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《薄膜光学与技术》期末复习题

《薄膜光学与技术》期末复习题
《薄膜光学与技术》期末复习题

2013《薄膜光学与技术》期末复习题

一、填空题

1、在折射率为3.5的基底表面镀单层减反射膜,对于4000nm的光波,理论上能达到最佳减反射效果的薄膜折射率为:,需要镀制的薄膜光学厚度为nm。

2、若薄膜的折射率为n,光线在薄膜内的折射角为θ,则s、p光的修正导纳分别为、。

3、对于波长为λ的光来说,单层膜的光学厚度每增加,薄膜的反射率就会出现一次极值变化。当薄膜的折射率小于基底折射率时,出现的第一个反射率极值是(极大、极小)值。

4、虚设层的形成条件是:。

5、周期性对称膜系(pqp)s的等效折射率和的等效折射率完全相同,其等效位相厚度等于。

6、折射率为n1,光学厚度为λ0/4,基底的折射率为n s,那么,该单层膜与基底的组合导纳为:。

7、介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的有关;高反射带的波长宽度与、成正比,与成反比。

8、热偶真空规是通过直接测量达到间接测量的目的。

9、镀膜室内真空度高表明气体压强,真空度低则气体压强。

10、薄膜几何厚度的监控通常用膜厚仪来实现,光学厚度的监控常常采用膜厚仪来监控。

11、采用PVD技术制造薄膜器件时,影像薄膜折射率的主要工艺因素是:、、。

12、改善膜层厚度均匀性的措施包括和。

13、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为900nm的薄膜,在500-700nm范围内,可以选取的监控波长为和nm。

⑴光学薄膜的结构参数有:膜系结构、膜层折射率、膜层厚度。

⑵薄膜的光学特性参数有:反射率、透射率、吸收率、散射率。

⑶光学膜系设计的目的是:得到满足特定光谱透过率或光谱反射率技术要求的膜系结构。

⑷薄膜制造的目的是:制造出具有设计光谱透过率或光谱反射率特性的薄膜器件。

⑸真空热蒸发技术中影响膜层性能的主要工艺因素有:

真空度、蒸发速度、烘烤温度、基底表面洁净度。

⑹镀制中离子轰击的目的是:提高膜层填充密度

⑺光电极值法监控膜层厚度的缺点是:控制精度低,不能控制太薄的膜层。

⑻膜层填充密度低将会导致:光学性能不稳定,机械性能差,散射和吸收损耗大。

二、辨析题:先回答以下说法是否正确?然后说明理由或修改正确。

1、膜层的有效位相厚度表示为: ,当光波斜入射时,对于s 光和p 光而言,要分别代入修正后的折射率值进行运算。

2、介质高反射膜无论入射角下多大,其s 偏振和p 偏振光所对应的带宽都是相同的。

3、测量镀膜样片的透射率时,将镀膜面向着光源和背对光源测得的结果相同。

4、膜系G/M2HLHLHL/A 中,低折射率膜层的几何厚度均为

4

0λ。

5、PVD 真空镀膜机的真空系统,一般需要一台扩散泵就可以完成抽气过程。

三、问答题 (每题7分,共21分) θλπδcos 2nd =

1、什么是单层介质膜层反射率的双重周期性?其周期性的主要特点有哪些?

2、在镀膜前与镀膜过程中,常常需要进行离子束轰击,在这两个过程中,离子束辅助的作用是什么?

3、极值法监控膜厚有哪些技巧,请简要说明。

四、计算题

1、K9平板玻璃单面镀制单层光学厚度280nm 的MgF 2膜层后,它对波长1120nm 、 560nm 的反射率各是多少?光线0°入射,不考虑另一面的影响。(玻璃n g =1.52;薄膜n f =1.38)

2、石英玻璃基底上镀制高反膜G/(HL)5H/A ,若镀膜材料为ZnS 和MgF 2,求峰值反射率和中心波长处反射带的波长宽度?(中心波长500nm ;ZnS 折射率为

2.15;MgF 2折射率为1.38;玻璃n g =1.46) ——引深:高反射带起始和终止波长。

3、已知441n 32n 521n L H G .,.,.===,窄带滤光膜系GHLHLHLHLH2LHLHLHLHA 的峰值透射率是多少?(不考虑基底背表面的影响) ——引深:欲实现峰值透射率100%,次膜系结构应当怎么改?

4、图示为K9平板玻璃(n g =1.5)单面镀制单层膜的反射率曲线(膜基界面反射率,不考虑另一面),计算薄膜的几何厚度和折射率。其中,反射率极大值的波长位置为550nm 、917nm ,反射率极小值的波长位置为458nm 、688nm 、1375nm 。

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最新《薄膜光学与技术》2012期末考试试题A-答案

2012-2013学年第1学期《薄膜光学与技术》期末考试试题(A 卷) 参考答案及评分标准 一、填空题 (每空1分,共24分) 1、在折射率为3.5的基底表面镀单层减反射膜,对于4000nm 的光波,理论上能 达到最佳减反射效果的薄膜折射率为: 1.8708 ,需要镀制的薄膜光学厚度 为 1000 nm 。 2、若薄膜的折射率为n ,光线在薄膜内的折射角为θ,则s 、p 光的修正导纳分 别为 ncos θ 、 n/cos θ 。 3、对于波长为λ的光来说,单层膜的光学厚度每增加 λ/4 ,薄膜的反 射率就会出现一次极值变化。当薄膜的折射率小于基底折射率时,出现的第一个 反射率极值是 极小 (极大、极小)值。 4、虚设层的形成条件是: 薄膜的光学厚度等于半波长的整数倍 。 5、周期性对称膜系(pqp)s 的等效折射率和 基本周期/pqp 的等效折射率完 全相同,其等效位相厚度等于 基本周期的s 倍 。 6、折射率为n 1,光学厚度为λ0/4,基底的折射率为n s ,那么,该单层膜与基底 的组合导纳为: s n n Y 21 7、介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的 折射率 有关,折射率 差值越大 , 高反射带越宽。 8、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量 真空 的目的。 9、镀膜室内真空度高表明气体压强 小 ,真空度低则气体压强 大 。 10、薄膜几何厚度的监控通常用 石英晶振 膜厚仪来实现,光学厚度常常采 用 光电 膜厚仪来监控。 11、采用PVD 技术制造薄膜器件时,薄膜折射率的误差主要来自三个方面: 膜 层的聚集密度 、 膜层的微观组织物理结构 、 膜层的化学成分 。 12、改善膜层厚度均匀性的措施包括 旋转夹具 和 膜层厚度调节板 。 13、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为900nm 的薄膜,在 500-700nm 范围内,可以选取的监控波长为 600 和 514.3 nm 。

