LiSiPON固态薄膜电解质的结构和性能分析

LiSiPON固态薄膜电解质的结构和性能分析

李国珍，董磊，任伟，李德军

【摘要】以Li3PO4和Si3N4为靶材，利用离子束辅助沉积N离子流轰击法制备非晶结构的固态电解质LiSiPON薄膜.实验中，通过控制N2气和Ar气的流量比，调节薄膜的含氮量.利用X线衍射、X线能量色散谱仪和X线光电子能谱仪研究薄膜的结构和组织成分的变化，并通过电化学阻抗测试仪获得薄膜的离子电导率，研究不同氮氩比对LiSiPON薄膜结构、组成和电学性质的影响.结果表明：N2和Ar流量比为1∶1时，薄膜含氮量最高，离子电导率达到最大值，在室温时电解质薄膜的离子电导可达6.8×10-6 S/cm，是一种有潜力应用于全固态薄膜锂离子电池的电解质材料.

【期刊名称】天津师范大学学报（自然科学版）

【年(卷),期】2013(033)004

【总页数】4

【关键词】LiSiPON固态电解质；离子束辅助沉积；离子电导率；薄膜锂离子电池

【文献来源】https://https://www.wendangku.net/doc/ef9060486.html,/academic-journal-cn_journal-tianjin-normal-university-natural-science-edition_thesis/0201250798360.html

随着电子器件不断向微型化、轻量化的方向发展，生产与之相匹配的微小尺寸化学电源成为迫切要求，特别是适用于微电子机械系统（microelectronic mechanical systems，MEMS）发展的微电池已引起人们的重视.目前已开展研究的微电池系列有微型锌镍电池、微型全固态锂电池、微型太阳电池、微型温差电池和微型燃料电池等.因为锂是最轻的金属元素，同时电负性最大，可以