mems作业

MEMS技术及应用前景

MEMS的定义：

MEMS称微型机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems,美国惯用词）。它是指可以批量制作的集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通信电路和电源等一体的微型器件或系统，其特征尺寸范围为1nm～10mm.

MEMS的特点

MEMS的制作主要基于两大技术：IC技术和微机械加工技术。与传统的微电子和机械加工技术相比，MEMS技术具有以下几个显著的特点：

（1）微型化

MEMS技术已经达到微米乃至亚微米量级，利用MEMS技术制作的器件具有体积小、耗能低、惯性小、频率高、响应时间短等特点，可携带性得以提高。（2）集成化

微型化利于集成化，把不同功能、不同敏感方向和制动方向的传感器、执行器集成于一体，形成传感器阵列，甚至可以与IC 一起集成为更复杂的微系统。（3）以硅为基本材料

主要有晶体硅和氮化硅等。力学特性良好，具有高灵敏性，强度、硬度和弹性模量与铁相当，密度同铝，仅为钢的三分之一，热传导率接近铜和钨。

（4）生产成本低

在一个硅片上可同时制作出成千上万的微型部件或MEMS，制作成本大幅度下降，有利于批量生产。

1.3MEMS的研究领域，微电子机械系统(MEMS) 技术基于微电子和微机械的有机集成,涉及微电子学、微机械学、微材料学、微摩擦学、微电磁学、微光学、微动力学、微流体力学、微热力学、自动控制、物理、化学及生物医学等多个学科的研究领域,集约了各学科前沿领域研究的新技术、新成果,和纳米科学技术(NST) 一起被列为21 世纪关键技术之首

研究现状

中国科学工作MEMS技术的研究和推广上也取得了相当大的成就。据有关资料介绍，"九五"期间，通过微齿轮、微泵、微电机、微马达、微型飞机和微型陀螺等研究，中国科学家提出和发展了由于尺度效应而产生的微机械学。他们发现：有的宏观脆性材料在纳米尺度时具有很强的塑性；流体在微管流动中，液体的表面张力和对管壁的附着力已不可忽略；在纳米加工及其表面质量分析中，必须考虑原子间的结合力及量子效应。中国科学家还创造性地发展了微细电火花加工、三维半导体加工和深层刻蚀（LIGA）等微细加工工艺，以及扫描遂道、原子力显微镜等纳米测量技术，部分成果已达到国际先进水平。此外，MEMS技术已开始在中国的社会生活中发挥作用，如微操作机器人已开始用于生物工程中的细胞分割、显微手术和生物芯片的制造工艺中；微传感器已经用于飞行器的加速度、压力等参数的实时测量；纳米薄膜润滑技术已用于"长征三号"火箭和计算机硬盘的制造工艺上。

微机电系统（MEMS）不同领域应用及前景

MEMS技术属于多学科交叉的前沿性领域，当与不同学科领域结合时，如电子技术、

机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等，便产生新型的MEMS 器件。

在过去十多年中, MEMS技术已经应用于安全气囊传感器（加速计）、压力传感器、显示器、自适应光器件、数字微镜器件、扫描仪、血压测量传感器、图象传感器、硬盘驱动器中的加速度传感器、蜂窝电话中应用的微继电器、电视中应用的微型透镜、喷墨打印头以及数据存储器等。以下是在某些领域的应用。

MEMS在军事领域的应用：1用于武器制导和个人导航的惯性导航组合. 2用于军需跟踪、环境监控、安全勘察和无人值守分布式传感器.3用于高密度、低功耗的大量数据存储器件。4用于敌友识别系统、显示和光纤开关的集成微光学机械器件。

信息领域：全光通信网：1光开关和开关阵列、光可变衰减器、光无源互连耦合器、可调滤波器、光相干探测器、光功率限幅器、微透镜、光交叉连接器OXC、光分插复用器OADM和波分复用器。2无线电话；MEMS电容、电感、传输线、RF MEMS滤波器、RF MEMS振荡器、MEMS移相器、微波收发机MEMS集成化射频前端。

航空、航天航空：改进飞机性能、保证飞机安全舒适、减少躁声，天际信息网、微重力测量。

环境保护：无人值守大气环境监测网，高速公路环境监测网。

消费类、玩具：消费类电器模糊控制、摄象机、洗衣机、虚拟现实目镜、游戏棒、智能玩具。

通信方面：光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展，无线通信则要求增强功能（如联网等）和减小功耗, MEMS技术在这些方面有很大的优势。包括美国朗讯（Lucent）公司在内的一些公司和大学正在研究全光通信网用的MEMS及无线通信用射频MEMS并取得了很大进展。

MEMS发展前景广阔，可应用于机械的高级维护系统、微型工厂、人体管腔诊断和检查系统等需要微型、微细机械的场合。利用MEMS技术可制成突破通信瓶颈的全光交换机、准确检测病变的基因芯片、比手掌还小的飞行器、重量仅有几十克的微小卫星等。

一年级一班数学暑假特色作业

一年级一班数学暑假特 色作业 集团档案编码：[YTTR-YTPT28-YTNTL98-UYTYNN08]