理论力学期末考试试题.pdf

理论力学期末考试试题 1-1、自重为P=100kN的T字形钢架ABD,置于铅垂面内,载荷如图所示。其中转矩M=,拉力F=400kN,分布力q=20kN/m,长度l=1m。试求固定端A的约束力。 解:取T型刚架为受力对象,画受力图. 1-2 如图所示,飞机机翼上安装一台发动机,作用在机翼OA上的气动力按梯形分布: q=60kN/m,2q=40kN/m,机翼重1p=45kN,发动机重2p=20kN,发动机螺旋桨的反作用力1 偶矩M=。求机翼处于平衡状态时,机翼根部固定端O所受的力。 解:

1-3图示构件由直角弯杆EBD以及直杆AB组成,不计各杆自重,已知q=10kN/m,F=50kN,M=,各尺寸如图。求固定端A处及支座C的约束力。

1-4 已知:如图所示结构,a, M=Fa, F F F, 求:A,D处约束力. 12 解: 1-5、平面桁架受力如图所示。ABC为等边三角形,且AD=DB。求杆CD的内力。

1-6、如图所示的平面桁架,A端采用铰链约束,B端采用滚动支座约束,各杆件长度为1m。在节点E和G上分别作用载荷 F=10kN,G F=7 kN。试计算杆1、2和3的内力。 E 解:

2-1 图示空间力系由6根桁架构成。在节点A上作用力F,此力在矩形ABDC平面内,且与铅直线成45o角。ΔEAK=ΔFBM。等腰三角形EAK,FBM和NDB在顶点A,B和D处均为直角,。若F=10kN,求各杆的内力。 又EC=CK=FD=DM

2-2 杆系由铰链连接,位于正方形的边和对角线上,如图所示。在节点D沿对角线LD方向作用力D F。在节点C沿CH边铅直向下作用力F。如铰链B,L和H是固定的,杆重不计,求各杆的内力。

光学薄膜技术

光学薄膜概论 光学薄膜 光学薄膜泛指在光学器件或光电子元器件表面用物理化学等方法沉积的、利用光的干涉现象以改变其光学特性来产生增透、反射、分光、分色、带通或截止等光学现象的各类膜系。它可分为增透膜、高反膜、滤光膜、分光膜、偏振与消偏振膜等。光学薄膜的应用始于20世纪30年代。现代,光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域,制造各种光学仪器。 光学薄膜的特点是:表面光滑,膜层之间的界面呈几何分割;膜层的折射率在界面上可以发生跃变,但在膜层内是连续的;可以是透明介质,也可以是吸收介质;可以是法向均匀的,也可以是法向不均匀的。 光学薄膜的基本原理: 1.利用光线的干涉效应,当光线入射於不同折射系数物质所镀成的薄膜,产生某种特殊光学特性。 分类:光学薄膜就其所镀材料之不同,大体可分为金属膜和非金属膜。 a.金属膜:主要是作为反射镜和半反射镜用。在各种平面或曲面反射镜,或各式稜镜等,都可依所需镀上Al、Ag、Au、Cu等各种不同的材料。不同的材料在光谱上有不同的特性。AI的反射率在紫外光、可见光、近红外光有良好的反射率,是镀反射镜最常使用的材料之一。Ag膜在可见光和近红外光部份的反射率比AI膜更高,但因其易氧化而失去光泽,只能短暂的维持高反射率,所以只能用在内层反射用,或另加保护膜。 b.非金属膜:用途非常广泛,例如抗反射镜片.单一波长滤光片、长或短波长通过滤光片、热光镜、冷光镜、各种雷射镜片等,都是利用多种不同的非金属材料,蒸镀在研磨好之镜杯上,层数由单层到数十、百层不等,视需要的不同,而有不同的设计和方法。目前这些薄膜中被应用得最广泛,最商业化,也是一般人接触到最多的,就是抗反射膜。例如眼镜、照相机镜头、显微镜等等都是在镜片上镀抗反射膜。因为若是不加以抗反射无法得到清晰明亮的影像了,因此如何增加其透射光线就是一个非常重要的课题。 2.利用光波干涉原理,在镜片的表面镀上一层薄膜,厚度为1/4 波长的光学厚度,使光线不再只被玻璃—空气界面反射,而是空气—薄膜、薄膜—玻璃二个界面反射,因此产生干涉现象,可使反射光减少。若镀二层的抗反射膜,使反射率更低,但是镀一层或二层都有缺点:低反射率的波带不移宽,不能在可见光范围都达到低反射率。1961年Cox、Hass和 Thelen 三位首先发表以1/4一1/2一1/4波长光学厚度作三层抗反射膜可以得到宽波带低反射率的抗反射膜。多层抗反射膜除了宽波带的,也可做到窄波带的。也就是针对其一波长如氨氟雷射632.8nm波长,要求极高的透射,可使63Z.8nm这一波长透射率高达99.8%以上,用之於雷射仪器。但若需要对某一波长的光线有看极高的反射率需要用高低不同折射系数的材料反覆蒸镀数十层才可达到此效果。 光学薄膜的制造方式:热电阻式、电子枪式和溅射方式。最普通的方式为热电阻式,是将蒸镀材料在真空蒸镀机内置於电阻丝或片上,在高真空的情况下,加热使材料成为蒸气,直接镀於镜片上。由於有许多高熔点的材料,不易使用此种方式使之熔化、蒸镀。而以电子枪改进此缺点,其方法是以高压电子束直接打击材料,由於能量集中可以蒸镀高熔点的材料。另一方式为溅射方式,是以高压使惰性气体离子化,打击材料使之直接溅射至镜片,以此方式

