管式炉操作及注意事项

操作流程及注意事项

1.检查仪器的完整性，部件是否完好，仪表状态是否正常，阀门是否关闭。

2.一切正常情况下，打开5，上下螺丝的时候注意要同时弄。避免对仪器项圈造成伤害。

将样品小心置于管中央部分14cm左右，用套管时用尺量距离注意样品摆放的位置，舟需统一平不能歪，有硅片时注意硅片平衡不可掉落。然后装回5。（若阀门未关闭则关闭各阀门；仪表2显示非正常大气压，则先打开氮气阀门并调节气体速率，打开1，通入气体直到表2显示管内为正常大气压状态停止通气，再进行上述操作）

3.关1,3打开4打开泵抽气，观察表2指针直至显示管内为真空状态。注意关闭3防水倒

吸。

4.关泵关4，检查仪器气密性。等待一段时间，观察表2上面的刻度是否发生变化，若未

发生变化，则证明装置气密性良好，可以实验。否则说明漏气，需进一步检查漏气部位。

5.打开氮气阀门，并调节气流速率至合适，开1，观察表2，待指针指向正常大气压刻度

稍过一点，打开3，观察水中气泡，并再次调节气流速率至合适（有气泡冒出即可），并稳定。

6.关上管式炉盖子，扣子先扣下再扣上。确认盖子关闭后，打开电源（总电源及仪器后面

开关），并扭动LOCK，开启显示器。进入设定，按键STEP1输入C1T1，STEP2输入C2T2，STEP3输入C3T3等，最后一个T设置为-121。设置完成后，长按下键至显示run再按下绿色turn on 按钮，启动，随之指示灯亮起。进行实验。

7.加热结束，等自然冷却，然后打开上盖，关闭氮气阀门，关1，3，打开5取出样品后

装回。

8.最后按红色turn off按钮关闭，关闭LOCK，关闭电源，实验结束。

9.检查仪器完整性，确认各阀门关闭，仪器正常。

管式炉示意图

分液漏斗的分类及使用方法(附萃取操作)

分液漏斗的分类及试用方法（附萃取操作） 一、分液漏斗分为：球形分液漏斗(如图1a)、梨形分液漏斗（如图1b）、梨形刻度分液漏斗（如图1c）（一般：上面的塞子称为活塞，下面颈脖子上的塞子称为旋塞） 图1a 图1b

图1c 二、分液漏斗用于气体发生器中控制加液，也常用于互不相溶的几种液体的分离。 梨形分液漏斗多用于分液操作使用，球形分液漏斗多用于滴加反应液使用。 三、使用注意事项 1、球形分液漏斗的使用注意事项： 1) 使用前玻璃活塞应涂薄层凡士林，但不可大多，以免阻塞流液孔。使用时， 左手虎口顶住漏斗球，用姆指食指转动活塞控制加液。此时玻璃活塞的小槽要与漏斗口侧面小孔对齐相通，才便加液顺利进行。 2) 作加液器时，漏斗下端不能浸入液面下。 3) 无论选用何种形状的分液漏斗，加入全部液体的总体积不得超过其容量的 3/4。 2、梨形分液漏斗的使用注意事项： ①检查分液漏斗是否漏水； ②混合液体倒入分液漏斗，将分液漏斗置于铁圈上静置

③打开分液漏斗活塞，再打开旋塞，使下层液体（水）从分液漏斗下端放出，待油水界面与旋塞上口相切即可关闭旋塞； ④把上层液体（油）从分液漏斗上口倒出。 注意：若用梨形分液漏斗进行萃取操作：振荡时，活塞的小槽应与漏斗口侧面小孔错位封闭塞紧。分液时，下层液体从漏斗颈流出，上层液体要从漏斗口倾出。 注意：分液漏斗洗干净后把塞子拿出来，不要插在分液漏斗里面，尤其是要进烘箱前；长期不用分液漏斗时，应在活塞面加夹一纸条防止粘连。并用一橡筋套住活塞，以免失落。 四、安装 盛有液体的分液漏斗，应妥善放置，否则玻塞及活塞易脱落，倾洒液体，造成不应有的损失。正确的支架方法通常有两种：一种是将其放在用石棉绳或塑料膜缠扎好的铁环上，铁环则牢固地被固定在铁支台的适当高度（见图2）；另一种是在漏斗颈上配一塞子，然后用单爪夹牢固地将其夹住并固定在铁支台的适当高度（见图3）。但不论如何放置，从漏斗口接受放出液体的容器内壁都应贴紧漏斗颈

单晶炉安全操作规范

单晶炉安全操作规范集团公司文件内部编码：（TTT-UUTT-MMYB-URTTY-ITTLTY-

单晶炉安全操作规范1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项

1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；

5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害； 6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作； 5、加热器加热过程安全事项 在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。 1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器； 2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行； 3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置，

马弗炉的安全操作规程(正式)

编订：__________________ 单位：__________________ 时间：__________________ 马弗炉的安全操作规程 (正式) Standardize The Management Mechanism To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level. Word格式 / 完整 / 可编辑