一年级一班数学暑期实践作业 蔡永青同学们： 2017年的暑假到来了，你有什么样的打算呢我们知道生活中处处有数学，处处离不开数学，就让我们度过一个快乐的而又有意义的暑假吧!我们给你提供了可选择的几种数学特色作业，你可以从以下几个方面进行参考和选择，自己设计并制作感兴趣作品，(开学报到时每人需交至少一幅)，完成你的数学实践作业，并把你的作品在开学时带回来，和大家交流分享，并评选出优秀作品! 一、这学期我们认识了钟表，“钟表王国”：发挥想象，运用我们所学的钟表知识，在卡纸上设计并制作精美可爱、富有创意的钟表图案。再制定一个暑假作息表，让我们的暑假生活在时间老爷爷的帮助下过得充实、快乐。 二、“我眼中的数学世界”——数学绘画。可以用数学的眼光观察你生活中的某个场景并画出来，用硬卡纸制作。 三、“图形宝宝的拼组”用卡纸匀称的剪下各种平面图形，并将这些图形宝宝拼组成一幅作品，并粘贴在白色的A4纸上。 四、“生活中的数学”：尝试着进行买菜、到超市购物等实践活动，每星期写一篇与数学有关的小故事。请家长帮助修改，要求以手抄报的形式完成在四开纸上。 五、研究生活中的数学问题，从生活中发现数学问题，去调查，去研究，把研究的内容、经过以调查报告的形式完成。 作业要求： 1、同学们要把实践作业内容都记录下来，可以用：(1)Word文档的形式。 (2)视频的形式。(3)拍成照片粘在纸上并加上说明与点评等。 2、要求：字迹整洁，书写美观、漂亮，可适当装饰。 3、作业可装订成册，要有封皮、标题。

MEMS技术发展综述

MEMS技术发展综述 施奕帆04209720 （东南大学信息科学与工程学院） 摘要：对于MEMS技术进行简要的介绍，了解其诞生与发展，所涉及的学科领域，目前的研究成果以及在生活、军事、医学等方面的应用。目前MEMS在我国的发展已取得一定成果，在21世纪可以有更大的突破，其未来在材料、工艺、微器件、微系统方面也具有巨大的发展空间。 关键词：MEMS、传感器、微制造技术 一、MEMS简介 微机电系统(micro electro mechanical system，MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，其起源可以追溯到20世纪50～60年代，最初贝尔实验室发现了硅和锗的压阻效应，从而导致了硅基MEMS传感器的诞生和发展。在随后的几十年里，MEMS得到了飞速发展，1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60～120／μm的硅微型静电电机；1987～1988年，一系列关于微机械和微动力学的学术会议召开，所以20世纪80年代后期微机电系统一词就渐渐成为一个世界性的学术用语，MEMS技术的研究开发也成为一个热点，引起了世界各国科学界、产业界和政府部门的高度重视，经过几十年的发展，它已

成为世界瞩目的重大科技领域之一。 二、MEMS涉及领域及作用 MEMS技术涉及电子工程、机械工程、材料工程、物理学、化学以及生物医学等学科。MEMS开辟了一个新的技术领域，它的研究不仅涉及元件和系统的设计、材料、制造、测试、控制、集成、能源以及与外界的联接等许多方面，还涉及微电子学、微机构学、微动力学、微流体学、微热力学、微摩擦学、微光学、材料学、物理学、化学、生物学等基础理论 三、MEMS器件的分类及功能 目前，MEMS技术几乎可以应用于所有的行业领域，而它与不同的技术结合，往往会产生一种新型的MEMS器件。根据目前的研究情况，除了进行信号处理的集成电路部件以外，MEMS内部包含的单元主要有以下几大类： （1）微传感器： 主要包括机械类、磁学类、热学类、化学类、生物学类等。其主要功能是检测应变、加速度、速度、角速度（陀螺）、压力、流量、气体成分、湿度、pH值和离子浓度等数值，可应用于汽车、航天和石油勘探等行业。

一年级小学生寒假特色作业布置

一年级小学生寒假特色作业布置 进入寒假，恰逢您工作、家务都非常紧张的时期，孩子的放假回家除了能带给您团聚的喜悦，一定还有一些担心：孩子的作息时间怎么安排？ 其实帮孩子养成良好的学习习惯，可以为您节省很多的时间和精力。对孩子来说这是他们小学生活的第一个假期，这是养成习惯的关键时期，这个假期的安排直接影响今后一年级到六年级的十一个假期的质量。作为老师，有几点需要提醒您： 一、不要把假期作业当任务突击完成。 不能说先把语文写完，再把数学写完。应该把作业分解到每一天，按照规定每天坚持去写。家长检查孩子作业完成质量、数量，等养成习惯就不用家长再操心了。 二、假期学习安排还直接关系到开学后孩子的学习状态： 如果假期每天坚持完成作业，开学后便能很快适应新学期紧张有序的学习。如果只是为了完成作业突击写完，让孩子空下大段的时间去玩，就如同汽车行驶时突然停车，开学后还得再启动，肯定比别人加速行驶要慢得多。您一定不想让孩子新学期开学就比别人落下一截，对吗？ 三、假期一定要让孩子做家务。 摆摆筷子，洗洗碗，给家长拿拿拖鞋等没有危险性的工作。干活不是目的，关键是要让孩子有动手的意识。随着年龄的增长，在做的过程中他才能体会到 家长的辛苦和不易！孝敬父母的要求才不会落为空谈。 一年级孩子年龄小，自制力差，识字量有限，很多作业得家长帮忙。希望您认真阅读作业要求，每天抽空检点孩子的作业完成情况！规定作业：班级：_______姓名：________完成情况：_________尊敬的家长： 活动一：“争当小小理财家”。 1、请每位同学到银行为自己开一个“小当家”少儿理财的账户，做好自我理财的准备，在寒假期间，把自己的压岁钱存储起来，下学期开学后为自己购买学习用品或书籍。 2、当一天家，负责家庭一天的吃、穿、住、行和事务安排。 选择一个家人都休息的时间，自己来当一天家，安排这一天的事务。 要求： （1）请父母准备200元的现金，作为这一天的开支。

