这样弹性体得变形转化为电阻应变片阻值得变化。把4 个电阻应变片按照桥路方式连接,两输入端施加一定得电压值,两输出端输出得共模电压随着桥路上电阻阻值得变化增加或者减小。一般这种变化得对应关系具有近似线性得关系。找到压力变化与输出共模电压变化得对应关系,就可以通过测量共模电压得到压力值。 当有压力时各桥臂得电阻状态都将改变,电桥得电压输出会有变化. 式中:Uo为输出电压,Ui 为输入电压。 当输入电压一定且ΔRi 〈

PSA_PSB系列小型高精度压力传感器_控制器

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拉压力传感器

拉压力传感器又叫电阻应变式传感器,隶属于称重传感器系列,是一种将物理信号转变为可测量的电信号输出的装置。下面就由该产品的研发生产销售厂家高灵传感具体介绍一下吧,希望可以帮助到大家。 目前拉压力传感器广泛运用在工业称重系统、平台秤、电子秤、吊钩秤、配料秤等测力场合。在使用该产品之前,需要对以下几点知识有较清楚的了解。 一、拉压力传感器原理 拉压力传感器是以弹性体为中介,通过力作用在帖传感器两边的电阻应片使它的阻值发生变化,再经过相应的电路转换为电的信号,

从而实现后面的控制。它的优点是精度高,测量范围广,寿命长,结构简单,频响特性好。 二、拉压力传感器特点 (1)线性度:指传感器输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离拟合直线的程度。定义为在全量程范围内实际特性曲线与拟合直线之间的最大偏差值与满量程输出值之比。 (2)灵敏度:灵敏度是传感器静态特性的一个重要指标。其定义为输出量的增量与引起该增量的相应输入量增量之比。用S表示灵敏度。 (3)迟滞:传感器在输入量由小到大(正行程)及输入量由大到小(反行程)变化期间其输入输出特性曲线不重合的现象成为迟滞。对于同一大小的输入信号,传感器的正反行程输出信号大小不相等,这个差值称为迟滞差值。 (4)重复性:重复性是指传感器在输入量按同一方向作全量程连续多次变化时,所得特性曲线不一致的程度。

(5)漂移:传感器的漂移是指在输入量不变的情况下,传感器输出量随着时间变化,这个现象称为漂移。产生漂移的原因有两个方面:一是传感器自身结构参数;二是周围环境(如温度、湿度等)。 蚌埠高灵传感系统工程有限公司在自主创新的基础上开发生产出力敏系列各类传感器上百个品种,各种应用仪器仪表和系统,以及各种起重机械超载保护装置,可以广泛应用于油田、化工、汽车、起重机械、建设、建材、机械加工、热电、军工、交通等领域。公司除大规模生产各种规格的高精度、高稳定性、高可靠性常规产品外,还可根据用户具体要求设计特殊的非标传感器,以满足用户的特殊要求。如果您想进一步的了解,可以直接点击官网高灵传感进行在线了解。

歧管绝对压力(MAP)传感器.

8-1 MAP 歧管绝对压力(MAP)传感器 歧管绝对压力(MAP)传感器为三线传感器,与进气歧管压力(真空)相接触(图8-1)。MAP 传感器测量进气歧管中空气压力的变化。PCM 自MAP 传感器获取信息,指示发动机负荷,以便计算燃油和点火正时要求。歧管绝对压力与歧管真空度相反。即歧管绝对压力高时,真空度低(如节气门全开时)。当发动机停止运行时,歧管处于大气压力,MAP 传感器记录的是大气压。气压读数用于发动机起动时供油的计算。也用于发动机工作时燃油和点火正时的计算。 图8-1 MAP 传感器 压变电阻MAP 传感器 目前通用汽车公司生产的车型中使用压敏电阻型MAP 传感器。该传感器包括硅片,尺寸为3平方毫米。密封件与歧管相接。硅片以上为真空密封,而硅片以下为歧管(大气)压力。发动机工作时产生歧管真空,硅片以下的压力下降,产生硅片两端压力差的变化,从而引起变形,引起阻值的变化。 在操作中,来自进气歧管的不断变化的真空度施加于传感器壳体。真空度的变化引起传感器阻值的相应变化。从电气角度来看,当歧管压力低时,如处于怠速状态时,传感器的输出电压低,大约1V 。当歧管压力高,如节气门全开时,传感器的输出电压高,大约4.4 - 5V 。 进气歧管 进气压力 ECT 传感器 MAP, ECT 传感器接地 PCM PCM MAP 传感器 信号

