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光学镀膜设计

光学镀膜设计
光学镀膜设计

为了减少表面反射光.最简单的途径是在玻璃表面上镀一层低折射率的薄膜.

如图2-1所示,在界面1和2上的振幅反射系数为r1和r2:

从矢量图上可以看到,舍振幅矢量r随着r1和r2之间的夹角而变化.合矢量端点的轨迹为一圆周.当膜层的光学厚度为某一波长的四分之一时,则两个矢量的方向完全相反,合矢量成为最小.

这时如果矢量的模相等,则对该波长而言,两个矢量将完全抵消,出现零反射率.

欲使|r1|=|r2|,则有:

如果n0=1,则有n1=sqr(n2),

目此,理想的单层增遗膜的条件是,膜层的光学厚度为四分之一波长.其折射率为入射介质和基片折射率乘积的平方根。

在可见区,使用得最普遍的是折射率为1.62左右的冕脾玻璃.理想的增透膜的折射率为1.28,但是至今能利用的薄膜的最低折射率是1.38(氟化镁).这虽然不很理想,但也得到了相当的改进.非理想情形的最低反射率,也可以用特征矩阵简单地算出.

对于中心波长:

因而:

当n2=1.52,n1=1.38,n0=1时,由上式可得最低反射率为1%,即对于折射率为1.52的玻璃,镀单层氟化镁后,中心波长的反射率从4.2%为降至1.3%为左右.整个可见区平均反射率约为1.5%.同样可计算出,对于折射率为1.65的基片,中心波长的表面反射从6%降至0.5%左右,可见区的平均反射率约为0.96%.显然,愈是接近于满足n1=sqr(n2)的条件的折射率较高的玻璃,中心波长的增透效果愈显著.

图2-2显示对于不同基片材料的单层氟化镁减反射膜的分光反射率曲线。以上仅仅考虑了垂直入射的情况.在倾斜入射时,情况与上述相类似,只是膜层的有救厚度减小了,

因而最低反射的渡长更短些.同时应该用更普遍的修正导纳来代替折射率.由于P-分量和S-分量的修正导纳不同,所以偏振效应是一目了然的.计算表明,对于不大于石50o的入射角,反射率随入射角的增加可以忽略。

单层增透膜的出现,在历史上是一个重大的进展。直至夸天仍广泛地用来满足一些简单的用途。但是它存在着两个主要的缺陷,首先,对太多数应用来说,剩余反射还显得太高;此外,从未镀膜表面反射的光线,在色彩上仍保持中性,而从镀膜表面反射的光线就不然(见图2-2),破坏了色的平衡.其结果是不可能作出良好的色彩还原,同时也必然还存在光斑幻象.因而不可能有良好的描写性能.作为变焦距镜头,超广角镜头。太相对孔径等新型透镜系统中的镀层,那更是不能符合要求的然而基本上有两个途径可以提高草层膜的性髓,即:采用变折射率的所谓非均匀膜,它的折射率随着厚度的增加呈连续的变化,或者采用几层折射率不同的均匀薄膜椅成增遘膜,即所谓多层增透膜.

变折射率减反射膜的最新产品作了报道,介绍在玻璃表面上用化学蚀刻方法制各折射率连续变化的耐久的干涉膜.在波长从0.35u到2.5u范围内,能有效地消除玻璃表面的反射,使从8%左右(两个表面)减少到小于0.5%.

这种方法是利用了碱性硼硅酸盐中的相分离现象,采用合理的热处理条件,碱性硼硅酸盐相应地分离成两个玻璃相.一个相中二氧化硅浓度高达96%左右,即不可溶解的浓二氧化硅相;另一个相中氧化硼浓度较高,即可溶解的低二氧化硅相.这个可溶解的相,用许多材料(包括大多数无机酸)能够

很容易地溶解,留下氧化硅含量高的相作为多孔骨架的表面薄膜。由于这种薄膜的多孔性和毛细孔尺寸小(半径小于40A),所以其有效折射率比凝聚的二氧化硅薄膜的折射率低得多。这种多孔薄膜的折射率梯度,在利用相分离和化学蚀刻方法时是容易控制的.利用这种独特的拄术制备的微孔性薄膜,不仅在宽光谱范围内有低的反射率,而且具有惊人的耐久力。这种薄膜在太阳能的应用中是有价值的,在高能量应用(如激光)中也颇有潜力。

目前应用得更为广泛的是采用几层折射率不同的均匀薄膜.所以在这里我们着重讨论多层增透膜.

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光学薄膜工艺基础知识

光学薄膜工艺基础知识 工艺因素对薄膜性能的影响机理大致为: 一、基片材料 1、膨胀系数不同热应力的主要原因; 2、化学亲和力不同影响膜层附着力和牢固度; 3.、表面粗糙度和缺陷散射的主要来源。 二.、基片清洁 残留在基片表面的污物和清洁剂将导致: 1、膜层对基片的附着力差; 2、散射吸收增大抗激光损伤能力差; 3、透光性能变差。 三、离子轰击的作用 提高膜层在基片表面的凝聚系数和附着力;提高膜层的聚集密度,氧化物膜层的透过率增加,折射率提高,硬度和抗激光损伤阈值提高。 光学镜片小知识 镜片材料分类 玻璃镜片包括光学玻璃镜片及高折射率镜片(即通常所称的超薄片),其硬度高、耐磨性能好,一般其质量及各项参数不会随时间而改变,但是玻璃镜片的抗冲击性及重量方面要略逊于树脂镜片。 树脂镜片一般要比玻璃镜片轻得多,且抗冲击性能要优于玻璃片,防紫外线能力强,但其表面硬度较低,比较容易被擦伤。树脂镜片及镀膜镜片由于其特性较软,所以平时应注意不要让镜面直接接触硬物,擦洗时最好先用清水(或掺合少量洗洁精)清洗,然后用专用试布或优质棉纸吸干眼镜片上的水滴。此外,在环境条件较差的地方应慎用镀膜镜片,以免沾上污物难以清洗。 宇宙(PC)镜片:折射率高,牢固,但易磨损.多数使用于小孩子的眼镜片,无框架的装配或运动员的护眼罩。 镜片镀膜后有哪些优点? 镀膜镜片可以降低镜片表面的反射光,视物清楚,减少镜面反射光,增加了光线透过率,也解决戴眼镜在强光下照像的难题,增加美感。镀膜眼镜能防止紫外线、红外线、X线对视力的伤害。配戴镀膜眼镜不易疲劳。对荧光屏前工作人员的视力可受到保护。 镀膜树脂镜片除应避免划碰高温外,亦应避免酸类油烟等侵蚀,如在日常生活中最好不要戴镜下厨,尤其是通风不好油烟大时;同时亦不能戴(带)镜进(近)热水淋浴环境,平常临时放置时应将镜片凸面向上,随身携带时应将眼镜放入盒内,不要随便放入口袋中或挂包中,那样极易使膜层擦伤。

