型号1179A中文资料

型号1179A

质量流量控制器（通用型）

1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，

可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是

可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，

它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器，1179A可作为

直接替代的产品，标准的3英寸底座使1179能够

直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有

数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。

技术参数：

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

控制量程：2% to 100% 的全量程。

测量精度：全量程的1%

灵敏度：全量程的0.1%

热机时间：小于2Min.

响应速度：小于2Sec.

输入电压：±15VDC@100ma

输出电压：0-5VDC

连接器：模拟： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

数字：RS485或Device net或Profibus

法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

材质：316 不锈钢。

质保期：有限保修自售出之日起12个月。

例：型号1179A00411CR1A5VXX 采购序列号

校准气体（SEMI气体编号）*

Helium, He 001

Argon, Ar 004 Hydrogen, H2 007

Nitrogen, N2 013

Oxygen, O2 015

校准流量SCCM－最大20000（相当氮气）

10 11C

20 21C

50 51C 100 12C 200 22C 500 52C 1000 13C 2000 23C 5000 53C 10000 14C 20000 24C

装配件（与以下兼容）

标配：（兼容）Swagelok○R 4VCR○R凸接头R

选配：（兼容）Swagelok○R 4VCO○R凸接头G

选配：（兼容）Swagelok○R 0.25英寸管S

长度适配器 w/ 4 VCR 配件** L

长度适配器w/ 1/4" Swagelok 配件*** W

阀门

常闭 1

A

型号 1179A（续）

连接器采购序列号模拟型：

9针D型接口 A 15针D型接口 B

20针边缘卡接口 C

15针D型变换接口（Brooks） E

单元设备15针D型接口N Millpore15针D型接口T

数字型：

RS-485 5 DeviceNet 6

密封

标配: Viton○R V

选配: Neoprene○R N

选配: Buna N B

选配: Kalrez○R K

固化软件版本（仅对DeviceNet TM）

除非特别说明，MKS将发运订货时的最新固化软件版本XX

用于1179A的电缆线

CB147-12-10用来将1179 9针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647

247,

CB259-5-10用来将1179 15针D型接口连接至246,

CB147-1-10用来将1179 15针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647

247

CB259-10-10用来将1179 20针边缘卡接口连接至246,

CB147-7-10用来将1179 20针边缘卡接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647

*其他气体编号见附录B

** 1259C-XXXXX-RX的匹配长度

***1259C-XXXXX-SX的匹配长度