物理光学期末考试总结

物理光学期末考试总结 部门: xxx 时间: xxx 整理范文,仅供参考,可下载自行编辑

线偏振光的方位角:线偏振光的振动面与入射面间的夹角称为线偏振光的方位角。 相干时间:⑴光源发出的一个光波列所用的平均时间⑵指光源发出的光波列被一分为二再合二为一时能产生干涉的最大时间差<答对1,2个中的一个即可)(2分>⑶相干时间越大,单色性越好。(1分> 相干长度:⑴指光源发出的光波列的平均长度⑵光源发出的光波列被一分为二,再合二为一时能产生干涉的最大光称差<答对1,2中的一个即可)(2分>⑶是光源单色性的标志(1分>b5E2RGbCAP 惠更斯——菲涅耳原理:任一时刻,波前上的每一点都可看成是新的子波波源,下一时刻的波前就是这些子波的公切面<包络面)。(1分>后来,菲涅耳考虑到惠更斯原理中诸子波既然来自同一波前,它们必定是相干的,因此求出诸子波的干涉效应,也就得出新波前的强度分布了,所以一般把惠更斯原理加干涉原理称为惠更斯——菲涅耳原理。(1分>p1EanqFDPw 夫朗和菲衍射:当光源和衍射物之间的距离和衍射物与观察屏之间距离二者均为无限远时的衍射称为菲涅耳衍射。 菲涅耳衍射:当光源和衍射物之间的距离和衍射物与观察屏之间距 离二者至少有一个是有限的衍射称为菲涅耳衍射。< 没答至少扣一分)DXDiTa9E3d 晶体的磁光效应:媒质因磁场而引起的折射率变化,称为磁光效应。

晶体的电光效应:媒质因电场而引起的折射率变化,称为电光效应。 半波损失:在小角度入射(1分>或掠入射(1分>两种情况下,光波由折射率小的媒质<光疏媒质)进入折射率大的媒质<光密媒质)时,反射光和入射光的振动方向相反,这种现象通常称为“半波损失”。(1分>RTCrpUDGiT 寻常光:Eo∥Do ,lso∥lko (1分>;即折射率与lk方向无关,与各向同性媒质中光传播情况一样(2分>,故称为“寻常 光”5PCzVD7HxA 非寻常光:一般情况下Ee不平行于 De(1分>,lke不平行于lse(1分>,折射率随lk的方向改变,与各方向同性媒质中光传播情况不同,故称为“非寻常光”。(1分>jLBHrnAILg 等厚干涉:各相干光均以同样的角度入射于薄膜(1分>,入射角θo 不变(1分>,改变膜厚度,这时每个干涉条纹对应的是同一个厚度的光干涉的结果。(1分>xHAQX74J0X 等倾干涉:指薄膜<一般板的厚度很小时,均称为薄膜)厚度处处相同(1分>,两光束以各种角度入射时产生的一组干涉条纹(2分>。LDAYtRyKfE 干涉条纹的半宽度:在透射光的情况下,半宽度是指透射光强度下降到其峰值的一半时所对应的位相变化量 圆偏振光:电矢量E的端点所描述的轨迹是一个圆(1分>:即在任一时刻,沿波传播方向上,空间各点E矢量末端在x,y平面上的投

光学薄膜技术第三章 薄膜制造技术

第三章薄膜制造技术 光学薄膜可以采用物理汽相沉积(PVD)和化学液相沉积(CLD)两种工艺来获得。CLD工艺简单,制造成本低,但膜层厚度不能精确控制,膜层强度差,较难获得多层膜,废水废气对环境造成污染,已很少使用。 PVD需要使用真空镀膜机,制造成本高,但膜层厚度能够精确控制,膜层强度好,目前已广泛使用。 PVD分为热蒸发、溅射、离子镀、及离子辅助镀等。 制作薄膜所必需的有关真空设备的基础知识 用物理方法制作薄膜,概括起来就是给制作薄膜的物质加上热能或动量,使它分解为原子、分子或少数几个原子、分子的集合体(从广义来说,就是使其蒸发),并使它们在其他位置重新结合或凝聚。 在这个过程中,如果大气与蒸发中的物质同时存在,那就会产生如下一些问题: ①蒸发物质的直线前进受妨碍而形成雾状微粒,难以制得均匀平整的薄膜; ②空气分子进入薄膜而形成杂质; ③空气中的活性分子与薄膜形成化合物; ④蒸发用的加热器及蒸发物质等与空气分子发生反应形成 化合物,从而不能进行正常的蒸发等等。 因此,必须把空气分子从制作薄膜的设备中排除出去,这个 过程称为抽气。空气压力低于一个大气压的状态称为真空, 而把产生真空的装置叫做真空泵,抽成真空的容器叫做真空 室,把包括真空泵和真空室在内的设备叫做真空设备。制作 薄膜最重要的装备是真空设备. 真空设备大致可分为两类:高真空设备和超高真空设备。二 者真空度不同,这两种真空设备的抽气系统基本上是相同 的,但所用的真空泵和真空阀不同,而且用于真空室和抽气 系统的材料也不同,下图是典型的高真空设备的原理图,制 作薄膜所用的高真空设备大多都属于这一类。 下图是超高真空设备的原理图,在原理上,它与高真空设备 没有什么不同,但是,为了稍稍改善抽气时空气的流动性, 超高真空设备不太使用管子,多数将超高真空用的真空泵直 接与真空室连接,一般还要装上辅助真空泵(如钛吸气泵) 来辅助超高真空泵。 3.1 高真空镀膜机 1.真空系统 现代的光学薄膜制备都是在真空下获得的。普通所说的 真空镀膜,基本都是在高真空中进行的。 先进行(1)然后进行(2)。因为所有的(超)高真空泵只有在真空室的压力降低到一定程度时才能进行工作,而且在高真空泵(如油扩散泵)中,要把空气之类的分子排出,就必须使排气口的气体压力降低到一定程度。 小型镀膜机的真空系统 低真空机械泵+高真空油扩散泵+低温冷阱

《理论力学》期末考试试题(A)