镜头多层镀膜技术的原理--光学

镜头多层镀膜技术的原理、发展和使用概况 一、防反射膜层(增透膜)的作用 在自然界极易见到称为膜层的现象,例如水面上扩展的油膜层,肥皂泡产生的有美丽色彩和光泽的泡沫。这些与透镜表面的带色泽膜层有类之处,但透镜表面是用人工方法镀制的膜层。装在照相机上的摄影用镜头,一般要进行防反射膜处理。除照相机镜头外,望远镜、双筒显微镜、眼镜,还有航空光学仪器和汽车的计数盘表面玻璃等也有同样要求。今日,薄膜加工技术已获得广泛使用。 这种防反射膜,也称增透膜,其作用是尽量抑制透镜的玻璃表反射,减小光量损失,使入射光线尽量多透过镜头。(图1) 镀膜也取决于处理方法,有特定的分光特性的半透镜和干涉滤光镜等,在取景器光学系统和光源的照明系统中得到使用。 当然,初期的照相机和现代的摄影镜头都镀有薄膜。单个透镜组成的镜头,两个反射面,共有10%光量损失,从照相机初期的水准,考虑镀制防反射膜似乎是不必要的。 二、重新评价多层镀膜 镜片镀膜工艺的目的,首先是透镜的防反射作用,现在仍作为主要目的。随着加工技术的进步和使用范围不断扩大,产生了高度技术化的多层膜技术,分光透过的控制相当准确,操作方便,使用得到普及。对多层镀膜的性能提出高要求,会使成本提高。厂商为了提高镜头像质的课题注入大量经费,其效果是明显的。可以这么说,没有多层镀膜技术飞跃发展,高倍、大孔径变焦镜头不可能有今天的兴旺局面。 防反射的膜层能产生增透效果。此外,还有更直接的作用,这就是在逆光摄影时,幅于膜层影响,使易产生的幻像和光晕降低到最小程度。(图2、图3) 最近多组透镜构成的变焦镜头已成世界镜头发展的主流,采用多层镀膜,到达胶片面的光线,其衍生的杂散光部分大大减小,使镜头鉴别率不至于降低,也不损坏色采还原。重新评价经改进的膜层,研制在各种镜头中引入最适宜的镀膜最新技术,是各厂家一直研究的重要课题。单层膜、多层膜,部分透镜面镀多层膜,超级多层膜......形形色色的组合和新型膜系使用,对镜头发展起了重要作用。重新认识多层镀膜,已引起广大摄影师的广泛兴趣和关注。(图 4、图5) 三、镀膜略史 镜头烧热发现膜层 1892年;英国泰勒(H.D.Toylor,著名的Cook,Triplet镜头设计师)发现,把烧过的望远镜物镜的玻璃表面经风化出现紫色,和新的透镜比较,发现能通过更多的光线。受弱酸侵蚀的玻璃表面存在折射率低的薄膜,能降低玻璃表面的反身率。 这个透镜燃烧的新发现,使人们知道了膜层作用,并产生镀膜技术。以后,利用人工的弱酸化学作用,从实验室产技术。 1935年:德国卡尔,蔡司发明了防反射膜层处理技术。蔡司的A.Smakula在真空中加热蒸发低折射率氟化物薄膜,诞生了防反射薄膜处理方法。 1936年:美国加利福尼亚工业大学的J.D.Strong把玻璃置于真空中,加热蒸发有增透效果的氟化钙(CaF2),成功制成人工防反射薄膜。 由于上述原困,2个透镜组合胶合透镜可以分离,增加透镜设计的自由度。 1938年:美国依斯曼.柯达公司在HECTA镜头上完成镀膜工艺。 1939-1943年:卡尔.蔡司公司成功实现了2层和3层增膜系。 1945年:德国徕兹公司。在徕卡的标准镜头中首先使用镀膜技术,从SUMMITAR50mmF2

高分辨率手机镜头的光学设计与性能仿真-毕业设计论文

高分辨率手机镜头的光学设计与性能仿真- 毕业设计论文郑州轻工业学院 本科毕业设计, 论文, 题目高分辨率手机镜头的 光学设计与性能仿真 学生姓名 专业班级电子科技13-01 学号 院(系)物理电子工程学院 指导教师(职称) 完成时间2017 年5月30日 目录 中文摘要 英文摘要 1 绪论 1.1 引言 1.2 手机镜头与数码相机镜头比较 1.3 拍照手机国内外发展状况 1.4 手机镜头未来趋势手机照相理论基础 2.1 手机镜头成像原理 2.2 手机镜头基本术语 2.2.1 焦距6

2.2.2 光圈 7 I 2.2.3 像素 2.2.4 分辨率 3 手机镜头像差理论与优化设计 致谢 参考文献 高分辨率手机镜头的光学设计与性能仿真 摘要 快速发展的手机照相功能,让我们对照片的清晰度要求越来越高,一些低端的 数码相机早已逐步由拥有高分辨率的手机摄像头逐渐取代了,但在目前市场照相手 为这样,对研究高分辨率手机镜头有着重大的意义。文章中总结了手机镜头的国内 外发展的基础上,结合了光学非球面以及像差理论,使用 ZEMA )软件,进行光学 设 计得到了一个 800 万像素的超薄手机镜头。该镜头由 4片光学塑料非球面透镜组 成,优化是通过ZEMA )软件的功能,并最终获得一个高像素超薄成像结构,总长仅 3.21mm 且具有优良性能、成本低廉,满足设计要求的手机镜头。 关键词:手机镜头;800万像素;塑料非球面;ZEMAX 3.1 手机镜头像差理论 3.2 光学系统的优化设计 11 4.1 4.2 百万像素手机镜头光学系统设计 镜头设计指标 设计结果 13 13 13 18 19 机中高像素拍照手机的占绝大部分, 800万像素的手机在市场中高比率占有正式因

