赛瑞达PECVD软件使用说明

目录

软件使用说明 (2)

1启动 (2)

1.1启动 (2)

2.进程管理 (2)

2.1温度实时显示 (3)

2.2运行信息 (3)

2.3报警显示功能 (4)

2.4阀门、压力及流量控制功能 (4)

2.5机械手控制 (5)

2.6炉门控制 (6)

2.7工艺控制 (6)

3.工艺管理 (8)

3.1窗口介绍 (8)

3.2工具栏介绍 (9)

3.3工艺信息表 (9)

4.实时曲线 (10)

4.1曲线查看 (10)

4.2工具栏 (11)

5． 历史记录 (11)

5.1查询历史数据 (11)

5.2数据操作 (12)

6P E C V D参数配置 (12)

6.1舟位调整 (12)

6.2炉管名称 (13)

6.3报警参数设定 (14)

7．事件日志 (15)

7.1查询 (15)

8.用户管理 (15)

8.1添加和删除用户 (15)

8.1修改用户权限 (16)

9串口配置 (17)

9.1串口 (17)

软件使用说明

1启动

1.1启动

将计算机电源打开，启动计算机。

点击桌面“P E C V D工艺自动化计算机控制系统”快捷图标，出现登陆画面(如图1.1)。输入正确的用户名和密码，点击“登录”按钮即可登录到系统，单击“取消”退出。

（提示：第一次登陆默认的管理员用户名为“a d m i n”密码为空。登陆系统后管理员可以更改密码，添加其它用户。）

图1.1登陆

2.进程管理

软件登录后，自动打开进程管理窗口。

图2.1进程管理窗口

2.1温度实时显示

PV：实时显示温度测量值。分两组，上面一组用来控温，下一组用来温度报警和温度异常处理，当控温组温控表出现断偶情况，下面一组自动接替工作。

SV：实时显示温度设定值，并且可以通过单击设定温度。SV 分五段分别控温，可以实现梯度温区。

2.2运行信息

状态：显示当前设备运行情况：手动状态或者工艺运行状态

步号：显示当前运行的工艺步。

步名称：显示当前步的名称。即“工艺编辑”窗口\“步列表”\步信息的内容，需要用户编辑。

工艺名称：当前运行工艺的名称。

产品批号：需要用户输入。

本步运行时间：显示本工艺步的已运行时间。

本步剩余时间：显示本工艺步的剩余时间。

2.3报警显示功能

1).P L C通讯异常：计算机与P L C通讯过程中，计算机端口设置错误、P L C未上电，P L C无应答或者报文出错，指示灯亮；

2）工艺结束：一个工艺运行结束，蜂鸣器响，工艺结束指示灯亮。提示用户将面板上的“运行\复位”开关扳到左侧，复位工艺。

3）超温脱扣：炉体温度超过1000度，加热自动跳闸；

4）漏气：工艺运行过程中，当主抽阀打开，1分钟内“真空”指示灯未亮，蜂鸣器响，报警指示灯亮。

5）极限位报警：感应式位置继电器损坏或者位置调整不好。

6）气体报警：根据“P E参数配置”\“报警设定”参数，实时的显示报警状态;

7).报警记录以文本形式记录，打开“事件日志”窗口可以察看。

2.4阀门、压力及流量控制功能

气路图中的阀门和流量计实时显示气路状态，并且可以通过单击阀门图标开关阀门，通过单击流量计图标设定流量。

当工艺管内压强为大气压时，“常压”指示灯亮，压强低于2000p a时，“真空”指示灯亮，压力低于1360P a时，压力实时显示,工艺时通过单击蝶阀图标改变蝶阀的开度，控制压力在一定范围内。

