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微型机械的优势与应用研究

龙源期刊网 https://www.wendangku.net/doc/ff10515915.html,

微型机械的优势与应用研究

作者:邓加

来源:《科技资讯》2016年第36期

摘要:微型机械重量轻、体积小、集成度高、可靠性理想,在运行过程中不会受到扭

曲、噪声、热膨胀等因素的影响,有着显著的优势。在人类科技水平的不断发展下,微型机械领域也在不断地完善,微型机械领域是一门综合性的学科,其内容涵盖到了化学、物理、生物等各个技术领域,在未来阶段下,还需要针对其中的核心技术进行深入研究,以期取得更大的突破。该文主要针对微型机械的优势、类型及其应用展开分析。

关键词:微型机械优势应用

中图分类号:TH6 文献标识码:A 文章编号:1672-3791(2016)12(c)-0119-02

在大规模集成电力的发展下,各类机电设备也朝着大型化、大功率以及高强度的方向发展,但是在操作空间因素的影响下,部分设备的推广受到了阻碍,在这一背景下,发展微型机械产业非常重要。目前,各个国家都在致力于微型机械的研究,取得了空前的成果。

1 微型机械的优势分析

微型机械重量轻、体积小,以毫米、微米作为度量单位,必须要借助仪器才能够了解微型机械的工作状态,关于微型机械的研究,最早源于20世纪70年代,到了90年代时候,微型机械产业迎来了迅速发展时期,并在各类领域中得到推广。微型机械是基于现代科学基础上,由全新的思维模式、设计理念与制作方法指导得出的产物,无论在结构、尺度、制造方法还是材料上,都属于一门新兴的学科。与传统机械相比,微型机械重量轻、体积小、集成度高、可靠性理想,其体积可以达到亚微米以下,尺度精度能够达到纳米级,机体不会受到扭曲、噪声、热膨胀等因素的影响,抗干扰性非常理想,能够在不利的环境下工作。微型机械的生产方式应用了半导体制造工艺,能够集齐电路芯片于一体,显著降低了制造成本。我国在近几年,通过微齿轮、微泵、微电机、微马达、微型飞机和微型陀螺等研究,在这一领域取得了突出进展。提出和发展了由于尺度效应而产生的微机械学。微型机械技术已开始在我国的社会生产中发挥作用,如,微操作机器人已开始用于生物工程中的细胞分裂、显微手术和生物芯片的制造工艺;微传感器已经开始用于飞行器的加速度、压力等参数的实时测量;纳米薄膜润滑技术已应用于火箭和计算机硬盘的制造工艺。

2 微型机械的核心技术及其应用

微型机械集齐了微执行器、微传感器、微结构、微系统于一体,加工方式非常多样,衍生出的技术类型也非常多,其中代表性的有以下几种。

2.1 集成电路技术

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