搬运机器人外文翻译
外文翻译
专业机械电子工程
学生姓名张华
班级 B机电092 学号 0910106205 指导教师袁健
外文资料名称：Research，design and
experiment of end effector
for wafer transfer robot
外文资料出处：Industrail Robot：An International
Journal
附件： 1.外文资料翻译译文
2.外文原文
晶片传送机器人末端效应器研究、设计和实验
刘延杰、徐梦、曹玉梅
张华译
摘要：目的——晶片传送机器人扮演一个重要角色IC制造行业并且末端执行器是一个重要的组成部分的机器人。本文的目的是使晶片传送机器人通过研究其末端执行器提高传输效率,同时减少晶片变形。
设计/方法/方法——有限元方法分析了晶片变形。对于在真空晶片传送机器人工作,首先,作者运用来自壁虎的超细纤维阵列的设计灵感研究机器人的末端执行器,和现在之间方程机器人的交通加速度和参数的超细纤维数组。基于这些研究,一种微阵列凹凸设计和应用到一个结构优化的末端执行器。对于晶片传送机器人工作在大气环境中,作者分析了不同因素的影响晶片变形。在吸收面积的压力分布的计算公式,提出了最大传输加速度。最后, 根据这些研究得到了一个新的种末端执行器设计大气机器人。
结果——实验结果表明, 通过本文研究应用晶片传送机器人的转换效率已经得到显著提高。并且晶片变形吸收力得到控制。
实际意义——通过实验可以看出,通过本文的研究,可以用来提高机器人传输能力, 在生产环境中减少晶片变形。还为进一步改进和研究末端执行器打下坚实的基础,。
创意/价值——这是第一次应用研究由壁虎启发了的超细纤维阵列真空晶片传送机器人。本文还通过有限元方法仔细分析不同因素在晶片变形的影响。
关键词：晶片传送机器人末端执行器、超细纤维数组、晶片
1.介绍
作为一个主要集成电路设备的制造行业,晶片机器人承担了精确定位,快速和稳定的传输晶片的任务。随着集成电路产业的快速发展(比如晶圆的直径增加到300毫米), 机械制造技术的更高的要求是为了提高生产力,因此，更高的晶片传送效率是必要的。同时,由于晶片变得越来越薄,因此晶片机器人的设计也要防止转移严重变形晶片。末端执行器是晶圆转移机器人一个重要的组件,它有一个很大的影响传输效率机器人的硅片变形。目前关于末端执行器的晶片传送机器人的研究很少。因此,它是非常必要的相关研究。发展至今有两种晶片传送机器人:真空晶片传送机器人和大气晶
片传送机器人。真空晶片传送机器人工作在真空环境而大气晶片传送机器人工作在大气环境。对于真空晶片传送机器人,过境晶片依赖摩擦力晶片和晶圆自己的重量的末端执行器之间生成的。虽然大气晶片传送机器人是使用真空泵在晶片和机器人的末端执行器之间产生真空。在大气压力和真空中有一种压力区别,这造成了相当大的正常压力,然后生成足够的摩擦力来维持晶圆在机器人的位置。
2．研究
对于大气晶片传送机器人
对于晶片传送机器人工作在大气环境,晶片的两面的主要的压力差会使得摩擦力大到足以影响晶片。晶片的自己的体重还有助于一代的摩擦力。严重的晶片变形可能是由于大量吸收力,这是完全不可接受的。因此,我们需要分析对晶片的变形产生影响各种因素。考虑到高转换效率的要求,我们还应该建立最大转移加速和晶片传送机器人的末端执行器工作在大气环境的参数之间的关系。
（1）我们采用有限元分析方法分析吸收毛孔对晶片的变形数量的影响对于晶片的变形下产生不同数量的吸收毛孔。这里我们假设吸收毛孔的半径3毫米均匀分布在一个圆半径为100毫米。吸收毛孔的数量范围从三到无限的并且用于分析的晶片是直径300毫米厚度100微米。分析结果显示在图1和表1。结果表明,晶片的变形和应力减少增加吸收毛孔的数量,但在减少程度上变得越来越小。考虑技术和经济可行性,我们最后选择四个吸收毛孔(图2)。
图1 包含4个或6个吸收毛孔约束的晶片的变形模拟图
表1 仿真包含不同数量的吸收毛孔约束晶片的最大变形和应力
图2 包含不同数量的吸收毛孔最大变形和应力曲线
（2）吸收孔的位置也会影响的晶片变形。
通过同样的过程,我们分析晶片的变形和压力在行动与不同位置的吸收毛孔。吸收孔隙分布圈的半径范围从30到150毫米。分析结果显示在图3(a)。根据这个结果,我们可以得到的R =110毫米是最佳吸收孔位置以防止晶片的变形(图4)。
图3 (a)包含不同位置的毛孔约束晶片的变形模拟图；(b)吸收面接触等效原理图
图4 包含吸收毛孔的不同位置最大变形和应力曲线
（3）半径影响吸收毛孔在晶片的变形
作为吸收毛孔随其半径,吸收力它生成也会改变。所以我们需要分析半径之间的关系的吸附孔,晶片变形。结果显示在图5和表2。图6显示晶片变形显著增加随着规模的毛孔吸收更大。
图5 不同的吸收孔隙半径的晶片变形的曲线
表2 受到不同的半径吸收毛孔作用的最大的晶片变形
接触宽度在晶片的变形接触宽度末端执行器之间的影响,晶片也会影响晶片应力和变形。我们分析了晶片变形在不同接触宽度和结果如下所示(图6)。结果表明,晶片
变形和应力作为接触宽度的增加和减少的趋势线图7中所示。当接触宽度是20毫米,晶片最大变形是约1微米,它是可接受的。
图6 不同接触宽度的晶片变形模拟图
图7 不同接触宽度的最大变形和应力曲线
（4）在吸收区域压力分布