8-2 图8-2 MAP 传感器线路图 如图8-2所示,PCM 通过电路2704向歧管绝对压力传感器的C 脚提供5V 工作电压,传感器A 脚通过PCM 接地,其B 脚输出信号电压给PCM 。 图8-3 MAP 传感器测量进气岐管压力的变化,此压力由发动机负荷和速度变化决定。当怠速岐管的压力很低时(高真空状态),电压在近似0.5V 到1V 之间变化,在节气门大开时,电压在4V 到5V 之间。(见图8-4) 如果MAP 传感器失效,控制模块将用TPS 信号和其他传感器来控制燃油输送和火花塞正时,以替代失效的MAP 值。如果MAP 发生开路或短路时,PCM 会设定故障码“DTC P0105: MAP SENSOR CIRCUIT ”。 图8-4 歧管绝对压力传感器输出电压曲线 赛欧的MAP 传感器与在Regal 、凯越和GL8中使用的相同。MAP 传感器提供非常重要的信息用来计算空气质量进而来控制燃油喷射时间。(见图8-3)

拉压力称重传感器

用途与特点 承受拉、压力均可,输出对称性好。精度高、结构紧凑,规格齐全。适用于配料秤、机电结合秤、 吊钩秤、包装秤及其他力值的测量与控制。 额定荷载 1kg-20t 技术与参数 综合精度 0.02-0.03(线性+滞后+重复性) 灵敏度 2.0mV/V 蠕变 ±0.02-0.03%F·S/30min 零点输出 ±1%F·S 零点温度影响 ±0.02-±0.03 %F·S/10℃输出温度影响 ±0.02-±0.03 %F·S/10℃工作温度 -20℃-+65℃输入阻抗 380±10Ω输出阻抗 350±3Ω安全过载 150%F·S 供桥电压 建议10VDC 材质 合金钢或不锈钢 接线方式 电源(+)红线 电源(-)绿线 输出(+)黄线 输出(-)白线

用途与特点 可用于拉、压力值的测量,输出对称性好,抗偏载能力强。适用于配料秤、吊钩秤及各类专用秤等。可选择内置式变送器,标准信号0-10mA、4-20mA或0-5V输出. 技术与参数 额定荷载100kg-20t 综合精度0.05%(线性+滞后+重复性) 灵敏度 2.0mV/V 蠕变±0.05%F·S/30min 零点输出±1%F·S 零点温度影响±0.05%F·S/10℃ 输出温度影响±0.05%F·S/10℃ 工作温度-20℃-+65℃ 输入阻抗710±15Ω 输出阻抗650±5Ω 绝缘电阻>5000MΩ 安全过载150%F·S 供桥电压建议10VDC 材质合金钢或不锈钢 接线方式电源(+)红线电源(-)绿线 输出(+)黄线输出(-)白线

KJTZH型高精度称重传感器 用途与特点 特有的T型过载保护装置,抗过载能力强。适用于皮带秤、配料秤等。可选择一体化标准信号输出,三线制,0-10mA、4-20mA或0-5V输出。 技术与参数 额定荷载3-200kg 综合精度0.03(线性+滞后+重复性) 灵敏度 1.5-2.0mV/V 蠕变±0.05%F·S/30min 零点输出±1%F·S 零点温度影响±0.05 %F·S/10℃ 输出温度影响±0.05 %F·S/10℃ 工作温度-20℃-+65℃ 输入阻抗385±10Ω 输出阻抗350±5Ω 绝缘电阻>5000MΩ 安全过载150%F·S 供桥电压建议10VDC 材质合金钢 接线方式电源(+)红线电源(-)绿线 输出(+)黄线输出(-)白线

