文档库 最新最全的文档下载
当前位置:文档库 › 电子束曝光技术及其应用综述

电子束曝光技术及其应用综述

电子束曝光技术及其应用综述
电子束曝光技术及其应用综述

1 引言

在过去的几年中,微电子技术已发展到深亚微米阶段,并正在向纳米阶段推进。在此期间,与微电子领域相关的微/纳加工技术得到了飞速发展,如图形曝光(光刻)技术、材料刻蚀技术、薄膜生成技术、离子注入技术和粘结互连技术等。在这些加工技术中,图形曝光技术是微电子制造技术发展的主要推动者,正是由于曝光图形的分辨率和套刻精度的不断提高,促使集成电路集成度不断提高和制备成本持续降低[1]。

几十年来,在半导体器件和IC生产上一直占主导地位的光学曝光工艺为IC产业链的发展做出了巨大贡献。通过一系列技术创新,采用超紫外准分子激光(193 /157nm)的光学曝光机甚至已将器件尺寸进一步推进到0.15~0.13μm,例如PAS5500/ 950B(ASML公司),NSR-203B(Nikon公司)和FPA-50 00ESI/ASI(Canon公司)。但是,随着器件尺寸向0.1μm以下逼近,光学曝光技术将面临严峻的挑战,例如分辨率的提高使生产设备价格大幅攀升、超紫外光焦深缩短引起的材料吸收问题等,使光学曝光能否突破0.1μm成为业界普遍关注的问题[2~3]。

2 四种电子束曝光系统

电子束曝光是利用电子束在涂有感光胶的晶片上直接描画或投影复印图形的技术,它的特点是分辨率高(极限分辨率可达到3~8μm)、图形产生与修改容易、制作周期短[4,5]。它可分为扫描曝光和投影曝光两大类,其中扫描曝光系统是电子束在工件面上扫描直接产生图形,分辨率高,生产率低。投影曝光系统实为电子束图形复印系统,它将掩模图形产生的电子像按原尺寸或缩小后复印到工件上,因此不仅保持了高分辨率,而且提高了生产率。

2.1 基于改进扫描电镜(SEM)的电子束曝光系统

由于SEM的工作方式与电子束曝光机十分相近,最初的电子束曝光机是从SEM基础上改装发展起来的[6]。近年来随着计算机技术的飞速发展,将SEM改装为曝光机的工作取得了重要进展。

如图1所示,主要改装工作是设计一个图形发生器和数模转换电路,并配备一台PC机。PC机通过图形发生器和数模转换电器去驱动SEM的扫描线圈,从而使电子束偏转。同时通过图形发生器控制束闸的通断,最终在工件上描绘出所要求的图形。通常采用矢量扫描方式描绘图形,即在扫描场内以矢量方式移动电子束,在单元图形内以光栅扫描填充。

对SEM进行改装时,应考虑SEM偏转系统的带宽以及工作台移动精度等对曝光图形误差和图形畸变的影响。目前,高档SEM改装系统的功能接近于专用电子束曝光机,但由于受到视场小、速度低及自动化程度低等限制,在生产率上不可能与专用电子束曝光系统相比。表1列出几种SEM改装型电子束曝光系统的主要性能指标。

2.2 高斯电子束扫描系统

2.2.1矢量扫描方式

曝光时,先将单元图形分割成场,工件台停止时电子束在扫描场内逐个对单元图形进行扫描,并以矢量方式从一个单元图形移到另一个单元图形;完成一个扫描场描绘后,移动工件台再进行第二个场的描绘,直到完成全部表面图形的描绘。

由于只对需曝光的图形进行扫描,没有图形部分快速移动,故扫描速度较高。同时为了提高速度和便于场畸变修正,有部分系统将扫描场分成若干子场,电子束偏转分成两部分:先由16位数模转换器(DAC)将电子束偏转到某子场边缘,再由高速12位DAC 在子场内偏转电子束扫描曝光,如图2所示。系统的特点是采用高精度激光控制台面,分辨率可达1nm以下,但生产率远低于光学曝光系统,并随着图形密度增加而显著降低,因此难以进入大规模集成电路(LSI)生产线[7]。表2 给出了几种典型高斯扫描系统的型号和主要技术指标。

2.2.2光栅扫描系统

采用高速扫描方式对整个图形场扫描,利用快速束闸控制电子束通断,实现选择性曝光。例如美国Etec 公司生产的MEBES系统采用高亮度热场致发射阴极,在掩模版上可获得400A/cm2的束电流密度,工件台在X方向作连续移动时,电子束在Y 方向作短距离重复扫描,从而形成一条光栅扫描图形带。随后工件台在Y方向步进,再描绘相邻的图形带。激光干涉仪对工件台位置进行实时监测并补偿行进中的工件台的位置误差。由于采用了工件台连续移动、大束斑快速充填、高亮度热场致发射阴极等技术,极大地提高了扫描系统生产率,且生产率不受图形密度的影响。

2.3 成型电子束扫描系统

成形电子束曝光系统按束斑性质可分成固定和可变成形束系统。固定成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸始终不变;可变成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸可不断变化。按扫描方式,成形电子束曝光系统又可分为矢量扫描型和光栅扫描型。图3所示为一种尺寸可变的矩形束斑的形成原理,电子束经上方光阑后形成一束方形电子束,再照射到下方方孔光阑上。在偏转器上加上不同的电压,就能改变穿过下方孔光阑的矩形束斑的尺寸,形成可变的矩形束斑;采用特殊设计的成形光阑,还可形成三角形、梯形、圆形及多边形等成形电子束。成型束的最小分辨率一般大于100nm,但曝光效率高,目前广泛用于微米、亚微米及深亚微米的曝光领域,如用于掩模版制作和小批量器件生产等。表3中列出了几种典型成型束系统的生产厂商和主要技术指标。

2.4 投影电子束扫描系统

扫描式电子束曝光系统可以得到极高的分辨率,但其生产率较低,不能满足大规模生产的需要。成形束系统生产率固然有所提高,但其分辨率一般在0.2μm左右,难以制作纳米级图形。近年来研发的投影电子束来曝光系统,既能使曝光分辨率达到纳米量级,又能大大提高生产率,且不需要邻近效应校正。目前在研制中的投影式电子束曝光系统主要有两种。

一种是Lucent公司的SCALPEL系统,如图4 所示,平行电子束照射到SiNx薄膜构成的掩膜上,薄膜上的图形层材料为W/Cr。当电子穿透SiNx 和W/Cr两种原子序数不同的材料时,产生大小不同的散射角。在掩模下方缩小透镜焦平面上设置大小一定的光阑时,通过光阑孔的主要是小散射角的电子,而大散射角的电子则大多数被遮挡,于是在工件面上得到了缩小的掩模图形。再经过分布重复技术,将缩小图形逐块拼接成所要的图形。近期采用散射型掩模取代了吸收型镂空掩模,以及采用角度限制光阑技术使SCA LPEL技术得到迅速的发展,故投影电子束扫描系统极可能成为本世纪0.1μm以下器件大规模生产的主要光刻手段[8]。

另一种是Nikon公司和IBM公司合作研究的下一代投影曝光技术——PREVAIL,其技术实质是采用可变轴浸没透镜,对以硅为支架的碳化硅薄膜进行投影微缩曝光。由于将大量平行像素投影和扫描探测成形相结合,从而得到较高的曝光效率,并对像差进行实时校正[9]。通过这项技术可望研制出高分辨率与高生产率统一的电子束步进机,用于100nm~50nm电子束曝光。