A 卷 第 1页 蚌埠学院2013—2014学年第一学期 《理论力学Ⅱ》期末考试试题(A ) 注意事项:1、适用班级:2012级土木工程班、2012级水利水电班、2012级车辆工 程班 2、本试卷共2页。满分100分。 3、考试时间120分钟。 4、考试方式:“闭卷” 一、判断题(每小题2分,共20分) ( )1.作用在一个刚体上的任意两个力成平衡的必要与充分条件是:两个力的作用线 相同,大小相等,方向相反。 ( )2.已知质点的质量和作用于质点的力,质点的运动规律就完全确定。 ( )3.质点系中各质点都处于静止时,质点系的动量为零。于是可知如果质点系的动 量为零,则质点系中各质点必都静止。 ( )4.刚体在3个力的作用下平衡,这3个力不一定在同一个平面内。 ( )5.用解析法求平面汇交力系的平衡问题时,所建立的坐标系x ,y 轴一定要相互 垂直。 ( )6.一空间任意力系,若各力的作用线均平行于某一固定平面,则其独立的平衡方 程最多只有3个。 ( )7.刚体的平移运动一定不是刚体的平面运动。 ( )8.说到角速度,角加速度,可以对点而言。 ( )9.两自由运动质点,其微分方程完全相同,但其运动规律不一定相同。 ( )10.质点系总动量的方向就是质点系所受外力主矢的方向。 二、选择题(每小题2分,共10分) 1.若平面力系对一点A 的主矩等于零,则此力系 。 A.不可能合成为一个力 B.不可能合成为一个力偶 C.一定平衡 D.可能合成为一个力偶,也可能平衡 2.刚体在四个力的作用下处于平衡,若其中三个力的作用线汇交于一点,则第四个力的作用线 。 A.一定通过汇交点 B.不一定通过汇交点 C.一定不通过汇交点 D.可能通过汇交点,也可能不通过汇交点 3.加减平衡力系公理适用于 。 A.变形体 B.刚体 C.刚体系统 D.任何物体或物体系统 4.在点的复合运动中,牵连速度是指 。 A.动系原点的速度 B.动系上观察者的速度 C.动系上与动点瞬时相重合的那一点的速度 D.动系质心的速度 5.设有质量相等的两物体A 和B ,在同一段时间内,A 作水平移动,B 作铅直移动,则 两物体的重力在这段时间里的冲量 。 A.不同 B.相同 C.A 物体重力的冲量大 D.B 物体重力的冲量大 三、计算题(每小题14分,共70分) 1.质量为 100kg 的球,用绳悬挂在墙壁上如图所示。平衡时绳与墙壁间夹角为 30°,求墙壁反力和绳的张力 2.某三角拱,左右两个半拱在C 由铰链连接,约束和载荷如图所示,如果忽略拱的重量,求支座A 和B 的约束反力。 装 订 线 内 不 要 答 题

《材料力学性能》教学大纲

《材料力学性能》课程教学大纲 课程名称:材料力学性能(Mechanical Properties of Materials) 课程编号:012009 总学时数:48学时(其中含实验 8 学时) 学分:3学分 课程类别:专业方向指定必修课 先修课程:大学物理、工程化学、工程力学、材料科学基础 教材:《工程材料力学性能》(机械工业出版社、束德林主编,2005年)参考书目:[1] 王从曾编著,《材料性能学》,北京工业大学出版社,2001年 [2] Thomas H.Courtney(美)著,材料力学行为(英文版),机械工业 出版社,2004年 《课程内容简介》: 本课程主要讲授材料的力学性能与测试方法,主要内容有金属在静载荷(单向拉伸、压缩、扭转、弯曲)和冲击载荷下的力学性能、金属的断裂韧度、金属的疲劳、金属的应力腐蚀和氢脆断裂、金属的磨损和接触疲劳、金属的高温力学性能。 一、课程性质、目的和要求 本课程是材料成型及控制工程专业本科生金属材料工程方向指定必修课。本课程的主要任务是讨论工程材料的静载力学性能、冲击韧性及低温脆性、断裂韧性、疲劳性能、磨损性能以及高温力学性能的基本理论与性能测试方法,使学生掌握材料力学性能的基本概念、基本原理和测试材料力学性能的基本方法,探讨改善材料力学性能的基本途径,提高分析材料力学性能的思维能力与测试材料力学性能的能力,为研究开发和应用工程材料打下基础。 二、教学内容、要点和课时安排 《材料力学性能》授课课时分配表

本课程的教学内容共分八章。 第一章:金属在单项静拉伸载荷下的力学性能 6学时 主要内容:载荷—伸长曲线和应力—应变曲线;塑性变形及性能指标;断裂 重点、难点:塑性变形机理,应变硬化机理,裂纹形核的位错模型,断裂强度的裂纹理论,断口形貌。 第二章:金属在其它静载荷下的力学性能 6学时 主要内容是:缺口试样的静拉伸及静弯曲性能;材料缺口敏感度及其影响因素;扭转、弯曲与压缩的力学性能;硬度试验方法。 重点、难点:缺口处的应力分布特点及缺口效应 第三章:金属在冲击载荷下的力学性能 4学时 主要内容:冲击弯曲试验与冲击韧性;低温脆性;韧脆转化温度及其评价方法;影响材料低温脆性的因素。 重点、难点:韧脆转化 第四章:金属的断裂韧度 7学时 主要内容:裂纹扩展的基本方式;应力场强度因子;断裂韧性和断裂k判据;断裂韧度在工程上的应用;J积分的概念;影响材料断裂韧度的因素。 重点、难点:断裂韧性。 第五章:金属的疲劳 5学时 主要内容:疲劳破坏的一般规律;疲劳破坏的机理;疲劳抗力指标;影响材料及机件疲劳强度的因素。 重点、难点:疲劳破坏的机理。 第六章:金属的应力腐蚀和氢脆断裂 5学时 主要内容:应力腐蚀;氢脆 重点、难点:应力腐蚀和氢脆的机理 第七章:金属磨损和接触疲劳 6学时 主要内容:粘着磨损;磨粒磨损;接触疲劳;材料的耐磨性;减轻粘者磨损的主要措施;减轻磨粒磨损的主要措施;提高接触疲劳的措施。 重点、难点:磨损机理 第八章:金属高温力学性能 5学时

中北大学物理光学期末考试计算题

本复习资料专门针对中北大学五院《物理光学与应用光学》石顺祥版教材,共有选择、填空、简答、证明、计算五个部分组成,经验证命中率很高,80分左右,不过要注意,证明题可能变成计算题,填空题变成选择题。 1-1: 8 610) (2)y t E i e++? =-+ 方程:y= y+= 方向向量:一个可以表示直线斜率的向量,这个向量就是方向向量。 Ax+By+C=0:若A、B不全为零,其方向向量:(- B,A)。 8 610) (2)y t E i e++? =-+ ) ( r k E E?- - =t i eω) ( r k E E?- =t i eω) ( r k E E?+ - =t i eω) ( r k E E?+ =t i eω 1-3 试确定下列各组光波表达式所代表的偏振态及取向 ①E x=E0sin(ωt-kz), E y= E0cos(ωt-kz) ②E x= E0cos(ωt-kz), E y= E0cos(ωt-kz+π/4) ③E x= E0sin(ωt-kz), E y=-E0sin(ωt-kz) E x=E0sin(ωt-kz), E y= E0cos(ωt-kz) 相位差π/2,E x=E y,圆。讨论xy平面的偏振情况 t=0时:合成矢量? t=T/4时:合成矢量? 右圆 E x= E0cos(ωt-kz), E y= E0cos(ωt-kz+π/4) 相位差π/4,椭圆。 t=0时:合成矢量? t=T/4时:合成矢量? 右椭圆,长半轴方向45o 见p25页。

