文档库

最新最全的文档下载
当前位置:文档库 > KLA-Tencor Candela CS20R

KLA-Tencor Candela CS20R

Page 1 of 9

Scientech contract

Appendix 1: KLA-Tencor CS20R 设备的基本功能

KLA-Tencor Candela CS20表面缺陷检测设备是针对蓝宝石衬底行业的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用激光扫描样品的整个表面,通过4个频道(散射光频道,反射光频道,相移频道及Z 频道)的探测器所收集到的信号,快速的将缺陷(包括微粒,划伤,坑点,水渍,痕迹等)进行分类、统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸,最后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的缺陷标准,可以给出检测样品合格与否的判定。

缺陷分布图以及检测报告内的每一个缺陷都有4个频道拍到的照片储存在设备内部,通过这些照片可以辅助技术人员分析缺陷的成因及相关验证。

该设备的缺陷检测能力可以帮助减少由于表面污染造成的蓝宝石外延缺陷,对最后器件的良率提升有至关重要的作用。该仪器内部的过滤器可以保证内部的洁净环境为10级,防止内部污染同时该仪器长期稳定准确,并且拥有优秀的售后服务保障体系。

KLA-Tencor Candela CS20R

免费下载Word文档免费下载: KLA-Tencor Candela CS20R

(共8页)