光学镀膜自动设计实验

综合设计实验:光学镀膜自动设计实验 实验一镀膜材料准备及膜层设计 【实验目的】 本实验通过发光二极管的制作过程完成对真空镀膜的学习。 【实验仪器】 1、真空镀摸机; 2、镀膜监测仪; 3、旋涂机; 4、干涉显微镜; 5、直流电源。【实验材料】 1、导电玻璃; 2、高纯铝丝; 3、三芳胺聚西夫碱; 4、8-羟基喹啉铝; 5、氟化锂; 6、丙酮; 7、无水乙醇; 8、脱脂棉; 9、盐酸等。 【实验原理】 真空镀膜是制作薄膜器件地常用方法,所谓真空镀膜是把待镀膜的基片或工件置于高真空室内,通过加热使蒸发材料气化(或升华)而沉积到某一温度的基片或工作表面上,从而形成一层薄膜,这一工艺过程称为真空蒸发镀膜。在高真空环境中成膜,可防止膜的污染和氧化,便于得到洁净,致密,符合预定要求得薄膜,因此,这种制膜方法目前得到了广泛应用。 本实验利用真空镀膜技术制作一种有机薄膜发光二极管。 众所周知,无机发光二极管在视频,数字显示,仪器监控,广告等诸多领域已经得到了广泛的应用,并取得了令人注目的成就。但是它们也存在着很多缺点:如体积大,发光材料品种较少,器件制作工艺复杂,成本高,能耗大,很难提供全色显示等。相反,有机材料薄膜电致发光器件(TFELD)却克服了上述缺点,显示出很

多无机电致发光器件无法比拟的优点。有机薄膜电致发光器件具有可大面积彩色显示,驱动电压低,可直流驱动,发光效率和亮度高,发光颜色可覆盖整个光谱区,有柔软性,易加工,成本低廉等优点。它已成为当前发光器件研究的热点,有机发光还具有材料来源广泛,颜色可调等优势。因此,它在显示技术方面具有潜在的应用前景。 近年来,在寻找新的有机电致发光材料,延长有机电致发光显示寿命方面取得了突破性进展,正朝着实用化的方向迅猛发展。 1.发光二极管工作原理 1.1发光二极管的基本机构 典型发光二极管的结构为三明治结构如图一,阳极为透明的导电玻璃(ITO),具有较高的功函数(4~7ev),阴极为低功函数金属(3~4ev),阴极阳极之间加入一层发光薄膜,在工作电压(2~30v)便可发光。为了改善其性能通常在阳极与有机发光物间加一层空穴传输层,在阴极与发光物间加一层电子传输层。 电致发光激发机构

真空镀膜机操作指导

真空镀膜实验指导 真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。本实验通过介绍蒸发镀膜原理,掌握蒸发镀膜的操作方法。真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。 1真空镀膜原理: 1.1蒸发镀膜机理 蒸发镀膜是真空镀膜的一种,它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态,沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面,形成一层或多层膜的方法。凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。 蒸发原子的成膜过程比较复杂,这里只能粗略描述如下:溅落原子首先被固体表面吸附,当表面温度低于某一临界温度时,原子开始“核化”——部分原子凝聚成团,出现若干“岛”,然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大,众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。蒸发镀膜的条件主要有两个,分别介绍如下: 1.2高真空 我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面,这样,蒸发镀膜的速度高,成膜质量也好。相反,如果真空度低,有大量的空气分子存在,一方面,蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞,阻碍了膜材分子的扩散,降低了蒸镀的速度,影响了膜的均匀性,另一方面,空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高,必然要加大加热功率;更有甚者,空气的存在可能使膜材的某些成分氧化,引起成分变性;在连接着抽气机的情况下,若不能很快完成镀膜,膜料将被抽走。因此,蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。当然,真空度也不需要绝对地高。事实上,只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。如果膜材到基底的距离为10 --20cm,根据自由程公式 (d是分子的直径,n是分子数密度) 不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。 1.3材料洁净 材料的洁净包括膜料的洁净和基底材料的洁净。这一要求似乎是不言而喻的。如果材料中混有颗粒状或纤维状的杂质,将直接影响膜的均匀性和牢固度;如果混有可融的化学成分,将影响膜的物理性质,如亮度、表面张力、电导率等等。所以,膜材和基底的清洗工作必须认真对待。 2真空技术

光学镀膜的作用

光学镜片镀膜 一、耐磨损膜(硬膜) 无论是无机材料还是有机材料制成的眼镜片,在日常的使用中,由于与灰尘或砂砾(氧化硅)的摩擦都会造成镜片磨损,在镜片表面产生划痕。与玻璃片相比, 有机材料制成的硬性度比较低,更易产生划痕。通过显微镜,我们可以观察到镜片表面的划痕主要分为二种,一是由于砂砾产生的划痕,浅而细小,戴镜者不容易察觉;另一种是由较大砂砾产生的划痕,深且周边粗糙,处于中心区域则会影响视力。 (1)技术特征 1)第一代抗磨损膜技术 抗磨损膜始于20世纪70年代初,当时认为玻璃镜片不易磨制是因为其硬度高,而有机镜片则太软所以容易磨损。因此将石英材料于真空条件下镀在有机镜片表面,形成一层非常硬的抗磨损膜,但由于其热胀系数与片基材料的不匹配,很容易脱膜和膜层脆裂,因此抗磨损效果不理想。 2)第二代抗磨损膜技术 20世纪80年代以后,研究人员从理论上发现磨损产生的机理不仅仅与硬度相关,膜层材料具有“硬度/形变”的双重特性,即有些材料的硬度较高,但变形较小,而有些材料硬度较低,但变形较大。第二代的抗磨损膜技术就是通过浸泡工艺法在有机镜片的表面镀上一种硬度高且不易脆裂的材料。 3)第三代抗磨损膜技术 第三代的抗磨损膜技术是20世纪90年代以后发展起来的,主要是为了解决有机镜片镀上减反射膜层后的耐磨性问题。由于有机镜片片基的硬度和减反射膜层的硬度有很大的差别,新的理论认为在两者之间需要有一层抗磨损膜层,使镜片在受到砂砾磨擦时能起缓冲作用,并而不容易产生划痕。第三代抗磨损膜层材料的硬度介于减反射膜和镜片片基的硬度之间,其磨擦系数低且不易脆裂。 4)第四代抗磨损膜技术 第四代的抗膜技术是采用了硅原子,例如法国依视路公司的帝镀斯(TITUS)加硬液中既含有有机基质,又含有包括硅元素的无机超微粒物,使抗磨损膜具备韧性的同时又提高了硬度。现代的镀抗磨损膜技术最主要的是采用浸泡法,即镜片经过多道清洗后,浸入加硬液中,一定时间后,以一定的速度提起。这一速度与加硬液的黏度有关,并对抗磨损膜层的厚度起决定作用。提起后在100 °C左右的烘箱中聚合4-5小时,镀层厚约3-5微米。 (2)测试方法 判断和测试抗磨损膜耐磨性的最根本的方法是临床使用,让戴镜者配戴一段时间,然后用显微镜观察并比镜片的磨损情况。当然,这通常是在这一新技术正式推广前所采用的方法,目前我们常用的较迅速、直观的测试方法是: 1)磨砂试验 将镜片置于盛有砂砾的宣传品内(规定了砂砾的粒度和硬度),在一定的控制下作来回磨擦。结束后用雾度计测试镜片磨擦前后的光线漫反射量,并且与标准镜片作比较。 2)钢丝绒试验 用一种规定的钢丝绒,在一定的压力和速度下,在镜片表面上磨擦一珲的次数,然后用雾度计测试镜片磨擦前后的光线漫反射量,并且与标准镜片作比较。当然,我们也可以手工操作,对二片镜片用同样的压力磨擦同样的次数,然后用肉眼观察和比较。