文件编号：KG-AO-1850-52 马弗炉的安全操作规程(正式) 使用备注：本文档可用在日常工作场景，通过对管理机制、管理原则、管理方法以及管理机构进行设置固定的规范，从而使得组织内人员按照既定标准、规范的要求进行操作，使日常工作或活动达到预期的水平。下载后就可自由编辑。 1．开炉前应检查煤气管道阀门密封性和煤气管路上的压力不能低于规定值。 2．空炉试验推杆机构、拉杆机构以及提升机构工作情况。 3．把压紧弹簧松开到规定的尺寸范围。 4．调节好水封的水位，打开通水封排出燃烧管的阀门，关闭通水封的阀门。 5．将进料端的炉门关闭，打开出料端的炉门察看，当煤油喷出形成雾状流动的方向正常后再关闭炉门。 6．将进料室的燃烧嘴点着。 7．废气应经不通水封的阀门排出。 8．间断生产首先把炉罐渗碳。 9．零件放置时，零件与零件之间距离不少于5毫米；零件边缘不超出底板长度和规定的高度。

10．要快速开关进料门和出料门，但推拉杆的速度要平稳。 11．零件在预冷室的位置应正对热电偶的下面。 12．炉内只许装满24块底盘，继续进料必须先拉后推。 13．停炉时要把各炉区降到同样的温度后，再开始自然降温。 14．马弗炉设备清洗： 炉罐在连续生产时每周清洗一次，断续生产炉罐的清理，应在停炉后立即进行，炉罐清洗温度为850～870℃时应将底盘全部取出；用压缩空气喷嘴从炉子进料端吹入时，阀门开得不要太大，吹时必须前后左右移动，防止局部过热；煤气烧嘴在渗碳前用煤油清洗一次。 15．底盘或夹具淬火后应返回预冷室除去油污。 16．发现废气管堵塞（炉内压力突增）应立即清理。先打开不通水封的废气阀门，然后关闭通水封的废气管阀门。清理完毕应先打开通水封的废气管阀门，

单晶炉具体操作步骤(精)

1、目的 为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。 2、适用范围 适用于 TDR-70A/B和 JRDL-800型单晶炉的操作。 3、单晶炉操作工艺流程 作业准备→ 热态检漏→ 取单晶和籽晶→ 石墨件取出冷却→ 真空过滤器清洗→ 真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→ 单晶炉室清洗→ 石墨件安装→ 石英坩埚安装→ 硅料安装→ 籽晶安装→ 抽空、检漏→ 充氩气、升功率、熔料→ 引晶、缩颈、放肩、转肩→ 等径生长→ 收尾→ 降功率、停炉冷却 4、主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。 f. 用毛巾将炉体从上到下一遍, 擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。 B. 热态检漏

a. 检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却 4.0小时(TDR-70A/B型单晶炉、 5.0 小时(JRDL-800型单晶炉后,关闭氩气(只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到 30L/Min,开始抽高真空,并作时间记录。 b. 待炉内压力到达极限(要求达到 3Pa 以下后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若 0.5小时内抽不到 3Pa 以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 c. 检漏要求 3分钟以上,漏气率 <0.34Pa/min为正常,同时作好漏气率记录, 若漏气率>0.34Pa/min时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 C. 取单晶和籽晶 a. 热态检漏后,旋松付室小门 4个螺丝,打开氩气阀门充氩气至常压,关闭氩气,旋开付室小门 4个螺丝,打开付室小门。 b. 提升单晶至付室,从付室小门内确认单晶升至所需高度,若无异常,盖住翻板阀,打开液压泵,升起付室。 c. 把安全接盘移到炉筒口处,缓慢转动付室至侧面。 d. 把取单晶的架子放在付室炉筒正下方,准备接单晶。 e. 稳定单晶,移开安全接盘,按下籽晶快降,将单晶降入架子内。 f. 确认单晶完全入架子内后, 按住籽晶, 用钳子将籽晶从细径处钳断, 钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。 g. 将籽晶从重锤上取下,放在指定场所,再将重锤升至付室内适当位置。 h. 将单晶移到中转区,及时、准确的将单晶编号写在单晶上,待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。 D. 石墨件取出冷却

马弗炉的使用及注意事项

A. 新炉的耐火材料里含有水分，另外为使加热元件生成氧化层，在开始使用前，必须先在低温下烘烤数小时并逐渐升温至900℃，且保持5小时以上，以防炉膛受潮后因温度的急剧变化而破裂。 B. 在马弗炉加热时，炉外套也会变热，应使炉子远离易燃物，并保 持炉外易散热。 C. 加热元件的工作寿命取决于其表面的氧化层，破坏氧化层会缩短加热元件的寿命，而每次停机都会对氧化层有所损害，因此开机后 应避免停机。 D.使用时炉温不得超过最高温度，以免烧毁电热元件，并禁止向炉 膛内灌注各种液体及熔解的金属。 E. 在做灰化试验时，一定要先将样品在电炉上充分碳化后，再放入 灰化炉中，以防碳的积累损坏加热元件。 F.几次循环加热后，炉子的绝缘材料可能出现裂纹，这些裂纹是热 膨胀引起的，对炉子的质量没有影响。 G. 马弗炉为实验用品，不得移作它用，样品一定要用洁净的坩埚盛 放，不得污染炉膛。 H. 电阻炉使用时，要经常照看，防止自控失灵造成事故，晚间无人 值班时，切勿使用电阻炉。 I. 马弗炉使用完毕，应切断电源，使其自然降温。不应立即打开炉门，以免炉膛突然受冷碎裂，如急用，可先开一条小缝，让其降温加快，待降温度降至200℃以下时，方可开炉门。 J. 使用马弗炉时，需注意安全，谨防烫伤。