E x = E 0sin(ωt -kz ), E y =-E 0sin(ωt -kz ) 相位差0,直线。y =-x 方向向量:(-1,1) 1-4:两光波的振动方向相同,它们的合成光矢量为: 1268+=10[cos cos()] 10102 10[cos(53.13)cos sin(53.13)sin ]10cos(53.13)t t t t t π ωωωωω+-=?+?=?-E E 1-5:+=cos()cos()4x y iA kz t jA kz t π ωω-+--E =E E ;因此有: =,4 y x π ???=-- =, =ox oy E A A E , tan 1,α= 得到: tan 2tan(2)cos ,,4 π ψα?ψ== sin 2sin(2)sin ,,8 π χα?χ==- 222tan()0.4142,2,8b a b A a π-=-≈-+= 得到: 2220.17162, 1.31,0.5412a a A a A b A +===。 1-8:(2)解:g dv v v k dk =+,g dv dv d dv v dk d dk d ωωω==,g g dv dv v v k v kv dk d ω =+=+ g g dv v kv v d ω-=,11g v v v dv dv k d v d ωωω == -- ,v =,3 2()()2r r r r c dv d εμεμ-=- 2 2() /[1]()()211[1]22r r r r g r r r r r r r r r r r r c d v v c v v dv d d d v v d d d εμεμωωεμεμωωεμεμωωεμωεμω ====+-++ 1-11 一左旋圆偏振光,以50o角入射到空气-玻璃分界面上,见下图,试求反射光和透射光的偏振态

理论力学期末考试试卷(含答案)B

工程力学(Ⅱ)期终考试卷(A ) 专业 姓名 学号 题号 一 二 三 四 五 六 总分 题分 25 15 15 20 10 15 100 得分 一、填空题(每题5分,共25分) 1. 杆AB 绕A 轴以=5t ( 以rad 计,t 以s 计) 的规律转动,其上一小环M 将杆AB 和半径为 R (以m 计)的固定大圆环连在一起,若以O 1 为原点,逆时针为正向,则用自然法 表示的点M 的运动方程为_Rt R s 102 π+= 。 2. 平面机构如图所示。已知AB //O 1O 2,且 AB =O 1O 2=L ,AO 1=BO 2=r ,ABCD 是矩形板, AD =BC =b ,AO 1杆以匀角速度绕O 1轴转动, 则矩形板重心C '点的速度和加速度的大小分别 为v =_ r _,a =_ r 。 并在图上标出它们的方向。

3. 两全同的三棱柱,倾角为,静止地置于 光滑的水平地面上,将质量相等的圆盘与滑块分 别置于两三棱柱斜面上的A 处,皆从静止释放, 且圆盘为纯滚动,都由三棱柱的A 处运动到B 处, 则此两种情况下两个三棱柱的水平位移 ___相等;_____(填写相等或不相等), 因为_两个系统在水平方向质心位置守恒 。 4. 已知偏心轮为均质圆盘,质心在C 点,质量 为m ,半径为R ,偏心距2 R OC =。转动的角速度为, 角加速度为 ,若将惯性力系向O 点简化,则惯性 力系的主矢为_____ me ,me 2 ;____; 惯性力系的主矩为__2 )2(22α e R m +__。各矢量应在图中标出。 5.质量为m 的物块,用二根刚性系数分别为k 1和k 2 的弹簧连接,不计阻尼,则系统的固有频率 为_______________,若物体受到干扰力F =H sin (ωt ) 的作用,则系统受迫振动的频率为______________ 在____________条件下,系统将发生共振。 二、计算题(本题15分)

光学薄膜技术第二章课件

典型膜系介绍 根据其作用可以将光学薄膜的类型简单的分为: 1、减反射膜或者叫增透膜 2、分束膜 3、反射膜 4、滤光片 5、其他特殊应用的薄膜 一. 减反射膜(增透膜) 在众多的光学系统中,一个相当重要的组成部分是镜片上能降低反射的镀膜。在很多应用领域中,增透膜是不可缺少的,否则,无法达到应用的要求。 就拿一个由18块透镜组成的35mm 的自动变焦的照相机来说,假定每个玻璃和空气的界面有4%的反射,没有增透的镜头光透过率为23%,镀有一层膜(剩余的反射为%)的镜头光透过率为%,镀多层膜(剩余的反射为%)的为%。 大功率激光系统要求某些元件有极低的表面反射,以避免敏感元件受到不需要的反射光的破坏。此外,宽带增透膜可以提高象质量、色平衡和作用距离,而使系统的全部性能增强。 当光线从折射率为n0的介质射入折射率为n1的另一介质时,在两介质的分界面上就会产生光的反射, 如果介质没有吸收,分界面是一光学表面,光线又是垂直入射,则反射率R 为: 例,折射率为的冕牌玻璃,每个表面的反射约为%,折射率较高的火石玻璃表面的反射更为显著。 这种表面反射造成了两个严重的后果: ①光能量损失,使像的亮度降低; ②表面反射光经过多次反射或漫射,有一部分成为杂散光,最后也达到像平面,使像的衬度降低,分辨率下降,从而影响光学系统的成像质量。 减反射膜,又称增透膜,它的主要功能是减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光,从而增加这些元件的透光量,减少或消除系统的杂散光。 最简单的增透膜是单层膜,它是镀在光学零件光学表面上的一层折射率较低 的介于空气折射率和光学元件折射率之间的薄膜。以使某些颜色的单色光在表面 R T n n n n R -=???? ??+-=12 1010透射率