一年级暑假特色作业.doc

阿左旗第五小学2016年一年级暑假特色作业 为了倡导学生过一个快乐祥和，书香馥郁的假期，让我们的孩子喜爱读书，让书成为他们的朋友，特向一年级的学生推荐以下书目： 假期读书计划，并按计划进行读书活动。2、结合所读书籍，制作读书卡，低段3篇，中高段5篇。3、完成一篇读书心得。一二年级200字以内；三四年级400字以内；五六年级600字以内，读书卡和读后感开学后将进行评选，选出优秀作品上报自治区参加评选。开学后，学校还要评选读书小明星活动。 致家长的一封信

亲爱的家长朋友： 您好！在您的鼎力支持下，我们度过了一个充实而又忙碌的学期。在此，我们全体师生对每一位关心和支持我校工作的家长表示衷心的感谢！ 根据上级规定，我校定于7月15日正式放暑假，9月1日开学。在暑假即将来临，为了让您的孩子度过一个愉快而有意义的假期，我们特印发《致家长的一封信》，希望得到您的支持与配合，共同帮助孩子们度过一个有意义的假期生活。 家长同志，孩子是您的一切，关注孩子的安全，是我们共同的情感。为了切实维护孩子们的人身安全和身心健康，接上级文件精神，特对孩子在假期里的安全问题提出以下要求和建议： 1．严禁到天然河流、湖泊、池塘或缺乏救护人员和无安全设施的游泳场馆游泳；严禁未经家长同意擅自外出游泳；严禁到深水区域或不熟悉的水域游泳；家长陪同学生去游泳，请要求学生下水前做好准备活动，了解场馆深、浅水区域，掌握游泳的技巧和自救办法后，携带救生圈，在家长和救护人员的救护范围内方可游泳。 2．夏季天气炎热，饮食切忌暴饮暴食，切忌食用发霉、发酸、变馊、变质、过期的事物，以防食物中毒；暑假正值讯期，要注意防汛。 3．出行注意交通安全，遵守交通规则。过马路走人行横道、斑马线；骑自行车不飞车，不说笑；乘坐交通工具待停稳后依次上下车。遵守社会公德，做文明公民。 4．严禁学生到营业性的网吧、电子游戏室等社会场所，不与陌生人或社会闲杂人员接触；积极参加有益的社会公益活动，杜绝邪教，严禁学生进入色情或成年人活动场所。 5．严禁学生玩火、玩电；遇到雷雨天气，请拔掉插头，关上电源，不到高楼旁和大树下躲雨，避免雷击；遇到火灾等紧急情况，不要慌乱，学会使用正确的逃生或自救方法。 6.教给孩子有关禁毒知识、教育子女拒绝毒品、远离毒品的方法。另外，严禁学生参与违法违纪行动，教育学生不作打架滋事、扰乱社会治安等违法行为。 7．遇到各种紧急情况，请正确拨打以下电话：匪警：110 火警：119 急救：120 交通事故：122 8．希望家长和孩子共同制定假期学习计划，较好的完成暑假作业，认真复习巩固各学科知识，并引导孩子阅读一些健康向上的课外读物，以扩大知识面，提高综合素质。开展好家庭服务和自我服务。 最后，希望家长积极支持和配合学校要求，有效督促孩子严格遵守各项安全规定，教育子女树立安全意识提高自我防范能力，共同构筑起保护学生人身安全的“防护墙”。和孩子们共同度过一个愉快而有意义的假期。 谢谢您的合作！ 阿拉善左旗第五小学 2016年7月10日

MEMS技术研究

MEMS技术的研究 一、MEMS技术概述 MEMS技术是采用微制造技术，在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器（actuator）与电子元件。MEMS通常会被看作是一种系统单晶片（SoC），它让智能型产品得以开发，并得以进入很多的次级市场，为包括汽车、保健、手机、生物技术、消费性产品等各领域提供解决方案。 1.1、微机电系统（MEMS）概念 虚微机电系统(Micro-Electronic Mechanical System-MEMS)，是在微电子技术基础上结合精密机械技术发展起来的一个新的科学技术领域，微机电系统是一个独立的智能系统。 一般来说，MEMS是指可以采用微电子批量加工工艺制造的，集微型机构、微型传感器、微型致动器（执行器）以及信号处理和控制电路，直至接口、通讯和电源等部件於一体的微型系统。其基本组成见图1.1所示。 图1.1 MEMS的组成 通常，MEMS主要包含微型传感器、执行器和相应的处理电路三部分。 微机电系统的制造工艺主要有集成电路工艺、微米/纳米制造工艺、小机械