基于MATLAB光学信息处理结果的模拟

主要符号表 λ 入射光的波长 0 r 狭缝到接收屏的距离 a 缝宽(矩形孔的长度) b 矩形孔的宽度 d 缝间距 r 圆孔半径 θ 衍射角 f 透镜的焦距 x 屏上横向坐标 y 屏上纵向坐标 0I 0P 点的光强 I P 点的光强

1 绪论 1.1MATLAB语言用于计算机模拟的优势 有过计算机语言编程经验的人可能都会有这样的体会,当我们进行程序设计时,特别是当程序涉及到矩阵运算或绘图时,程序的编程过程是比较繁琐的,尤其是当我们需要编出一个通用程度较高的程序时就更为麻烦。它不仅要求我们深刻了解所要求解的问题以找到一个可靠性较好的算法,还必须研究各种可能的边界条件,特别是要考虑各种范围的数据大小等。另外,还要熟练掌握所使用的计算机语言。即便如此,所编写出的程序仍有可能会由于这样或那样的原因出错,或得不到满意的结果。因此,对于非计算机专业的科研和教学人员,更渴望有一种能让他们省时省力就能编写出解决专业问题的软件,从而避免资源浪费,提高工作效率。MATLAB就是顺应这一需求产生的,而且从它诞生之日起,就受到用户的欢迎,并且很快在各个领域得到推广。 MATLAB语言是Mathworks公司推出的一套高性能的数值计算可视化软件,它集数值分析、矩阵运算和图形显示于一体,被称为演算纸式的语言,是当今国际上最具活力的软件开发工具包。它提供了强大的科学运算、灵活的程序设计流程、高质量的图形生成及模拟、便捷的与其它程序和语言接口的功能。高质量的图形生成及模拟包括完成2D和3D数据图示、图像处理、动画生成、图形显示等功能的高层MATLAB命令,也包括用户对图形图像等对象进行特性控制的低层MATLAB 命令,以及开发GUI应用程序的各种工具。MATLAB提供了一个人机交互的系统环境,与利用C语言或FORTRAN语言作数值计算的程序设计相比,可以节省大量的 编程时间。通过MATLAB高质量的图形生成及模拟功能对抽象物理现象的细致模拟,使这些过程变得非常直观明了,从而把一些抽象的理论简明化,而且这种方法的实现要比其它的一些仿真软件简单、易行。因为MATLAB既是一种直观、高效的计算机语言,同时又是一个科学计算平台,它为数据分析和数据可视化、算法和应用程序开发提供了最核心的数学和高级图形工具。根据它提供的500多个数学和工程函数,可以在它的集成环境中交互或编程以完成各自的计算及图形生成与模拟。MATLAB中的Simulink是用来对真实世界的系统建模、模拟和分析的部件,提供了基于MATLAB核心的数值、图形、编程功能的一个块状图界面,对模型进行分析和模拟。通过利用MATLAB的编译器、C/C++数学库和图形库,可以自动地将包含数值计算和图形的MATLAB语言的源程序转换为C/C++的源代码。这些代码根据需要既可以当作子模块嵌入大的应用程序中,也可以作为一个独立的程序脱离环境单独运行。这样把一些复杂的物理现象通过MATLAB模拟出来并生成可执行的程序,可以拿来直接MATLAB使用,这是非常方便的。 MATLAB软件包括基本部分和专业扩展部分。基本部分包括:矩阵的运算和各种变换,代数和超越方程的求解。数据处理和傅立叶边变换,数值积分等等。专业扩展部分称为工具箱。它实际上是用MATLAB的基本语句编成的各种子程序集,用于解决某一方面的专门问题,或实现某一类的新算法。易扩展性是MATLAB 最重要的特点,每一个MATLAB用户都可以成为对其有贡献的人。在MATLAB的发展过程中,许多科学家、数学家、工程人员就用它来开发一些新的、有价值的应用程序,所有的程序完全不需要使用低层代码来编写。通过这些工作,已经发展

光学基础知识及光学镀膜技术

光学基础知识及光学镀膜技术 光學薄膜是指在光學元件上或獨立的基板上鍍上一層或多層之介電質膜或金屬膜來 改變光波傳遞的特性。即應用光波在這些薄膜中進行的現象與原理,如透射、吸收、散 射、反射、偏振、相位變化等,進而設計及製造各種單層及多層之光學薄膜來達到科學 與工程上的應用。在本廠的實際應用上,DM半透板與ITO鍍膜屬於這個領域。 光學薄膜雖早於1817年Fraunhofer已經開始利用酸蝕法製成了抗反射膜,但是真正 的發展是在1930年真空鍍膜設備之後。而軍事的需求(望遠鏡、飛彈導向鏡頭、監視衛 星、夜視系統等)加速了光學薄膜的開發與研究。計算機的出現使得設計更為方便,相對 的各種理論及設計方法因應而出,光學薄膜的研究於是更為進步並充分應用於各種光電 系統及光學儀器之中,如光干涉儀、照相機、望遠鏡、顯微鏡、投影電視機、顯示器、 光鑯通訊、汽車工業、眼鏡等。 光學薄膜基本上是藉由干涉作用達到其效果的。簡單的如肥皂泡沫膜、金屬表層的 氧化膜、水面油層的顏色變化,都可以視為單層干涉的效果。因此,當光在膜層中的干

