高纯气体管路五项测试流程
高纯气体管路五项测试
流程
文档编制序号：[KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688]
五项测试流程
气体管路的QC
气体管路的QC指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。
（1）?通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解，他们所关心的是管路是否歪斜焊道是否标准气体标签是否有贴等有关管路外观的问题。所以QC人员对于管路外观的检查就显得格外重要，纵是管路内部的分析再怎么确实，在客户眼里我们的品质一样是有瑕疵的，此也是我们应努力的方向之一，然大多数刚接触QC的同仁对于要检查哪些外观都显得有些不知所措，故在附件一概略列出检查的要项，盼对刚接触QC 的人员有所帮助。
（2）?气体管路的五项测试：
气体管路的五项测试为QC最重要的一部分，内容概略可分为[测漏]及[管路内的分析]，前者如没做好而造成危险气体泄漏，除了对公司的声誉造成影响外，更严重的是人的生命及安全都会受到威胁，而后者则是影响到wafer的良率，也是不可忽视的。以下就五项测试一一作介绍：（一）?保压测试（Pressure）
目的：保压测试的目的除了在检查管路，接头是否有泄漏之情形外，另一目的则是在于利用高于工作压力之气体压力保持在一封闭管路内，经过一段时间后及可侦测出管路焊道上是否有沙孔（沙孔会因过高的压力而造成泄漏）以及衔接点是否可承受如此高的压力而不至泄漏，以确保所有人员的安全。
原理：将待测管路通入PN2，使其压力达到管路正常使用压力的1。1倍或是7至9公斤之间，在一端接上记录器，经过一段时间后检查是否有压降现象，若无则表示该管路已通过保压测试，反之，则检查压降之原因，并在原因排除后再做一次保压测试，直到完全没有泄漏为止
步骤：
A，取得该机台之管路施工图，并一一核对下包商是否有按图施工
B，?将Panel入口端的接头松开，并利用管路本身的气体将预30秒，并检查Takeoff
及管路是否正确
C，?将Panel出入口两端用新的Gasket衔接上，并将进机台端的接头Cap起来。
D，将Panel上的Valve及Gegulator开止Open位置。
E，将所有待测管路Takeoff端的接头用测试的管子串联起来，并于一端连接记录器（Recorder）。
F，?使用PN2将管路内充满压力达7~9公斤，并检查所有压力表头是否有压力。
G，? 使用测漏液（snoop，其漏率可达1。0*10-4）对所有的接头作初步的测漏，尤其是swagelok接头。
H，?开始测漏。
Notice：
1，?步骤b中因施工者施工不当，常造成管内有铁屑存留，如未先purge 管路而直接衔接上，铁屑可能会被吹入Valve里，而造成Valve的内漏
损坏，另一个好处是可确认管路是否正确，以免浪费测试的时间。但是He及特殊气体管路除外，必须另外找PN2管路来purge管路。
2，?Recorder一定要放在Takeoff点，因为Panel上的Regulator在Out—In时可能会有逆止情形发生而影响测漏的准确度。
3，? 尽量避免使用Swageick做转接头，以免因人为因素而影响测漏，造成测试时间的浪费。
4，?所有的管路尽可能不要衔接Source测试，以免造成气体倒灌而污染主管路。
5，?保压，Purge用的气体一定使用PN2。
6，不可使用氦气Purge管路，否则会影响氦测漏。
7，?本公司所使用之记录器有传统机械转盘记录器与电子记录器。
8，若使用传统机械记录器，记录器范围应与记录纸之压力范围相符。（记录范围如0~10kg/cm2，或0~15kg/cm2）
9，?传统机械记录器之操作方法由现场资深同仁讲解。
10，?当所有动作都已完成，要将待测管路充满压力时，开气源阀时应放漫速度，以免瞬间压力上升而损坏记录器及压力表。
11，当待测管路系统中有check valve时，应注意其流向，并将记录器放置正确位置。
（二）氦测漏（He Leak Test）? ? ? ?