卫生型压力传感器的功能及参数

卫生型压力传感器的功能 卫生型压力传感器属于高温熔体压力传感器系列,除具有压力传感器本身的特性之外,还具有卫生级仪器的特性。 卫生型压力传感器的特性:刚性杆和软管隔离,环保安全的隔离膜片组件结构,均不含或产生有害的物质,介质温度在400℃以下,具有良好的稳定性和精度。 卫生型压力传感器主要应用于食品、药物、饮料、酿酒、医疗器械等设备的高温流体/熔体/气体介质的压力测量和控制。 卫生型压力传感器的主要技术参数 量程:0~1~300MPa 综合精度:0.25%FS;0.5%FS 输出:2.0mV/V;4~20mA;0~5V;1~5V;0~10V 校准信号:80%FS校准;零点与满量程调节 工作温度:-10~450℃ 零点温漂移:≤±0.05%FS℃ 量程温度漂移:≤±0.05%FS℃ 安全过载:150%FS 极限过载:200%FS 响应时间:5 mS(上升到90%FS) 供电电压:传感器:10VDC(6-12VDC)变送器:24VDC(9~36 V) 长期稳定性:0.1%FS/年 绝缘电阻:大于2000MΩ 100VDC 振动影响:对于20HZ-1KHZ的机械振动,输出变化小于0.1%FS 密封等级:IP65 信号引出:五芯接插件5pin

螺纹连接:M14X1.5;M16X1.5;M18X1.5;M20X1.5;M22X1.5 艾驰商城是国内最专业的MRO工业品网购平台,正品现货、优势价格、迅捷配送,是一站式采购的工业品商城!具有10年工业用品电子商务领域研究,以强大的信息通道建设的优势,以及依托线下贸易交易市场在工业用品行业上游供应链的整合能力,为广大的用户提供了传感器、图尔克传感器、变频器、断路器、继电器、PLC、工控机、仪器仪表、气缸、五金工具、伺服电机、劳保用品等一系列自动化的工控产品。 如需进一步了解图尔克、奥托尼克斯、科瑞、山武、倍加福、邦纳、亚德客、施克等各类传感器的选型,报价,采购,参数,图片,批发信息,请关注艾驰商城https://www.wendangku.net/doc/bb14311654.html,/

压力传感器工作原理

电阻应变式压力传感器工作原理细解 2011-10-14 15:37元器件交易网 字号: 中心议题: 电阻应变式压力传感器工作原理 微压力传感器接口电路设计 微压力传感器接口系统的软件设计 微压力传感器接口电路测试与结果分析 解决方案: 电桥放大电路设计 AD7715接口电路设计 单片机接口电路设计 本文采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输出的模拟变量,然后用INA118放大器将此信号放大,用7715A/D 进行模数转换,将转换完成的数字量经单片机处理,最后由LCD 将其显示,采用LM334 做的精密5 V 恒流源为电桥电路供电,完成了微压力传感器接口电路设计,既能保证检测的实时性,也能提高测量精度。 微压力传感器信号是控制器的前端,它在测试或控制系统中处于首位,对微压力传感器获取的信号能否进行准确地提取、处理是衡量一个系统可靠性的关键因素。后续接口电路主要指信号调节和转换电路,即能把传感元件输出的电信号转换为便于显示、记录、处理和控制的有用电信号的电路。由于用集成电路工艺制造出的压力传感器往往存在:零点输出和零点温漂,灵敏度温漂,输出信号非线性,输出信号幅值低或不标准化等问题。本文的研究工作,主要集中在以下几个方面:

(1)介绍微压力传感器接口电路总体方案设计、系统的组成和工作原理。 (2)系统的硬件设计,介绍主要硬件的选型及接口电路,包括A/D 转换电路、单片机接口电路、1602显示电路。 (3)对系统采用的软件设计进行研究,并简要阐述主要流程图,包括主程序、A/D 转换程序、1602显示程序。 1 电阻应变式压力传感器工作原理 电阻应变式压力传感器是由电阻应变片组成的测量电路和弹性敏感元件组合起来的传感器。当弹性敏感元件受到压力作用时,将产生应变,粘贴在表面的电阻应变片也会产生应变,表现为电阻值的变化。这样弹性体的变形转化为电阻应变片阻值的变化。把4 个电阻应变片按照桥路方式连接,两输入端施加一定的电压值,两输出端输出的共模电压随着桥路上电阻阻值的变化增加或者减小。一般这种变化的对应关系具有近似线性的关系。找到压力变化和输出共模电压变化的对应关系,就可以通过测量共模电压得到压力值。 当有压力时各桥臂的电阻状态都将改变,电桥的电压输出会有变化。 式中:Uo 为输出电压,Ui 为输入电压。 当输入电压一定且ΔRi <