我们应该研究压力在吸收地区分布以防在晶圆上存在应力集中。如图3所示(b),当晶片是作用下吸收力F,它相当于,晶片接触一个球是在推动,力F。根据赫兹(1882)理论,当一个理想的球体接触一个平面,真正的接触面积可以拿到如下:
F -吸收力;Rs -半径的球体,这里我们假定它等于半径的吸收毛孔;Rk . -半径的实际的接触面积,E,n -弹性模量和泊松晶圆片的比例;Es,vs -弹性模量和泊松比的球体,这里我们假设它们是材料相当的末端执行器。如果某个地点之间的距离和中心的接触面积是r,然后上的压力这个特定的点是:
总体压力接触面积是:
对于典型的晶片和机器人工作在大气环境、材料参数是已知的。Vs= 0.33,Es = 68GPa,V=0.274,E=128.87的平均绩点。我们把压力分布函数的接触面积显示在方程：
图8显示,没有显著变化的压力值作为X1,X2的变化,这意味着压力是近均匀分布在整个吸收面积。因此没有应力集中在吸收区域。
图8 吸收面积压力分布图
3.设计
对于真空晶片传送机器
基于以上研究设计一种微阵列的肿块,我们尝试设计一种用于晶片传送微阵列凹凸。为了降低晶片变形,我们选择四个肿块联系方式并且四个肿块是完全相同的。从方便处理方面考虑，光刻胶苏8材料被用来制造了超细纤维数组并且采用光刻技术。原理和实际图的微阵列肿块如图12所示。超细纤维数组是均匀分布的面具，总面积5X5毫米。这个面具是固定的上表面一个玻璃基片面积6X6毫米,厚度3毫米。超细纤维数组、面具、玻璃衬底,三层组成的微阵列肿块。材料参数和尺寸参数数组和薄片是超细纤维显示在表3。
表3 超细纤维数组和晶片材料参数和尺寸参数
通过SEM照片我们可以看出,纤维的表面大约是一个圆形平面,所以真正的接触面积在防颤晶片和一个单纤维之间，面积接近πr2。基于表V,这些已知值替换得到方程：
当机器人采用这类超细纤维时最大传输加速度a=4.38 m /s2。
以直径300毫米并且厚度775毫米的晶圆的典型的转移为例。晶圆片的重量0.131公斤。通过方程,当机器人采用这种超细纤维肿块时我们可以得到最大附着力是Fad= 3.53mn。它可以看到最大的附着力晶片和末端执行器之间太小,阻碍了释放晶片。
物理设计的末端执行器
在集成电路产业晶片盒的半标准大小的规定为300毫米晶圆。端效应的大小应该匹配晶圆框的大小,以正确工作。因此,有一个请求端效应的大小是长度不超过450毫米,宽度不超过250毫米,厚度没有更多的超过5毫米。基于请求,我们最后决定我们的结束效应是390毫米长,220毫米宽,4毫米厚度。
我们也优化了末端执行器的结构结合现有的样品,并想出了一个特殊的结构实现连接的凸起和微阵列末端执行器。最后形成的末端执行器显示在图13。末端执行器的振动将会导致严重的问题晶片传送。这将导致末端执行器之间的摩擦和晶片盒、甚至碰撞,这将损害晶片。也严重的振动将导致晶片脱离末端执行器并导致严重后果。所以共振的结束效应器和机器人臂必须避免。通过有限元素分析的末端执行器设计在本文,我们得到它的动态特性,如下所示表4。
表4 末端执行器设计的普通频率
我们已经知道通过实验(不包括在这纸),机器人臂的振动频率是23赫兹,虽然第一阶固有频率的末端执行器是72赫兹,远远超过臂的振动频率。输入的频率也低于1赫兹。所以最后的效应器设计是本文能够避免共振与机器人的手臂,满足请求的动态特征。对于大气晶片传送机器人
在前面研究结果的基础上,我们设计四个吸收毛孔最后效应是一致的分布在一个圆半径为110毫米。当前大气晶片传送机器人可以达到最大的传输加速度为1 g。这里我们把目标的末端执行器的加速度设计在达到一个加速度的1.1 g。然后通过方程
根据已知参数,半径吸收毛孔r可以计算为r=3毫米。根据尺寸要求末端执行器和引用对现有产品,我们终于设计末端执行器的大气晶片传送机器人如图9所示。它的接触宽度与晶片是20毫米。
图9 (a)大气晶片传送机器人末端执行器的前面原理图；(b)背面；(c)实物
在案例的共振的末端执行器和机器人手臂,我们还必须分析末端执行器的动态特征。他们见表5,从这可以看到,第一阶固有频率的结束效应是54302赫兹,比手臂的振动频率是23赫兹。同样的频率输入低于1赫兹。所以设计的末端执行器能够为了避免共振与机器人的手臂,来满足要求动态特性。
表5 大气机器人末端执行器的普通频率
4.结论
对于真空晶片传送机器人的末端执行器。首先,本文应用研究壁虎启发超细纤维阵列的设计末端执行器的真空晶片传输机器人。晶圆片的变形与不同的联系在真空条
件转移比较它显示4个凹凸接触是最合适的方法。超细纤维的研究数组用于晶片交通运输和关系在晶片传送加速度、附着力和材料、尺寸参数的超细纤维数组建立了。然后一种微阵列凹凸与纤维直径5毫米和纤维长度15毫米的设计和固定到一个结构优化的末端执行器。最后,实验结果表明,该机器人采用这种微阵列可以实现传输加速度撞4.155m/s2,远远大于传统疙瘩由不锈钢吗钢或橡胶。这意味着应用程序的超细纤维数组对真空转移机器人具有显著提高机器人的
传输效率和这个有着重要的意义来集成电路制造行业。还4.155m/s2基本上是符合理论价值4.38m/s2和它验证这项研究的正确性的超细纤维数组用于晶片过境。
