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KLA-Tencor Candela CS20R

Appendix 1:KLA-Tencor CS20R 设备的基本功能

KLA-Tencor Candela CS20表面缺陷检测设备是针对蓝宝石衬底行业的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用激光扫描样品的整个表面,通过4个频道(散射光频道,反射光频道,相移频道及Z频道)的探测器所收集到的信号,快速的将缺陷(包括微粒,划伤,坑点,水渍,痕迹等)进行分类、统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸,最后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的缺陷标准,可以给出检测样品合格与否的判定。

KLA-Tencor Candela CS20R

缺陷分布图以及检测报告内的每一个缺陷都有4个频道拍到的照片储存在设备内部,通过这些照片可以辅助技术人员分析缺陷的成因及相关验证。

该设备的缺陷检测能力可以帮助减少由于表面污染造成的蓝宝石外延缺陷,对最后器件的良率提升有至关重要的作用。该仪器内部的过滤器可以保证内部的洁净环境为10级,防止内部污染同时该仪器长期稳定准确,并且拥有优秀的售后服务保障体系。

Appendix 2:KLA-Tencor CS20R 设备的配置

1.仪器标准配置:

1)635nm 光学系统(粒子最小分辨率为0.3um)

2)ULPA 过滤器(安装于机器顶端用来控制机器内部class10的微环境的洁净程度)

3)17寸显示器

4) 预装Windows XP的工作平台

5)分析测试软件包括:缺陷的自动检测与分类,尺寸量测

6)2寸通用夹具,中央环及片盒定位器

7)3寸通用夹具,中央环及片盒定位器

8)4寸通用夹具,中央环及片盒定位器

9)空间滤波器(可用来测试650um-1100um厚度的样片)

10)机械手臂与样片自动传送系统

11)自动平边对准系统

12)自动对焦系统

2.调整用标准器件:

1)0.49um标准校准粒子

2)3寸校准片

3.维修专用工具:CS20维护工具

4.随机提供所需的质量证明性文件,详细的技术资料如仪器操作使用说明书,维修手册,基础图,部件装配图,电气、机械原理图及软件系统的使用说明书和维修手册。

Appendix 3:技术规格及参数

1.对各种缺陷的灵敏度指标为(最小探测尺寸)

微粒:直径0.3um

划伤:长100um,宽0.1um,深5nm

坑点:直径20um,深5nm

污物(液体残留):直径20um,厚度1nm

2.测量模式:非接触测量,为激光扫描

3.测量重复性:测量结果的5%( 根据不同的条件状况会有微小差异)

4.测量软件功能:缺陷定义、缺陷分类、缺陷统计、缺陷测量、缺陷局部放大、缺陷标记、缺陷分布图、空间滤波等

5.测量结果输出:包括整个表面缺陷分布图、缺陷分类和统计图表、合格与否判定、显示不合格缺陷及分布等

Appendix 4:验收流程

1.仪器精度检验按中国相关检验标准或相应国际标准执行,提供仪器出厂精度标准及合格证明书。

2.安装与验收标准为双方认可的验收规范

2.1拆包与移机

a)检查包装箱有无损伤,如有损伤则拍照取证

b)移动设备到安装点

2.2 设备清洁

用洁净布与IPA清洁设备

2.3电气检查与连接

a) 电源检查要求:110-120VAC单相交流。有独立接地线,

20A,50/60Hz

b) 气源检查要求: 6.55 –7.58 bar, 56.6 L/min, 气管

外径1/4英寸.

c) 连接电源与气源

i. 开机测试

a) 开机并放置好一测试样片

b) 设备气源检查(>6.55bar)

c) 转轴气压检查(>5.37bar)

d) 夹具真空度检查(>415mmHg)

e) 启动计算机

2. 5 转轴复位

2. 6 样片厚度侦测器校准

针对不同厚度样片进行校准并保存校准结果

2. 7 启动测试软件

2. 8 样片装卸测试

2. 9 检查基本焦点

2. 10 聚焦与GafDelta检查

针对所有通道扫描图像。无全黑,全灰,全白图像。

2. 12 重置Coupon(基准反射片)参数

2. 13 重启检验

关断测试设备,5分钟后重新启动。针对所有通道扫描样片,

检查有无异常

2. 14 针对不同种类样片设定好测试菜单

a) 缺陷检测菜单

b) 反射率检测菜单

2. 15通道图像无全黑或者全白,如下图一所示

KLA-Tencor Candela CS20R

图一

2. 16 聚焦检测:针对普通盘基片,Gain与Offset值无极大值出现。

如图二所示

KLA-Tencor Candela CS20R

图二

2. 17重复性测试:

a) 缺陷数重复性测试: 扫描同一样片5次,缺陷总数平均偏差不超过

5%

粒子:在样品表面撒1500-2000颗标准粒子,计算5次的连续测试

结果的平均偏差

Appendix 5:技术服务及培训

技术服务

1 安装、调试、培训

卖方派技术专家等人员,自带专用工具到用户现场进行仪器的安装、调试,同时按照培训计划对操作、维修人员进行免费的关于设备的基本操作与数据分析存储的培训,培训时间不少于7个工作日,安装调试验收时间不超过3天。

2 保修

设备验收合格后,提供标准12个月的包含配件和售后服务的技术保修以及保修期之后定期的设备保养服务。在保修期内任何由于设计制造方面原因造成的仪器设备故障(不包括意外灾害或使用不当造成的损坏),设备方负责无条件维修或更换。仪器发生故障后,卖方在收到用户信息后24小时内响应买方的技术要求,如有需要,卖方工程师在2天内到达用户现场进行故障排除。

培训计划

第1天

Candela CS20的基本原理介绍

a)光头的移动设置及步长设置

b)散射光频道的信号分析

c)反射光频道的信号分析

d)相位差频道的信号分析

e)地貌频道的信号分析

a)检测透明材料上不同尺寸粒子的实例分析

b)检测透明材料上的不同方向及尺寸的划伤的实例分析

c)检测透明材料上的不同位置的坑与突起的实例分析

d)检测透明材料上的不同污染与甩干或者烘干水渍的实例分析

e)检测透明材料上粗糙度与平坦度的实例分析

f)检测透明材料上膜厚均匀度的实例分析

第2天

Candela CS20的软件界面介绍

a)测试程序设定界面

b)缺陷的图像放大界面

c)测设结果图表的输出界面

d)缺陷分布的输出界面

e)缺陷的统计界面

Candela CS20的测试程序的设定

a)缺陷定义设定

b)缺陷的自动分类设定

c)缺陷的尺寸量测设定

d)污染的量测设定

e)缺陷局部放大、缺陷标记的设定

f)空间滤波的设定

第3天

Candela CS20的硬件基本操作

a)设备操作的安全注意事项

b)设备夹具的更换流程

c)真空吸附的压力设定

d)相应的转速设定

e)光头的步进方式设定

Candela CS20的实际测试

a)机器的校准

b)相应测试程序的调取

c)刻号笔的操作

第4天

测试结果的分析

a)缺陷的局部放大操作

b)常规缺陷(划伤、坑点、微粒、污染、痕迹、杂质)的分析

c)粗糙度与平坦度的参数的分析

d)特殊污染的分析

e)膜厚均匀度的分析