目的；因氦气的分子非常小（4），可侦测出非常小之漏点，如果说保压测试是测大漏，氦测漏则是测小漏，在壮达人所着的VLSI制造技术一书
中提到（气体管路的漏率在每秒10E—9CC才可以送气）如此才不会造成危险。
原理；将待测管路用氦测漏机将管内抽至超近真空状态，当达到客户要求之漏率时，用还氦气喷在焊道及接头上，若氦测漏机无反应表示测漏完成，若有反应则表示有漏，针对漏点问题排除。
步骤；
A．确认欲使用插座之电源是否为110V/60HZ。
B．?暖机10分钟，完成后做测漏本身试抽。
C．?衔接上待测管路，并开始测漏。
D．?当待测管路的漏率达到客户要求的范围时，在所有的焊道及接头上喷氦气，并观察测漏机是否有反应，若无，表测漏完成，若有，则针对漏点作处理，直到氦测漏机没反应为止。
Notice；
1，待测管路串的过多会增加测漏的时间，故尽量将各管路分开来测试。2，Phe的管路如已经衔接会造成氦测漏机吸到，故Phe的管路不可以衔接做氦测漏。
3，待测点喷氦气的原则是由近而远，由上而下。
4，喷完氦气后必须经过一段氦测漏机的反应时间，待没问题后开始可继续下一个测试点。
5，测试点最好用无尘手套包覆在外，以免氦气散掉或被其他的测试点吸入，而造成误判。 6，LR=Leck? Rate? 单位是mbar/s，m=10-3，
bar=1kg? ?例如；LR=1。5E-9表示漏率为每秒1.5*10-9mbar明白的说就是每秒的漏率为1。5*10-9? ? ?cc=0。0000000015cc。
7，PE=Pressure Entrance（入口端的压力）单位是mbar?，m=10-
3?1bar大约等于1kg? ? ? 例如；PE=3.4E-3?表示人口端的压力为
3.4*10-3mbar的说就是人口端的压力为0.0034mbar。真空状态的压力为0。人口端的压力业主并没特别的规定，但是人口端的压力越超近于0越准确，故PE通常都抽到-3。
8，在半导体厂中的机台通常都pump?down的功能，所以我们的衔接点都由作pump?down来测试我们的衔接点是否有确实，而机台的测漏方式是将chamber先抽至真空状态，待达到业主指定的真空度时，打开manual?valve，此时chamber加我们管路的真空度不可高出0.5Torr。通常pump? down需要一天一夜的时间，有时可能会因pump?down的时间不够长，而误判我们的管路有漏，故如有碰到词种情形时，请机台的代理商再抽久一点既可解决此问题。1mbar=0。75Torr。
9，测试完毕后，无须将氦测漏机vent，让氦测漏机内部保持负压，下次使用可缩短自抽的时间。
10，氦测漏机代理商建议在每次测试前可以做一次校正的动作，如此可确定测漏机会有反应。
（三）Particle? Analyzer? ? ? ? （灰尘含量分析）
目的；particle在半导体厂中是不良率祸首之一，尤其在现在的制程越来越小的情况下，如管路中含有过多的particle，对wafcr的良率影响很大
原理；利用samplc? gas流经雷射头，若particle则会造成crystal的震荡而测的出particle的大小及数量。
步骤；
a，先将待测管路预吹4小时以上。
找一待测管路衔接至particle? ?count的inlet端。
b，?在未开始测试前，先打开bypass?valve，以一开一关的方式将待测管路再预吹数分钟。
c，?打开电源，并确认outlet是否有气流出来。
d，?开始测试。
Notice；
1，?测试的压力不可小于40psi。大于150psi。
2，?通常我们测试的时间为分钟，而10分钟流过雷射头的气体1立方英尺，而测试的单位是um。例如；在记录纸上的0.1的那格出现2则表示在10分钟当中流经雷射头的气体量有1立方英尺，而在这么多的气体中测得大小为0.1um的particle有2颗
3，?particle counter inlet端所使用的Valve不可使用
Ball??Valve，因为Ball Valve会产生particle，最好使用DiaphragmValve。
在开始测试之前利用bapays? valve做cycle purge，可以缩短测试时间。
4，?测试一段时间后如partice的数量仍会有2，3颗的情形，可以试着将测试管路敲一敲。
5, 如LREF的值低于4。5时，请通知专业人员做雷射头清洁。
（四）氧含量分析（OxygenAnalyzer）：
目的：晶片在生产过程中，原本大气中O2会和Si产生化学反应得
O2+Si=SiO2（二氧化矽）为原始的氧化层，如果管路的氧含量过高，原始的氧化层会超出原本已计算好的厚度，如此会严重影响接下来各阶段的制程。