2020年智慧树知道网课《材料性能学(山东联盟)》课后章节测试满分答案

绪论单元测试 1 【单选题】(10分) 钢丝在室温下反复弯折,会越弯越硬,直到断裂,而铅丝在室温下反复弯折,则始终处于软态,其原因是() A. Fe发生加工硬化,发生再结晶,Pb发生加工硬化,不发生再结晶 B. Pb发生加工硬化,发生再结晶,Fe发生加工硬化,不发生再结晶 C. Fe不发生加工硬化,不发生再结晶,Pb发生加工硬化,不发生再结晶 D. Pb不发生加工硬化,不发生再结晶,Fe发生加工硬化,不发生再结晶 2 【单选题】(10分) 冷变形的金属,随着变形量的增加() A. 强度降低,塑性降低 B. 强度增加,韧性降低 C. 强度增加,塑性增加 D. 强度降低,塑性增加

3 【单选题】(10分) 金属的塑性变形主要是通过下列哪种方式进行的() A. 位错类型的改变 B. 晶粒的相对滑动 C. 位错的滑移 D. 晶格的扭折 4 【单选题】(10分) 在不考虑其他条件的影响下,面心立方晶体的滑移系个数为() A. 12 B. 8 C.

6 D. 16 5 【单选题】(10分) 下列对再结晶的描述的是() A. 再结晶后的晶粒大小主要决定于变形程度 B. 原始晶粒越细,再结晶温度越高 C. 发生再结晶需要一个最小变形量,称为临界变形度。低于此变形度,不能再结晶 D. 变形度越小,开始再结晶的温度就越高 6 【单选题】(10分) 冷加工金属经再结晶退火后,下列说法的是() A. 其机械性能会发生改变

B. 其晶粒大小会发生改变 C. 其晶粒形状会改变 D. 其晶格类型会发生改变 7 【单选题】(10分) 加工硬化使金属的() A. 强度减小、塑性增大 B. 强度增大、塑性增大 C. 强度减小、塑性降低 D. 强度增大、塑性降低 8

物理光学秋季期末考试题及答案

一、填空题(每小题3分,总共24分) 1.玻璃的折射率为n=1.5,光从空气射向玻璃时的布儒斯特角为_________;光 从玻璃射向空气时的布儒斯特角为_________。 2. 在双缝杨氏干涉实验中,两缝分别被折射率为n1和n2的透明薄膜遮盖,二者 的厚度均为e。波长为λ的平行单色光垂直照射到双缝上,在屏中央处,两束相 干光的相位差为_________。 3. 如图所示,左图是干涉法检查平面示意图,右图是得到的干涉图样,则干涉 图中条纹弯曲处的凹凸情况是_________。 4. 在光栅光谱中,假如所有偶数级次的主极大都恰好在每缝衍射的暗纹方向上, 因而实际上不出现(即缺级),那么此光栅每个透光缝宽度a和相邻两缝间不透光 部分宽度b的关系为_________。 5. 波长为λ=600nm的单色光垂直入射于光栅常数d=1.8×10-4 cm的平面衍射光 栅上,可能观察到的光谱线的最大级次为_________。 6.在双折射晶体内部,频率相同而光矢量的振动方向不同的线偏振光。①沿光轴 传播时,它们的传播速度是_______的;②沿垂直光轴传播时,它们的传播速度 是_______的。 7.对于观察屏轴上P0点,设光阑包含10个波带,让奇数波带通光,而偶数波带 不通光,则P0点的光强约为光阑不存在时的_________倍。 8. 光栅方程的普遍形式为________________。 二、简答题(每小题6分,总共36分) 1. 何谓复色波的群速度?何谓复色波的相速度?什么介质中复色波的群速度大于其相速度?什么介质中复色波的群速小于其相速度? 2.简述光波的相干条件。

3. 汽车两前灯相距1.2m ,设灯光波长为 λ=600nm ,人眼瞳孔直径为D =5mm 。试问:对迎面而来的汽车,离多远能分辨出两盏亮灯? 4. 一束线偏振光垂直于晶面射入负单轴晶体后,分解成o 光和e 光,传播速度快的是o 光还是e 光?为什么? 5. 简述法拉第效应及其不可逆性。 6. 用散射理论解释蓝天的形成缘故。 三、透镜表面通常覆盖一层氟化镁(MgF 2)(n =1.38)透明薄膜,为的是利用干涉来降低玻璃(n =1.50)表面的反射,使波长为λ=632.8nm 的激光毫不反射地透过。试问:覆盖层氟化镁至少需要多厚?(10分) 玻璃 MgF 2 入射光

理论力学 期末考试试题 A卷

理论力学 期末考试试题 A 卷 1-1、自重为P=100kN 的T 字形钢架ABD,置于铅垂面内,载荷如图所示。其中转矩M=20kN.m ,拉力F=400kN,分布力q=20kN/m,长度l=1m 。试求固定端A 的约束力。 解:取T 型刚架为受力对象,画受力图. 1-2 如图所示,飞机机翼上安装一台发动机,作用在机翼OA 上的气动力按梯形分布: 1q =60kN/m ,2q =40kN/m ,机翼重1p =45kN ,发动机重2p =20kN ,发动机螺旋桨的反作 用力偶矩M=18kN.m 。求机翼处于平衡状态时,机翼根部固定端O 所受的力。 解:

1-3图示构件由直角弯杆EBD以及直杆AB组成,不计各杆自重,已知q=10kN/m,F=50kN,M=6kN.m,各尺寸如图。求固定端A处及支座C的约束力。

1-4 已知:如图所示结构,a, M=Fa, 12F F F ==, 求:A ,D 处约束力. 解: 1-5、平面桁架受力如图所示。ABC 为等边三角形,且AD=DB 。求杆CD 的内力。

1-6、如图所示的平面桁架,A 端采用铰链约束,B 端采用滚动支座约束,各杆件长度为1m 。在节点E 和G 上分别作用载荷E F =10kN ,G F =7 kN 。试计算杆1、2和3的内力。 解:

2-1 图示空间力系由6根桁架构成。在节点A上作用力F,此力在矩形ABDC平面内,且与铅直线成45o角。ΔEAK=ΔFBM。等腰三角形EAK,FBM和NDB在顶点A,B和D处均为直角,又EC=CK=FD=DM。若F=10kN,求各杆的内力。