对于末端执行器大气晶片传送机器人,我们已经分析了吸收毛孔的号码, 位置,半径和接触宽度在晶片变形影响。据分析,四个吸收毛孔一致分布在一个圆半径为110 mm被选择作为我们的设计方案。压力分布在吸收面积研究和结果显示没有压力集中在这个地区。考虑吸收力和末端执行器的结构、计算公式的最大转移加速建立大气机器人。基于这些研究大气机器人末端执行器,一种新的末端执行器满足请求的动态提出了特征。最后,实验结果验证研究的正确性末端执行器的前面大气机器人,我们已经成功地在吸收力方面提高了转移能力和控制晶片的大气机器人变形。
参考资料
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机器人外文翻译
英文原文出自《Advanced Technology Libraries》2008年第5期 Robot Robot is a type of mechantronics equipment which synthesizes the last research achievement of engine and precision engine, micro-electronics and computer, automation control and drive, sensor and message dispose and artificial intelligence and so on. With the development of economic and the demand for automation control, robot technology is developed quickly and all types of the robots products are come into being. The practicality use of robot products not only solves the problems which are difficult to operate for human being, but also advances the industrial automation program. At present, the research and development of robot involves several kinds of technology and the robot system configuration is so complex that the cost at large is high which to a certain extent limit the robot abroad use. To development economic practicality and high reliability robot system will be value to robot social application and economy development. With the rapid progress with the control economy and expanding of the modern cities, the let of sewage is increasing quickly: With the development of modern technology and the enhancement of consciousness about environment reserve, more and more people realized the importance and urgent of sewage disposal. Active bacteria method is an effective technique for sewage disposal，The lacunaris plastic is an effective basement for active bacteria adhesion for sewage disposal. The abundance requirement for lacunaris plastic makes it is a consequent for the plastic producing with automation and high productivity. Therefore, it is very necessary to design a manipulator that can automatically fulfill the plastic holding. With the analysis of the problems in the design of the plastic holding manipulator and synthesizing the robot research and development condition in recent years, a economic scheme is concluded on the basis of the analysis of mechanical configuration, transform system, drive device and control system and guided by the idea of the characteristic and complex of mechanical configuration,