四种电子束扫描系统对比分析与应用见表4。

3 几项发展中的电子束曝光新技术

3.1 基于DSP的新型图形发生器

新型图形发生器以DSP芯片为主体,上位机通过增强并行接口(EPP)连接通信协议控制器。DSP和计算机之间的数据通信形式由通信协议控制器决定,程序控制器EPROM(可编程只读存储器)用来存放控制命令和传输数据方式命令及DSP 数据输出方式等。数据控制RAM用来存放场畸变、场增益、场旋转等校正数据。曝光图形数据和各类校正数据经DSP运算处理后,通过地址译码及DSP内部数据总线送至相应的各类寄存器。X和Y方向的主场、子场、增益及旋转寄存器的数据传送给相应的数模转换器,数模转换器的模拟量经求和后送至偏转放大器,由偏转放大器控制电子束在硅片上(或掩模上)扫描曝光图形。例如,IBM公司在原有IBM VSXPG矢量扫描图形发生器的基础上增加了DSP处理器,高精度地实现了圆形、椭圆形、抛物线和双曲线图形的曝光。

3.2 电子束直接光刻技术

无掩模电子束直接光刻(EBDW)预先要制作晶片位置标记和芯片套刻标记及工件台标定,以确定晶片位置和方向角,直写过程就是反复利用标记定位及描绘来完成图形曝光的。EBDW的主要优点是节约新器件

研制成本;缩短研制周期;能获得极高的分辨率。这些优点使EBDW在功能器件、特种器件和新型电路的制造和纳米器件研究中获得广泛应用,但由于EBDW存在生产率低的缺点限制了它在大规模生产中的应用。

3.3 双层抗蚀剂曝光工艺

随着电子器件及LSI的发展,IC的层数越来越多,图形越来越复杂,特征线条尺寸越来越细,对抗蚀剂图像就有了更多的要求,如更高的曝光分辨率,更复杂、精确的抗蚀剂层截面形状。此时,常规的单层抗蚀剂曝光工艺就难以满足这些特殊要求,这就需要采用更为复杂的双层抗蚀剂的曝光显影和刻蚀等复合工艺来完成。

双层抗蚀剂电子束曝光工艺是利用不同类型的抗蚀剂对电子束曝光有不同的灵敏度这个特性,即在同一电子束的同样曝光剂量照射下,双层抗蚀剂产生不同的曝光结果。通过不同的显影液分别显影处理后,在双层抗蚀剂胶层会分别出现不同的曝光尺寸和截面,以此来制成一些有特殊要求的抗蚀剂胶层的曝光截面形状。

归结起来,用于光刻的多层抗蚀剂系统有下列方式:①利用相对分子质量不同的两种相同成分抗蚀剂作双层抗蚀剂系统,用同一种曝光方式曝光显影,如图5(a)所示;②利用两种不同类型的抗蚀剂作双层抗蚀系统,用一种曝光方式曝光,两次显影,见图5(b);③用两种不同类型的抗蚀剂组成双层抗蚀剂系统,分别用两种曝光方式曝光和显影,见图5(c);④用几种抗蚀剂联合组成多层抗蚀剂系统,最顶层是灵敏抗蚀剂,用一种曝光方式曝光制图,而下面的几层分别用离子方法刻蚀。

3.4 邻近效应修正技术

理论上,电子束曝光的极限分辨率可达几纳米,但高能入射电子在抗蚀剂中的散射和在衬底上的反射以及背散射引起的邻近效应使曝光图形模糊、影响分辨率,再加上光刻胶的分辨率极限和光刻工艺精度,因此直接使用电子束光刻技术难以得到接近其理论极限的纳米尺度图形[10]。

对实际的邻近效应作适当补偿可以得到比较理想的曝光结果[11]。根据不同版图设计,有多种方法减小邻近效应;若图形密度和线宽都较一致,可以通过调整整体剂量曝光出合适尺寸的图形;选用高对比度胶也可以减小线宽的变化,同时用多层胶也可以减小前散射电子;用50~100kV甚至更高的加速电压,也可以减小前散射电子,但有时会增加背散射电子。

抗蚀剂曝光剂量自动协调的邻近效应修正技术(简称SPECTRE)是目前常用的一种技术,通过同时对内邻近效应和相互邻近效应都进行校正,使图形的不同部位赋予不同的曝光剂量,从而达到使所有电子辐照区各部位的显影程度一致的目的。

4 电子束曝光技术的应用

4.1 用于掩模版制造

随着器件的特征尺寸不断缩小,在掩模版制造中普遍采用电子束曝光和激光光刻设备,在这两类设备中,电子束设备在性能和数量上均占优势。最先进的激光制版系统,其束斑直径在0.2μm左右,可以用来制作0.18μm,0.15μm生产线的掩模版,但对特征尺寸更小的器件的掩模,只能用电子束曝光系统来制作,特别是用于光学光刻中的铬版制造。

在掩模版制造中应用电子束曝光机,由于不需要多次套准,只要用激光干涉仪控制就可以保证掩模制造所要求的图形位置精度。确定工件台X、Y向的精度和旋转正交性的基准标记永久地设置在工件台边缘成像平面上。在掩模版制造开始过程中必须按规定经常返回基准标记位置进行校正,才能保证精度。掩模版制造的工艺过程如图6所示。

4.2 用于微电子机械、电子器件制造

目前,微电子机械系统(MEMS)制造的主流工艺是与传统IC工艺兼容的技术,例如光刻、刻蚀、淀积、扩散、离子注入等,特别是对于制作象微电机、微泵等机械结构及包括微传感器、微执行器和相关电路往往要采用多次光刻,而电子束光刻具有易于修改,无需制作掩模的优点,因此电子束光刻比常规工艺更有优势。

随着微机械尺寸进入纳米级范围,ERDW系统及能形成大深宽比胶图形的电子束投影曝光系统(如SCAL PEL或PREVAIL)将得到广泛应用。例如,利用LIGA技术制作MEMS时,在形成特种、大深宽比结构时使用的掩模版可以由电子束投影曝光制造。

电子束曝光亦用于GaAs IC、光波导器件的小批量生产[12],如肖特基势垒场效应晶体管要求栅极很窄、栅极与源漏之间对准严格。利用电子束刻蚀时,先作出栅极和源漏极图形对准标记,再用精密的电子束实现30nm以下栅的制备,从而保证极高的套刻精度。

4.3 制作全息图形

电子束与光束一样具有波动性,利用电子的波动性和干涉原理能够制作精细的全息图形。其原理是:先借助近年来研制的高亮度热场致发射(TFE)电子源产生的高能量电子束,再经两级透镜会聚后,穿过电子双棱镜,产生两个波的干涉栅状图形(干涉条纹间隔优于100nm),如果再设置两个正交的双棱镜,就可产生4个波的点状图形,用此方法就能制作出全息纳米结构图形。由于电子束曝光具有极高的分辨率,可将此技术用于高级防伪标识的制作以及重要文件的缩微保存[13]。

4.4 电子束诱导表面淀积技术

电子束诱导表面淀积技术是利用电子束曝光技术直接产生纳米微结构的方法。在电子束曝光机的工件室中引入源气体物质(如某种金属有机化合物),并使其接近电子探针,于是在探针与工件之间一个小区域内,高能量高速度聚焦电子使气体分子分解,建立微区等离子体区,分解析出的金属原子淀积在工件表面形成

纳米尺寸的图形。从理论上,这种加工方法的极限分辨率可以做到纳米量级。电子束诱导淀积技术不仅可以形成金属图形,也可以形成非金属微结构。

5 结束语

近年来,起步于20世纪60年代的电子束曝光技术得到迅速发展,先进的电子束曝光机主要用于0.1~0. 5μm超微细加工,甚至可以实现纳米量级(0.1μm以下)线条的曝光,可广泛应用于高精度掩模、微机电器件制造、新型IC研发等诸多方面,因此正逐步成为半导体器件和微细加工的关键技术之一[14 ~15]。