K.根据技术要求经常检查控制器各接线头的接线是否良好，指示仪 指针在运动时有无卡住滞呆现象。 L. 至少一个月检测一次按钮，清洁一次炉膛，清洁炉膛需在不通电 情况下进行。 马弗炉使用方法（使用注意事项） 马弗炉使用方法（使用注意事项） 1.第一次使用或长期停用后再次使用时应先进行烘炉，温度200～ 600℃，时间约4小时。 2.使用时炉膛温度不得超过最高炉温，也不要长时间工作在额定温度 以上。 3.工作环境要求无易燃易物品和腐蚀性气体。 4.为确保使用安全，必须加装地线，并良好接地。 5.使用时炉门要轻关轻开，以防损坏机件。 6.在炉膛内放取样品时，应先关断电源，并轻拿轻放，以保证安全和 避免损坏炉膛。 7.为延长产品使用寿命和保证安全，在设备使用结束之后要及时从炉 膛内取出样品，退出加热并关掉电源。

马弗炉操作规程

马弗炉操作规程 一：操作流程 （1）确认使用状态 使用中：控温仪指示灯亮 未使用：控温仪指示灯熄灭，SV显示为STOP和初始温度交替变换 （2）进入温度设置界面—按三次ENTER键和八次返回键，进入SET界面 ①仪表先显示当前运行段起始给定温度，上显示器显示程序温度段号,下显 示器显示设定温度值。按下键减小数值，按上键增加数值，按左移键可移动修改数据的位置。 ②将给定温度改为适当的值后，再按返回键一下，上显示器显示程序升温速 率，下显示器显示出本段的升温运行时间值。按照自己实验所需时间设置运行时间。 ③再按返回键一下，对下一段程序值进行设定，可以设置在某个温度保持一 定时间，依次按所需程序设定各段程序值。每段程序按温度，时间顺序依次排列。 ④设置完成后，按下键返回SET界面，然后按ENTER和返回键回到主界面， 等待数十秒或长按RUN即开始程序。停止程序可直接按上键或STOP。二：温控条件设置 低温条件下升温速率一般为3°C/min。 600°C以上升温速率一般为1°C/min。 降温可以进行程序控制，亦可直接停止程序降温。 三：注意事项 1：使用时切勿超过本电阻炉的最高温度。 2：装取试样时一定要切断电源，以防触电。 3：装取试样时炉门开启时间应尽量短，以延长电炉使用寿命。 4：不得将沾有水和油的试样放入炉膛；不得用沾有水和油的夹子装取试样。 5：装取试样时要戴手套，以放烫伤（高温情况）。 6：试样应放在炉膛中间，整齐放好，切勿乱放。 7：不得随便触摸电炉及周围的试样。 8：使用完毕后应切断电源。 9：当电炉第一次使用或长期停用后再次使用时，必须进行烘炉干燥。先将电阻炉从室温升至200，经4小时恒温后，需打开炉门排除湿汽，之后，再由200升至600，经4小时恒温后即可。 10：禁止向炉膛内直接灌注各种液体及熔解金属。 11：应经常消除炉膛内的铁屑、氧化物，以保证炉膛内的清洁。 12：操作时应经常观察炉膛实际温度，以免在仪表失灵时造成事故。 13：高温时迅速降温对炉子寿命有影响，故淬火后应立即关上炉门，或关闭电源再淬火。

管式炉点火操作

7.1管式炉开工操作 7.1.1检查煤气系统、蒸汽系统及油系统各阀门、旋塞及烟道翻板是否具备开工条件。 7.1.2仪表确保完好。 7.1.3炉膛通蒸汽清扫，至炉体上部冒出蒸汽为止。 7.1.4确认洗油已正常循环，炉内蒸汽管已经通入蒸汽。 7.1.5打开烟囱翻板至1/2处。 7.1.6先将专用点火煤气管点燃，放在煤气喷嘴处，然后开煤气喷嘴阀门，确认煤气已点燃后，再依次点燃其它喷嘴。 7.1.7调节加热煤气量、风量和翻板开度，使管式炉以10-20℃/h的速度升温，炉膛温度超过250℃，以30-40℃/h的速度升温。 7.1.8炉膛温度稳步升温，逐渐提高富油温度达到技术规定。 7.2管式炉停工操作 7.2.1关闭煤气旋塞、总阀门、气动调节阀门和支管阀门，必要时煤气堵盲板。 7.2.2将烟囱翻板和通风口稍开，使炉温缓慢下降，自然冷却。 7.2.3停炉时间不超过3天可不放油，否则，应将油放入地下槽，并用蒸汽扫净。 第二个： 2.9 管式炉开工 2.9.1 检查管式炉各部良好，煤气供给正常。 2.9.2 将煤气管道内存水放净，若第一次或煤气管道检修后开工，则用蒸汽吹扫煤气管道后，再用煤气赶蒸汽至做爆发试验合格。 2.9.3 打开烟囱翻板，使炉膛处于负压状态。 2.9.4 打开蒸汽清扫截门，清扫炉膛至烟囱冒大量蒸汽后关闭。 2.9.5 先给火种，再送煤气，确认点燃后调节烟囱翻板开度和煤气量，使管式炉逐渐升温至规定值。 2.9.6 管式炉首次开工或停工时间较长，在开启之前用临时煤气管道（或开一组火嘴）小火烘烤，待炉膛温度缓慢（2—4小时）升至150℃后，方可正式点火开工。 2.10 管式炉的停工 2.10.1 接到停工通知后，逐渐关闭管式炉煤气入口截门和总截门，停止加热。 2.10.2 炉膛温度降至300℃以下时，全开烟囱翻板。 2.10.3 长时间停用，油管用蒸汽吹净，煤气管道用蒸汽吹扫。