LH-S09A 微型拉压力传感器特点及用途,LH-S09A 微型拉压力传感器技术参数

LH-S09A 微型拉压力传感器特点及用途,LH-S09A 微型拉压力传感 器技术参数 随着中国自动化不断发展进步,工控自动化产品也是大众需求。上海力恒传感技术有限公司致力于力传感器及其信号处理的系统工作,公司在力传感器领域有着不断的追求。下面由力恒传感小编为大家讲解LH-S09A 微型拉压力传感器特点,LH-S09A 微型拉压力传感器用途,LH-S09A 微型拉压力传感器技术参数,LH-S09A 微型拉压力传感器型号相关内容! LH-S09A 微型拉压力传感器 型号:LH-S09A 高度19.1,宽度22,厚度6.7,可测量拉压双向力;高速动态响应输出,精度0.05%;测力部分:内螺纹方向的拉伸或压缩。广泛应用于自动化力值检测,典型应用:按键检测。

注:1、螺丝安装时,深度不可超过4毫米。不可接触到传感器中间部分,以免影响测量结果。 2、传感器安装时,两边盖板不可与中间柱体接触,否则影响测试准度。 注:螺丝安装时,不能拧太深。不可接触到传感器中间部分,以免影响测量结果。技术参数 量程Capacity 0-1N~50N~2000N 材质 Material 不锈钢 输出灵敏度Rated output 2.0 ±10% mV/V 输出电阻 Output Impedance 350±3Ω 非线性Non-linearity 0.05 % F.S. 绝缘电阻 Insulation >5000MΩ /10VDC 滞后Hysteresis 0.05 % F.S. 使用电压 Recommended 2.5-5V

以上内容是由上海力恒传感技术有限公司小编整理,希望能帮助到大家~ 上海力恒传感技术有限公司致力于力传感器及其信号处理的系统工作,公司在力传感器领域有着不断的追求。 Excitation 重复性 Repeatability 0.05 % F.S. 至大工作电压 Excitation max 10V 蠕变(30分钟) Creep(30min) 0.05 % F.S. 温度补偿范围 Compensated Temp Range -10~60℃ 温度灵敏度漂移 Temp Effect On Output 0.1 % F.S./ 10℃ 工作温度范围 Operating Temp Range -20~80℃ 零点温度漂移 Temp Effect On Zero 0.1 % F.S./ 10℃ 安全负载 Safe Load 120% 防护等级 Protection Class IP 65 极限负载 Ultimate Load Limit 150% 输入阻抗 Input Impedance 350±15Ω 电缆长度 Cable Length ?2-3 x 3m 电缆线连接方式 Wire Connection Ex +: 红 (Red) ; Ex -: 黑 (Black) ; Sig +: 绿 (Green ); Sig -: 白 (White)(压为正,拉为负);

拉力测量传感器

拉力传感器的优点是精度高,测量范围广,寿命长,结构简单,频响特性好,能在恶劣条件下工作,易于实现小型化、整体化和品种多样化等。下面就由拉力测量传感器厂家高灵传感为大家科普一些传感器的知识,帮助大家更好使用。 拉力测量传感器也是一种称重传感器,在日常使用过程中会出现一些常见的故障,以下是它在日常使用过程中常见一些故障现象和判别方法: 一、传感器数据飘,不稳定 二、传感器数据不正确,数据显示偏大和偏小 三、传感器数据时而失灵,不准确。 一、传感器数据飘,不稳定判别原因: 1.机械安装部分是否碰触

2.电缆线受潮(接线盒进水)可用电吹风将其吹干; 3.电缆线受潮(接线盒进水)可用电吹风将其吹干; 4.传感器绝缘阴抗下降(<200MΩ)(用万用表分别测量色线,屏蔽线跟传感器表面); 5.传感器表面带电(用万用表测量,通过系统接地解决); 6.系统接地不良(感应电压会使传感器或仪表外壳带电); 7.仪表外壳是否接地(未接地会导致感应电压存在); 8.电源是否稳定(地线有电压否)(不可跟大功率调和共用供电系统,零线有电压会导致仪表表面带电); 9.内部电路故障(虚焊、电路器件接触不良)。 传感器数据不正确,数据显示偏大和偏小故障判别原因: 1.机械安装、限位部分是否碰触; 2.存在角差(有重复性): (1)基础不好会导致角差; (2) 零点跑:传感器空载输出>+2mV或<0mV。 3.存在角差(不具有重复性): (1)安装力矩/基础原因; (2)传感器故障(灵敏度) 传感器数据时而失灵,不准确。 1、机械安装、限位部分是否碰触,限位时碰触,时面不碰触; 2、是否存在干扰源;

