沸石转轮系统焖烧风险防控

DOI ： 10.16660/j .c n k i .1674-098X .2016.31.027

工程技术---------------------------------2016 NO.31

Science and Technology Innovation Herald

科技创新导报

沸石转轮系统焖烧风险防控

付笃1杨晓春1严晨圆2陈娟2

(1.中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海201203;2.上海达恩贝拉环境科技发展有限公司上海200127)

摘要：随着VOCs 治理的要求日趋严格，适用于治理大风量，低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs 废气治理中的应用越来 越广泛。然而，在实际应用过程中，可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础，从降低VOCs 残留，提 高脱附效率，强化监控措施，强化风险防范及设备维护保养，加强风险管理制度等方面，为国内芯片制造企业提供加强风险防控的建议。

关键词：芯片制造业沸石转轮VOC 治理风险防范中图分类号：X 78

文献标识码：A

当今，我国芯片制造行业正在飞速发展，行业技术日新月 异，产品规模持续走高。芯片生产制造过程中，V O C s 排放量 也日趋显著。

目前国内外对V O C 的末端治理方法有：冷凝、吸附、氧 化、生物处理、吸收、等离子体净化等。针对芯片制造业有 机废气的产生特点，以沸石材料为载体的吸附浓缩法处理 V O C 废气（沸石转轮）得到了较为广泛的应用。

1研究背景

随着新的《大气污染防治法》（主席令第31号）、《大 气污染防治行动计划》（国发[2013]37号）、挥发性有机物 (V O C s )污染防治技术政策（环保部公告2013年第31号）等 政策、文件的相继出台，全国对V O C s 污染物防治的要求和 力度逐渐加强。

芯片制造业生产过程中使用大量的有机溶剂作为清洗 剂、光刻胶、剥离液、稀释液等，故产生一定量的V O C s 废气， 废气通常具有大风量、低浓度等特点。为了有效地治理芯片 制造业V O C s 废气，适用于大风量、低浓度废气治理的沸石 转轮吸附浓缩法成为了行之有效的优选治理方案。

文章编号：1674—098X (2016)11(a )—0027—04

然而，芯片制造企业在采用沸石转轮法治理有机废气的 实践应用过程中，常发生沸石转轮焖燃等风险事故，存在一 定的风险隐患?。

因此，调查并总结沸石转轮系统运行过程中潜在的风 险隐患，寻找预防、改善或解决途径，对沸石转轮系统在 芯片制造业更安全、稳定、高效地运行具有非常重要的意 义。

2焖烧事故原因分析

焖烧事故分析：通过对业界某次沸石转轮焖烧事故开 展的调查分析发现，导致焖烧事故的原因主要有如下几个方面。

(1)

发生焖燃的沸石转轮系统由于长期运行，其转轮内

部积聚了较高浓度的高沸点物质。

(2) 企业沸石转轮的脱附风机运行频率设置偏低，使得 脱附效率降低，更多V O C s 残留在沸石转轮内部，未有效脱 除，在长期运行已有的V O C s 残留基础上进一步积聚。

(3)

该套沸石转轮虽内置水喷淋头，并设有自动控制系

统，但在焖燃过程中失效，无法正常运行，导致燃烧蔓延。

表1

调查的焖烧事故情况简介

事故类型事件经过

事件影响(范围、损失等）

焖燃

业界某企业沸石转轮系统的转轮部件发生燃烧， 导致转轮完全损毁。

事故未造成人员伤亡，但该套设备的转轮整体损毁，造成了一 定的经济损失。

表2

加装水洗装置后各厂运转情况一览表

工厂风量（m 3/h )入口浓度（ppm )高沸点化学品水洗状况总运行时间(年）目前效率（％)150 000?60 00080?180高4~6次/年595?99240 000?55 00080?300微量1次/年384?87360 000?80 00040?200中3~4次/年0.593?94418 000?40 00080?120少量2次/年193?97530 000?50 00030?120中-190?95635 000?45 000400?600高5~6次/年180?927*

30 000?50 000

80?180

高

0次

2?3

60?80

备注：*所指代的工厂沸石转轮系统未加装水洗装置。

科技创新导报 Science and Technology Innovation Herald 27