操作互锁及提示：

1）在自动运行状态下，手动操作被禁止；

2）手动输入时，系统会自动检查输入数值是否在规定范围内；

3）工艺气体互锁，不允许同时打开送气阀；

4）危险气体，打开时需要确认；

5）炉门未关闭时不允许开阀；

6）“真空”指示灯未亮时不能打开主抽阀；

图2.3.1

图2.3.2

图2.3.3

2.5机械手控制

在“手动”状态下：“前进”、“后退”、“上升”、“下降”按钮分别控制机械手前进、后退、上升和下降，并且实时显示舟当前状态（对应的按钮背景色变为绿色）

舟速：实时显示舟水平运行时的速度，单位mm/min；单击“舟速”显示栏弹出舟速设定窗口，可以随时修改舟速，通常设为1000，不易过快。

水平舟位：实时显示舟水平位移，零点为舟的后限位；

垂直舟位：实时显示舟垂直位移，零点需要调试；具体调试过程请看“PE参数配置”\“舟位调整”；

舟状态：实时显示舟的运动状态；

操作互锁及提示：

1）炉门“开到位”指示灯亮，才能进舟；

2）舟“进到位”指示灯亮或舟在“放舟位”时，才能上升和下降； 由于惯性，舟运

行时超过“放舟位”，所以“放舟位”指示灯不能点亮，稍微后退可以点亮“放舟位”指示灯。或者用金属物挡住“进限位”感应开关，可调整上下位置；

3）舟“退限位”指示灯未点亮时，不能关闭炉门。

图2.5.1 机械手运行轨迹

在调整舟位或者中止工艺的情况下，需要手动取舟或者手动放舟，操作方式如下：

手动取舟：首先保证机械手在低位(垂直舟位-10mm)，然后进舟到舟自动停止（舟进限位），上升到舟自动停止（垂直舟位0mm），退舟到舟自动停止（放舟位），上升到舟自动停止（垂直舟位10mm），退舟到舟自动停止（舟后限位）。

手动放舟：首先保证机械手在高位(垂直舟位10mm)，然后进舟到舟自动停止（放舟位），下降到舟自动停止（垂直舟位0mm），进舟到舟自动停止（舟进限位），下降到舟自动停止（垂直舟位-10mm），退舟到舟自动停止（舟后限位）。

2.6炉门控制

伸出：伸出炉门，“伸出到位“指示灯亮；

收回：收回炉门，“收回到位”指示灯亮；

开炉门：打开炉门，“炉门开到位”指示灯亮；

关炉门：关闭炉门，“炉门关到位”指示灯亮；

操作互锁及提示：

1）开炉门的过程：开炉门——收回；

2）关炉门的过程：伸出——关炉门；

3）“常压”指示灯不亮，不可以开炉门；

2.7工艺控制

1)“启动工艺”

单击“启动工艺” ，进入如图2.4.1所示的界面，选择“是”进入2.4.2所示界面。

选择要从第几步开始执行工艺，输入产品批号，然后单击“确定”退出即可开始执行工艺。

图2.4.1

图2.4.2

2)“结束工艺”

单击“结束工艺” ，系统会提示是否确定要结束工艺，选择“是”后将结束工艺的执行，不管工艺有没有执行完毕。

3)“工艺保持”

单击“工艺保持” ，控制系统会停留在当前步，保持当前的状态。“工艺保持”按钮显示绿色，要继续工艺再次单击。

4)“工艺跳步”

单击“工艺跳步” ，工艺进入下一步运行。

5）“工艺发送”

单击“工艺发送”，弹出工艺文件选择对话框，如图6.4.3.单击要发送的工艺名称，然后单击“发送”按钮，也可点击“取消”按钮放弃操作。 注意：当工艺修改后，需要重新编译，然后“发送”到下位机P L C。