汽车进气绝对压力传感器

对空燃比控制起决定性作用的传感器是空气计量系统。空气计量系统告诉ECU进多少空气ECU就配多少燃油,喷多少油作重要依据。所以说能导致汽车混合器漂移量过大非常大的就是空气计量系统问题。如果车喷油量偏差非常多一般就是空气流量传感器问题,因为一般其它传感器只是辅助没有权限控制那么大的喷油量,偏差也只是稍稍进行一些错误修正产生的。其它传感器做不到那么大的控制范围。控制程序中的喷油计算公式,进气量是主要决定因子,其它的只是修正因子。 全世界的所有发动机对混合器的需求都是一样的,区别不会太大。但是到故障诊断的时候要区分控制系统。 目前的汽车发动机电控系统主要分为两大类,即以空气流量计为代表的L型系统和以进气压力传感器为代表的D型系统。这两种系统的工作方式不同,故障现象不同。 空气流量计(L型)和进气压力传感器(D型)都属于空气计量装置,但是空气流量计属于直接测量进气量。进气压力传感器属于间接测量进气量。 空气流量计种类:(翼板式-基本淘汰)、(卡门涡旋式-使用率1%)、(热线热膜式-使用率99%)。 流量计和压力传感器的区别: 1、安装位置不同:空气流量计安装在空滤后面节气门前的管道中,进入进气管的空气都要 经过空气流量计。进气压力传感器安装在节气门后进气门前,靠检测进气管道中的气压力(负压、真空度检测为负值)间接判断空气流量。 2、反应速度不同:空气流量计响应速度快,因空气流量计的安装位置比较靠前。当空气进 入进气管后马上就能得出空气量。进气压力传感器反应相对较慢,因为当空气流量计得出测量结果的时候相对于进气压力传感器空气都还没有进入到节气门后面。 空气流量计 流量传感器优缺点:响应快,测量准。收油门时对进气量的测量没有进气压力传感器准确。价格昂贵一般400-20000.一般用在中高端车。 压力传感器优缺点:加油门的时候测量不准,反应较慢。但优点是收油门的时候测量节气门后的压力,判断空气流量比较准。价格相对便宜最多400,一般用在低端车。 有的车也有空气流量计和进气压力传感器同时安装的。如别克。但应该还是归为L型为主。因为L型控制精度更高。但有进气压力传感器的优点。 进气压力传感器 影响车在怠速时节气门后进气门前的进气管内的真空度的原因:点火时间,漏气,缸压,,,,,气门关闭不严,正时,排气背压,怠速电机,负荷,

MEMS压力传感器

MEMS压力传感器 姓名:唐军杰 学号:09511027 班级: _09511__

目录 引言 (1) 一、压力传感器的发展历程 (2) 二、MEMS微压力传感器原理 (3) 1.硅压阻式压力传感器 (3) 2.硅电容式压力传感器 (4) 三、MEMS微压力传感器的种类与应用范围 (5) 四、MEMS微压力传感器的发展前景 (7) 参考文献 (8)

内容提要 在整个传感器家族中,压力传感器是应用最广泛的产品之一, 每年世界性的压力传感器的专利就有上百项。微压力传感器作为微 型传感器中的一种,在近几年得到了快速广泛的应用。本文详细介 绍了MEMS压力传感器的原理与应用。 [关键词]:MEMS压力传感器微型传感器微电子机械系统 引言 MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统) 是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、 通信和电源于一体的微型机电系统。它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器在航空、航天、汽车、生物医学、环境 监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的 应用前景。 MEMS微压力传感器可以用类似集成电路的设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过 程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使 压力控制变得简单、易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基 于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此 它不可能如MEMS微压力传感器那样,像集成电路那么微小,而且 成本也远远高于MEMS微压力传感器。相对于传统的机械量传感器,MEMS微压力传感器的尺寸更小,最大的不超过一个厘米,相对于 传统“机械”制造技术,其性价比大幅度提高。