工艺和其他特种加工工种。 在微小尺寸范围内，机械依其特徵尺寸可以划分为1-10毫米的小型(Mini-)机械，1微米-1毫米的微型机械以及1纳米-1微米的机械。 所谓微型机械从广义上包含了微小型和纳米机械，但并非单纯微小化，而是指可批量制作的集微型机构，微型感测器，微型执行器以及接口信号处理和控制电路、通讯和电源等于一体的微电子机械系统。 1.2、微机电系统（MEMS）发展简史 微机电的概念最早可追溯到1959年R.Fe ym.在加州理工大学的演讲。 1982年,K.E .Pe terson发表了一篇题为“Silicon as a Mechanical Material”的综述文章，对硅微机械加工技术的发展起到了奠基的作用。 微机电研究的真正兴起则始于1987年，其标志是直径为10um的硅微马达（转子直径120微米，电容间隙2 微米）在加州大学伯克利分校的研制成功，其引起了世界的轰动。自此以后,微电子机械系统技术开始引起世界各国科学家的极大兴趣。专家预言，它的意义可与当年晶体管的发明相比。 为了进一步完善这一学科,使其更多更快地为人类服务，除探索新技术，新工艺以外，各国科学家们还在积极努力从事MEMS基础理论研究，包括对微流体力学，微机械磨擦和其他相关理论的研究，并建立一套方便，快捷的分析与设计系统。 相信在不久的将来，MEMS将广泛渗透到医疗、生物技术、空间技术等领域。 1.3、微机电系统（MEMS）的特点及前景 微机电系统（MEMS）具有以下六种特点： 1.微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。 2.以硅为主要材料，机械电器性能优良。硅的强度、硬度及杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近相和钨。 3.大量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS，批量生产可大大降低生产成本。 4.集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集

一年级语文暑假特色作业

子君中心学校一年级暑期语文特色作业亲爱的同学们，丰富多彩的暑假到了，一起和爸爸妈妈制定一个暑假计划，科学地安排我们的暑假生活，让我们的暑假生活更充实更有意义吧！ 一、“我是小小书法家”——铅笔字练习 坚持每天练字，开学后全年级进行书法听写大赛，既要考察书写，还要考察对已经学过的字词是否牢固掌握。根据学生的书写和正确率评出一二三等奖。 二、“以书为伴”——读一本好书 高尔基说：“书籍是人类进步的阶梯。”莎士比亚说：“书籍是全世界的营养品，生活里没有书籍，就好像大地没有阳光；智慧里没有书籍，就好像鸟儿没有翅膀。” 让我们以书为伴，以书为友，在暑假里读一本好书，并用图文并茂的方式制作一张好书推荐稿（A4纸大小）。 三、“光影记忆”——观看经典电影并制作观影记录 在假期观看一部或者几部比较经典的适合儿童观看的电影，观看完自行用图文并茂的方式制作观影记录（A4纸大小）印象比较深的情节用图画画出来并涂色。 观影记录包括：电影名、电影简介、观影时间、地点、同谁一起观看、观后感。其中，观后感不用写很多，一句话概括就可以。 四、“舌尖上的美味”——学会做一道家常菜

在家长指导下学做一道家常菜，并拍照记录。（A4纸大小）可以将准备的食材、制作过程、制作成果以及自己的收获用照片或文字的方式记录下来。 五、“旅行的美好时光”——记录一段旅行的时光 读万卷书，行万里路。暑假里，爸爸妈妈一定带你去过很多地方，收获了很多见闻和感受，请把你认为最开心、最难忘的一段旅行时光用图文并茂的方式记录下来吧！（照片+文字） 六、“阳光锻炼”——记录自己参加体育锻炼的生活片段 天天锻炼身体好。暑假里，积极参加体育锻炼，如跑步、跳绳等，并用照片拍下你挥洒汗水的瞬间，还可以加上自己的感受哦！ 七、“家务小能手”——记录自己在家做家务的身影 爸爸妈妈每天工作很辛苦，你也一天天长大了，请帮大人做一些力所能及的事情，扫地、拖地、整理房间，你就是爸爸妈妈最能干的小帮手！请用照片记录下你做家务的身影，还可以加上自己的感受哦！ 【作业要求】 请自己设计一个暑假作业的封面，并将本页作业要求作为首页打印出来，再将每一项作业另行附纸按顺序装订起来。