马弗炉日常维护以及使用注意事项

马弗炉日常维护以及使用注意事项 马弗炉实验室基础实验设备，结构原理简单，操作容易，但是，操作不当也会出现使用故障，接下来，小析姐就其使用方法和日常维护保养等方面跟大家进行一下探讨，希望你在能在正确使用马弗炉的同时学会如何维护和保养。 马弗炉（Muffle furnace）主要用于燃料测定水分、灰分、挥发分、熔点分析、灰成分分析、元素分析。也可以作为通用灰化炉使用。在食品、环境、制药等方面也常有用处。 马弗炉的分类 马弗炉根据其加热元件、使用温度和控制器的不同有以下几种分类： 1.按加热元件区分有：电炉丝马弗炉、硅碳棒马弗炉、硅钼棒马弗炉； 2.按使用温度来区分一般分为：1000度以下箱式马弗炉，1100度~1300度马弗炉(硅碳棒马弗炉)，1600以上用的是硅钼棒马弗炉； 3.按控制器来区分有如下几种：PID调节控制马弗炉(可控硅数显温度控制器)，程序控制马弗炉(电脑时温程控器)； 4.按保温材料来区分有：普通耐火砖马弗炉和陶瓷纤维马弗炉两种。 日常维护保养注意事项 1、当马弗炉第一次使用或长期停用后再次使用时，必须进行烘炉。烘炉的时间应为200℃至600℃四小时。使用时，炉温最高不得超过额定温度，以免烧毁电热元件。禁止向炉内灌注各种液体及易溶解的金属，马弗炉最好在低于最高温度50℃以下工作，此时炉丝有较长的寿命。

2、马弗炉和控制器必须在相对湿度不超过85%、没有导电尘埃、爆炸性气体或腐蚀性气体的场所工作。凡附有油脂之类的金属材料需进行加热时，有大量挥发性气体将影响和腐蚀电热元件表面，使之销毁和缩短寿命。因此，加热时应及时预防和做好密封容器或适当开孔加以排除。 3、马弗炉控制器应限于在环境温度0-40℃范围内使用。 4、根据技术要求，定期经常检查电炉、控制器的各接线的连线是否良好。连接到控制器的各测温热电偶可能对控制器产生干扰，出现控制器显示值跳字、测量误差增大等现象，炉温度越高，此现象越明显。因此，务必将热电偶的金属保护管（外壳）良好接地，必要时，使用三线输出的热电偶。总之，应采取一切有效措施减小干扰。 5、热电偶不要在高温时骤然拔出，以防外套炸裂。 6、经常保持炉膛清洁，及时清除炉内氧化物之类东西。 7、使用过程中，在炉内用碱性物质熔融试样或灼烧沉淀物时，应严格控制操作条件，最好在炉底预先铺一层耐火板，以防止腐蚀炉膛。 使用安全技术操作规程 1.使用时切勿超过本电阻炉的最高温度。 2.装取试样时一定要切断电源，以防触电。 3.装取试样时炉门开启时间应尽量短，以延长电炉使用寿命。 4.禁止向炉膛内灌注任何液体。 5.不得将沾有水和油的试样放入炉膛；不得用沾有水和油的夹子装取试样。 6.装取试样时要戴手套，以放烫伤。 7.试样应放在炉膛中间，整齐放好，切勿乱放。

人教版高中化学必修1-1.1知识总结：萃取的方法及注意事项

萃取的方法及注意事项 萃取是从溶液或固体混合物中，用溶剂把所需物质抽提出来的操作。它也可以用来洗去混合物中的少量杂质，因此萃取也是提纯物质的一种方法。 一、对溶液进行萃取 对溶液中的某一成分进行萃取时，萃取溶剂与溶液中原来的溶剂必须是不互溶的。所选用的溶剂还必须对所提取的物质溶解度大，而对其它杂质溶解度较小。萃取溶剂多数为有机溶剂，被萃取的溶液一般都是水溶液。 1．用分液漏斗进行萃取。 分液漏斗是实验室中最常用的萃取仪器。 操作方法： （1）选取大小合适的分液漏斗。所用分液漏斗的容积应为被萃取溶液与萃取溶剂二者体积总和的1.5倍。 给漏斗的活塞涂油，塞好。将分液漏斗安放在漏斗架或铁架台的铁圈上。 （2）将溶液与萃取溶剂从漏斗口注入，塞好漏斗口上的塞子（塞子不能涂油，塞好后应再旋紧一下，以防漏液）。 （3）取下分液漏斗，用右手手掌顶住塞子，手指可捉住漏斗口颈或本身，左手握住漏斗的活塞，使大拇指和食指捏住活塞柄，中指垫在塞座下边，做好旋转活塞的准备。振摇漏斗如图5－37所示。振摇 时，漏斗稍倾斜，漏斗口向下，振摇1～2分钟．可 打开活塞，将蒸汽放出。如此反复操作直至发生 的气体很微弱（即放出的气体压力很少）时，再 剧烈振摇2～3分钟，然后将漏斗放回漏斗架，静置。 （4）待漏斗内液体分成上下两层后，打开塞子，再慢慢旋开活塞将下层液体放出。这种将两种互不相溶的液体进行分离的操作叫分液。分液时，一定要尽可能分离干净。有时在两液界面之间会出现一些絮状物，也应将其放出。然后将上层液从漏斗口倒出。切不可从活塞处放出，以免被残留在漏斗颈上的第一种液体玷污。 （5）重复萃取操作3～5次，直至确定最后一次加入的萃取溶剂里已无所需萃取的物质时为止。