(完整版)四种压力传感器的基本工作原理及特点

四种压力传感器的基本工作原理及特点 一:电阻应变式传感器 1 1电阻应变式传感器定义 被测的动态压力作用在弹性敏感元件上,使它产生变形,在其变形的部位粘贴有电阻应变片,电阻应变片感受动态压力的变化,按这种原理设计的传感器称为电阻应变式压力传感器。 1.2 电阻应变式传感器的工作原理 电阻应变式传感器所粘贴的金属电阻应变片主要有丝式应变片与箔式应变片。 箔式应变片是以厚度为0.002——0.008mm 的金属箔片作为敏感栅材料,,箔栅宽度为0.003——0.008mm 。丝式应变片是由一根具有高电阻系数的电阻丝(直径0.015--0.05mm),平行地排成栅形(一般2——40条),电阻值60——200 ?,通常为120 ?,牢贴在薄纸片上,电阻纸两端焊有引出线,表面覆一层薄纸,即制成了纸基的电阻丝式应变片。测量时,用特制的胶水将金属电阻应变片粘贴于待测的弹性敏感元件表面上,弹性敏感元件随着动态压力而产生变形时,电阻片也跟随变形。如下图所示。B 为栅宽,L 为基长。 材料的电阻变化率由下式决定: d d d R A R A ρρ=+ (1) 式中; R —材料电阻

由材料力学知识得; [(12)(12)]dR R C K μμεε=++-= (2) K —金属电阻应变片的敏感度系数 式中K 对于确定购金属材料在一定的范围内为一常数,将微分dR 、dL 改写成增量ΔR 、ΔL,可得 R L K K R L ε??== (3) 由式(2)可知,当弹性敏感元件受到动态压力作用后随之产生相应的变形ε,而形应变值可由丝式应变片或箔式应变片测出,从而得到了ΔR 的变化,也就得到了动态压力的变化,基于这种应变效应的原理实现了动态压力的测量。 1.3电阻应变式传感器的分类及特点 测低压用的膜片式压力传感器 常用的电阻应变式压力传感器包括 测中压用的膜片——应变筒式压力传感器 测高压用的应变筒式压力传感器 1.3.1膜片——应变筒式压力传感器的特点 该传感器的特点是具有较高的强度和抗冲击稳定性,具有优良的静态特性、动态特性和较高的自震频率,可达30khz 以上,测量的上限压力可达到9.6mp a 。适于测量高频脉动压力,又加上强制水冷却。也适于高温下的动态压力测量,如火箭发动机的压力测量,内燃机、压气机等的压力测量。 1.3.2 膜片式应变压力传咸器的特点 A 这种膜片式应变压力传感器不宜测量较大的压力,当变形大时,非线性较大。但小压力测量中由于变形很小,非线性误差可小于0.5%,同时又有较高的灵敏度,因此在冲击波的测量中,国内外都用过这种膜片式压力传感器。 B 这种传感器与膜片—应变筒式压力传感器相比,自振频率较低,因此在低ρ—材料电阻率

压力传感器原理【详解】

压力传感器原理 内容来源网络,由“深圳机械展(11万㎡,1100多家展商,超10万观众)”收集整理!更多cnc加工中心、车铣磨钻床、线切割、数控刀具工具、工业机器人、非标自动化、数字化无人工厂、精密测量、3D打印、激光切割、钣金冲压折弯、精密零件加工等展示,就在深圳机械展. 一.压力传感器原理 一些常用传感器原理及其应用: 1、应变片压力传感器原理与应用 力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 在了解压阻式力传感器时,我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上,当基体受力发生应力变化时,电阻应变片也一起产生形变,使应变片的阻值发生改变,从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小,一般这种应变片都组成应变电桥,并通过后续的仪表放大器进行放大,再传输给处理电路(通常是A/D转换和CPU)显示或执行机构。

金属电阻应变片的内部结构 1、应变片压力传感器原理 如图1所示,是电阻应变片的结构示意图,它由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分组成。根据不同的用途,电阻应变片的阻值可以由设计者设计,但电阻的取值范围应注意:阻值太小,所需的驱动电流太大,同时应变片的发热致使本身的温度过高,不同的环境中使用,使应变片的阻值变化太大,输出零点漂移明显,调零电路过于复杂。而电阻太大,阻抗太高,抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几十千欧左右。 电阻应变片的工作原理 金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象,俗称为电阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示: 式中:ρ——金属导体的电阻率(Ω?cm2/m) S——导体的截面积(cm2) L——导体的长度(m) 我们以金属丝应变电阻为例,当金属丝受外力作用时,其长度和截面积都会发生变化,从上式中可很容易看出,其电阻值即会发生改变,假如金属丝受外力作用而伸长时,其长