电子技术应用专业(三年制普通中专)培养方案

电子技术应用专业培养方案 一、专业名称(代码) 电子技术应用 091300 二、招生对象与学制 1、招生对象 初中毕业生 2、学制 三年(2.5年在校、0.5年顶岗实习期)。 三、培养目标 本专业培养一般电子产品生产、应用的一线操作人员、销售与服务人员(从事安装和调试无线电通信、传输设备、广播视听、表面贴装技术等电子产品的中级技能人才)。 毕业生主要面向电子产品生产企业和经营单位,从事一般电子产品的生产、装配、调试、贴装技术、维修和检测等技术工作,从事SMT技术与管理、集成电路芯片生产线上的操作、监控及测试工作,以及电子产品、电子元器件的采购、销售和服务工作。 四、职业素质与职业能力要求 (一)职业素质 遵纪守法,具有积极的人生态度、健康的心理和身体素质、良好的职业道德;具有良好的团队协作意识、人际沟通交往能力和敬业奉献、吃苦耐劳品质;有较扎实的文化基础知识,具有获取新知识、新技能的意识和能力,能适应不断变化的职业社会;了解企业生产流程,遵守各项工艺规程,具有安全生产意

识,重视环境保护,并能解决一般性生产问题。 (二)职业能力 1.具有安全生产、节能环保意识、严格遵守操作规程; 2.能识读工艺文件、装配工艺规范和印制电路板装配图。 3.能用计算机应用软件绘制简单的电子线路原理图。 4.能正确使用工具焊接印制电路板。 5.能判断常用电子元件的质量。 6.能检查印制电路板元件插接和焊接工艺质量,检查和修正焊接和插装的缺陷,并能拆焊。 7.能熟练使用常用电子电工类仪器仪表进行元件质量鉴别和电子产品的功能调试。 8.能维护、保养电子产品,完成简单电子电路的维修。 9. 能对数字电子产品及设备进行调试、运行、维护,并能解决简单的技术问题。 10. 能从事一般及数字电子产品的销售和售后服务。 (三)对应职业资格证书 1.对应职业工种: 电子设备装接工、电子器件检验工、无线电调试工、家用电子产品维修工、音响调音员、电源调试工、表面贴装技术人员。 2.对应职业资格证书: 电子设备装接工、电子元器件检验员、无线电调试工、家用电子产品维修工、音响调音员、贴装技术工程师。 (四)升学

电子技术应用技术专业(中专)人才培养方案

电子技术应用专业人才培养方案 烟台汽车工程职业学院 2011年6月

目录 一、专业名称 0 二、教育类型及学历层次 0 三、招生对象 0 四、学制 0 五、人才培养目标 0 六、服务面向与人才培养规格 0 七、教学进度安排 (2) 八、专业核心课程简介 (3) 九、典型工作任务 (6) 十、实践环节安排 (6) 十一、毕业条件 (8) 十二、教学团队保障 (9) 十三、教学条件保障 (11) 十四、机制与制度保障 (12)

一、专业名称 电子技术应用专业 二、教育类型及学历层次 教育类型:中等职业教育 学历层次:中专 三、招生对象 应届初中毕业生 四、学制 三年 五、人才培养目标 电子技术应用专业坚持育人为本,德育为先,培养德、智、体、美全面发展,掌握电子技术应用的理论知识,具有较高的综合职业能力,胜任电子产品和电子设备的生产、检测、维修与管理以及电子产品采购、销售与服务等电子及相关行业生产、建设、服务和管理第一线岗位的技能型专门人才。 六、服务面向与人才培养规格 (一)服务面向

序号就业岗位 1 电子产品生产、检测、维修、管理 2 电子产品的设计与制作 3 电子产品技术咨询与服务 4 电子设备维护、使用、检测 5 电子产品采购、销售 (二)人才培养规格 1.社会能力 (1)具有诚信品质、敬业精神和责任意识、遵纪守法意识; (2)具有较强的口头与书面表达能力、人际沟通能力和社会能力; (3)具有对新技术与新知识的学习能力和解决问题的方法能力; (4)适应市场竞争能力,具备较强的竞争实力和承受压力的能力; (5)具有良好的人际交流能力、团队合作精神;具有实践能力、创新能力、就业能力和创业能力; (6)加强素质教育,进行外语、计算机方面的能力培养,取得国家承认的相关证书。 2.专业能力 (1)掌握计算机应用的基本知识和能力; (2)掌握计算机软、硬件基础知识; (3)掌握电子信息技术专业的基本理论和专业能力; (4)掌握生产第一线的设备管理与技术管理知识; (5)正确掌握电子线路的分析与设计方法; (6)具备电子信息产品的安装、调试、检测和维护的能力; (7)具备熟练应用电子电路常用的辅助设计软件的能力; (8)具备用传感器及传感技术对参数检测的能力; (9)能够识别和绘制电路原理图和零器件图; (10)具备分析电路,设计和实现简单电路的能力; (11)能够熟悉应用整流、稳压、放大、振荡电路与可控整流电路; (12)具备对常用模拟电路进行分析、调试能力;

电子技术应用专业人才培养方案

电子技术应用专业人才培养方案 一、专业名称与培养方向 电子技术应用 代码:091300 培养方向:以工业控制、电子产品和对口升高职院校为主、以数字视听、 汽车电子为辅。 二、招生对象与基本学制 招收初中毕业生或具有同等学力者,基本学制三年。 三、毕业学分 170+3分(其中3分为技能学分) 四、培养目标 培养与我国社会主义现代化建设要求相适应,德、智、体、美全面发展,具有综合职业能力,在生产、服务一线工作的高素质劳动者和技术技能人才。面向电子信息、电子电气等行业企业,培养具有基本的科学文化素养,良好的职业道德,较强的就业能力和一定的创业能力,从事电子电工产品与设备的生产、安装、调试、检测、使用、维修、营销及生产管理等岗位工作的人才,兼顾学生进一步深造学习的需求。 五、职业范围

六、人才规格 本专业毕业生应具有以下职业素养、专业知识和技能。 (—)职业素养 1.热爱社会主义祖国,将实现自身价值与服务祖国人民相结合,树立社会主义民主观念和遵纪守法意识,遵守职业岗位规范;树立劳动观点,养成良好的劳动习惯,增强实践能力;树立尊重自然、顺应自然、保护自然的生态文明理念;树立正确的职业理想,形成正确的就业观、创业观,做好适应社会、融入社会、就业创业准备。 2.具有社会公德、职业道德意识和文明行为习惯,自觉践行社会主义核心价值观。 3.具有健全的人格、良好的心理品质和健康的身体,培养诚实守信、爱岗敬业、团结互助、勤俭节约、艰苦奋斗的优良品质,提高应对挫折、合作与竞争、适应社会的能力。 4.具有基本的欣赏美和创造美的能力。 5.具备从事电子信息行业所需的独立思考、获取信息、分析判断和学习新知识的能力。 6.具有从事电子信息行业所要求的质量保证意识和严格按照规章和规范操作的工作作风,以及较强的安全文明生产与节能环保的意识。 7.具有良好的人际交往与团队协作能力,具有积极的职业竞争和服务的意识,工作责任感强,工作执行力强。 8.具备从事电子信息行业所需的较强的创新能力和自主创业意识。 (二)专业知识和技能 1.能熟练操作计算机,熟练使用常用办公和工具软件; 2.学会电子电路基础知识,读懂电子电路基本原理,熟练进行电子电路基本实验操作,具备分析电子电路、使用常用电子工具、仪器和仪表的基本能力; 3.学会电工基础知识,具备电工操作基本能力,具备使用常用电工工具和仪表的能力; 4.学会电子产品装配基础知识和基本工艺要求,熟悉电子产品装配的工艺与流程,具备装配、调试和检验常见电子产品、电子设备的能力;