直拉单晶炉操作规程

夏津县奥德新能源有限公司 直拉单晶炉操作规程 版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010 1 目的 为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。 2 适用范围 单晶制造厂所有单晶操作工。 3 内容 3.1 拆炉 3.1.1 准备 确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。 3.1.2 炉子清扫 3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢 车。 3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石 英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。 注意：1：石墨件不能用手接触。 2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。 3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。 3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。 注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的 现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。 3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒 精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。 注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。 3.1.2.5 主炉清扫 戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘， 炉底。 注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主 炉室及密封圈擦拭干净。 3.1.2.6 石墨件的清扫 吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。

单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项

单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项 常见事故： (一)停水 1)发生停水或水压报警时，先确认水压表是否偏低，水管和炉筒温度是否明 显升高。 1.快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 2.关闭加热功率。 3.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 4.降低埚位到熔料埚位。 5.关闭埚转。 2)停水后水压恢复。 1.冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管理人员。 2.水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶小 于10分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。 3.启动埚转，设定为2转/分。 4.熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意硅料液面熔 化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人 员。 5.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。 3)停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于10分钟。 1.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。 2.停炉，充分冷却后拆炉 (二)停电 1)若炉子工作时，加热部分停电。 1.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 2.降低埚位到熔料埚位。 3.关闭埚转。 4.加热部分恢复时，若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟 且石英坩埚未破），按加热功率开，将功率升至熔料功率。 5.启动埚转，设定为2转/分。 6.熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面 下降，立即停炉并上报管理人员。 7.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。 8.加热部分恢复时，若停电时间较长（液面结晶已经大于10分钟或石英坩 埚破裂），快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 9.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。 10.停炉，充分冷却后拆炉。 2)若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。 1.立即关闭抽空阀门。 2.手动摇手柄降低埚位使晶棒与硅液脱离。

18#121 管式炉操作说明

天津理工大学电子信息工程学院——天津市薄膜电子与通信器件重点实验室 倾斜体加粗为注意事项管式炉操作说明 厂家及型号：洛阳西格马仪器公司SGM6812DE型双温区管式炉 1.打开电源开关，确保加热及热偶线无连接问题； 2.进行升温设定： 1）按一下AT键，进入设定程序第一步； 2）首先设定第一步起始温度，利用方向键设定目标温度； 3）按一下の键，进入保持起始温度的时间设定； 4）按一下の键，进入第二步温度设定，接着是第二步时间设定； 5）当需要设定停止时，把该步时间设定为-121即可； 6）长按の或停止操作15s即可退出程序设定阶段； 3.程序设定好，按住2s RUN键，程序自动运行，如想突然终止操作，可按2s STOP键； 4.在程序运行过程中，按の键可观察正在运行的程序段和运行时间； 5.在程序运行过程中，可按AT键随时修改尚未执行步骤的温度和时间； 6.程序设定参考（假设设备处于30℃室温）： 1）Step 1 30℃10min（首先在30℃保持10min）； 2）Step 2 30℃7min（经过7min从30℃升至100℃）； 3）Step 3 100℃15min（在100℃保持15min）； 4）Step 4 100℃40min（经过40min从100℃升至800℃）； 5）Step 5 800℃15min（在800℃保持15min）； 6）Step 6 800℃-121min（在800℃保持15min后退出程序，设备停止运行）； 7.如在Step 1设定的温度高于室温，则炉子首先会以最大功率升至目标温度，停留至设定 的时间结束，再执行下一阶段程序。 整理实验台收拾好自己工具及样品做好实验设备使用记录

单晶炉安全操作规范(2021新版)

When the lives of employees or national property are endangered, production activities are stopped to rectify and eliminate dangerous factors. （安全管理） 单位：___________________ 姓名：___________________ 日期：___________________ 单晶炉安全操作规范(2021新版)

单晶炉安全操作规范(2021新版)导语：生产有了安全保障，才能持续、稳定发展。生产活动中事故层出不穷，生产势必陷于混乱、甚至瘫痪状态。当生产与安全发生矛盾、危及职工生命或国家财产时，生产活动停下来整治、消除危险因素以后，生产形势会变得更好。"安全第一" 的提法，决非把安全摆到生产之上;忽视安全自然是一种错误。 1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项 1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作；