进气歧管绝对压力传感器的检测

进气歧管绝对压力传感器的检测 进气歧管绝对压力传感器用于D型汽油喷射系统。它在汽油喷射系统中所起的作用和空气流量传感器相似。进气歧管绝对压力传感器根据发动机的负荷状态测出进气歧管内绝对压力(真空度)的变化,并转换成电压信号,与转速信号一起输送到电控单元(ECU),作为确定喷油器基本喷油量的依据。在当今发动机电子控制系统中,应用较为广泛的有半导体压敏电阻式、真空膜盒传动式两种。 一、半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器的检测 1、结构原理 半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器(图1)由压力转换元件(硅膜片)和把转换元件输出信号进行放大的混合集成电路组成。压力转换元件是利用半导体的压阻效应制成的硅膜片。硅膜片的一侧是真空室,另一侧导入进气歧管压力,所以进歧管内绝对压力越高,硅膜片的变形越大,其变形量与压力成正比。附着在薄膜上的应变电阻的阻值则产生与其变形量成正比的变化。利用这种原理,可把进气歧管内压力的变化变换成电信号。 2、半导体压敏电阻式进气歧管压力传感器的检测 (1)皇冠3.0轿车2JZ-GE发动机用半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器的检测。 皇冠3.O轿车2JZ-GE发动机用半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器与ECU的连接电路如图2所示。

A、传感器电源电压的检测 点火开关置于“OFF”位置,拔下进气歧管绝对压力传感器的导线连接器,然后将点火开关置于“ON”位置(不起动发动机),用万用表电压档测量导线连接器中电源端VCC和接地端E2之间的电压如图3,其电压值应为4.5-5.5V。如有异常,应检查进气歧管绝对压力传感器与ECU之间的线路是否导通。若断路,应更换或修理线束。 B、传感器输出电压的检测将点火开关置于“ON”位置(不起动发动机),拆下连接进

德国HYDAC压力传感器的性能参数

德国HYDAC压力传感器的性能参数 HYDAC压力传感器的种类繁多,其性能也有较大的差异,如何选择较为适用的传感器,做到经济、合理的使用。 1. 额定压力范围 额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。也就是在最高和最低温度之间,传感器输出符合规定工作特性的压力范围。在实际应用时传感器所测压力在该范围之内。 2. 最大压力范围 最大压力范围是指传感器能长时间承受的最大压力,且不引起输出特性永久性改变。特别是半导体压力传感器,为提高线性和温度特性,一般都大幅度减小额定压力范围。因此,即使在额定压力以上连续使用也不会被损坏。一般最大压力是额定压力最高值的2-3倍。 3. 损坏压力 损坏压力是指能够加在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的最大压力。 4. 线性度 线性度是指在工作压力范围内,传感器输出与压力之间直线关系的最大偏离。 5.压力迟滞 为在室温下及工作压力范围内,从最小工作压力和最大工作压力趋近某一压力时,传感器输出之差。 6.温度范围 压力传感器的温度范围分为补偿温度范围和工作温度范围。补偿温度范围是由于施加了温度补偿,精度进入额定范围内的温度范围。工作温度范围是保证压力传感器能正常工作的温度范围。 HYDAC技术参数(量程15MPa-200MPa) 参数单位技术指标参数单位技术指标 灵敏度 mV/V 1.0±0.05 灵敏度温度系数≤%F·S/10℃±0.03 非线性≤%F·S ±0.02~±0.03 工作温度范围℃ -20℃~+80℃ 滞后≤%F·S ±0.02~±0.03 输入电阻 400 10ù 重复性≤%F·S ±0.02~±0.03 输出电阻 350 5ù 蠕变≤%F·S/30min ±0.02 安全过载≤%F·S 150% F·S 零点输出≤%F·S ±2 绝缘电阻 M≥5000M(50VDC) 零点温度系数≤%F·S/10℃±0.03 推荐激励电压 V 10V-15V