激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用

激光微细加工技术及其在M EMS微制造中的应用La ser Micromachining and I ts Application in the Microfabrication of MEMS 潘开林①②　陈子辰②　傅建中① (①浙江大学生产工程研究所　②桂林电子工业学院) 摘　要:文章综述了当前MEMS各类微制造技术,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等,以及它们在MEMS微制造中的应用。 关键词:激光微细加工　微机电系统　激光LIGA　微细立体光刻　微制造 1　MEMS及其微制造技术概述 微机电系统(ME MS)是微电子技术的延伸与拓宽,它不但具有信号处理能力,而且具有对外部世界的感知功能和执行功能,在此基础上可开发出高度智能、高功能密度的新型系统。ME MS器件与系统未来将成为多个领域的核心,其作用与以CPU为代表的集成电路构成当今电子系统的核心一样。鉴于ME MS技术的重要技术经济潜力和战略地位,引起了世界各国的高度重视。ME MS主要是美国学者的称谓,在日本称为微机械,在欧洲称为微系统。此外,微技术在不同的学科与应用领域,还有类似的不同的专业或行业术语,如生物技术领域的基因芯片(DNA芯片)、生物芯片(Bio-Chip),分析化学领域的微全流体分析系统(uT AS)、芯片实验室(Lab on Chip),与光学集成形成微光机电系统(MOE MS)等。 ME MS是从微电子技术发展而来,其微制造技术主要沿用微电子加工技术与设备。微电子加工技术与设备价格昂贵,适合批量生产。由于微电子工艺是平面工艺,在加工ME MS三维结构方面有一定的难度。目前,通过与其它学科的交叉渗透,已研究开发出以下一些特定的ME MS微制造技术。 (1)LIG A技术　LIG A和准LIG A技术最大的特点是可制出高径比很大的微构件,但缺点同样突出,成本高。 (2)材料去除加工技术　这类技术主要包括准分子激光微细加工[1～4]、微细电火花加工[5]、以牺牲层技术为代表的硅表面微细加工、以腐蚀技术为主体的体硅加工技术、电子束铣、聚焦离子束铣等。 (3)材料淀积加工技术　这类技术主要包括激光辅助淀积(LC VD)、微细立体光刻[6、7]、电化学淀积等。 上述各类技术的对比分析如表1所示[5]。 表1　MEMS主要微制造技术对比 技术最小尺寸精度高宽比粗糙度 几何自 由度 材料范围LIG A 技术 ++++++++ 金属、聚合物、 陶瓷 刻蚀技术+-+-+-金属、聚合物 准分子 激光 -(+)-+--+ 金属、聚合物、 陶瓷 微细立 体光刻 -(+)-(+)++-++聚合物 微细电 火化 +++++++ 金属、半导体、 陶瓷LCVD++-++-+金属、半导体 金刚石 精密切削 +++++-- 非铁金属、 聚合物 注:表中++、+、-、--分别表示很好、好、较差、很差,+-表示不同应用条件下的相对效果,括号内的“+”表示最新研究有所进展。 在目前ME MS微细加工技术的研究与应用中,激光微细加工技术得到了广泛的关注与研究。激光微细加工制造商宣称激光微细加工技术具有:非接触工艺、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率、高的零件尺寸与形状的加工柔性等优点。 实际上,激光微细加工技术最大的特点是“直写”加工,简化了工艺,实现了ME MS的快速原型制造。此外,该方法没有诸如腐蚀等方法带来的环境污染问题,可谓“绿色制造”。 在ME MS微制造中主要采用的激光微细加工技术有:激光直写微细加工、激光LIG A、激光微细立体光刻等,下面分别加以介绍。 2　准分子激光直写微细加工及其在MEMS中的应用 准分子激光以其高分辨率、光子能量大、冷加工、 ? 5 ? 制造技术与机床 2002年第3期 Special R eports综　述

MEMS技术的发展与应用

测控新技术课程报告 ＭＥＭＳ技术的发展与应用 摘要 微机电系统(Micro-Electronic Mechanical System-MEMS),是在微电子技术基础上结合精密机械技术发展起来的一个新的科学技术领域。 早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。一般来说，MEMS是指可以采用微电子批量加工工艺制造的，集微型机构、微型传感器、微型致动器（执行器）以及信号处理和控制电路,直至接口、通讯和电源等部件於一体的微型系统。 由于MEMS是微电子同微机械的结合，如果把微电子电路比作人的大脑，微机械比作人的五官（传感器）和手脚（执行器），两者的紧密结合，就是一个功能齐全而强大的微系统。 关键词：精密机械技术，微执行器，微传感器，微型致动器