3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作； 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身； 5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害；

马弗炉操作规程

马弗炉操作规程 一、操作步骤 1、将自动温度控制器平放在平稳的地方，不要离电炉太近，以免电炉影响电子元件。将短路线折去，用电源接入电炉，将电源线接入交流电220V，并将电炉控制器均有效接地。 2、用导线连接热电偶至温度器，注意“±”极不可接错，安装完毕后，检查一遍是否有错。 3、将温度调节器，接上控制箱“输入”之电源，调节至所需温度，打开电源开关，此时红灯亮开始工作。 4、当达到所需温度时，绿灯亮，开始计时。 二、注意事项 1、最高温度不能超过950℃。 2、使用完毕后，切断电源，不要马上打开炉门，待温度降至400℃左右时，才能取出物品。 3、马弗炉应置于干燥场所，以免受潮致使漏电和引起耐火材料加热开裂。 4、自动恒温控制器不能经受剧烈震动。 5、不得频繁开关电源，以免损坏马弗炉。 .6、马弗炉周围不得放可燃、易爆物。 三、维修与保养 1、仪器应放在干燥通风、无腐蚀性气体的地方，工作环境温度为10—50℃，相对温度不大于85%。 2、为保证测量准确，每年应用直流电位差计校对XMT型温度控制仪的测温表，以免引起较大误差。 3、定期检查各部分热线有否松动，交流接触器的触头是否良好，出

现故障应及时修复。 4、硅碳棒型炉子，发现硅碳棒损坏后，应更换规格相同并且电阻值相近的新硅碳棒。更换时先卸下两端保护罩与硅碳棒夹头，然后取出已损坏的硅碳棒，由于硅碳棒易断，安装时须小心，两端露炉壳外部分应相等，夹头必须紧固，使之与硅碳棒接触良好。如果夹头有严重氧化时应换新的。硅碳棒两端安装孔处的隙缝应用石棉绳堵塞。炉温不得超过最高工作温度1350℃。硅碳棒在最高温度下允许连续工作4小时。在电炉使用相当长时间后，如发顺时针方向调节加热功率调节钮至最大位置，加热电流仍上不去。距离额定值较远，达不到所需的加热功率，说明硅碳棒已老化。此时可将串联的硅碳棒改为并联，仍可继续使用。在改变接法时不必拆卸硅碳棒，只需改变接法，并且改变接法后，使用时要注意缓慢调节加热功率调节钮，加热电流值不得超过额定值。 5、用户能守上述操作规程在正常使用过程中，确因产品质量不能正常工作时，一年内免费修理，更换零配件，直至更换产品。但未经生产厂查明质量原则，用户不得自行拆装，否则由用户负责各项维修费。

单晶炉加热电源说明书

第一章概述 一、简介 单晶炉加热电源，是通力盛达能源设备（北京）有限公司集多年智能开关电源开发经验，参照信息产业部行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品。可用于单晶硅，多晶硅加热场所。 单晶炉加热电源系统采用模块化设计、组合式结构，由整流器、交流配电、直流配电等部分组成。 单晶炉加热电源通过外部隔离的0-10V直流电压控制系统输出，与其对应系统输出电压为0-60V，或者对应系统输出功率为150KW（通过系统前面板上的开关SW1选择“电压调节”或“功率调节”方式）。 单晶炉加热电源智能开关电源系统采用DZY-48/50H(HE)开关整流器，系统最大容量为2800A。 开关整流器采用了数字化功率因数校正、智能控制检测、新型磁性材料等新技术，使用了良好的热设计、EMC设计和可靠性设计，使交流输入电压适应范围、功率因数、功率密度、电磁兼容性、可靠性、转换效率等主要技术指标达到了国际先进水平。 二、系统特点 1．全数字化交错PFC创新控制的有限双极性控制ZVS全桥拓扑、倍整流拓扑、双单片机实现全数字监控。 2．系统整流器采用功率因数校正技术，使输入的交流电流波形与输入的交流电压波形相同，相位一致，整机效率高，节省能源，降低运营成本。 3．系统整流器采用高频PWM控制变换技术，一方面减少了开关器什在高频开关过程中的功率损耗，提高了整机效率；另一方面减少了电磁干扰，可将电源系统安装在程控机房内。 4．系统采用民主均流技术，提高了系统工作的稳定与可靠性，因而减少了设备日常的工作维护。 5．系统整流器采用智能风冷和水冷技术，冷却效果好，故障率低，可靠性高。 6．整流器采用无工频变压器设计，体积小、重量轻。

管式炉操作规程

管式炉操作规程 Prepared on 24 November 2020

双温区真空管式炉操作规程 一、开机 1. 打开电源。 2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。 二炼气 1. 放置四个管堵，安装法兰。 2. 左右温区均以3o C/min升温至150 o C，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至 MPa时，分三个阶段完全打开（约3圈）针阀，至 MPa保持30min。 三、气体置换 1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至以下，打开气柜上进气阀 Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针阀 2. 打开MFC1or2至阀控位置，缓慢调节“设定”旋钮至最大（1000ml/min），当法兰真空压力表达到时，关闭其上针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽气至，再关闭抽气口针阀。 3. 再二次打开进气口针阀，缓慢开流量至最大，真空压力表至，关闭进气口针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽至，再关闭抽气口针阀，完成二次气体置换。 4. 根据需要重复气体置换（步骤3），一般三次，关闭真空泵。 四、实验