图2.4.3

3.工艺管理

3.1窗口介绍

“工艺管理”窗口可显示、编辑各炉管的工艺。分为工艺列表栏和工艺编辑栏。工艺列表栏显示现存的所有工艺。

工艺查看：双击工艺列表项，列头出现黑色菱形图标，工艺编辑栏内显示工艺每一步的参数。

图3.1.1

操作权限： 工艺工程师可编辑工艺和创建新的工艺

3.2工具栏介绍

1．工艺列表栏介绍：

“新建”-----创建一个工艺。

“编辑”-----编辑已有工艺，打开该工艺的每一步。

“删除”-----删除已创建的一个工艺。

“更名”-----修改工艺的名称。

“复制工艺”-----复制一个已创建的一个工艺到剪贴板。

“粘贴工艺”-----从剪贴板粘贴一个工艺到新的位置。

2.工艺编辑栏介绍：

“创建/修改步” -----创建一个工艺步。当光标指在某工艺步上时，双击该步，实

现“编辑步”的功能。（如图3.2.1）

“插入步”-----在已有的工艺中增加一步。让光标指在要插入步的位置，原有步会依次后移。操作完毕，请按“编译”重新保存编译。

“删除步”-----在已有的工艺中删除一步，在要删除步的位置单击该步，再单击“删除步”，该步自动删除，原有步会依次前移。操作完毕，请按“编译”重新保存编译。

“编译”-----已编写好的工艺不能直接用于控制，必须进行编译才能下载运行。编译文件名的后缀为 *.b i n。

3.3工艺信息表

“工艺信息表”是工艺运行过程中运行状态的指示，由用户灵活编程。“信息表” 显示窗口如图所示。

“信息表”共分三组，第2，3组用户可自由输入新的信息。第1组为固定信息。其中:“E n d”为为工艺程序结束命令。

图4.3.1

4.实时曲线

4.1曲线查看

单击“查看” 下拉菜单的“实时曲线” 此时进入如图4.1.1所示的窗口

图4.1.1

4.2工具栏

如图4.2.1，工具栏相应功能如下：

1）.复位按钮能使缩放的曲线恢复到原来的设置。

2）.曲线暂停使现在的画面保持不动，以便观察。

3）.滚动模式和缩放模式是针对坐标轴的，使用时请拖拉坐标轴。

4）.放大和缩小按钮能整体缩放画面曲线。

5）.使用区域放大时，允许鼠标在画面上拖出一个矩形来，曲线控件将此矩形的图像放大到占满整个画面。

6）.测量工具按下时，会弹出测量标尺并显示曲线当前点的测量值坐标（时间，温度）。点击曲线控件右侧的标题可以切换测量通道。

7）.复制到剪切板功能是把当前曲线的图像加载到剪切板。

8）.保存图片按钮可以把图像以图片格式保存到硬盘。

9）.单击打印图片按钮可以打印当前曲线。

图4.2.1

5． 历史记录

5.1查询历史数据

历史记录查看器中可以查看任意时间段内的历史数据记录，也可查看某个的用户操作记录，或者用两个条件联合查询。具体操作方法如下：

1).只选中“按记录日期”，然后在“起始日期”和“终止日期”选择日期，最后单击“查询”按钮就会在左侧表格中显示按时间段查询的结果；

2).只选中“按用户名”，然后在用户列表中选择用户，最后单击“查询”按钮就会在左侧表格中显示按用户名查询的结果；

3).把前述两项都选中，然后选择查询条件，最后单击“查询”按钮即可实现时间段和用户名两者联合查询。

4).如果不选择查询条件，将列举数据库中所有数据记录，可能耗时较多，请耐心等待。

提示：历史数据库大于50M B(可以设定)后 自动切换到新数据库或者提示用户删除,这样既提高了软件的可靠性，又加快了每次的查询速度，还可方便C D光盘备份。当前数据库始终是：H i s D a t a.m d b,旧数据库按时间先后分别命名为：H i s D a t a1.m d b，

H i s D a t a2.m d b，H i s D a t a3.m d b，....

图5.1.1

5.2数据操作

1).“删除记录”按下后，数据库中相应的记录将被删除，并进行数据库压缩。

2)"清空数据库"按下后，数据库中所有记录将被删除，并对数据库压缩。

3)."查看历史曲线"功能是将当前查询的记录的压力值、温度值、气体流量值重新绘制成曲线。

6． P E C V D参数配置

6.1舟位调整

此项配置只在设备初次安装时由厂家设定，用户不要随意修改，以免损坏石英管。1).首先将舟通过 “上升”“下降” 按钮移动到舟的零点位置，单击“！！舟当前位置

设为零点”按钮；

2)．上限位位移和下限位位移要根据实际情况确定，输入后单击确定按钮；

3).通过 “进舟”“退舟” 按钮将舟移动到舟的“放舟位”，记录舟的水平位移，然后将此数值填入“水平进位”栏内，单击确定。舟位调整完毕。

4).“从P L C载入”按钮可以从P L C回读数据，以做检查。

图6.1

6.2炉管名称

为了便于管理，给每个炉管设置名称。

在“炉管名称”栏内填入名称后，单击“保存”按钮，重新启动软件后，名称就会显示在软件主要界面上。

图6.2

6.3报警参数设定

当气体流量设定值与实际值超过量程的百分之几后，报警窗口显示相应的报警信息。

图6.3

7．事件日志

7.1查询

单击“事件记录”按钮可以察看各种记录（包括报警，登陆用户，注销用户，修改工

艺等），记录是以文本形式记录的。

1)查询/查看------更改记录日期，文件列表会自动更新到相应的年-月。然后双击或

者单击“查看文件”按钮即可查看日志文件；

2)“删除下列文件”按钮-------删除文件列表中显示的日志文件；

3)“删除所有文件”按钮-------删除所有的日志文件；

4)“显示所有文件”按钮--------显示所有日志文件；

图7.1.1

8.用户管理

8.1添加和删除用户

1）添加用户

此窗口只有管理员级别的用户才能打开。单击“添加用户”按钮，弹出对话框，如图8.1.2所示，分别输入“用户名“，“密码”，选择用户权限和用户期限，单击“确定”按钮，新用户即可添加成功。

2）删除用户

单击用户列表，选择相应的用户名，然后单击“删除用户”按钮，确认后即可完成操作。

图8.1.1

图8.1.2

8.1修改用户权限

如图8.2.1的权限列表，列头显示为用户组，行头显示为权限分类。管理员可以修改其它用户组的权限。单击权限管理表格，可以选中和取消相应的权限（选中时有“√”，取消时为“空白”）。

图8.2.1 9串口配置

9.1串口

分配计算机串口和下位机P L C对应。

图9.1