原理；我们利用纯度较高的PN2对待测管路以长时间purge的方式，将微氧带离管路，并在一端接上分析仪器，直到仪器显示的含氧量达到客户要求的标准为止。
步骤：
a，将待测管路预吹至少4小时。
b，?取一待测管路衔接至测试仪器的inlet端。
c，? 打开电源，开始测试。
Notice：
1，?选用来Purge的source尽量不使用主管路的最后一颗Valve可能会造成值会降不下来。
2，?待测管路不宜串接太多，以免压力不足，无法让仪器正常运作。3，?氧分析用的仪器，应随时注意电解液是否已达到警戒线了。
4，?如果在仪器的显示屏幕上出现负值，表示目前管路的含氧量的浓度比仪器校正时用的标准气体浓度还纯，并非仪器损坏，欲作手动归零校正，请勿自行校正，通知专业人员。
5，?如屏幕上显示的值忽高忽低时，请检查CAP的接头是否都已松开，让气体purge出来。
6，?仪器不使用时，仍需利用PN2通人仪器内，以防止电解液坏死。7，?如氧含量一直都降不下来，请确认主管路氮气的含氧量为何。（五）水含量分析（MoistureAnalyzer）
目的：晶片在生产过程中，原本大气中H2O会和Si产生化学反应得：2H2O+Si=SiO2+2H2，其中二氧化矽为原始的氧化层，如果管路的含水量过高，原始的氧化层会超出原本已计算好的厚度，如此会影响接下来各阶段的制程。
原理：我们利用纯度较高的PN2对待测管路以长时间purge的方法，将水气带离管路，并在一端接上分析仪器，直到仪器显示的含氧量浓度达到客户要求的标准为止。
步骤：
A：将待测管路预吹至少4小时。
B：取一待测管路衔接到测试仪器的inlet端。
C：打开电源，开始测试。
Notice：
1，?选用来purge的source尽量不所有主管路的最后一颗valve，有可能会造成值降不下来。
2，待侧管路不宜串接太多，以棉压力不足，无法让仪器正常运作。
3，?在测试的模式中有Inert及Service，在测试时应使用Inert模式测试，Inert是真正管路内的水气含量值，Service则是含有仪器本身的水含量。
4，?仪器在未使用时，也必须插上电源，以保持仪器内部的ceii正常运作。
5，?仪器内部的设定值都已做好设定，如非必要，勿自行任意调整。
洁净管道切割程序标准作业指导书
Project： Package No.：Revision：PackageNo.： 洁 净 管 道 切 割 程 序 标 准 作 业 指 导 书
Project： Package No.：Revision：PackageNo.：Title/职位Signature/签名Company /公司Date/日期 Reviewed by/审核: Title/职位Signature/签名Company /公司Date/日期 Approval by/批准： Title/职位Signature/签名Company /公司Date/日期 Revision Control/版本控制 Revision/版本Change/变更Date/日期Initials/首字母 01 New document/新文件TD 目录
Project： Package No.：Revision：PackageNo.： 1.适用范围 (4) 2.文件描述 (4) 3.总要求 (4) 4. 制作指导规范书 (4)
Project： Package No.：Revision：PackageNo.： 1.适用范围 本文件适用于xxx纯水改造及纯蒸汽系统增加使用点项目。 2. 文件描述 本文件是对xxx纯水改造及纯蒸汽系统增加使用点项目的管道切割施工作业计划进行明确。 3. 总要求 在洁净系统安装过程中，配管的时需要长短不一的管段，而管口平整度对管道的焊接坡度有着直接的影响，切管下料是整个洁净系统的第一步，所以对管道的切割技术规范是有严格的要求和标准的作业规范 管道的传统切割方法主要是依靠手工剧割，锯床剧割，滚轮挤压，砂片切割和气焊切割等，这些的切割方法在不同的程度上都存在切割效率低下，人工劳动强度，工作环境差的缺点。而且有的方法还存在着锥形切口，切口粗糙不平，切片与管道接触的地方会产生高温直接破卫生级洁净管道的内部结构。传统的工艺除了切口不平整意外，还存在噪声大，不易在现场施工，特别是在易燃易爆物品附近作业，切割所产生的火花存在引燃的隐患，对施工以及安全生产极为不利。 应业主要求，本着对工程质量目标的准则，对洁净管道系统安装下料的工易工序，必须采用专门的卫生级管道切管机进行作业，来确保工程质量。 4. 制作指导规范书 下条款是对下料切管制作的指导规范： 在此规范围内的必须符合GMP相关的认证要求。 将不锈钢管搬到切管机的停料台上，注意保护管道外壁的保护 在停料台上做好管道长度记录刻点，然后将管道推到切管机卡吼处
气体管道检测方案