人形机器人论文中英文资料对照外文翻译
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机器人结构论文中英文对照资料外文翻译文献
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晶片传送机器人末端效应器研究、设计和实验 刘延杰、徐梦、曹玉梅 张华译 摘要：目的——晶片传送机器人扮演一个重要角色IC制造行业并且末端执行器是一个重要的组成部分的机器人。本文的目的是使晶片传送机器人通过研究其末端执行器提高传输效率,同时减少晶片变形。 设计/方法/方法——有限元方法分析了晶片变形。对于在真空晶片传送机器人工作,首先,作者运用来自壁虎的超细纤维阵列的设计灵感研究机器人的末端执行器,和现在之间方程机器人的交通加速度和参数的超细纤维数组。基于这些研究,一种微阵列凹凸设计和应用到一个结构优化的末端执行器。对于晶片传送机器人工作在大气环境中,作者分析了不同因素的影响晶片变形。在吸收面积的压力分布的计算公式,提出了最大传输加速度。最后, 根据这些研究得到了一个新的种末端执行器设计大气机器人。 结果——实验结果表明, 通过本文研究应用晶片传送机器人的转换效率已经得到显着提高。并且晶片变形吸收力得到控制。 实际意义——通过实验可以看出,通过本文的研究,可以用来提高机器人传输能力, 在生产环境中减少晶片变形。还为进一步改进和研究末端执行器打下坚实的基础,。 创意/价值——这是第一次应用研究由壁虎启发了的超细纤维阵列真空晶片传送机器人。本文还通过有限元方法仔细分析不同因素在晶片变形的影响。关键词：晶片传送机器人末端执行器、超细纤维数组、晶片 1.介绍
人工智能专业外文翻译-机器人
译文资料： 机器人 首先我介绍一下机器人产生的背景，机器人技术的发展，它应该说是一个科学技术发展共同的一个综合性的结果，同时，为社会经济发展产生了一个重大影响的一门科学技术，它的发展归功于在第二次世界大战中各国加强了经济的投入，就加强了本国的经济的发展。另一方面它也是生产力发展的需求的必然结果，也是人类自身发展的必然结果，那么随着人类的发展，人们在不断探讨自然过程中，在认识和改造自然过程中，需要能够解放人的一种奴隶。那么这种奴隶就是代替人们去能够从事复杂和繁重的体力劳动，实现人们对不可达世界的认识和改造，这也是人们在科技发展过程中的一个客观需要。 机器人有三个发展阶段，那么也就是说，我们习惯于把机器人分成三类，一种是第一代机器人，那么也叫示教再现型机器人，它是通过一个计算机，来控制一个多自由度的一个机械，通过示教存储程序和信息，工作时把信息读取出来，然后发出指令，这样的话机器人可以重复的根据人当时示教的结果，再现出这种动作，比方说汽车的点焊机器人，它只要把这个点焊的过程示教完以后，它总是重复这样一种工作，它对于外界的环境没有感知，这个力操作力的大小，这个工件存在不存在，焊的好与坏，它并不知道，那么实际上这种从第一代机器人，也就存在它这种缺陷，因此，在20世纪70年代后期，人们开始研究第二代机器人，叫带感觉的机器人，这种带感觉的机器人是类似人在某种功能的感觉，比如说力觉、触觉、滑觉、视觉、听觉和人进行相类比，有了各种各样的感觉，比方说在机器人抓一个物体的时候，它实际上力的大小能感觉出来，它能够通过视觉，能够去感受和识别它的形状、大小、颜色。抓一个鸡蛋，它能通过一个触觉，知道它的力的大小和滑动的情况。第三代机器人，也是我们机器人学中一个理想的所追求的最高级的阶段，叫智能机器人，那么只要告诉它做什么，不用告诉它怎么去做，它就能完成运动，感知思维和人机通讯的这种功能和机能，那么这个目前的发展还是相对的只是在局部有这种智能的概念和含义，但真正完整意义的这种智能机器人实际上并没有存在，而只是随着我们不断的科学技术的发展，智能的概念越来越丰富，它内涵越来越宽。 下面我简单介绍一下我国机器人发展的基本概况。由于我们国家存在很多其
管道机器人(英文)
A SIMPLE ARCHITECTURE FOR IN-PIPE INSPECTION ROBOTS Mihaita HORODINCA, Ioan DOROFTEI, Emmanuel MIGNON, André PREUMONT Active Structures Laboratory UNIVERSITE LIBRE DE BRUXELLES Av. F. D. Roosevelt 50, cp 165/42, Brussels, Belgium Phone: (32)2-6504663 Fax: (32)2-6504660 e-mail: andre.preumont@ulb.ac.be Abstract: The paper presents an original robot architecture for in-pipe inspection. The robot consists of two parts articulated with a