前言 微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System），简称MEMS，是在微电子技术基础上发展起来的集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体的一项新兴的科学领域。它将常规集成电路工艺和微机械加工独有的特殊工艺相结合，涉及到微电子学、机械设计、自动控制、材料学、光学、力学、生物医学、声学和电磁学等多种工程技术和学科，是一门多学科的综合技术。MEMS在许多方面具有传统机电技术所不具备的优势，包括质量和尺寸普遍减小、可实现大批量生产、低的生产成本和能源消耗、易制成大规模和多模式阵列等。MEMS 研究的主要内容包括微传感器、微执行器和各类微系统，现在已成为世界各国投入大量资金研究的热点。从广义上讲，MEMS 是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，甚至接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。 1．MEMS的发展过程 微机电的概念最早可追溯到1959年R.Fe ym.在加州理工大学的演讲。1982年,K.E .Pe terson发表了一篇题为“Silicon as a Mechanical Material”的综述文章，对硅微机械加工技术的发展起到了奠基的作用。 微机电研究的真正兴起则始於1987年，其标志是直径为10um的硅微马达在加州大学伯克利分校的研制成功。自此以后,微电子机械系统技术开始引起世界各国科学家的极大兴趣。 为了进一步完善这一学科,使其更多更快地为人类服务，除探索新技术，新工艺以外，各国科学家们还在积极努力从事MEMS基础理论研究，包括对微流体力学，微机械磨擦和其他相关理论的研究，并建立一套方便，快捷的分析与设计系统。相信在不久的将来，MEMS将广泛渗透到医疗、生物技术、空间技术等领域 2．MEMS的基本原理 MEMS由传感器、信息处理单元。执行器和通讯/接口单元等组成。其输入是物理信号，通过传感器转换为电信号，经过信号处理（模拟的和/或数字的）后，由执行器与外界作用。每一个微系统可以采用数字或模拟信号（电、光、磁等物理量）与其它微系统进行通信 3．MEMS的特点 .微型化、以硅为主要材料、大量生产、集成化、多学科交叉、应用上的高度广泛。 4．MEMS的制造技术 MEMS的制作主要基于两大技术：IC技术和微机械加工技术，其中IC技术主要用于制作MEMS中的信号处理和控制系统，与传统的IC技术差别不大，而微机械加工技术则主要包括体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术、准LIGA技术、

一年级暑假特色作业完整版

一年级暑假特色作业标准化管理处编码[BBX968T-XBB8968-NNJ668-MM9N]

阿左旗第五小学2016年一年级暑假特色作业 “让我们的假期溢满书香”学生读书活动 为了倡导学生过一个快乐祥和，书香馥郁的假期，让我们的孩子喜爱读书，让书成为他们的朋友，特向一年级的学生推荐以下书目： 必读图书（一年级）

选读图书（一年级） 一至六年级的学生至少要读三本以上推荐书目，并完成以下要求：1、制定假期读书计划，并按计划进行读书活动。2、结合所读书籍，制作读书卡，低段3篇，中高段5篇。 3、完成一篇读书心得。一二年级200字以内；三四年级400字以内；五六年级600字以内，读书卡和读后感开学后将进行评选，选出优秀作品上报自治区参加评选。开学后，学校还要评选读书小明星活动。 致家长的一封信

亲爱的家长朋友 您好！在您的鼎力支持下，我们度过了一个充实而又忙碌的学期。在此，我们全体师生对每一位关心和支持我校工作的家长表示衷心的感谢 根据上级规定，我校定于7月15日正式放暑假，9月1日开学。在暑假即将来临，为了让您的孩子度过一个愉快而有意义的假期，我们特印发《致家长的一封信》，希望得到您的支持与配合，共同帮助孩子们度过一个有意义的假期生活。 家长同志，孩子是您的一切，关注孩子的安全，是我们共同的情感。为了切实维护孩子们的人身安全和身心健康，接上级文件精神，特对孩子在假期里的安全问题提出以下要求和建议 1．严禁到天然河流、湖泊、池塘或缺乏救护人员和无安全设施的游泳场馆游泳；严禁未经家长同意擅自外出游泳；严禁到深水区域或不熟悉的水域游泳；家长陪同学生去游泳，请要求学生下水前做好准备活动，了解场馆深、浅水区域，掌握游泳的技巧和自救办法后，携带救生圈，在家长和救护人员的救护范围内方可游泳。 2．夏季天气炎热，饮食切忌暴饮暴食，切忌食用发霉、发酸、变馊、变质、过期的事物，以防食物中毒；暑假正值讯期，要注意防汛。 3．出行注意交通安全，遵守交通规则。过马路走人行横道、斑马线；骑自行车不飞车，不说笑；乘坐交通工具待停稳后依次上下车。遵守社会公德，做文明公民。 4．严禁学生到营业性的网吧、电子游戏室等社会场所，不与陌生人或社会闲杂人员接触；积极参加有益的社会公益活动，杜绝邪教，严禁学生进入色情或成年人活动场所。 5．严禁学生玩火、玩电；遇到雷雨天气，请拔掉插头，关上电源，不到高楼旁和大树下躲雨，避免雷击；遇到火灾等紧急情况，不要慌乱，学会使用正确的逃生或自救方法。 6.教给孩子有关禁毒知识、教育子女拒绝毒品、远离毒品的方法。另外，严禁学生参与违法违纪行动，教育学生不作打架滋事、扰乱社会治安等违法行为。

精品一年级小学生寒假特色作业布置

一年级小学生寒假特色作业布置 【导语】一年一度的寒假已经到来，寒假既是大家放松的时候，走亲戚、着新衣、领压岁钱；同时寒假也是自我学习，增长见识的时机。所以请同学们一定要做好自己的寒假学习计划，以下是老师整理的《一年级小学生寒假特色作业布置》，希望帮助到您。 一年级小学生寒假特色作业布置篇一 进入寒假，恰逢您工作、家务都非常紧张的时期，孩子的放假回家除了能带给您团聚的喜悦，一定还有一些担心：孩子的作息时间怎么安排？ 其实帮孩子养成良好的学习习惯，可以为您节省很多的时间和精力。对孩子来说这是他们小学生活的第一个假期，这是养成习惯的关键时期，这个假期的安排直接影响今后一年级到六年级的十一个假期的质量。作为老师，有几点需要提醒您： 一、不要把假期作业当任务突击完成。 不能说先把语文写完，再把数学写完。应该把作业分解到每一天，按照规定每天坚持去写。家长检查孩子作业完成质量、数量，等养成习惯就不用家长再操心了。 二、假期学习安排还直接关系到开学后孩子的学习状态：