XXX科技有限公司（苏州）生产厂房 气体管道检测方案 中国电子系统工程第二建设有限公司测试中心 二OO七年十月九日
0 口口口 口 口 口 Bono 口 口口 口 口 口口口口口 口 口 I -检测前的准备 经过过滤器除尘后得无油压缩空气或高纯氮气吹扫 24小时，流速大 于20m/s ，并以木槌轻轻敲击待测管路；测试前必须对现场测试介质进行确 认，避免误用测试介质，对压缩空气、氩气和氮气系统直接测量，对纯氧 和纯氢系统选用高纯氮或高纯氩为替代介质进行测试。 n -检测方法学概述 1.气体洁净度测试 a 测试目的 确认各气体系统洁净度满足设计要求 b 测试条件 过滤器已安装；空压机正常运转；气体供应充足，测试时管道保 证压力在0.3MPa~0.7 MPa 之间。 c 测试方法 选取各系统的气源和最不利（远端）的用气点（即系统内管路最 长、走向最复杂的用气点）进行测试，或经甲方工程主管指定用气 点进行抽样测试。 用尘埃离子计数器连接气体管道采样。仪器布置示意图如下： 进气（接管道） 尘埃粒子计数器进行在线监测测量，当观察到读数满足要求并稳 定一段时间之后，即停止测试。尘埃粒子测量在连续三个周期（1min
为一个周期）合格之后停止测量。d测试仪器 1cf尘埃粒子计数器PMS lasairllO e验收标准（暂时制定，根据业主工艺要求和施工工艺决定） 2.气体露点测试 a测试目的 确认各气体系统露点满足设计要求 b测试条件 过滤器已安装；空压机正常运转；气体供应充足，测试时管道 保证压力在0.3MPa~0.7 MPa之间，管道洁净度合格的前提下，取样气体流量应在0.5-5L/min测试管道气体露点。 c测试方法 选取各系统的最不利的用气点（即系统内管路最长、走向最复杂的用气点）进行测试，或经甲方工程主管指定用气点进行抽样测试用露点仪连接气体管道采样。仪器布置示意图如下：
安装工艺流程
水电安装主要工序及技术要求 一、施工准备： 1、安装项目经理、安装技术负责人、施工队长、技术员在工程开 工之前应认真熟悉图纸，安装技术负责人负责施工方案的编制，项目经理、技术员参与施工方案的制定；根据施工方案确定的施工和技术交底的具体措施做好准备工作。 2、参看有关专业设备图和装饰施工图，核对各种管道的坐标、标 高是否有交叉，合理布置管道、桥架排列，对于变更必须由甲方签订工程变更单后方可进行施工，否则应严格按图纸进行施工。 二、预留、预埋： 1、由安装技术负责人组织安装项目经理、技术员、施工队长进行 图纸内部会审，熟悉各专业的技术要求； 2、水电预埋与主体施工同时进行，由专人负责，配合土建施工确 保预埋套管位置、型号、数量准确无误，安装牢固可靠，严禁事后凿墙打洞；穿线套管设备密切配合土建施工，梁柱、楼板中的管线与钢筋绑扎同步进行，墙内管线在砌筑时埋入，所有隐蔽工程均及时做好隐蔽工程记录，加强与其他专业工程等安全施工的配合协作，对土建做好技术交底，由土建配合预留。 三、安装阶段： 安装工程与土建内装饰穿插进行，设备安装尽量在土建抹灰前进行，以免影响装饰工程质量；本阶段施工过程中应充分做好劳动力、材料的准备工作，与土建施工做好工序穿插及配合，加强对土建成品
的保护，使整个施工过程有条不紊的进行。 四、安装工序： 1、室内给水管安装 安装准备预留预埋预制加工（支架制作安装）干管安装立管安装支管安装管道强度试压管道防腐、保温管道系统试压管通水管道冲洗、消毒。 2、排水管安装： 埋地铺设管道宜分两段施工，第一段先做±0.00以下的室内部分至伸出外墙为止。待土建施工结束后，再铺设第二段，从外墙边接入检查井。 楼层管道的安装按下列工序进行，○1按管道系统和卫生设备的设计位置，结合设备排水的尺寸与排水管道口施工要求，在墙、柱和楼地面上划出管道中心线，并确定排水管道预留管口的坐标，作出标记。○2检查各预留孔洞的位置和尺寸并加以顺通。○3按管道走向及管段的中心线标记，进行测量。管道距墙、柱尺寸应符合规范规定。○4选定合格的管材和管件，进行配管和断管。○5支承件和固定支架的形式应符合设计要求，安装应平整牢固。金属支承件应作防锈处理，安装间距应符合规范要求。○6按预留管口位置及管道中心线，依次安装管道和伸缩节，并连接各管口。安装一般应自下向上分层进行，先安装立管，后安装横管，连续施工。○7管道系统安装完毕后，应对管道外观质量和安装尺寸进行复核检查，无误后，再依次通水试验。
管道清洗消毒三步法标准流程