universal joint. One part is guided along the pipe by a set of wheels moving parallel to the axis of the pipe, while the other part is forced to follow an helical motion thanks to tilted wheels rotating about the axis of the pipe. A single motor is placed between the two bodies to produce the motion. All the wheels are mounted on a suspension to accommodate for changing tube diameter and curves in the pipe. The robot is autonomous and carries its own batteries and radio link. Four different prototypes have been constructed for pipe diameters of 170, 70 and 40 mm, respectively. For smaller diameters, the batteries and the radio receiver may be placed on an additional body attached to the others. The autonomy of the prototypes is about 2 hours. This architecture is very simple and the rotary motion can be exploited to carry out scrubbing or inspection tasks. Keywords: Autonomous mobile robot, In-pipe inspection, Helical motion Introduction Pipe inspection robots have been studied for a long time, and many original locomotion concepts have been proposed to solve the numerous technical difficulties associated with the change in pipe diameter, curves and energy supply. Although an exhaustive review of the literature is impossible due to the limited space available, a few broad categories can be identified: (i) For small size, many projects follow the earthworm principle consisting of a central part moving axially while the two end parts are provided with blocking devices connected temporarily to the pipe. Pneumatic versions of this concept have been proposed (e.g. [1]), but they require an umbilical for power. For smaller diameter (10 mm or less), a piezoelectric actuation has been considered, according to the inchworm principle, or according to an inertial locomotion driven by a saw-tooth wave voltage [2], or using vibrating fins with differential friction coefficients [3]. (ii) For medium size piping, classical electromechanical systems have been proposed with various architectures involving wheels and tracks, with more or less complicated kinematical structures, depending on the diameter adaptability and turning capability (e.g. [4,5]). (iii) For large pipes, walking tube crawlers have also been proposed [6].