电子技术应用专业调研报告

年份总产值 (亿元) 增长 率 (%) 投资类消费类元器件类 总产值 (亿元) 增长率 (%) 总产值 ( 亿元) 增长率 (%) 总产值 (亿元) 增长率 (%) 三大类产品总 产值比例(%) 表2 电子工业发展速度与占全国工业总产值的比重 职教中心电子技术应用专业调研报告 中等职业学校电子技术应用专业主要培养面向电子产品制造一线的电子产品装配、调试、维修、检验及生产设备操作人员。根据教育部制定的重点建设专业目录所规定的内涵,它包括了电子声像 设备、电子产品营销等若干个专门化课程。 一、电子技术应用专业人才需求分析 电子信息产业是我国国民经济的支柱产业,从电子工业总产值看,平均每年的增长率达到了 30%( 表1),预计在今后的五年内将保持20%以上的增长率,电子工业总产值占全国工业总产值的比 例也在逐年增加(表2),反映出电子信息产业蓬勃发展、欣欣向荣的良好势头。 表1 电子工业总产值统计表 1995 2 470.7 662.0 947.7 861.0 26.8 38.4 34.8 1996 3 042.5 23.1 1 016.7 53.6 1 081.2 14.1 944.6 9.68 33.4 35.6 31.0 1997 4 001.5 31.5 1 238.3 21.8 1 496.1 38.4 1 267.1 34.1 30.9 37.4 31.7 1998 5 482.3 37.0 2 013.8 62.6 2 045.1 36.7 1 423.4 12.3 36.7 37.3 26.0 年份1980 1985 1990 1995 1998 电子工业总产值(亿元) 100.2 286.4 698.1 2 470.9 5 482.4 占全国工业总产值(%) 2.02 3.45 4.9 4.2 7 我国的电子产品制造业主要是以加工业或制造业为主,行业的发展在最近几年里出现了一些新 的势头,一是合资企业的比例正在不断地增大,根据电子工业2000 年实现工业总产值7 000 亿元的目标,预计“九五”期间新增利用外资至少要在30 亿美元以上;二是电子整机产品加快国产化;三 是各企业都向专业化发展,以求取得规模效益;四是企业为技术改造投入的资金大幅度增长。 产业的发展必然带来对人才需求的增长,技术的进步必然要求人员素质的提高。许多企业一方面为了提高人员效率而精简缺乏专业技能的冗余人员,另一方面又大量引入急需的专业技术人员。从近几年 毕业生的就业情况看,各个行业中,电子信息行业的毕业生就业率一直处在前列。 电子产品制造业是一个高技术产业,它对人才的需求具有明显的两方面特点,一是具有高学历 的开发、研究、创造性人才,二是具有较熟练操作技能的中等职业技术人员。以江苏的苏州工业园 区为例,整个园区内具有大专以上学历的专业人员约占17%,这些人员主要是从事电子产品的开发、 研究以及高层次的生产管理,而70%以上员工是职业学校的毕业生,这些人员主要从事装配、调试、维修及生产一线的管理工作。 二、电子技术应用专业的现状 技工学校、职业高中或职教中心办的 3 年制电子技术应用专业,这些学校总体上看在职业教育 方面有自己的特色,比较强调技能训练,特别是技工学校,与企业结合比较紧密,有相当多的教师 直接来自企业或从企业聘请,这些教师从事一线工作的时间长,经验较丰富,比较适合职业教育。 三、电子技术应用专业教学指导方案研究

TFT屏幕工艺标准流程经过

第二章TFT 显示器的制造工艺流程和工艺环境要求 清洗—成膜—光刻—刻蚀—剥离 阵列段是从投入白玻璃基板,到基板上电气电路制作完成。具体见下图: CF 工序是从投入白玻璃基板,到黑矩阵、三基色及ITO 制作完成。具体见下 成膜 [膜[Glass 基[PR 塗布 曝光 [Mask 現像 刻蚀 剥離 [TFT 基 重复[Glass 基

Cell工序是从将TFT基板和CF基板作定向处理后对贴成盒,到切割成单粒后贴上片光片。具体见下图: Module工序是从LCD屏开始到驱动电路制作完成,形成一个显示模块。具体示意图如下: [LCD 绑 [驱动 装 [连接电 [保护 [BLU] [信号基 検 [LCD Module] 第一节阵列段流程 一、主要工艺流程和工艺制程 (一)工艺流程 上海天马采用背沟道刻蚀型(BCE)TFT显示象素的结构。具体结构见下图:

C ' Storage capacitor ITO pixel electrode Cros-s ection -C’ a-Si TFT C Select line Data line 对背沟道刻蚀型TFT结构的阵列面板,根据需要制作的膜层的先后顺序和各层膜间的相互关系,其主要工艺流程可以分为5个步骤(5次光照):第一步栅极(Gate)及扫描线形成 具体包括:Gate层金属溅射成膜,Gate光刻,Gate湿刻等工艺制程(各工艺制程的具体介绍在随后的章节中给出)。经过这些工艺,最终在玻璃基板上形成扫描线和栅电极,即Gate电极。工艺完成后得到的图形见下图:

第二步 栅极绝缘层及非晶硅小岛(Island )形成 具体包括:PECVD 三层连续成膜,小岛光刻,小岛干刻等工艺制程(各工艺制程的具体介绍在随后的章节中给出)。经过这些工艺,最终在玻璃基板上形成 TFT 用非晶硅小岛。工艺完成后得到的图形见下图: C C' Cross-section CC’ C C' SiN a-Si/n+

电子技术及应用课程标准

国家中等职业教育改革发展示范学校建设项目《电子技术及应用》课程标准 锦州市机电工程学校机电技术应用专业

目录 一、课程简介 (3) 二、课程设计思路 (3) 三、课程目标 (4) 四.课程内容和要求 (5) 五、课程实施建议 (9) 六、岗位职业能力标准 (15)

一、课程简介 课程名称:《电子技术应用》 学时:90 授课对象:机电技术应用专业学生 课程性质:电子技术是一门中职学校电类专业学生的专业基础课,内容涉及电类专业学生所学的模拟电路、数字电路、电力电子三部分,应用性很强,因此要求学生既要掌握基础理论知识,又要结合后续专业课程与顶岗实习实际,提高学生实践应用能力。在教学中要根据中职学生的知识基础及就业岗位需求组织教学内容,同时采取理实一体化教学模式,注重理论与实践的融合,从而提高学生分析问题和解决问题的能力。进一步提高学生综合素质,增强适应职业变化的能力,为继续学习打下基础。 先导课程:电工技术应用 后续课程:电子CAD 二、课程设计思路 电子技术是集模拟电子技术、数字电路、电力电子三方面知识为一体的一门课程,其理论性、实践性、应用性较强。为体现其特点,本课程采用理论与实践紧密结合,分模块教学的方法,每一模块安排其对应的教学内容,由浅入深、逐步递进。在教学过程中采用理论与实践教学相统一的专业教师授课,加大实践教学模式,增加学生的感性认识以提高学习兴趣。学生通过本课程的学习达到:熟悉模拟电路的基本元器件、掌握基本单元放大电路与集成电路的组成及分析方法、直流稳压电源电路,组合逻辑电路和时序逻辑电路的特点及应用等等。教学中着重于各种电路的应用。课堂上学到的知识只有通过实用电子电路的设计、制作和调试等环节才能转化为专业能力。

电子束曝光

集成技术中心技术报告
电子束曝光技术
中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心
韩伟华
Email: weihua@https://www.wendangku.net/doc/c118202625.html,