针对不同类型管道，建立科学标准消毒流程，Oxytech工程师团队制订管道消毒三步法和五步法标准流程，采用德国标准，消除管道内壁生物膜和微生物污染。 一．较为洁净的管道： 针对饮用水、纯化水等较为洁净的管道，传统消毒剂需采用三步法清洗消毒，具体流程如下： 采用次氯酸钠、二氧化氯或过氧乙酸等进行三步法消毒，由于其杀菌效力不足，且具有毒性残留和刺激性气味，可能需要反复进行三步法消毒或多次冲洗消毒剂。 二．采用奥克泰士对管道消毒： Oxytech/奥克泰士是食品级消毒剂、无色无味，杀菌率超过99.999%。奥克泰士完全溶解于水，所以效力能够达到管道每个角落，消毒无盲区，一次性彻底消毒，消毒后无需再次冲洗，消除重复污染风险，节省成本。 三．针对洁净程度不高的管道，需要采用五步法清洗消毒。 例如饮料管道、油脂管道、水垢严重的水管道等需要采用五步法，具体步骤可咨询奥克泰士工程师。 四．管道消毒的完整流程：
管道消毒的完整流程应包括：消毒前评估、正式消毒、消毒后效果确认。每个品质管理者都应重视并建立完善的消毒流程，在正式消毒前做好消毒评估，选择生态并高效的消毒产品，以达到对管道系统达到理想的消毒效果。 五．奥克泰士的检测认证： 奥克泰士/过氧化氢银离子自从1978年研发至今，已通过国内外超过300多个检测结构、大学、行业协会的检测验证，确定其高效且安全的效用，确保食品安全。 ?DIN EN ISO 9001认证（德国&欧盟标准）； ?DIN EN ISO14001认证（德国&欧盟标准）； ?IFS/国际食品标准认证； ?EMAS/欧盟生态审核认证； ? A.I.S.E欧盟认证；
高纯气体管路五项测试操作规范
精心整理 五项测试流程 气体管路的QC 气体管路的QC 指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。 （1）?通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解，他们所关心的是管路是否歪斜？此也是我（2）?（一）?（沙的安全。 原理：将待测管路通入PN2，使其压力达到管路正常使用压力的1。1倍或是7至9公斤之间，在一端接上记录器，经过一段时间后检查是否有压降现象，若无则表示该管路已通过保压测试，反之，则检查压降之原因，并在原因排除后再做一次保压测试，直到完全没有泄漏为止 步骤：
A，取得该机台之管路施工图，并一一核对下包商是否有按图施工？ B，?将Panel入口端的接头松开，并利用管路本身的气体将预30秒，并检查Takeoff 及管路是否正确？ C，?将Panel出入口两端用新的Gasket衔接上，并将进机台端的接头Cap起来。 D，将Panel上的Valve及Gegulator开止Open位置。 E，）。F，?使用 G，?swagelok 接头。 H，? Notice： 1，?步骤 以免浪 2， 形发生而影响测漏的准确度。 3，?尽量避免使用Swageick做转接头，以免因人为因素而影响测漏，造成测试时间的浪费。4，?所有的管路尽可能不要衔接Source测试，以免造成气体倒灌而污染主管路。 5，?保压，Purge用的气体一定使用PN2。 6，不可使用氦气Purge管路，否则会影响氦测漏。
7，?本公司所使用之记录器有传统机械转盘记录器与电子记录器。 8，若使用传统机械记录器，记录器范围应与记录纸之压力范围相符。（记录范围如0~10kg/cm2，或0~15kg/cm2） 9，?传统机械记录器之操作方法由现场资深同仁讲解。 10，?当所有动作都已完成，要将待测管路充满压力时，开气源阀时应放漫速度，以免瞬间压力上 11 才可以送 步骤； A B．?暖机 C．?衔接上待测管路，并开始测漏。 D．?当待测管路的漏率达到客户要求的范围时，在所有的焊道及接头上喷氦气，并观察测漏机是否有反应，若无，表测漏完成，若有，则针对漏点作处理，直到氦测漏机没反应为止。 Notice； 1，待测管路串的过多会增加测漏的时间，故尽量将各管路分开来测试。
供水管道安装施工工艺
1 2 3供水管安装施工工艺 3.2、硬聚氯乙烯管粘接施工 3.2.1.根据不同管径和配件承口的深度，在管子插入端用红蓝铜笔划出插入深 3.2.2.粘接：粘接剂涂刷后应立即找正方向，将管端插入承口，用力挤压（管 径大时可用木槌、木方或紧线器等工具加力），使插入深度至划线位置， 并保持一定时间以防接口滑脱。当管径小于63mm时，压力保持时间不 少于30s；管径大于63mm时，压力保持时间应不少于60s。插入后应尽 量避免扭转。 3.2.3.养护：承插接口粘接完毕后，应用干布将缝隙内挤出的多余粘接剂擦拭 3.3、灌水试验 暗设、埋设和有隔热层的排水管道应分楼层做灌水试验，灌水高度不超过8m，灌满后液面不下降、不渗、不漏为合格。 4聚乙烯（PE）给水管施工工艺 4.1、PE管材料的特性 4.1.1.聚乙烯（PE）管材是一种新型材料,它具有柔韧性好,耐腐蚀性强、质轻、 抗冲击性能优良等特点，管材、管件连接可采用热熔对接及电熔等连接