西工大——材料性能学期末考试总结

材料性能学 第一章材料单向静拉伸的力学性能 一、名词解释。 1.工程应力:载荷除以试件的原始截面积即得工程应力σ,σ=F/A0。 2.工程应变:伸长量除以原始标距长度即得工程应变ε,ε=Δl/l0。 3.弹性模数:产生100%弹性变形所需的应力。 4.比弹性模数(比模数、比刚度):指材料的弹性模数与其单位体积质量的比值。(一般适用于航空业) 5.比例极限σp:保证材料的弹性变形按正比关系变化的最大应力,即在拉伸应力—应变曲线上开始偏离直线时的应力值。 6.弹性极限σe:弹性变形过渡到弹-塑性变形(屈服变形)时的应力。 7.规定非比例伸长应力σp:即试验时非比例伸长达到原始标距长度(L0)规定的百分比时的应力。 8.弹性比功(弹性比能或应变比能) a e: 弹性变形过程中吸收变形功的能力,一般用材料弹性变形达到弹性极限时单位体积吸收的弹性变形功来表示。 9.滞弹性:是指材料在快速加载或卸载后,随时间的延长而产生的附加弹性应变的性能。 10.粘弹性:是指材料在外力作用下,弹性和粘性两种变形机理同时存在的力学行为。 11.伪弹性:是指在一定的温度条件下,当应力达到一定水平后,金属或合金将产生应力诱发马氏体相变,伴随应力诱发相变产生大幅的弹性变形的现象。 12.包申格效应:金属材料经预先加载产生少量塑性变形(1-4%),然后再同向加载,规定残余伸长应力增加,反向加载,规定残余伸长应力降低的现象。 13.内耗:弹性滞后使加载时材料吸收的弹性变形能大于卸载时所释放的弹性变形能,即部分能量被材料吸收。(弹性滞后环的面积) 14.滑移:金属材料在切应力作用下,正应力在某面上的切应力达到临界切应力产生的塑变,即沿一定的晶面和晶向进行的切变。 15.孪生:晶体受切应力作用后,沿一定的晶面(孪生面)和晶向(孪生方向)在一个区域内连续性的顺序切变,使晶体仿佛产生扭折现象。 16.塑性:是指材料断裂前产生塑性变形的能力。 17.超塑性:在一定条件下,呈现非常大的伸长率(约1000%),而不发生缩颈和断裂的现象。 18.韧性断裂:材料断裂前及断裂过程中产生明显的塑性变形的断裂过程。 19.脆性断裂:材料断裂前基本上不产生明显的宏观塑性变形,没有明显预兆,往往表现为突然发生的快速断裂过程。 20.剪切断裂:材料在切应力的作用下沿滑移面滑移分离而造成的断裂。 21.解理断裂:在正应力的作用下,由于原子间结合键的破坏引起的沿特定晶面发生的脆性穿晶断裂。 22.韧性:是材料断裂前吸收塑性变形功和断裂功的能力。 23.银纹:聚合物材料在张应力作用下表面或内部出现的垂直于应力方向的裂隙。当光线照射到裂隙面的入射角超过临界角时,裂隙因全反射而呈银色。 24.河流花样:在电子显微镜中解理台阶呈现出形似地球上的河流状形貌,故名河流状花样。 25.解理台阶:解理断裂断口形貌中不同高度的解理面之间存在台阶称为解理台阶。 26.韧窝:微孔聚集形断裂后的微观断口。 27.理论断裂强度:在外加正应力作用下,将晶体中的两个原子面沿着垂直于外力方向拉断所需的应力称为理论断裂强度。 28.真实断裂强度:用单向静拉伸时的实际断裂拉伸力Fk除以试样最终断裂截面积Ak所得应力值。 29.静力韧度:通常将静拉伸的σ——ε曲线下所包围的面积减去试样断裂前吸收的弹性能。 二、填空题。 1. 整个拉伸过程的变形可分为弹性变形,屈服变形,均匀塑性变形,不均匀集中塑性变形四个阶段。 2. 材料产生弹性变形的本质是由于构成材料原子(离子)或分子自平衡位置产生可逆位移的反应。 3. 在工程中弹性模数是表征材料对弹性变形的抗力,即材料的刚度,其值越大,则在相同应力下产生的弹性变形就越小。

物理光学期末复习重点

物理光学复习要点 第一章 光的电磁理论 一、电磁理论 1.光是电磁波,具有波动和粒子的两重性质,称为波粒二象性。 2.物理光学是从光的波动性出发来研究光在传播过程中所发生的现象的学科,所以也称为波动光学。 3.Maxwell 方程组:积分形式、微分形式 4.物质方程: 5.波动方程 6. 介质的折射率:c n υ==≈7.边值关系:21212121 ()0()0()0()0n E E n H H n D D n B B ??-=??-=???-=???-=? 8.波(阵)面:将某一时刻振动相位相同的点连接起来,组成的曲面叫波阵面 9.波长:简谐波具有空间周期性,波形变化一个周期时波在空间传播的距离称为波的空间周期,一维简谐波的空间周期为波的波长;即为λ,具有长度的量纲L 。 10.空间频率:空间周期即波长的倒数称为空间频率;f=1/λ 11.空间角频率:k =±2πf ,在数值上等于空间频率的2π倍,所以也称为传播数,k 的符号表示一维波的传播方向,当k >0时,表示波沿着+z 的方向传播;当k <0时,表示波沿着-z 的方向传播。 12.时间参量与空间参量的关系为:k ωυ= 13. 坡印廷矢量 t B E ??-=?? ρ=??D 0=??B t D J H ??+=?? ??????-=?A C s d t B l d E ?????=?V A dv s d D ρ 0=???A s d B ??????+=?A C ds t D J l d H )( B H μ1= E D ε=E J σ=222t E E ??=? με222t B B ??=? με22221E E t υ??=? 22221H H t υ??=? μευ1=21E EB uv S μεμ===B E S ?=μ1

材料性能学重点(完整版)

