膜厚仪点检记录表

年份：

月份：設備編號：存放地點：

鎳2.05μm±5﹪

金1.92μm±5﹪

鎳2.05μm±5﹪

金1.92μm±5﹪

日常

保

養項 目

開機後光譜校正

清潔儀器外觀

開機後基準校正

28293031

2021222324252627171819項 目

清潔儀器外觀

開機後光譜校正

定

期

保養項 目保養者簽名:

異常記錄確認:

保養者簽名:

開機後基準校正15

確認:

1011121314異

常

記

錄

56789標 準片校正標 準片校正1234保養者簽名:確認:確認:

確認:

確認:

日期日期日期日期日期X-Ray 膜厚儀保養點檢表

確認:

FW42801 保存期限：3年 REV：A