方式，使管材、管件熔为一体，系统安全可靠，施工成本低，在工程应 用中发展迅速。 4.2、管材、管件运输及贮存 4.2.1.先将仓库附近的一块空场地平整出来,管材、和管件到货后，小心搬运至 空场地，整齐摆放,堆成三层,不得剧烈碰撞，避免接触尖锐物件。若PE 管被刮伤,刮伤深度超过1cm,则将其切除。管材堆放好后，面上盖一层 油毛毡，避免日晒雨淋。PE管受温度影响较大，值班人员经常检查，发 现未防护好的及时处理。 4.3、管道连接 4.3.1.管道的连接方式主要有 1、dn（公称外径）≤63mm时，采用热熔承插连接或电熔连接； 2、dn ≥75mm时，采用热熔对接或电熔连接； 3、与金属管及管路附件的连接，采用法兰连接或过渡管件连接等方法。 4.3.2.热熔对接 PE管相互连接本工程选用热熔对接方式。使用该方法连接时， 采用热熔对接焊机，具体步骤如下： 1、把待接管材置于焊机夹具上并夹紧； 2、将管材待连接端清洁干净，然后铣削连接面，若连接端不干净，则易产生漏水现象。 3、校直两对接件，使其错位量不大于2mm； 4、放入加热板； 5、加热完毕，取出加热板； 6、迅速接合两加热面，升压至熔接压力30Pa并保压冷却；热熔完成。 7、热熔焊机操作人员应遵循以下焊接参数。 4.3.3.过渡连接 1、在与金属管及管路附件（如阀门、水表等）的接口连接处采用丝扣或法兰等过渡管件进行连接。 2、管道安装：沟槽开挖后，在沟底铺上20cm沙土或合乎可要求的原土整
给排水、消防和排风管道施工工艺流程图
4 给排水、消防和排风管道工程 4.1工程简述 本标段包括给水管道、消防管道和排风管道安装。 4.2施工引用标准规范： （1）《给排水管道工程施工及验收规范》（GB50268-97） （2）《建筑排水硬聚氯乙烯管道室外埋地工程技术规范》DB305 （3）《建筑排水硬聚氯乙烯管道工程技术规范》（GJJ/C729-98） （4）《给排水通用图集》S1、S2、S3 （5）《通风与空调工程施工及验收规范》（GB 50243-97） 4.3施工工艺流程图： （见下页） 4.4 施工准备 1.给水排水管道工程施工前应进行图纸会审，领会设计意图，读懂图纸 内容，而且应注意到每一个细节。 2.当熟悉施工图纸后，应由设计进行交底。施工单位有任何疑问，可当 场提出以释疑。
4.5材料检验 1.管材、管件应有供应厂商出示的合格证，并应进行现场外观检查，应符合 下列要求： ◆表面应无裂纹、缩孔、夹渣、砂眼、折迭和重皮； ◆螺纹密封面应完整，无损伤、无毛刺； ◆镀锌钢管内外表面的镀锌层不得有脱落、锈蚀等现象； ◆非金属密封圈或密封垫片应质地柔韧、无老化变质或分层现象， 表面应无折损、皱纹等缺陷；
◆法兰密封面应完整光洁，不得有毛刺及经向沟槽，螺纹法兰的螺 纹应完整、无损伤； 2.现场检查系统组件、管件及其它设备、材料，并应符合下列要求： ◆系统组件、管件及其它设备、材料，应符合设计要求和国家现行 有关标准的规定，并应且有出厂合格证； ◆用于消防管道的主配件应经国家消防产品质量监督检验中心检测 合格。 3.门及其附件的现场检验符合下列要求： ◆阀门的型号、规格应符合设计要求 ◆阀门及其附件应配备齐全，不得有加工缺陷和机械损伤； ◆进行主要功能检查，不合格者不得使用。 4.6测量放线 1.根据设计图纸所示的接管点和管线的座标，进行管道中心轴线的测量与放 线； 2.管道中心轴线及高程误差，必须控制在设计或规范的允许误差范围之内； 3.穿墙的管道按设计要求设置套管； 4.套管的埋设位置和标高应符合设计图纸要求； 4.7管道支、吊架 1.固定支架应按设计文件要求安装，支吊架位置应准确，安装应平整牢固， 与管子接触应紧密。
实验室气体管道说明及安装
实验室气体管道说明及安装 1.1实验室气体管道系统技术说明 1.1.1编制依据参照国家规 标准规（描述、罗列本招标文件适用的主要标准和规） 下列规、规程和标准通过引用构成了本技术文件的组成部分。本技术文件涉及到的规、规程和标准，除注明年号者外，应为最新版本。所有工程的制造、检验及验收除应符合本技术文件外，尚应符合图样以及订货技术协议的有关规定： ?GB50016－2006《建筑设计防火规Code for Fire Prevention of Building Design》?GB50235－2010 《工业金属管道施工规Code for construction of industrial metallic piping》 ?JGJ91－93《科学实验建筑设计规Design Code for construction of scientific Lab 》 ?GB 50316-2000《工业金属管道设计规Design code for industrial metallic piping》(2008年版) ?GB 50177-2005《氢气站设计规Design Code for H2 station》 ?GB/T 20801-2006《压力管道规工业管道Design Code for Pressure Pipelines》?GB16912-2008 《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》 ?GB50236-2011 《现场设备、工业管道焊接工程施工规》 ?GB50184-2011 《工业金属管道工程施工质量验收规》 ?SH/T3103-2009 《石油化工中心化验室设计规》 ?