外文翻译-多自由度步行机器人
多自由度步行机器人 摘要在现实生活中设计一款不仅可以倒下而且还可以站起来的机器人灵活智能机器人很重要。本文提出了一种两臂两足机器人,即一个模仿机器人,它可以步行、滚动和站起来。该机器人由一个头,两个胳膊和两条腿组成。基于远程控制,设计了双足机器人的控制系统,解决了机器人大脑内的机构无法与无线电联系的问题。这种远程控制使机器人具有强大的计算头脑和有多个关节轻盈的身体。该机器人能够保持平衡并长期使用跟踪视觉,通过一组垂直传感器检测是否跌倒,并通过两个手臂和两条腿履行起立动作。用实际例子对所开发的系统和实验结果进行了描述。 1 引言随着人类儿童的娱乐,对于设计的双足运动的机器人具有有站起来动作的能力是必不可少。 为了建立一个可以实现两足自动步行的机器人,设计中感知是站立还是否躺着的传感器必不可少。两足步行机器人它主要集中在动态步行,作为一种先进的控制问题来对待它。然而,在现实世界中把注意力集中在智能反应,更重要的是创想,而不是一个不会倒下的机器人,是一个倒下来可以站起来的机器人。 为了建立一个既能倒下又能站起来的机器人,机器人需要传感系统就要知道它是否跌倒或没有跌倒。虽然视觉是一个机器人最重要的遥感功能,但由于视觉系统规模和实力的限制,建立一个强大的视觉系统在机器人自己的身体上是困难的。如果我们想进一步要求动态反应和智能推理经验的基础上基于视觉的机器人行为研究,那么机器人机构要轻巧足以够迅速作出迅速反应,并有许多自由度为了显示驱动各种智能行为。至于有腿机器人,只有一个以视觉为基础的
小小的研究。面临的困难是在基于视觉有腿机器人实验研究上由硬件的显示所限制。在有限的硬件基础上是很难继续发展先进的视觉软件。为了解决这些问题和推进基于视觉的行为研究,可以通过建立远程脑的办法。身体和大脑相连的无线链路使用无线照相机和远程控制机器人,因为机体并不需要电脑板,所以它变得更加容易建立一个有许多自由度驱动的轻盈机身。 在这项研究中,我们制定了一个使用远程脑机器人的环境并且使它执行平衡的视觉和起立的手扶两足机器人,通过胳膊和腿的合作,该系统和实验结果说明如下。图 1 远程脑系统的硬件配置图 2 两组机器人的身体结构 2 远程脑系统 远程控制机器人不使用自己大脑内的机构。它留大脑在控制系统中并且与它用无线电联系。这使我们能够建立一个自由的身体和沉重大脑的机器人。身体和大脑的定义软件和硬件之间连接的接口。身体是为了适应每个研究项目和任务而设计的。这使我们提前进行研究各种真实机器人系统。 一个主要利用远程脑机器人是基于超级并行计算机上有一个大型及重型颅脑。虽然硬件技术已经先进了并拥有生产功能强大的紧凑型视觉系统的规模,但是硬件仍然很大。摄像头和视觉处理器的无线连接已经成为一种研究工具。远程脑的做法使我们在基于视觉机器人技术各种实验问题的研究上取得进展。 另一个远程脑的做法的优点是机器人机体轻巧。这开辟了与有腿移动机器人合作的可能性。至于动物,一个机器人有 4 个可以行走的四肢。我们的重点是基于视觉的适应行为的4肢机器人、机械动物,在外地进行试验还没有太多的研究。 大脑是提出的在母体环境中通过接代遗传。大脑和母体可以分享新设计
智能机器人外文翻译
Robot Robot is a type of mechantronics equipment which synthesizes the last research achievement of engine and precision engine, micro-electronics and computer, automation control and drive, sensor and message dispose and artificial intelligence and so on. With the development of economic and the demand for automation control, robot technology is developed quickly and all types of the robots products are come into being. The practicality use of robot products not only solves the problems which are difficult to operate for human being, but also advances the industrial automation program. At present, the research and development of robot involves several kinds of technology and the robot system configuration is so complex that the cost at large is high which to a certain extent limit the robot abroad use. To development economic practicality and high reliability robot system will be value to robot social application and economy development. With the rapid progress with the control economy and expanding of the modern cities, the let of sewage is increasing quickly: With the development of modern technology and the enhancement of consciousness about environment reserve, more and more people realized the importance and urgent of sewage disposal. Active bacteria method is an effective technique for sewage disposal，The lacunaris plastic is an effective basement for active bacteria adhesion for sewage disposal. The abundance requirement for lacunaris plastic makes it is a consequent for the plastic producing with automation and high productivity. Therefore, it is very necessary to design a manipulator that can automatically fulfill the plastic holding. With the analysis of the problems in the design of the plastic holding manipulator and synthesizing the robot research and development condition in recent years, a economic scheme is concluded on the basis of the analysis of mechanical configuration, transform system, drive device and control system and guided by the idea of the characteristic and complex of mechanical configuration, electronic, software and hardware. In this article, the mechanical configuration combines the character of direction coordinate and the arthrosis coordinate which can improve the stability and operation flexibility of the system. The main function of the transmission mechanism is to transmit power to implement department and complete the necessary movement. In this transmission structure, the screw transmission mechanism transmits the rotary motion into linear motion. Worm gear can give vary transmission