? 设备的组成、性能及相关工艺设备 ? 电子束曝光设备的操作程序 ? 电子束曝光的关键技术
?
? ? ? ? ? ?
曝光模板的设计 电子束光刻胶的厚度控制 电子束的聚焦 坐标系的建立与写场对准 纳米套刻技术 电子束扫描方式与曝光 电子束剂量的比较与技术参数
? 高分辨率的纳米曝光图形的实现 ? 电子束光刻用户的培训

设备的组成与性能
德国EBL Raith150
主要用途
? 量子纳米器件的微结构:如纳米电子器件,AB环 ? 集成光学器件:光子晶体, 光栅, 弯曲波导 ? NEMS 结构 ? 小尺寸的光刻板,如1×1 cm2 ? 对应版图进行SEM观察
主要特征
? 电子枪:高分辨率的热场(Schottky)发射源 (尺寸: 20nm) ? 束能量可调:200eV-30keV ? 图形直写(<0.5μm) :最小线宽分辨率20nm ? 写场可调: 0.5μm-1000μm ? 图形快速生成:10MHz 描写速度 ? 晶片支架:1cm2 样片~ 6inch晶片 ? 水平控制:三点压电接触(自动)或6”激光干涉平台(手动) ? 双PC机控制系统:曝光与SEM测量 ? 图形编辑:GDSII格式,剂量可调

设备的组成

电子束曝光及其相关工艺设备
光刻
衬底
甩胶
衬底 电子束曝光 微米工艺 + 纳米工艺
电子束套刻 ICP刻蚀
衬底
显影
等离子体
衬底 图形转移
金属 衬底 衬底
金属蒸发
去胶 SEM 观察

电子技术课程标准

电子技术课程标准文件排版存档编号:[UYTR-OUPT28-KBNTL98-UYNN208]

《电子技术》课程标准 课程编码:0401006 适用专业:电气自动化技术 学时:154学时+1周综合测评 开课学期:2011-2012学年下学期 一、课程性质 本课程是的电气自动化专业的核心课程,是作为特色专业建设进行“三位一体、以赛促学”项目的重点改革科目,课程采用“教、学、做”一体化授课方式,具有很强的实践性。课程以“电工基础”课程的学习为基础,通过本课程工作任务的实施,让学生掌握常用电子器件使用,理解典型模拟电路和数字电路特性,了解电子电路的分析方法、设计过程,掌握电子电路设计、制作、调试环节的基本技能,掌握设计说明书编写、产品设计方案展示等方面的知识和技能,为继续学习后续专业课程及培养学生进行电气与自动控制设备技术改造、调试与维修的熟练技能打下基础。 二、课程培养目标 本课程以典型电子产品为载体,以典型电子产品单元电路的分析、制作、调试为手段,通过工作任务的实施,培养学生掌握典型数模电电路的基本分析方法,掌握电路设计、制作、调试的基本技能,具备电子电路的应用能力,了解从电子电路到电子产品的设计思路,掌握电路设计制作技术报告编写、产品设计方案展示等相关知识技能,进一步加深学生对电工技术、传感器技术等基础知识的理解和掌握,同时在产品制作的过程中,强化学生的团队意识,进一步提高学生的沟通交流能力和协作能力。 (一)知识目标 数字电路部分: 1)掌握数制和码制的基本概念及相互转换的方法; 2)掌握逻辑事件的基本描述方法及各种方法的特点与作用; 3)掌握门电路和组合逻辑电路的基本特点以及典型组合逻辑电路的工作原理、分析与设计方法;

电子技术应用专业人才培养方案

电子技术应用专业人才培养方案 时间:2013-08-28 13:11:59 来源:作者: 前言 电子产业是一项新兴的高科技产业,一直被称为产业。目前我国已成为世界电子产业大国,包括电子产品设备的制造、电子元器件的制造、IC设计与制造、封装测试、消费类电子的生产等。近些年中国电子设备制造业每年以10%-20%的速度增长,生产规模已经据世界第三位,电子设备制造企业对不同层次的人才需求也越来越大。 “十二五”期间,省将巩固发展电子产业链,相继落户的中芯国际项目和项目是建国以来可与神龙项目相媲美的重大战略性投资项目。根据项目规划,产业园将总共吸纳15—20万各类人员就业。省信息产业人才自今年起每年的需求将达到3万人,到2015年,全省信息产业人才总量将由去年的12万人增长至24万人,其中电子技术应用行业的技术蓝领需求最旺,为本专业的发展提供了新的历史机遇。 市作为鄂中重镇,下辖一市二县三区,常驻人口380万人,经济总量在省位居第7名,电子及相关产业是本市支柱产业之一,肩负着推进经济增长和人民就业的重要历史使命,也是解决三农问题的重要推手。 经过多年的建设和发展,我校电子专业在省外中职学校中享有一定的知名度,在省、市级电子技能竞赛获得各级各类奖项40余人次。在师资队伍建设、实训基地建设、课程及教材、“校企融合、教产一体”的工学结合人才培养模式建设等方面在同类学校中处于领先水平,是省重点专业和品牌专业。 一、指导思想 本人才培养方案以科学发展观为指导,以市场需求为导向,以能力为本位,以岗位需求和职业标准为依据,以培养学生综合职业能力为目标,结合我国电子行业当前发展的人才要求,注重本专业的课程体系、教学容与企业的实际需求相适应,按照工学结合、校企合作的理念,构建具有时代特色的电子技术应用专业课程体系,创新人才培养模式,全面实现电子技术应用专业中级技能人才的培养目标。 二、培养目标与规格 (一)专业名称 电子技术应用(代码: )

电子技术应用专业技能考核标准

重庆市黔江区民族职业教育中心 电子技术应用专业技能考核标准 一、目前学校技能训练目标实现情况 我们招收的学生绝大多数是初中毕业生,技能基础处于同一起跑线,大多数学生对技能训练兴趣很浓,喜欢动手去做,是学校老师的共识,但学生缺乏自觉性,学校又缺乏这方面的严格管理,缺乏对老师严格的考核制度和考核标准。不像普通教育那样,同一年级同一学科的成绩可以比较,一个学期结束,或者一个课题完成,仍然以理论成绩考核为主,不重视操作成绩的考核,既无纵向比较又没有横向比较,奖惩机制不健全,让绝大多数学生没有达到预期技能训练目标,一个人会做和二十个会做是一个心太,只看技能训练任务的完成,不重视结果的考核,结果老师和学生都没有压力,这与我们学校没有制订严格的技能训练目标的量化考核制度、考核标准有直接的关系。 二、建立合理的奖惩制度,提高技能训练指导老师的积极性 实现“模块”技能训练的高目标,我们的技能训练指导老师是要付出很多的心血,牺牲很多的休息时间,加大了工作力度和工作量,同时对指导教师提出更高的要求,不但是理论教学老师,实习指导老师,而且还要有丰富的实践经验,较强的组织能力,我们学校的专业老师面临向“双师型”老师过渡。我们老师应立足学校现有的实验实习设备和场地制订各“模块”技能训练任务、目标、量化考核标准,建立合理的奖惩制度、激励机制,酝造好的教学氛围,当我们的指导老师完成各“模块”技能训练教高目标并达到规定的量化考核标准时,我们应该给予适当的物质奖励和精神奖励,如“优秀实习指导教师”和相应的“技能训练目标实现班级”等称号,如没有达到规定的技能训练目标,应给予适当的物质惩罚,设立模块技能训练量化考核达标奖,以提高老师的教学积极性、主动性,增强其技能训练教学中老师的动力。做到奖惩分明,体现能者多劳多得,这样既给老师动力又有压力。 三、制订合理的“学期”或“月”技能训练目标 我们每个专业各“模块”的技能训练目标,有的是一个月可以完成,有的是