电子工业部气体管道安全管理规程 ?GB4962-2008 《氢气使用安全技术规程》 ?SH 3501-2011 《石油化工有毒、可燃介质钢制管道工程施工及验收规》当上述文件与本技术文件条件的要求发生矛盾时，原则上按照较严者的要求执行， 或书面形式向买方提出，由买方负责联络设计方提出处理意见；以上标准均采用 最新版本。
雨水管道施工工艺
雨水管道施工工艺-标准化文件发布号：（9556-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII
本工程污水管，污水管管径为D=400mm，污水管为钢筋混凝土承插管。 1、污水管道施工工艺流程 测量放线→沟槽开挖及支护→管道基础施工→铺设管道→污水井施工→磅水（闭水）试验→沟槽回填 2、测量放线 根据设计施工图，测设管道中心线和污水井中心位置，设立中心桩。管道中心线和井中心位置经监理复核后方可在施工中使用。 根据施工管道直径大小，按规定的沟槽宽定出边线，开挖前用白粉划线来控制，在沟槽外井位置的两侧设置控制桩，并记录两桩至井中心的距离，以备校核。 3、沟槽开挖及支护 由于现场埋地各专业管道比较复杂，为保证其它管道不被损坏，管沟开挖采取人机结合的方法进行。施工时，要按照工区段的划分情况分段施工。开挖前，对地下管线情况进行实地调查、进行物探确定位置，不明处开挖探坑，确定好开挖尺度，由专人指挥、看护，不得损坏其它管线。 沟槽开挖时地下没有管线时采用挖掘机进行人工配合，青塔东里小区施工时采用人工开挖。沟槽深度较大的，采用一台以上挖掘机传递挖土，将开挖土方运离沟槽，对沟槽减少影响。挖土深度至2m时，应先距地面～0.8m处撑头道支撑。管顶上的一道支撑与管顶净距不应小于20cm，离基础面上20cm处加设一道临时支撑。沟槽挖土与支撑应密切配合，做到随挖随撑。防止槽壁失稳而导致沟槽坍塌。挖掘机挖土时，应采取后退式挖土方法，严禁挖掘机进入未设支撑的区域内。 开挖的土方原则上就地堆置,但堆放高度不超过1.5m，堆置点离坑边距离不小于2m。施工时需计算沟槽边堆土对沟槽壁侧向土压力，以确保沟槽的稳定性。
采暖管道施工工艺流程教学文案
采暖管道施工工艺流 程
3 操作工艺 3.1 工艺流程： 安装准备→预制加工→卡架安装→干管安装 →立管安装→支管安装→ 试压→冲洗→防腐→保温→调试 3.2 安装准备： 3.2.1 认真熟悉图纸，配合土建施工进度，预留槽洞及安装预埋件。 3.2.2 按设计图纸画出管路的位置、管径、变径、预留口、坡向，卡架位置等施工草图，包括干管起点、末端和拐弯、节点。预留口、坐标位置等。 3.3 干管安装： 3.3.1 按施工草图，进行管段的加工预制，包括：断管、套丝、上零件、调直、核对好尺寸，按环路分组编号，码放整齐。 3.3.2 安装卡架，按设计要求或规定间距安装。吊卡安装时，先把吊棍按坡向、顺序依次穿在型钢上，吊环按间距位置套在管上，再把管抬起穿上螺栓拧上螺母，将管固定。安装托架上的管道时，先把管就位在托架上，把第一节管装好U形卡，然后安装第二节管，以后各节管均照此进行，紧固好螺栓。 3.3.3 干管安装应从进户或分支路点开始，装管前要检查管腔并清理干净。在丝头处涂好铅油缠好麻，一人在末端扶平管道，一人在接口处把管相对固定对准丝扣，慢慢转动入扣，用一把管钳咬住前节管件，用另一把管钳转动管至松紧适度，对准调直时的标记，要求丝扣外露2～3扣，并清掉麻头依此方法装完为止（管道穿过伸缩缝或过沟处，必须先穿好钢套管）。 3.3.4 制作羊角弯时，应煨两个75°左右的弯头，在联接处锯出坡口，主管锯成鸭嘴形，拼好后即应点焊、找平、找正、找直后，再进行施焊。羊角弯接合部位的口径必须与主管口径相等，其弯曲半径应为管径的2.5倍左右。干管过墙安装分路作法见图1-11。 3.3.5 分路阀门离分路点不宜过远。如分路处是系统的最低点，必须在分路阀门前加泄水丝堵。集气罐的进出水口，应开在偏下约为罐高的1/3处。丝接应与管道联接调直后安装。其放风管应稳固，如不稳可装两个卡子，集气罐位于系统末端时，应装托、吊卡。 