涉現象可以被偵測到時,我們就說這層模是薄的,否則是厚的(k值消散掉)。由於干涉現象不僅跟膜層的厚度有關,而且光源的干涉性和偵測性的種類也有關。 接下來為各位介紹幾個主題1.波動光學基本理論2.薄膜光學的應用及產品介紹3.薄膜設計方法4.金屬鍍膜材料5.光學薄膜的鍍製方法及設備6.光學薄膜材料。 光學薄膜的製作是理論設計的實現,它不僅和蒸鍍方法及材料有關亦與薄膜支撐 者,即基板之表面狀況及材質有密切的關係,事實上光學薄膜的研製的主要困難已經比 較少是在設計上,而是在製鍍上,亦即要製造出預期中的光學常數及厚度之薄膜,因此 新的製膜方法及監控方式在工程上更顯的重要。 1. 繞射和干涉的現象常常會被拿在一起來討論,繞射可視為很多光源互相干涉,但其數學處理的方式仍然與干涉不太一樣。例如全像或光柵,可以用繞射也可以用干涉來解釋,也各有其數學模式。光的波動說:當一個水波經過一個障礙時,我們可以看到障礙的邊緣會 泛起陣陣漣漪,這種現象就是繞射,光波也有繞射現象,這種現象是和光的直線前進或光 的粒子說相抵觸的。早在1500年,L.da Viaci 已提及光的繞射,Huygens在1678年首先創立光的波動理論,他把波陣面上每一點都視為一個次級子波的波源,而所有子波前進時的包絡面又形成新的波前,應用這個原理可以解釋光的直線前進、光的反射與折射。 1801年,Young用干涉理論來解釋單狹縫的現象,但實驗結

光学物理论文物理光学小论文

收稿日期:2009 10 20 基金项目:国家自然科学基金资助(60801042) 作者简介:关 莹(1984 ),女,西安电子科技大学博士研究生,E mail:guanying_w anw an @https://www.wendangku.net/doc/bc18412600.html,. doi:10.3969/j.issn.1001 2400.2010.05.021 适用于裁剪NURBS 曲面RCS 预估的改进的物理光学法 关 莹,龚书喜,徐云学,张 帅,姜 文 (西安电子科技大学天线与微波技术重点实验室,陕西西安 710071) 摘要:分析了驻相法(SPM )计算裁剪非均匀有理B 样条(N U RBS)曲面上物理光学积分失效的原因; 在此基础上综合驻相法和Go rdon 算法的优点,提出了SPM G or don 算法来准确快速计算裁剪N U RBS 曲面上的物理光学积分.与完全采用高斯积分计算裁剪曲面上物理光学积分的传统方法相比,新算法避 免了繁琐耗时的数值积分,计算速度快,所需内存少.数值结果表明,当裁剪曲面被裁去区域与有效域面 积之比小于0 5时,在同等精度下,对于采用裁剪曲面建模的大多数目标,SPM Gor do n 算法计算RCS 所需的时间仅仅为传统方法的10%以下. 关键词:裁剪N U RBS 曲面;电磁散射;物理光学积分;SPM Gor do n 算法;雷达截面 中图分类号:O 441 文献标识码:A 文章编号:1001 2400(2010)05 0893 05 Improved PO technique for the RC S computation of targets modeled with trimmed NURBS surfaces G UAN Ying ,GON G Shu x i,X U Yun x ue,ZH A N G S huai,J I A NG Wen (Key Lab.of A ntennas and M icro wav e T echnolog y,Xidian U niv.,Xi an 710071,China) Abstract: T he invalidity of the stationary phase method (SPM )in the evaluat ion of the PO int eg r al over trimmed sur faces is analyzed theor et ically,o n the basis of w hich the SPM G or do n algo rithm is presented to ev aluate the P O integr al over tr immed surfaces accur ately and effectively.Co mpa red with the co nv entional method in which numer ical integ rat ions are utilized,this new algo rithm successfully av oids the co mplex and time consuming numer ical integ ratio ns and releases the heav y burden o n the CPU. Numerica l results indicate that when the ar ea o f the tr im r egion is less than half o f that of the effectiv e reg ion,the time consumed by the SPM G or do n metho d is no mo re than 10percent that by the co nv entional method in most cases. Key Words: trimmed NU R BS surfaces;electromag netic scattering ; PO integ ral;SP M Go rdon alg or ithm;RCS 随着计算机辅助几何设计(CAGD)的发展,基于非均匀有理B 样条(NU RBS)曲面建模的复杂目标的RCS 计算研究受到越来越广泛的关注,其中一种行之有效的计算方法就是物理光学法(PO)[1 4].当目标的电尺寸很大时,采用物理光学法计算基于NU RBS 曲面建模目标的RCS,所需内存少,计算速度快.当N URBS 曲面出现面 面相交的情况或者在NURBS 曲面上存在孔洞时,该NURBS 曲面就成为裁剪NURBS 曲面.然而,由于裁剪NU RBS 曲面的结构比较复杂,已往的文献很少涉及到其RCS 计算,几乎所有的PO 程序代码都要求处理的N URBS 曲面必须是非裁剪的.通过对目标模型的重建改造虽然能够除去裁剪部分,但其耗时甚至可能超过目标RCS 计算本身所需的时间[5].因此,寻求一种计算裁剪NURBS 曲面RCS 的快速高效的方法就显得格外重要. 文献[6]虽然涉及到裁剪NU RBS 曲面在RCS 计算中的应用,但它仍然采用普通NU RBS 曲面建模,而2010年10月第37卷 第5期 西安电子科技大学学报(自然科学版)JOUR NAL OF XIDI AN UNIV ER SI TY Oct.2010 Vol.37 No.5