第一章 1、 力—伸长曲线和应力—应变曲线,真应力—真应变曲线 在整个拉伸过程中的变形可分为弹性变形、屈服变形、均匀塑性变形及不均匀集中塑性变形4个阶段 将力—伸长曲线的纵,横坐标分别用拉伸试样的标距处的原始截面积Ao 和原始标距长度Lo 相除,则得到与力—伸长曲线形状相似的应力(σ=F/Ao )—应变(ε=ΔL/Lo )曲线 比例极限σp , 弹性极限σe , 屈服点σs , 抗拉强度σb 如果以瞬时截面积A 除其相应的拉伸力F ,则可得到瞬时的真应力S (S =F/A)。同样,当拉伸力F 有一增量dF 时,试样瞬时长度L 的基础上变为L +dL ,于是应变的微分增量应是de =dL / L ,则试棒自L 0伸长至L 后,总的应变量为: 式中的e 为真应变。于是,工程应变和真应变之间的关系为 2、 弹性模数 在应力应变关系的意义上,当应变为一个单位时,弹性模数在数值上等于弹性应力,即弹性模数是产生100%弹性变形所需的应力。在工程中弹性模数是表征材料对弹性变形的抗力,即材料的刚度,其值越大,则在相同应力下产生的弹性变形就越小。 比弹性模数是指材料的弹性模数与其单位体积质量(密度)的比值,也称为比模数或比刚度 3、 影响弹性模数的因素①键合方式和原子结构(不大)②晶体结构(较大)③ 化学成分 (间隙大于固溶)④微观组织(不大)⑤温度(很大)⑥加载条件和负荷持续时间(不大) 4、 比例极限和弹性极限 比例极限σp 是保证材料的弹性变形按正比关系变化的最大应力,即在拉伸应力-应变曲线上开始偏离直线时的应力值。 弹性极限σe 试样加载后再卸载,以不出现残留的永久变形为标准,材料能够完全弹性恢复的最高应力值 5、 弹性比功又称为弹性比能或应变比能,用a e 表示,是材料在弹性变形过程中吸收变形功 的能力。一般可用材料弹性变形达到弹性极限时单位体积吸收的弹性变形功表示。 6、 根据材料在弹性变形过程中应力和应变的响应特点,弹性可以分为理想弹性(完全弹 性)和非理想弹性(弹性不完整性)两类。 对于理想弹性材料,在外载荷作用下,应力和应变服从虎克定律σ=M ε,并同时满足3个条件,即:应变对于应力的响应是线性的;应力和应变同相位;应变是应力的单值函数。 材料的非理想弹性行为大致可以分为滞弹性、粘弹性、伪弹性及包申格效应等类型。 00ln 0L L L dL de e L e L ===??)1ln(ln 0ε+==L L e

物理光学期末复习总结

物理光学期末复习总结

物理光学期末复习总结 名词解释: 1 全反射:光从光密射向光疏,且入射角大于临界角时,光线全部返回光密介质中的现象。 2 折射定律: ①折射光线位于由入射光线和法线所决定的平面内。 ②折射角的正弦与入射角的正弦之比与 入射角大小无关,仅由两种介质的性质决定。''sin sin I n I n 3 瑞利判据:①两个波长的亮纹只有当他们的合强度曲线中央极小值低于两边极大值的81%时才能分辨。 ②把一个点物衍射图样的中央极大与近旁 另一点物衍射图样的第一极小重合,作 为光学系统的分辨极限,并认为此时系 统恰好可以分辨开两物点。 4 干涉:在两个(或多个)光波叠加的区域,某些点的

振动始终加强,另一些点的振动始终减弱,形 成在该区域内稳定的光强强弱分布的现象。 5 衍射:当入射光波波面受到限制之后,将会背离原来的几何传播路径,并呈现光强不均匀分布的现象。 6 倏逝波:当发生全发射现象时,在第二介质表面流动的光波。 7 光拍现象:一种光强随时间时大时小变化的现象。 8 相干光束会聚角:到达干涉场上某点的两条相干光线间的夹角。 9 干涉孔径角:到达干涉场某点的两条相干光线从实际光源发出时的夹角。 10 缺级现象:当干涉因子的某级主极大值刚好与衍射 因子的某级极小值重合,这些极大值就被 调制为零,对应级次的主极大值就消失 了,这一现象叫缺级现象。

11 坡印亭矢量(辐射强度矢量):单位时间内通过垂直于传播方向的单位面积内电磁能量的大小。 12 相干长度:对光谱宽度λ?的光源而言,能够发生干涉的最大光程差。 13 发光强度(Ⅰ):辐射强度矢量的时间平均值 14 全偏振现象:当入射光为自然光且入射角满足 122πθθ+=,0P ρ=,即反射光中只有S 波, 没有P 波,发生全偏振现象。 15 布儒斯特角:发生全偏振现象时的入射角,记为B θ,2 1tan B n n θ=。 16 马吕斯定律:从起偏器出射的光通过一检偏器,则透过两偏振器后的光强I 随两器件透光轴的夹角θ而 变化,即20cos I I θ= 17 双折射:一束光射入各项异性介质中分成两束的现象。

《薄膜光学与技术》期末测验试题A答案

《薄膜光学与技术》期末测验试题A答案

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2012-2013学年第1学期《薄膜光学与技术》期末考试试题(A 卷) 参考答案及评分标准 一、填空题 (每空1分,共24分) 1、在折射率为3.5的基底表面镀单层减反射膜,对于4000nm 的光波,理论上能达到最佳减反射效果的薄膜折射率为: 1.8708 ,需要镀制的薄膜光学厚度为 1000 nm 。 2、若薄膜的折射率为n ,光线在薄膜内的折射角为θ,则s 、p 光的修正导纳分别为 ncos θ 、 n/cos θ 。 3、对于波长为λ的光来说,单层膜的光学厚度每增加 λ/4 ,薄膜的反射率就会出现一次极值变化。当薄膜的折射率小于基底折射率时,出现的第一个反射率极值是 极小 (极大、极小)值。 4、虚设层的形成条件是: 薄膜的光学厚度等于半波长的整数倍 。 5、周期性对称膜系(pqp)s 的等效折射率和 基本周期/pqp 的等效折射率完全相同,其等效位相厚度等于 基本周期的s 倍 。 6、折射率为n 1,光学厚度为λ0/4,基底的折射率为n s ,那么,该单层膜与基底的组合导纳为: s n n Y 21 7、介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的 折射率 有关,折射率 差值越大 ,高反射带越宽。 8、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量 真空 的目的。 9、镀膜室内真空度高表明气体压强 小 ,真空度低则气体压强 大 。 10、薄膜几何厚度的监控通常用 石英晶振 膜厚仪来实现,光学厚度常常采用 光电 膜厚仪来监控。 11、采用PVD 技术制造薄膜器件时,薄膜折射率的误差主要来自三个方面: 膜层的聚集密度 、 膜层的微观组织物理结构 、 膜层的化学成分 。 12、改善膜层厚度均匀性的措施包括 旋转夹具 和 膜层厚度调节板 。 13、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为900nm 的薄膜,在

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