电子技术应用专业岗位分析报告

电子技术应用专业岗位分析报告 (初稿) 我校“国家中等职业教育改革发展示范学校建设”正如火如荼的开展,2012年12月5日至12月14日,电子技术应用专业部张立炎、郭达恩、朱儒华、吴峰良、陈春明、黄晓欣、雷彦维等七位老师先后赴清远欣强电子有限公司、伟易达(东莞)通讯设备有限公司、深圳中宇元一数码科技有限公司、惠州市光弘电子科技有限公司等四家良好合作企业的生产主管、工程师、技术员、维修员、人事部主管就人才培养模式改革和课程体系建设进行了访谈,调查的目的是做好人才培养模式改革与课程体系建设的工作,对电子技术应用专业培养学生的核心技能进行准确定位,为国家中等职业教育改革发展示范学校建设的校企合作、师资队伍建设项目做好铺垫。 一、调研目的 通过此次调研为国家中等职业教育改革发展示范校建设电子技术与应用专业的人才培养模式和课程体系改革提供第一手数据资料,具体体现为: 1.通过对毕业生就业岗位及岗位群分布的调研分析,了解电子技术应用专业的服务岗位群,确定本专业人才培养模式如何实现学校与企业、专业设置与职业岗位相对接的目标。 2.通过对毕业生就业岗位的调研分析,确定学生文化基础、职业道德、职业素养、职业技能和就业创业能力等综合素质的培养要求。 3.通过对企业对毕业生就业岗位需求、专业知识、专业技能等方面要求的调研,确立本专业的课程体系、课程标准,和本专业的培养目标。实现课程、教材与职业标准对接。 4.通过对中职生就业典型岗位的分析,创新教学方式。建立电子技术应用专业的教材建设机制,研发适应新兴产业、职业岗位、与生产过程相对接的理实一体教材和项目教材。 5.通过毕业生对学校教学工作的建议和企业对毕业生的社会能力、职业素养的具体要求的调研分析,根据产业发展规划和企业用人需要,确立动态设置专业及课程体系、创新教材使用方式,实现教材、教辅、教具、学具、课件和网站等多种介质的立体化融合.

电子技术应用专业教学计划

电子技术应用专业教学计划 一、招生对象与学制: 招生对象:初中毕业生 学制:三年 二、培养目标与人才规格: 本专业培养德、智、体、美全面发展,与我校地方经济发展的需求相适应,掌握应用电子技术专业必备的基础理论和专门知识,具有从事本专业实际工作的综合职业能力和全面素质,在电子技术应用、推广、产品生产、维护第一线的高级应用型技术人才。 毕业生应拥护中国共产党的领导,坚持走社会主义道路,努力学习马克思主义、毛泽东思想的基本原理和邓小平理论,具有爱国主义、集体主义和良好的思想道德素养,有强烈的社会责任感、明确的职业理想和良好的职业道德;团结协作,遵纪守法,艰苦奋斗,热爱劳动;具有积极进取的职业心理素质,勇于自谋职业和自主创业。 毕业生应具有一定的文化基础知识,掌握本专业所需的基础理论、专业知识和初步的社会创业知识;具备从事本专业工作的基本能力和基本技能,能运用本专业的知识和技术分析和解决实际问题;具有一定的信息收集与处理能力、知识更新能力、语言交流能力、计算机应用能力以及团结协作、社会活动能力等;具有一定的创新精神和较强的实践能力,能适应职业岗位的变化,能适应科技进步和社会发展的需要。 三、知识结构、能力结构的简要说明 1 .本专业的毕业生应获得以下几个方面的知识: (1) 必备的文化基础知识; (2) 电子整机中常用元器件与材料的功能与性能; (3) 各种常用功能电路的组成原理及性能; (4) 典型电子整机的组成原理及各部分元件与功能电路的作用; (5) 电子整机生产中所用到的各种新技术、新工艺; (6) 电子产品营销。 2 .本专业的毕业生应具备以下几个方面的技能和能力: (1) 准确的汉语语言及文字表达能力; (2) 收集和处理本专业相关的信息的能力; (3) 一定的社会活动能力、择业和创业能力; (4) 电子整机装配、调试、维修及电子产品检验能力; (5) 系统安装、调试及使用管理能力; (6) 电子整机生产过程中所用到的生产设备的操作与维护能力; (7) 简单电子产品的设计与开发能力; (8) 基本的计算机应用能力; (9) 简单的英语专业资料阅读能力。 四、本专业毕业生适应的就业岗位 (1) 电子整机产品装配、调试与检验; (2) 电子整机设备维修; (3) 电子产品生产设备操作与维修; (4) 电子整机产品生产工艺管理;

探讨中职电子技术应用专业

探讨中职电子技术应用专业 【摘要】全面提高学生的素质,培养学生的创新能力和创新精神,成为我国二十一世纪教育的主题。而电子技术应用专业,其陈旧的教学内容,传统的教学方法和教学手段,已不适应现代中等职业培养目标的需要。在创新教学思想的指导下,对电子专业课程的教学内容、教学方法和教学手段进行创新探讨,从而激发学生学习的积极性,调动学生学习的主动性和创造性,培养学生分析问题、解决问题的能力。改进提高教育教学质量。 【关键词】电子技术;应用;创新教学;探讨 教育部早在2004年就曾指出:中等职业学校要主动适应经济和社会发展需要,以就业为导向确定办学目标,找准学校在区域经济和行业发展中的位置,加大人才培养模式的改革力度,坚持培养面向生产、建设、管理、服务第一线需要的“下得去、留得住、用得上”,实践能力强、具有良好职业道德。在中等职业学校电子技术应用专业课教学中最为重要的是实施创新教学,加强学生创业意识、创新能力和创新精神的培养,以新的思维方式创造性地解决问题,提高未来职业变化的应变能力,成为社会主义现代化建设事业的创新型人才。 一、专业课教学创新是时代的召唤 21世纪是知识经济时代,知识经济的本质是创新。“一个没有创新能力的民族,难以屹立于世界民族之林”,同样“一个没有创新能力的学校,难以长远健康发展”。事实证明,一个国家的综合实力越来越体现在国家的创新能力上。我国目前很多企业亏损,其中一个重要原因就是产品的科技含量低、人员素质低、创新意识差。目前在我们的教育中,仍然存在着“重维持,轻创新”,“重知识传授,轻能力培养”的旧思维方式,学生独立性差,依赖性强,没有主见,不敢想更不敢为,承受挫折的能力弱,创新教育薄弱导致创新素质差。这个问题应引起我们的深思和重视,中等职业学校培养大批创新型人才,是民族进步的需要,是国家振兴的需要,也是个人发展的需要。职业教育担负着培养服务一线的技术技能人才的重任,专业课教学必须与时代相适应,专业课教学创新是时代的召唤。 二、要创新教学内容 中职教育的培养目标是培养生产、建设、管理、服务第一线所需的中等应用型专门人才,它要求受教育者最终应具备较快适应生产、建设、管理、服务第一线岗位需要的实际工作能力。 1.从课程的教学目标出发,选择教学内容,把握理论上的度. 现用的中职教材并不是一本就完全适用于中职生,中职的学生,一般其文化课基础本身就比较差,而进入中职所学的专业课都是些以前完全没见过甚至没有听说过的内容和学习方法。对于专业课的学习更是难上加难。因此对于教材必须