1. 充入保护性气体，关闭进气口针阀，等炉温降至室温，打开抽气口法兰，取出两个管堵。 2. 放入样品至热电偶位置，放入两个管堵至要求位置，安装法兰。 3. 确认抽气口针阀为关闭状态，打开真空泵，再缓慢打开针阀，真空压力表降至，分阶段完全打开针阀至，关闭抽气口针阀，关闭真空泵。 4. 打开进气口针阀，调节气柜流量至最大，使真空压力表达，打开抽气口针阀对外排气，根据实验要求调节流量，一般为100ml/min。 5. 两侧同时设定升温程序，温差不能超过300 o C。 6. 工作结束，降至室温，取出样品，再放入管堵，安装法兰。 7. 关闭进气口针阀，打开真空泵，抽至 MPa，充入保护气体，关闭进气口针阀。 五、关机 1. 关闭流量至“设定”。 2. 关闭气瓶，关闭气柜进气口Tv1orTv2阀 3. 关闭气柜电源。 4. 依次关闭Turn off、Lock，关闭总闸。 注意事项 1. 气瓶压力最大不超过（一般） 2. 试样尽量放在热电偶所在截面位置。 3. 安装法兰时，三个螺丝依次均匀拧紧。 4. 升、降温速率最大不超过10 o C/min，一般为3~5 o C/min。

单晶炉安全操作规范实用版

YF-ED-J8161 可按资料类型定义编号 单晶炉安全操作规范实用 版 In Order To Ensure The Effective And Safe Operation Of The Department Work Or Production, Relevant Personnel Shall Follow The Procedures In Handling Business Or Operating Equipment. （示范文稿） 二零XX年XX月XX日

单晶炉安全操作规范实用版 提示：该管理制度文档适合使用于工作中为保证本部门的工作或生产能够有效、安全、稳定地运转而制定的，相关人员在办理业务或操作设备时必须遵循的程序或步骤。下载后可以对文件进行定制修改，请根据实际需要调整使用。 1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、 液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电 压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切 断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位 螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降 应正常；

2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项 1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作； 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵

马弗炉的安全操作规程通用版

操作规程编号：YTO-FS-PD488 马弗炉的安全操作规程通用版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards

马弗炉的安全操作规程通用版 使用提示：本操作规程文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。 1．开炉前应检查煤气管道阀门密封性和煤气管路上的压力不能低于规定值。 2．空炉试验推杆机构、拉杆机构以及提升机构工作情况。 3．把压紧弹簧松开到规定的尺寸范围。 4．调节好水封的水位，打开通水封排出燃烧管的阀门，关闭通水封的阀门。 5．将进料端的炉门关闭，打开出料端的炉门察看，当煤油喷出形成雾状流动的方向正常后再关闭炉门。 6．将进料室的燃烧嘴点着。 7．废气应经不通水封的阀门排出。 8．间断生产首先把炉罐渗碳。 9．零件放置时，零件与零件之间距离不少于5毫米；零件边缘不超出底板长度和规定的高度。 10．要快速开关进料门和出料门，但推拉杆的速度要平稳。 11．零件在预冷室的位置应正对热电偶的下面。

真空管式炉说明书。卓驰

定制真空管式炉SK3-4-5-10 使 用 说 明 书

卓.驰 目录 一：仪器特点 (1) 二：仪器使用................................................1-3 三：技术参数 (3) 四：注意事项 (3) 五：故障及排除 (4)

六：装箱单 (4) 附：LTDE仪表说明书 一、仪器特点 ■石英炉管，结净度高，不锈钢法兰，密封性能好； ■可抽真空，也可通多种混合堕性气体，做气氛保护； ■仪器精确度高，显示精度1度，在恒温状态下，精确度高达正负1度； ■控制系统采用LTDE技术，具有30波段可编程功能，二级超温保护； SK3-4-5-10真空管式炉为定制炉子，采用优质高温石英材料为炉管，低蓄热轻质纤维材料制作发热炉胆，高效节能，优质高温发热丝为发热元件。炉体长度1220MM，配：φ100*1450MM 石英管，密封装置，带阀三通进气管，带阀单头出气管，真空表装置；控制系统按装有调节功率旋钮，具有低温控制精准的特点，使用温度为100-300℃；控制系统为国际先进的LTDE 可编程仪表，可任意设置升温降温，恒温，定时开机，关机等多波段操作。控制器位于炉体下方，一体化制作，炉体和温控器的电气连接出厂前已完成。 二、仪器使用 操作面板功能