光学薄膜技术第三章 薄膜制造技术

第三章薄膜制造技术 光学薄膜可以采用物理汽相沉积(PVD)和化学液相沉积(CLD)两种工艺来获得。CLD工艺简单,制造成本低,但膜层厚度不能精确控制,膜层强度差,较难获得多层膜,废水废气对环境造成污染,已很少使用。 PVD需要使用真空镀膜机,制造成本高,但膜层厚度能够精确控制,膜层强度好,目前已广泛使用。 PVD分为热蒸发、溅射、离子镀、及离子辅助镀等。 制作薄膜所必需的有关真空设备的基础知识 用物理方法制作薄膜,概括起来就是给制作薄膜的物质加上热能或动量,使它分解为原子、分子或少数几个原子、分子的集合体(从广义来说,就是使其蒸发),并使它们在其他位置重新结合或凝聚。 在这个过程中,如果大气与蒸发中的物质同时存在,那就会产生如下一些问题: ①蒸发物质的直线前进受妨碍而形成雾状微粒,难以制得均匀平整的薄膜; ②空气分子进入薄膜而形成杂质; ③空气中的活性分子与薄膜形成化合物; ④蒸发用的加热器及蒸发物质等与空气分子发生反应形成 化合物,从而不能进行正常的蒸发等等。 因此,必须把空气分子从制作薄膜的设备中排除出去,这个 过程称为抽气。空气压力低于一个大气压的状态称为真空, 而把产生真空的装置叫做真空泵,抽成真空的容器叫做真空 室,把包括真空泵和真空室在内的设备叫做真空设备。制作 薄膜最重要的装备是真空设备. 真空设备大致可分为两类:高真空设备和超高真空设备。二 者真空度不同,这两种真空设备的抽气系统基本上是相同 的,但所用的真空泵和真空阀不同,而且用于真空室和抽气 系统的材料也不同,下图是典型的高真空设备的原理图,制 作薄膜所用的高真空设备大多都属于这一类。 下图是超高真空设备的原理图,在原理上,它与高真空设备 没有什么不同,但是,为了稍稍改善抽气时空气的流动性, 超高真空设备不太使用管子,多数将超高真空用的真空泵直 接与真空室连接,一般还要装上辅助真空泵(如钛吸气泵) 来辅助超高真空泵。 3.1 高真空镀膜机 1.真空系统 现代的光学薄膜制备都是在真空下获得的。普通所说的 真空镀膜,基本都是在高真空中进行的。 先进行(1)然后进行(2)。因为所有的(超)高真空泵只有在真空室的压力降低到一定程度时才能进行工作,而且在高真空泵(如油扩散泵)中,要把空气之类的分子排出,就必须使排气口的气体压力降低到一定程度。 小型镀膜机的真空系统 低真空机械泵+高真空油扩散泵+低温冷阱

毕业论文设计基于某超声波技术的导盲杖设计(论文设计)

基于超声波技术的导盲杖设计论文 龙剑凤娟伟钦邹东江强进 指导老师:谭永宏 (科技学院电子工程系) 摘要:由于电子技术和压电材料的快速发展,使超声波检测技术得到了迅猛发展。利用超声波指向性强、能量消耗缓慢的特点,通过发射具有特征频率的超声波实现对目标的探测便是超声检测技术的应用之一。本文利用超声波障碍检测技术设计了一款导盲杖,该导盲杖能自动检测前方3米围障碍物,采用语音和振动两种方式有效提示盲人避障。 本设计是一种基于超声波测距技术,以STC89C52单片机为核心的低成本、高精度智能导盲杖。整个系统包括主控制器、超声波发射器、超声波接收器、温度补偿模块、语音播报模块、电源、开关、拐杖把和拐杖体。在拐杖体和拐杖把对接处制有便于握杖手按动的电源开关,拐杖体采用刚性材料制成腔为空体式,腔中安装有控制电路板、电源及超声波发射与接收器件;在拐杖体下端、中间、顶端与拐杖把拐向相对应方向装有上、下排列的超声波发射器与接收器共3对。在拐杖把下端有一语音播报模块。本系统能够感应到使用者前方3米脸部,腿部高度处的障碍物,并通过震动手柄,及语音播报通知使用者,

以保障盲人的行路安全。 【关键词】导盲杖超声波测距技术语音播报STC89C52 一引言 随着信息化和数字化的发展,现在社会中人们的生活变得更加丰富多彩,生活更加便利。但是有一种人群却不容忽视,社会上形形色色、丰富多彩的物是与他们无缘的,他们就是盲人。众所周知眼晴是“心灵之窗”,而对于突然失去或从未拥有过“心灵之窗”的盲人来说,生活上的困难与心理上的痛苦是可想而知的。他们的衣食住行存在诸多不便,而在出行与人际交往中遇到的困难更加突出。目前,市场上的导盲工具主要是导盲犬,导盲犬习惯于颈圈、导盲牵引带和其他配件的约束;懂得“来”、“前进”、“停止”等口令,可以带领盲人安全地走路,当遇到障碍和需要拐弯时,会引导主人停下以免发生危险。但是,导盲犬的培训过程长达18 个月,综合费用达2.5~3万美元,如此昂贵的价格不是普通用户能承担的,所以设计一款基于超声波技术的导盲杖。 本设计基于超声波测距技术,超声波作为一种频率超过20KHZ 的机械波, 其指向性强,能量消耗缓慢,在介质中传播距离远。此外,与其他测距方法相比,如电磁或光学的方法,超声波测距不受光线、被测对象颜色等影响。对于被测物处于黑暗、有灰尘、烟雾、电磁干扰、等恶劣的环境下有一定的适应能力。此外,超声波传感器还具有结构简单、体积小、信号处理可靠等特点,检测比较迅速、方便,计算简单,易于做到实时控制。因此,基于超声波技术的导盲杖对环境的适应能力较强,稳定性较高,性价比高,给盲人的行路安全提供了必要保障。 本系统设计拟解决的关键问题: 1、大角度围的高精度超声波测距处理方法。 2、提高移动式超声波测距系统测距精度的方法。 3、语音播报模块。 1.1系统总体功能概述 1.1.1 系统原理及框图

