使用外腔半导体激光器对远距离微小振动的干涉测量

第!!卷第!期红外与激光工程

"##$年%月

&’()!!*’)!

+,-./.01/,12/30.4,56,00.6,5

78,)"##$使用外腔半导体激光器对远距离微小振动的干涉测量’

江鹏飞:!"!张静娟:!赵伟瑞"!谢福增"

":)中国科学院研究生院!北京!:###!\#")中国科学院半导体研究所!北京!:###;!$!!摘!要!

采用中心波长为\$")$,

=i :#[%

,<$的激光输出#

使用正弦光频调制方式完成了对远距离的微小振动"纳米量级$的测量!对振动的辐值和频率都具备良好的探测效果&

关键词!干涉测量#!微振动测量#!外腔半导体激光器#!窄线宽

中图分类号!?*"$!!文献标识码!@!!文章编号!:##9A ""9%""##$$#!A #"=!A #!

O "’1+&-.*’5$0&5)"#&3)*.&"’0$*-2)$0$’.2-&’1

$J .$)’*%,5*#&.7-$0&5"’+25.")%*-$)’

7+@*KS 0,5A -06:!

"!E C@*K76,5A d 8/,:!E C@F b 06A .86"!L +4]8A J 0,5

"

":)K ./18/Q 0W R H ’’(!U H 6,030@R /10

###;!!U H 6,/$43-.)*5.’b 6Q H26Q Q .’Z A Q V >00O Q 0.,/(A R /X 6Q V 5./Q 6,5/,1Q 0<>0./Q 8.0R ’,Q .’((6,5!Q H 03>0R Q ./((6,0Z 61Q H 63R ’<>.03301Q ’D 0(033Q H /,:)"TC J "$$(!)=i :#[%,<$!Z H 6(0Q H 0’.656,/((6,0A Z 61Q H’-Q H 030<6R ’,18R Q ’.(/30.63D .’/10.Q H /,:"##K C J )G /301’,Q H 63!Q H 03V 3Q 0<-’.<0/3A 8.6,5Q H 0/<>(6Q 810/,1-.0M 80,R V ’-Q H 0<6R .’X 6D ./Q 6’,Z 6Q H36,83’61/(<’18(/Q 6’,6310365,01!10Q 0R Q 6,50

--0R Q 635’’1)6$78

")+-’+,Q 0.-0.’<0Q .V #!T 6R .’X 6D ./Q 6’,<0/38.0<0,Q #!4O Q 0.,/(A R /X 6Q V 30<6R ’,18R Q ’.(/30.#!*

/..’ZD /,1Z 61Q H 9!引!言

振动测量在现代机械!航空!航天领域中具有重要应用"

它不但可用于机械结构动态特性分析!机械系统的故障诊断和振动源的测量等方面"而且在消除

噪声中也发挥着重要的作用#:""$

"其检测精度可达$%

:##以上#!$

"

且有很高的测量重复性&该方法可对光学系统波像差和精密光学零件面形误差进行非接触检测"还可实现对长度!距离!位移!振动和运动速度等物理量的高精度非接触测量&干涉测量要达到优良的精度"对光源提出了极高的要求"大多数干涉仪

!!收稿日期!"##!A #%A #;’!修订日期!

"##!A #;A :#’

基金项目!国家自然科学基金项目(%#"99#"9

)作者简介!江鹏飞(:\9;A

)"男"江西余干人"硕士"主要从事外腔半导体激光器!激光干涉仪和纳米精度测量方面的研究&"""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""

万方数据