微压力传感器研究现状及发展趋势

大连理工大学研究生试卷 系别:机械工程学院 课程名称:微制造与微机械电子系统学号:21204035 姓名:李方元 考试时间:2013年1 月15 日类别标准分数实得分数平时 成绩 10 作业 成绩 90 总分100 授课教师刘冲 签字

微压力传感器研究现状及发展趋势 李方元 (大连理工大学大连) 摘要:MEMS器件中,微压力传感器是应用最为广泛的一种。本文主要介绍了微压力传感器的特点、应用,介绍了国内外的目前研究现状及发展趋势,以及我国与发达国家的差距。 关键词:MEMS 微压力传感器研究现状发展趋势 Micro pressure sensor research status and development trend Li Fang Yuan (Dalian university of technology Dalian) Abstract: the MEMS devices, micro pressure sensor is a kind of widely used. This article mainly introduced the micro pressure sensor characteristics, application, this paper introduces domestic and international current research situation and development trend in our country, and the gap with developed countries. Keywords: MEMS micro pressure sensor research situation development trend 0前言 传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。本文主要介绍微压力传感器的一些知识。 MEMS传感器的发展以20世纪60年代霍尼韦尔研究中心和贝尔实验室研制出首个硅隔膜压力传感器和应变计为开端。压力传感器是应用最广泛的MEMS传感器.其性能由测量范围、测量精度、非线性和工作温度决定。从信号检测方式划分,MEMS压力传感器可分为压阻式、电容式和谐振式等;从敏感膜结构划分,可分为圆形、方形、矩形和E形等。它的工作原理是压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。 微机械制造技术包括了清洗、氧化、光刻、刻蚀、离子注入或扩散、溅射、键合、封装技术等]5[。制作不同的微结构就需要合理的使用这些技术,通常用硅、石英和陶瓷材料为衬底,与薄膜技术相结合,并规范使用各项工艺技术就可以制作出精密的微器件,来用于实际测试中。其中最为关键的是后期封装工艺,它也是工艺上的一个难点,对微器件的性能有很大影响。 1微传感器特点及应用

微型、薄型动态压力传感器

微型、薄型动态压力传感器 一、CYG502型超微型压力传感器(绝压) 标称尺寸外径2mm的超微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。 CYG502的压力敏感元件采用当代最先进的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化,为超微型传感器的实现取得关键突破。 使用了硅–硅键合技术,改善了热匹配效果,减少了应力带来的零位不稳定性。 目前已面市品种有绝压型测量模式产品,表压型正在研制中。 二、CYG503型微型压力传感器(绝压、表压) 标称尺寸外径3mm的微型压力传感器CYG503是专为空气动力学研究试验中,要求安装尺寸小,不扰动流场,动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如发动机进气道压力畸变、喘振等的空气动力学性能测定, 敏感元件的固有频率>200kHz。 CYG503的压力敏感元件采用当代最先进的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工,精密各向异性腐蚀形成的硅薄膜力敏结构使其具有很高的压力灵敏度和小至1.5mm以下的径向尺度。先进的微型化的压力敏感芯片采用无应力封装技术,密封封装在特制的微型安装基座和不锈钢毛细管中。绝压型传感器参考压力腔是芯片背面密封的真空腔,表压型传感器的参考压力腔是通过一根更细的不锈钢毛细管从背面引出与大气沟通。也为了方便用户为取得稳定的压力参考而用细尼龙管将它引至气压稳定处。 三、CYG504型微型低压力传感器(绝压、表压) 标称尺寸外径4mm的微型压力传感器CYG504是专为空气动力学研究试验中,要求测量量程低,安装尺寸小,不扰动流场,动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如风洞中正空度脉动测量、中低速风洞空气动力学性能测定等。 四、CYG505型微型压力传感器(绝压、表压) 标称尺寸外径Φ5mm的微型表压力传感器CYG505及其衍生的螺纹安装型品种CYG506是专为水流动力学研究。缩模实验要求的外形尺寸小,对流场扰动小,量程低、灵敏度高,动态频响好而专门设计的微型低量程脉动压力传感器。 CYG505的压力敏感元件采用当代最先进的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造、三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。用CAD 辅助的有限元分析基础上的最佳力学构件设计、版图布局设计、加上精密的各向异性腐蚀,

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