如果假期每天坚持完成作业，开学后便能很快适应新学期紧张有序的学习。如果只是为了完成作业突击写完，让孩子空下大段的时间去玩，就如同汽车行驶时突然停车，开学后还得再启动，肯定比别人加速行驶要慢得多。您一定不想让孩子新学期开学就比别人落下一截，对吗？ 三、假期一定要让孩子做家务。 摆摆筷子，洗洗碗，给家长拿拿拖鞋等没有危险性的工作。干活不是目的，关键是要让孩子有动手的意识。随着年龄的增长，在做的过程中他才能体会到 家长的辛苦和不易！孝敬父母的要求才不会落为空谈。 一年级孩子年龄小，自制力差，识字量有限，很多作业得家长帮忙。希望您认真阅读作业要求，每天抽空检点孩子的作业完成情况！规定作业：班级：_______姓名：________完成 情况：_________尊敬的家长： 一年级小学生寒假特色作业布置篇二 活动一：“争当小小理财家”。 1、请每位同学到银行为自己开一个“小当家”少儿理财 的账户，做好自我理财的准备，在寒假期间，把自己的压岁钱存储起来，下学期开学后为自己购买学习用品或书籍。 2、当一天家，负责家庭一天的吃、穿、住、行和事务安排。

年一年级语文寒假特色作业

2014年一年级语文寒假特色作业安排 班级姓名 一年级语文寒假作业 尊敬的各位家长： 进入寒假，恰逢您工作、家务都非常紧张的时期，孩子的放假回家除了能带给您团聚的喜悦，一定还有一些担心：孩子的作息时间怎么安排？ 其实帮孩子养成良好的学习习惯，可以为您节省很多的时间和精力。对孩子来说这是他们小学生活的第一个假期，这是养成习惯的关键时期，这个假期的安排直接影响今后一年级到六年级的十一个假期的质量。作为老师，有几点需要提醒您： 一、不要把假期作业当任务突击完成。 不能说先把语文写完，再把数学写完。应该把作业分解到每一天，按照规定每天坚持去写。家长检查孩子作业完成质量、数量，等养成习惯就不用家长再操心了。 二、假期学习安排还直接关系到开学后孩子的学习状态： 如果假期每天坚持完成作业，开学后便能很快适应新学期紧张有序的学习。如果只是为了完成作业突击写完，让孩子空下大段的时间去玩，就如同汽车行驶时突然停车，开学后还得再启动，肯定比别人加速行驶要慢得多。您一定不想让孩子新学期开学就比别人落下一截，对吗？ 三、假期一定要让孩子做家务。 摆摆筷子，洗洗碗，给家长拿拿拖鞋等没有危险性的工作。干活不是目的，关键是要让孩子有动手的意识。随着年龄的增长，在做的过程中他才能体会到家长的辛苦和不易!孝敬父母的要求才不会落为空谈。 一年级孩子年龄小，自制力差，识字量有限，很多作业得家长帮忙。希望您认真阅读作业要求，每天抽空检点孩子的作业完成情况！规定作业： 一、快乐阅读： "书籍是人类进步的阶梯"一本好书就是一个好朋友。快乐的假期,让我们享受阅读的快乐。老师给你们推荐了一些，这些书都非常有趣：《格林童话》《文字的奥秘》（这本书非常有趣地说了文字的故事）、《你看起来好像很好吃》（这是一本有关恐龙的书，写得有趣极了）、《稻草人》（叶圣陶童话集的名称）、《小猪唏哩呼噜》、《了不起的狐狸爸爸》、《爷爷一定有办法》。当然，好书还有很多很多，如果你看到好看的书，也可以推荐给我们大家。我们都会很感谢你的！从读书目录中自选3至4本书，认真阅读，鼓励同学们拓展阅读，读书越多越聪明。建议家长协助孩子填写读书目录及读书收获，可以自行设计表格，并签字。开学后根据读书记录评选读书明星。 二、改正一个缺点 进步就是优秀。每改正一个缺点，你就离成功更进了一步。