真空镀膜与光学镀膜对比

真空镀膜主要利用辉光放电(glow discharge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面, 靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化, 造成靶与氩气离子间的撞击机率增加, 提高溅镀速率。一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀,基本的原理是在真空中利用辉光放电(glow discharge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面,电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面,这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。一般来说,利用溅镀制程进行薄膜披覆有几项特点:(1)金属、合金或绝缘物均可做成薄膜材料。(2)再适当的设定条件下可将多元复杂的靶材制作出同一组成的薄膜。(3)利用放电气氛中加入氧或其它的活性气体,可以制作靶材物质与气体分子的混合物或化合物。(4)靶材输入电流及溅射时间可以控制,容易得到高精度的膜厚。(5)较其它制程利于生产大面积的均一薄膜。(6)溅射粒子几不受重力影响,靶材与基板位置可自由安排。(7)基板与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上,且由于溅射粒子带有高能量,在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜,同时此高能量使基板只要较低的温度即可得到结晶膜。(8)薄膜形成初期成核密度高,可生产10nm以下的极薄连续膜。(9)靶材的寿命长,可长时间自动化连续生产。(10)靶材可制作成各种形状,配合机台的特殊设计做更好的控制及最有效率的生产。 光学镀膜 一、耐磨损膜(硬膜) 无论是无机材料还是有机材料制成的眼镜片,在日常的使用中,由于与灰尘或砂砾(氧化硅)的摩擦都会造成镜片磨损,在镜片表面产生划痕。与玻璃片相比, 有机材料制成的硬性度比较低,更易产生划痕。通过显微镜,我们可以观察到镜片表面的划痕主要分为二种,一是由于砂砾产生的划痕,浅而细小,戴镜者不容易察觉;另一种是由较大砂砾产生的划痕,深且周边粗糙,处于中心区域则会影响视力。 (1)技术特征 1)第一代抗磨损膜技术 抗磨损膜始于20世纪70年代初,当时认为玻璃镜片不易磨制是因为其硬度高,而有机镜片则太软所以容易磨损。因此将石英材料于真空条件下镀在有机镜片表面,形成一层非常硬的

手机照相镜头的光学设计

本科毕业设计论文 手机照相镜头的光学设计 摘要 随着市场的发展,可拍照手机逐渐取代普通手机,而手机的小型超薄化也是必然趋势,手机的照相功能的提升和小型超薄化应并进,而二者又是相互制约的,因此尽量减小手机照相镜头的体积并提高其性能成为必然趋势。 本文后半部分运用ZEMAX对所设计的镜头进行了调整和优化,用缩放法对初始模型反复调试和修改,并根据课题要求进行了数据分析,最终得出了符合设计要求的结果.最终设计结果为:镜头总长:10.07mm,后焦距:1.27mm。畸变范围-1.07到1。76 之间.中心视场MTF@160lp/mm值为0.52.边缘视场MTF@120lp/mm值为0.53。 关键字:可拍照手机镜头小型化ZEMAX 优化。 目录 摘要 (Ⅰ) Abstract (Ⅱ) 目录 (1) 1 绪论 (1) 1。1 研究的目的和意义 (1) 1。2 可拍照手机和镜头设计的国内外发展 (1) 1。2。1 可拍照手机国内外发展状况 (1) 1。2。2 现今镜头设计的国内外发展状况 (2) 2 手机照相镜头的成像原理介绍 (3) 2.1 可拍照手机照相原理....................................... (3) 2。2 感光元件简介............................................. (3)

2。3 镜头结构分类及选择........................... (3) 2.4手机镜头的性能指标和相关术语 (4) 2.4。1镜头类型选择的依据[7] (4) 2.4.2数码镜头鉴别率 (4) 2。4。3光圈范围 (4) 2. 4. 4影响像质的几个因素 (5) 3光学系统设计 (6) 3。1光学设计软件简介 (6) 3.1.1 ZEMAX MTF函数 (6) 3。1.2缺省的评价函数及优化 (6) 3。1. 3归一化的视场和光瞳坐标 (7) 3。2设计要求及分析 (7) 3.3初始结构的选择 (8) 3。3。1 视场角的确定 (10) 3.3.2 F数的确定 (10) 3。3。3 工作波长的选择 (10) 3.3.4调制传递函数图如下 (11) 3.3.5七种塞得像差分别为 (11) 3。3.6场曲和畸变图 (12) 3.3。7点列图如下 (12) 3.3.8光线特性曲线图 (13) 3。4 像差的初步校正 (13) 3.4.1初步校正后的数据 (13) 3.4。2二维光路图如下 (15) 3.4。3调制传递函数图如下: (15) 3.4。4场曲畸变图 (16) 3。4.5点列图 (17) 3.4.6光线特性曲线图 (17) 3。5系统优化 (18) 3.5。1优化数据 (18) 3. 5。2二维光路图 (19) 3.5.3 点列图 (20) 3。5。4场曲畸变示意图 (20) 3.5.5 MTF分析图 (21) 3.5。6光线特性曲线图 (23) 3。6公差分析 (24) 3. 6. 1公差分析的一般过程 (24)

83100356-曾洁慧-服装设计与工程专业-光学在服装艺术设计中的应用-开题报告_New

83100356-曾洁慧-服装设计与工程专业-光学在服装艺术设计中的应用-开题报告_New

83100356-曾洁慧-服装设计与工程专业-光学在服装艺术设计中的应用-开题报告

军需科技学院本科毕业论文开题报告 学生姓名:曾洁慧 专业:服装设计与工程专业 指导教师:张卓 开题时间:2013年11月16日

论文题目光学在服装艺术设计中的应用 研究方案: 一、研究目标、研究内容和拟解决的关键问题 1、研究目标 本课题的研究目的是基于对光学现象、光学色彩以及光学原理的分析,归纳总结出光学的审美价值,从服装的款式、色彩、材料、配饰等方面研究,分析光学的审美特征在服装设计中的表现形式,通过光学在服装设计实践中的成果归纳总结,希冀形成一系列将光学灵活应用在服装艺术设计当中的服装设计表现手法,为逐渐发展形成光学与服装设计创新应用的设计理念奠定理论基础,并丰富服装艺术设计的创新实践研究。 探究光学在服装艺术设计中的应用,寻求光学的审美价值在服装中的表现之法,不仅可以进一步拓宽服装艺术设计思路,还可以丰富服装艺术的设计语言并提升服装设计的审美内涵,同时也加深了关于科学与艺术有机结合的理论探索。 2、研究内容 首先是对光学的理论概述,分别就光学概念、分类以及光学研究的发展历程进行概括阐述;其次是对光学的现象、色彩、原理三个方面的审美价值进行归纳分析,接着探究光学审美价值在服装的款式、色彩、材料等方面的具体体现;再者总结归纳出光学在服装艺术设计中的应用之法并将理论付诸实践,为最终结论提供更具说服力的实践依据。最后对所研究课题的应用前景展望介绍,并以结论结束。 3、拟解决的关键问题 不可否认,光学是科学与艺术的结晶,近几年越来越多的设计师开始把眼光转向自然元素,力求从科学艺术中获取灵感来源。同时,跨学科的研究和借鉴也为设计师提供了丰富的灵感来源,因此,本课题的拟解决关键问题有: (1)跨学科研究:从服装设计的角度发掘光学的艺术价值 (2)跨学科借鉴:光学元素与服装艺术设计中创新元素的有机组合应用 二、写作提纲 第一章绪论 1.1研究背景 1.2研究现状 1.3研究目的与意义 1.4研究方法