电子技术应用专业课程评价制度体系

电子技术应用专业课程评价制度体系 为了深化我校电子教学改革,推进素质教育,创造多元化的评价体系势在必行。如何构建与之适应的新的评价体系,首先要认真研究新的课程标准与教材,其次在构建评价体系时一定要体现新的评价理念、内容、方法和标准,建立和逐步完善多元主体共同参与的评价制度。学习评价应与课程目标相一致,既要关注学生知识的掌握和能力的提高,又要关注学生情感、态度与价值观的形成和发展;既要关注学生学习的结果,又要关注学生在学习过程中所作的努力;既要关注教师对学生的评价,又要关注学生的自评、互评。将过程评价与终结性评价有机结合,发挥学习评价的诊断功能,体现其激励与教育功能,有利于营造良好的学习环境,有利于师生的共同成长。特制定“连云港市职教中心电子课程评价指标体系”。 一、电子课程评价方案的目的与依据 电子专业学生学习水平的评价应充分体现全面推进素质教育的精神,体现电子专业《课程标准》的基本理念,着眼于评价的教育、激励与改善的功能,通过科学的评价,激发学生学习电子专业技能的兴趣,促进学生的全面发展。电子课程评价应有利于学生了解自己的进步,建立自信,促进观测、现场操作、工件制作、等创造能力的发展,有利于教师总结,提高教学水平,发挥评价的激励和促进作用。本方案制定的依据为:连云港市职教中心《电子课程标准》。 二、评价原则 依据《电子课程标准》要求,评价要遵循“导向性原则、科学性原则、可操作性原则”实事求是,公正严谨地进行评价。 (1)明确评价的主体与责任 学生是评价的对象,也应成为评价的主体。在评价活动中,应给学生自我评价的权利和评价他人的责任,让学生更多地发挥主体的作用。 (2)把握评价的依据与内容 评价的依据是课程目标。应对学生从基础知识的掌握程度、基本技能的运用程度、发展水平;学生的职业规范、工作态度、职业素养,学习的潜能,提出问题和探究问题的能力等方面作出评价。 (3)实施多元评价 多元评价是指实施主体多元、形式多元、内容多元和目标多元等评价,实施时应根据评价的目的和内容进行选择。采用教师评价、自我评价、学生互评、职业技能鉴定评价相结合,通过定性与定量、过程与结果等形式,从知识、技能、情感态度等方面进行评价,对不同层

应用电子技术专业调研报告范文

应用电子技术专业 调研报告

应用电子技术专业调研报告 一、调研概况 1. 调研目的: 以教育部16号文件《关于全面提高职业技术教育教学质量若干意见》和镇江高等职业技术学校关于“暑期专业调研活动方案”为精神,为主动适应区域经济和社会发展的需求,准确把握并及时跟踪市场变化,调整专业建设方向,努力推进学校的加速发展,应用电子技术专业调研小组进行暑期专业调研活动。 调研的主要任务是经过暑期专业调研进一步了解和掌握社会对专业人才的知识结构、能力结构的总体要求;了解和掌握相关职业岗位对毕业生在职业素质培养上的具体要求;了解和掌握我市行业产业发展动态,经济发展规划、相关职业岗位保有量状况以及对专业人才的需求预测。依据企业岗位设置和对生产与服务一线应用型人才的要求,结合就业现状和职业生涯发展的需求,明确本专业人才培养规格和培养目标,探索专业人才培养的方案、途径与教学改革新思路。 2. 调研时间: 二〇一三年六月下旬——二〇一三年七月中旬 3. 调研对象: 行业企业专家、行业管理部门相关人员、企业负责人和部门主管;生产企业的一线工人、技术人员、工段长、车间主任等;政府管理人员、规划人员等。

4. 调研方法: (1)问卷调查 针对群体为本专业毕业生和企业人事工作人员。 (2)实地考察 针对本专业校外实训基地进行实地考查。 (3)专题讨论 由本专业建设专家指导委员会引领,专业负责人主持,行业企业主管支撑,骨干教师参与,针对人才培养进行专题讨论。 (4)网站查阅 充分利用网络资源对本次调研中的不足进行完善和补充。 5. 参加调研人员: (1)总负责:师平(机电工程系主任)李烨(电子专业带头人)

电子技术基础课程标准-电子技术应用专业

电子技术基础课程标准 【课程名称】 电子技术基础。 【适用专业】 中等职业学校电子技术应用专业。 1.前言 1.1课程性质 本课程是中等职业学校电子技术应用专业的一门专业核心课程,也是一门专业必修课程。其功能是使学生掌握电子技术应用专业必需的电子技术基本理论知识和线路分析方法,正确使用测量工具和仪器仪表对电路进行元器件检测、电路参数测量和电路原理分析。为胜任电子产品操作、装配、调试、质检等一线岗位奠定专业基础。本课程是电子电路分析与检验、电子元器件检测、电子产品装调与维修等课程学习的基础,也是电子线路设计与制版、电子产品编程与调试课程的前修课程。 1.2设计思路 本课程的总体设计思路是遵循任务引领、理实一体的原则,根据电子技术应用专业工作任务与职业能力分析,以电子技术应用专业所需电子技术基本理论知识和基本技能为依据设置本课程。 课程内容的选取紧紧围绕完成电子线路装调、测量与工作原理分析所需的职业能力培养需求,同时充分考虑本专业学生对相关理论知识的需要。 课程内容的组织以电子元件测量、电子线路安装和调试为主线,包括电源电路的搭建与调试、直流稳压电路的搭建与调试、晶体管放大电路的搭建与调试、集成逻辑门电路识别与检测、组合逻辑电路分析与设计、触发器电路检测与调试、时序逻辑电路分析与设计、脉冲波形的产生与变换8个学习任务,以任务为引领,通过任务整合相关知识、技能与态度。 本课程建议为108课时。 2.课程目标 通过本课程的学习,学生具备电子元器件的识别、检测相关知识,能够分析电路的工作原理,按照标准作业程序完成电子线路的装接、调试、电路参数记录等相关技术操作,达到以下职业能力素养和职业能力目标: 职业素养目标: 逐渐养成认真负责、严谨细致、静心专注、精益求精的职业态度;增强安全意识和规范意识,严格遵守电子技术行业相关的安全文明操作规程,养成良好的安全文明操作的行为习惯;具有较强的节能环保意识,根据功能要求合理选择元器件,注意节约电能,养成良好的节能环保行为习惯;养成吃苦耐劳、不怕累不怕苦不怕脏的职业精神。

应用电子技术专业简介

应用电子技术专业简介 专业代码610102 专业名称应用电子技术 基本修业年限三年 培养目标 本专业培养德、智、体、美全面发展,具有良好职业道德和人文素养,掌握电工基础、电子技术基础等现代电子技术专业知识,具备计算机基本操作与应用、电路识图与绘图、PCB 版图绘制与制作、电子线路的安装与调试、单片机等智能电子产品软硬件开发能力,从事现代电子产品设计应用、电子产品安装调试与生产管理、设备维护、工艺与质量管理、技术支持、工程施工、产品销售及售后服务等工作的高素质技术技能人才。 就业面向 主要面向现代电子信息产业,在高科技电子产品和设备的生产、建设、服务、管理的电子产品设计开发、电子产品安装调试与生产管理、技术服务与管理岗位群,从事电子工程技术应用、仪器仪表等产品装配调试、电子产品生产管理与技术服务等工作。 主要职业能力 1.具备对新知识、新技能的学习能力和创新创业能力; 2.具备正确选择并熟练使用通用电子仪器、仪表及辅助设备的能力; 3.具备使用计算机辅助软件绘制简单电子电路原理图、设计 PCB 版图的能力,初步具备计算机辅助设计能力; 4.具备分析电路功能,并使用专用仪表检测电路参数、调试电路、检修电路故障的能力; 5.具备一般功能的智能电子产品样机开发、硬件电路设计、软件设计能力;