普通操作方法： 接通电源，按↑键二秒钟使SV窗口出现STOP（暂停）。设定步骤：按←键PV显示C01。按←↑↓设置所需的温度。按SET键，PV显示t01。按←↑↓设置-1。等到返回菜单（SV显示STOP）。再按↓键二秒钟，SV显示RUN即可。此时PV即显示升温。SV窗口HOLD和设置的温度交替显示。 例如：要仪器到600℃长期保持自动恒温 按←键一下 C01 = 600 按SET键一下 t01 = -1 等到SV返回STOP，再按↓键。SV显示RUN即仪器开始工作。 定时功能操作方法： 接通电源，按↑键二秒钟使PV显示STOP（暂停）。按←键PV显示CO1, 按←↑↓设置起始温度50（起始温度应高于室温）, 按SET键，PV显示t01。按←↑↓设置起始温度到所需用实际温度的时间（时间宜长不宜短）。按SET键PV显示C02。按←↑↓设置工作所需的温度, 按SET键PV显示t02, 按←↑↓设置所需恒温时间, 按SET键PV显示C03, 按←↑↓设置所需用实际温度（即和C02同样的温度）, 按SET键PV显示t03, 按←↑↓设置-121。等到返回菜单（SV显示STOP）。再按↓键二秒即启动。此时PV窗口显示温度上升。SV显示温度上升或时间运营。 例如：要400℃恒温10分钟。 按←键一下 C01 =50 （起始温度为略高于室内温度的值，如50℃。） 按SET键一下 t01 =20 (一般情况下该段升温时间不宜过短，否则容易温度过冲。) 按SET键一下 C02 =400 (工作需要温度) 按SET键一下 t02 =10 (恒温时间) 按SET键一下 C03 =400 (工作用的温度) 按SET键一下 t03 =-121 等到SV显示STOP再按↓键二秒SV显示RUN即启动。此时PV显示实测温度上升。SV 显示设置温度上升或时间运行。 可编程通常操作方法： 接通电源，按↑键二秒钟使SV窗口出现STOP（暂停）。设定步骤：按一下←键，上排PV显示C01，表示需要程控的起始温度，操作←↑↓键，使下排SV达到所需起始温度。再按下SET键，PV显示t01，表示从起始温度达到下一设定温度的时间，操作←↑↓键，使SV 达到所需时间。再按下SET键，PV显示C02，表示刚才设定的起始温度C01，用了t01的时间，所要达到的温度，按←↑↓使SV达到所需温度。（如需恒温，则C01与C02设置同一值），再按下SET键，PV显示t02表示从C02到达下一温度的时间设定，按前面步骤操作…,最后一段T参数设置“-121”即可自动关机，最多达30段,最后结束段将txx设置-121设置完毕等SV返回STOP再按↓键使显示窗口出现RUN仪器自动按照设定的程序开始工作。程序编排采用温度--时间-温度格式，其定义是从当前段设置温度，经过该段设置的时间到达一温度。例示：按下图所示程序曲线设定各段程序值

晶盛单晶炉操作说明

． 全自动单晶炉操作手册 REV. MANUAL_ZJS.Z02 （TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS适用） 2009年05月 上虞晶盛机电工程有限公司 SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD

目录 第一章单晶生长条件 (2) 1.1 设备要求 (2) 1.2 辅料要求 (3) 1.3 安全要求 (4) 第二章单晶生长标准流程 (5) 2.1 拆炉 (5) 2.2 装炉 (6) 2.3 开始单晶的生长 (8) 2.4 抽真空 (9) 2.5 检漏 (11) 2.6 压力化 (12) 2.7 熔料 (13) 2.8 稳定化 (15) 2.9 熔接 (16) 2.10 引晶 (18) 2.11 放肩 (19) 2.12 转肩 (20) 2.13 等径 (21) 2.14 收尾 (22) 2.15 停炉 (23) 第三章单晶生长辅助流程 (24) 3.1 中途取晶 (24) 3.2 回熔 (26) 3.3 煅烧 (26) 3.4 大清 (27) 3.5 连接部位检查 (27) 第四章相机调整与热场温度校正 (28) 4.1 相机调整 (28) 4.2 热场温度调整 (32) 第五章异常情况处理 (33) 5.1 断水 (33) 5.2 电极故障 (33) 5.3 打火 (33) 附录故障速查 (34)

第一章单晶生长条件 1.1 设备要求 1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书） （1）冷却水要求 水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上； 炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤； 水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟； 水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC； 水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。 连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。 （2）压缩空气要求 气压：≥7公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。 流率：≥2.5升每秒； 汽缸容积：主真空球阀：2升；辅助真空球阀：0.5升。 （3）电力要求 相制：3相AC380V(±10%)/50Hz； 功率：≥192KVA。 配电柜应装有500V、400V的空气开关，和380V/400A的隔离开关。 （4）炉子真空要求 空炉真空度：≤15mTorr； 空炉泄漏率：≤30mTorr/hr； 带热场泄漏率：≤50mTorr/hr。（热场已经煅烧完全） 1.1.2 日常维护 （1）坩埚轴驱动部件的维护保养 a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴； b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多） 润滑油，然后上下快升降两次。 （2）提拉头的维护保养 a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换； b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。（3）水冷系统的维护保养 a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常； b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。 （4）翻板阀的维护保养 每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。 （5）真空系统的维护保养 a、经常检查泵油，上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够，应及时补新油；下泵腔油不 够，需关闭球阀，打开左侧阀门，使上泵腔油下到下泵腔，然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开； b、每次大清，先彻底放尽泵腔内的废油（用手慢慢拉动传动皮带，盘出下泵腔内的废油），然后打 开上泵腔，清除干净沉淀油污。最后换上新油； c、每次拆炉时，拆开真空管道所有盲板和波纹管，彻底清扫管内的粉尘。