单片机串行通信原理方案设计毕业论文

单片机串行通信原理方案设计毕业论文目录 第一章绪论 1.1课题背景……………………………………………………………… 1.2市场潜力……………………………………………………………… 第二章方案设计 2.1 设计思路……………………………………………………………… 2.2 系统结构……………………………………………………………… 2.3 单片机串行通信原理………………………………………………… 2.4 红外通信原理………………………………………………………… 第三章器件介绍 3.1 STC89C52介绍………………………………………………………… 3.2 LCD1062介绍…………………………………………………………… 3.3 AT24C02介绍…………………………………………………………… 第四章硬件设计 4.1 总体方案设计………………………………………………………… 4.2 本机电路设计………………………………………………………… 4.3 遥控器部分…………………………………………………………… 第五章软件设计 5.1 本机部分锁程序的流程图……………………………………………… 5.2 红外遥控部分发射程序的流程图……………………………………………. 5.3 仿真分析……………………………………………………………… 第六章实物焊接……………………………………………………………. 第七章总结………………………………………………………………… 致谢

参考文献 附录、 第一章绪论 1.1 课题背景 时代在进步,原先的安全锁有很多破解的方法被不法分子所掌握。面对这一问题,人们迫切需要更加安全的手段。 好在,人们的科技水平发展迅速。尤其是电子技术领域的发展,造就了各种高科技锁的诞生。 本设计的研究项目是利用红外原理来实现具有远程控制能力,电子类密码锁。由于,此密码锁以单片机为核心,具有可编码性,编码数量很大,使得其很难被随意破解,相较传统的密码锁安全性有了极大的改善。 在中国,电子密码锁的发展还处于初级阶段,由于成本问题,按键式密码锁依然是市面上的主流产品。但是红外遥控技术却可以在很多人们无法生存的高危环境中发挥总要作用,使得红外遥控电子密码锁必将成为未来很大一段时间,人们中意的密码锁。 在科学技术不断发展的今天,随着人们生活水平的提高,如何实现家庭防盗变得越来越来重要。传统的机械锁由于其构造简单,容易被不法分子恶意破解。单子锁由于其性高,使用灵活,安全系数高,受到广大用户的喜爱。 本设计以单片机STC89C52作为密码锁的核心部件,分为主机部分与遥控器部分。根据51单片机之间的串行通信原理,利用红外线来传输,便于对密码信息的随机加密和保护。采用红外线相对机械锁和键盘输入的电子密码锁具有很多优势。红外线遥控是目前使用最广泛的一种通信和遥控手段。 本设计的红外遥控密码锁可以实现密码输入真确的解锁功能,密码输入错误报警功能,以及短距离遥控功能和密码修改功能等。软件设计采用自上而下的模块化设计思想。测试结果表明本设计各项功能均达到本设计的要求。

DWDM光学镀膜介绍与解析

DWDM光學鍍膜介紹與解析 前言 隨著行動電話與網際網路等通信量急速增加,連接幹線及都會之區間的光纖 傳輸容量亦隨之暴漲。增加通信容量有兩種方法,一種是提高變頻速度的多重時 間光增幅器廣波域技術提升相對分割法(TDM, Time Division Multiplexing),另外一種是以單一光纖傳輸不同波長光信號之多波長方式(WDM, Wavelenght Division Multiplexing)。由於地也帶動著高速化與高密度波長多重化演進,換 言之它所使用的Filter種類與波長亦隨之多樣化。Filter鍍膜基於耐環境、溫度、穩定性等系統考量,通常採用離子(Ion )/ 等離子鎗( Plasma Gun)與濺鍍(Suptter )或電子束( EB,Electric Beam)等方式。然而鍍膜時有關膜厚監控(Monitor )、重複再現性、良率改善、自動化等諸多問題仍有待鍍膜廠商突破。鍍膜方法 電子束(EB)蒸鍍方式容易形成柱狀膜結構,為獲高充填率(Packing Density )的膜層,通常會採用 Ion 照射基板方式,經 Ion 照射後由於離子( Ion )的能量使基板上形成活性核,同時促進核成長及核凝縮 (Coalescence ),進而獲得高充填率的膜層。電子束( EB)蒸鍍源與離子 / 等離子鎗( Plasma Gun)的組合又可分為離子輔助( IAD, Ion Assisted Deposition ) 及離子鍍( IP, Ion Plating ),這兩種方法常用於有耐環境需求的通信元件鍍膜 工程。 Leybold 公司的 APS(Advanced Plasma System )為典型代表。 IAD 的電子束蒸鍍源與Ion 產生器可個別獨立控制,因此IAD 方式較易找出最合適的鍍膜條件。基於EB鎗需長時間操作,因此有些廠商修改Filament 的尺寸與外形,用來降低電子束 270°偏向時所產生的離子衝擊對 Filament 造成的耗損。如此一來由高周波放電所構成的離子鎗,在 DC放電時無法避免的 Filament Suptter 不純物產生會完全消失,同時離子鎗可作長時間運轉。這種方式具有鍍 膜時 Filer 吸收損失較小、膜應力比其它等離子製程更小等優點。 濺鍍(Suptter )方式可獲得較高的膜層充填率,鍍膜速度則比上述方式慢,因此光通信用多層膜 Filter 製程很少採用。OCLI 及加拿大的 NRCC是將金屬靶材( Target )先作濺鍍,再經過氧化等離子氧化過程,如此便可進行製作窄域

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