一年级特色作业阶段总结

一年级特色作业阶段总结 一年级识字、写字教学是语文教学的一项重要任务。新课标在识字、写字方面，实行“认写分开”、“多认少写”，提出“会认、会写”两种要求，这对培养学生的阅读水平以及获取信息的水平都有重要意义。 一、教学生在自学中掌握汉字的构字规律 新课程充分体现了让学生自学，用多种方法思考、记忆、分析字形的思想，培养学生自主识字水平，放手让学生自己思考，自己发现问题，想办法解决问题。这样不但激发了学生识字的兴趣，对字形的记忆也会更加扎实牢固，还能够从中摸索体会汉字的构字规律。 在一年级的识字教学中我是这样做的：先引导学生观察情境图，让他们产生读书的欲望，在反复朗读中掌握生字读音、理解字形。接着我就问学生：“今天我们要学习这几个生字，看谁最聪明？自己动脑筋想出最好的记忆方法，请你告诉大家。”这样一问，同学们兴趣盎然，马上就开始在大脑中寻找答案，提出了很多不同的记忆方法：“熟字加笔画”、“形近字对比”、“同音字”、“熟字去偏旁”、“拆部件”、“减笔画”……如学习“天”字，有的说“大”字加一横就是天；有的说“人”字加两横就是天；有的说“夫”字不出头就是天。学习“园”字时，有的说是在“元”字外面加上围墙“口”就是“园”，从而明白“校园、公园”是有围墙的，以区别“元、园”的用法。学习“爱”字，学生把它拆成“、冖、友”，我配上儿歌“爪字头，秃宝盖，小朋友，真可爱”。这样学生很快就记住了生字。 二、在轻松愉快的学习中突破字形难点 刚刚入学的孩子年龄小，注意力不集中，易于疲劳。《新课标》提出：培养学生对汉字以及汉字学习的态度和情感，有主动识字的愿望，初步感受汉字的形体美。所以，教学时要采用多种方式方法，激发学生兴趣，让他们在兴趣盎然中边玩边学。这样，在充分调动学生无意注意的同时也促使其有意注意的发展。并且老师要为解决困难创设情境，以促使学生思维灵活、有创造性地发展。下面我介绍几种趣味识字方法： 1.编字谜。在一年级的识字教学中，我发现“编字谜”能协助孩子们轻松地掌握一些难教的生字，经过引导，孩子们经常动脑筋编字谜在课堂上交流，课堂气氛

一年级暑假特色作业

一年级暑假特色作业集团档案编码：[YTTR-YTPT28-YTNTL98-UYTYNN08]

阿左旗第五小学2016年一年级暑假特色作业 为了倡导学生过一个快乐祥和，书香馥郁的假期，让我们的孩子喜爱读书，让书成为他们的朋友，特向一年级的学生推荐以下书目： 假期读书计划，并按计划进行读书活动。2、结合所读书籍，制作读书卡，低段3篇，中高段5篇。3、完成一篇读书心得。一二年级200字以内；三四年级400字以内；五六年级600字以内，读书卡和读后感开学后将进行评选，选出优秀作品上报自治区参加评选。开学后，学校还要评选读书小明星活动。 致家长的一封信 亲爱的家长朋友

您好！在您的鼎力支持下，我们度过了一个充实而又忙碌的学期。在此，我们全体师生对每一位关心和支持我校工作的家长表示衷心的感谢 根据上级规定，我校定于7月15日正式放暑假，9月1日开学。在暑假即将来临，为了让您的孩子度过一个愉快而有意义的假期，我们特印发《致家长的一封信》，希望得到您的支持与配合，共同帮助孩子们度过一个有意义的假期生活。 家长同志，孩子是您的一切，关注孩子的安全，是我们共同的情感。为了切实维护孩子们的人身安全和身心健康，接上级文件精神，特对孩子在假期里的安全问题提出以下要求和建议 1．严禁到天然河流、湖泊、池塘或缺乏救护人员和无安全设施的游泳场馆游泳；严禁未经家长同意擅自外出游泳；严禁到深水区域或不熟悉的水域游泳；家长陪同学生去游泳，请要求学生下水前做好准备活动，了解场馆深、浅水区域，掌握游泳的技巧和自救办法后，携带救生圈，在家长和救护人员的救护范围内方可游泳。 2．夏季天气炎热，饮食切忌暴饮暴食，切忌食用发霉、发酸、变馊、变质、过期的事物，以防食物中毒；暑假正值讯期，要注意防汛。 3．出行注意交通安全，遵守交通规则。过马路走人行横道、斑马线；骑自行车不飞车，不说笑；乘坐交通工具待停稳后依次上下车。遵守社会公德，做文明公民。 4．严禁学生到营业性的网吧、电子游戏室等社会场所，不与陌生人或社会闲杂人员接触；积极参加有益的社会公益活动，杜绝邪教，严禁学生进入色情或成年人活动场所。 5．严禁学生玩火、玩电；遇到雷雨天气，请拔掉插头，关上电源，不到高楼旁和大树下躲雨，避免雷击；遇到火灾等紧急情况，不要慌乱，学会使用正确的逃生或自救方法。 6.教给孩子有关禁毒知识、教育子女拒绝毒品、远离毒品的方法。另外，严禁学生参与违法违纪行动，教育学生不作打架滋事、扰乱社会治安等违法行为。 7．遇到各种紧急情况，请正确拨打以下电话：匪警：110火警：119急救：120交通事故122 8．希望家长和孩子共同制定假期学习计划，较好的完成暑假作业，认真复习巩固各学科知识，并引导孩子阅读一些健康向上的课外读物，以扩大知识面，提高综合素质。开展好家庭服务和自我服务。 最后，希望家长积极支持和配合学校要求，有效督促孩子严格遵守各项安全规定，教育子女树立安全意识提高自我防范能力，共同构筑起保护学生人身安全的“防护墙”。和孩子们共同度过一个愉快而有意义的假期。 谢谢您的合作 阿拉善左旗第五小学 2016年7月10日