6.具备从事一般电子信息产品的销售和售后服务的能力; 7.具有安全生产、节能环保以及严格遵守操作规程的意识; 8.掌握简单电子产品电路图、安装工艺文件、检测工艺文件的阅读方法,具备按要求操作专用设备进行电子线路的安装与调试、检测的能力; 9.了解常用电子元器件的基本结构和基本特性,具备常用电子元器件的识别和检测能力。 核心课程与实习实训 1.核心课程 电工基础、模拟电子技术、数字电子技术、电子产品生产与检验、单片机技术应用、电子产品制图与制版、信号检测与处理、电机与电气控制技术等。2.实习实训 在校内进行钳工、电工、电子、电气控制等实训。在电子信息等企业进行实习。 职业资格证书举例 电子设备装接工无线电调试工家用电子产品维修工电子产品制图员维修电工 衔接中职专业举例 电子与信息技术电子技术应用 接续本科专业举例 电子信息工程电气工程及其自动化电子科学与技术

电子技术应用专业课程表(12.7))

电子技术应用专业课程表 日期 上午下午 内容教师地点内容教师地点 第一周 (10月16日) 星期五单片机技术来海军B403 单片机技术来海军B403 第二周 (10月19日) 星期一电子行业发展讲座张爱军A413 电子电路设计、制作与调试(设计)苑冰A413 第三周 (10月26-29日)星期一嵌入式系统讲座A413 电子电路设计、制作与调试(设计)苑冰A413 星期二电子电路设计、制作与调试(设计)苑冰A413 单片机技术来海军B403 星期三电子电路设计、制作与调试(设计)苑冰A413 单片机技术来海军B403 星期四单片机技术来海军B403 电子电路设计、制作与调试(设计)苑冰A413 第四周(11月2日-7 日)星期一“智慧地球”讲座A413 单片机技术来海军B403 星期二电子电路设计、制作与调试(protel)苑冰B403 数字系统设计与VHDL赵增荣B403 星期三 电子专业技能竞赛protel设计原 理图与PCB举例 苑冰A413 电子电路设计、制作与调试(protel)苑冰B403 星期四单片机技术来海军B403 数字系统设计与VHDL 赵增荣B403 星期五电子电路设计、制作与调试(protel)苑冰B403 模拟电子技术刘波粒A413 星期六单片机技术来海军B403 模拟电子技术刘波粒A413 第五周(11月9日-12 日)星期一鹿泉职教中心参观 辛涛、武 现聪 单片机技术来海军B403 星期二模拟电子技术刘波粒A413 数字系统设计与VHDL赵增荣B403 星期三数字系统设计与VHDL赵增荣B403 电子电路设计、制作与调试(protel)苑冰B403 星期四模拟电子技术刘波粒A413 数字系统设计与VHDL赵增荣B403 第六周星期一迅达电梯公司参观武现聪单片机技术来海军B403

电子技术应用专业总结

电子技术应用专业示范校验收建设总结两年以来,电子技术应用专业严格按照建设方案和任务书的要求展开项目建设,规范管理,有序推进,各项任务指标均已圆满完成。其中,人才培养模式及课程体系改革与建设、师资队伍建设、校企合作工学结合运行机制等项目的指标达到预定目标,完成率达100%。 一、人才培养模式与课程体系改革 本专业以适应社会需求和学生就业需要为导向,构建了具有本专业特色的“2321”人才培养模式,新的培养模式满足了学生多样性、个性化的要求。根据企业调研、专家论证,改革了本专业课程体系,建设了《电工技术》及《电子技术》两门精品课程。根据学校制定的技能达标体系,采用项目化教学方式开发了《家用电器维修》及《制冷设备维修》两本校本教材。根据市场需要,将汽修汽驾课程作为专业公共课程,拓宽了学生就业渠道。加强学生心理辅导,培养学生积极的人生观和健康的心理,保证学生能顺利在企业中工作,满意率高。 (一)积极开展行业、企业调研 为了更好地确立电子技术应用专业人才培养目标,构建与行业、企业人才需求和就业岗位相适应的课程体系及课程标准,我们组织了十多位教师开展了行业、企业的市场调研,调研了佳能、赛特勒等十余家大中型企业。调查涉及电子电器制造、通信技术、家电服务等行业,调查的对象有一线员工、毕业学生、班组长、车间主任、部门经理、人力资源部长、企业老总等。我们通过发放调查表、深入企业考察、与负责人和员工交谈等形式,了解企业对人才的需求状况、中职学生毕业后从事的职业岗位、企业对中职学生的知识、专业技能、职业素养等方面的要求及中职生今后的升迁途径,为我们确立电子技术应用专业的人才培养目标、专业课程设置、确定学科课程标准提供了重要依据。 (二)确立本专业的培养目标 我们通过对调查企业中职生职业岗位需求、学生知识结构、专业能力、职业素养要求、就业经历、工作升迁途径等方面进行详细分析,经过分类、归纳、总结,形成了本专业市场调研报告,确立了本专业的人才培养目标。

网版制作工艺流程(doc 6)

网版制作工艺流程 目前,市场网版制作工艺因其原材料不同,生产工艺也就有所不同。据了解,目前市场上用来制作网版的原材料有三种类型:液态型直接法感光胶,预敏化型的直接法胶片及间接法胶片。由于三种原材料的特性与功能不同,其使用操作工艺也就有所不同。 一、液态型直接法感光胶 感光胶的优点是工艺简单、经济、实用。其特性有曝光速度快,网版经久耐用而且去膜容易,优良的耐溶性,其生产工艺流程是: 网前处理及选网→配胶→涂胶→干燥→曝光→显影→待用 其工作环境为温度15~20℃,相对温度50~65%,黄灯下暗房操作。 ※网前处理及选网 新丝网在使用前必须用磨网膏进行网前处理,每个网版都要用脱脂剂彻底脱脂,具体操作方法是用水淋湿丝网两面,涂上磨网膏或脱脂剂,然后用毛刷涂均匀并静置1分钟,最后用清水冲洗干净。 使用过的网如果不再使用,可用脱膜剂浸泡,然后清洗干净,使用前必须做脱脂处理工艺。 丝网清洗好后,烘干处理待用。制网者可根据所需要的网牍目数进行选网:丝

印线路一般用120T/cm,阻焊100-120T/cm,字符100-120T/cm,碳桥油43-120T,印剥离兰胶18-36T。 ※配胶 直接法感光胶目前市上有二种类型:一种是单液型,这种类型是把敏化剂在生产时直接配制的感光胶,可直接使用的类型;另一种是“二元固化”感光胶。这种感光胶在使用前必须进行配置,即把敏化剂加入适量水均匀搅拌后倒入感光胶中,经过上下左右充分搅拌,即配制完成。配胶工作最少要在使用前两个小时完成,最佳的方法是在前一个工作日下班前配好胶,第二天上班即用。切记,配好的胶必须静置2小时以上,让胶中泡沫消失才可使用,否则会出现意想不到的质量事故。 ※涂胶 把干燥好的待用网放置在涂胶台上,把适量的感光胶倒入刮刀内,先涂印刷面(丝网的凸面),后涂油墨面(丝网的凹面),一般每面3刀次,如果要求厚网版,那么可分多次涂刷,即第一次涂胶后,立即放入30-40℃的烘箱中烘干,取出丝网再次涂胶,根据所要求厚度,决定涂胶次数,注意一般印刷面(凸面)要比油墨面(凹面)多涂2-3刀次。 涂胶工艺十分重要,网版质量好坏,全靠涂胶,要求版面厚度均匀一致,有立体感。 ※干燥 丝印感光胶涂刷完后,先静置1-2分钟,然后把丝网放进40℃左右的烘箱中

相关文档
相关文档 最新文档