图1-11 3.3.6 采用焊接钢管，先把管子选好调直，清理好管膛，将管运到安装地点，安装程序从第一节开始；把管就位找正，对准管口使预留口方向准确，找直后用气焊点焊固定（管径≤50mm以下焊2点，管径≥70mm以上点焊3点），然后施焊，焊完后应保证管道正直。 3.3.7 遇有伸缩器，应在预制时按规范要求做好预拉伸，并作好纪录。按位置固定，与管道连接好。波纹伸缩器应按要求位置安装好导向支架和固定支架。并分别安装阀门、集气罐等附属设备。 3.3.8 管道安装完，检查坐标、标高、预留口位置和管道变径等是否正确，然后找直，用水平尺校对复核坡度，调整合格后，再调整吊卡螺栓U形卡，使其松紧适度，平正一致，最后焊牢固定卡处的止动扳。 3.3.9 摆正或安装好管道穿结构处的套管，填堵管洞口，预留口处应加好临时管堵。 3.4 立管安装： 3.4.1 核对各层预留孔洞位置是否垂直，吊线、剔眼、栽卡子。将预制好的管道按编号顺序运到安装地点。 3.4.2 安装前先卸下阀门盖，有钢套管的先穿到管上，按编号从第一节开始安装。涂铅油缠麻将立管对准接口转动入扣，一把管钳咬住管件，一把管钳拧管，拧到松紧适度，对准调直时的标记要求，丝扣外露2～3扣，预留口平正为止，并清净麻头。
一般气体配管工作程序
一般氣體配管工作程序
供输半导体级一般气体之配管工作程序 1．适用范围 本程序乃适用于半导体生产工厂中所安装的供输一般气体用之配管工作。 2．气体管路的种类 GN2，PN2，PH2，O2，PO2，HE，Ar，PHe，Par，CDA，PH2 3．工作范围 在这里所定义的管线涵盖为由各种不同气体的起始流出点至连接各生产机器设备的气体管线为止。 1）分段点 a）主管路（Main）为由气体的超始流出点（Gas yard）至无尘洁净室中的第一组分支阀（Main Line）为止。 b）次管路（Submain）乃指由无尘洁净室中之第一组分支阀至第二组分支阀（Submain Line）止。 c）第二条管线由第二组分支阀开始至生产机台设备处为止（Hook up）。第二条管线装配在二次板（PANEL）上，其上配有气体关闭阀组、气体过滤器及压降阀等，而所 有配备均需配置在连接于生产机器设备之管路的上游部分。 2）压缩干空气（CDA） 对压缩干空气而言，其管路在气体流出点处需配有一干燥空气出口之过滤器，整个管线 一直完成至生产机器设备的连接点为止。 3）氮气（N2） 必需提供两条氮气管线： a）经纯制之氮气（PN2）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氮气纯化器的上游分支处为止。 b）一般氮气（GN2）管线：其配管工作由氮气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 4）氧气（O2） 必需提供两条氧气管线： a）经纯制之氧气（PO2）管线：其配管工作由生产机台设备的连接点一直完成至氧气纯化器的上游分支处为止。 b）一般氧气（GO2）管线：其配管工作由氧气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 5）氢气（H2） 必需提供两条氢报管线： a）经纯制之氢气（PH2）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氢气纯化器的上游分支处为止。 b）一般氢气（GH2）管线：其配管工作由氢气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 6）氦气（He）
洁净区设备、管道清洁规程
洁净区设备、管道清洁规程 为了确保产品质量，规范生产工艺流程，让员工掌握正确的清洁方法，特制定本规程。 一、配料罐、过滤器及管道清洁方法： 1、每天配制完成后，先用纯化水对配料罐清洗3-4遍，直至水清亮无泡沫为止，然后用压缩空气将管道内水压干净； 2、用注射用水再清洗3-4遍，直至水清亮无泡沫为止，然后用压缩空气将水压干净； 3、如果是生产血虫克欣时，清洗完毕后必须将所有能拆的管道和各种紧固件拆下来浸泡清洗，浓配罐和稀配罐也必须用纯化水注满浸泡，第二天再重复上述操作过程； 4、板块过滤器的清洗同上，但不需要用压缩空气，生产血虫克欣时，在清洗后同样必须用纯化水浸泡后再清洗； 5、精密过滤器先用带压的纯化水清洗干净后，用压缩空气压干水份后放入重铬酸钾溶液中浸泡，取出后先用大量带压的自来水清洗至无泡沫，用压缩空气压干水份，再用纯化水清洗至无泡沫，又用压缩空气压干净水份，最后用注射用水清洗3-4遍后用压缩空气压干净水份后备用；生产其它常用产品时可以不用每次都浸泡，但生产强勉、加勉、重泻急救针、败毒急救针等中草药产品时，必须强制浸泡，血虫克欣必须是专用的精密过滤器；
6、每天上班开始生产前，必须对设备、管道、过滤器重复先天的清洗工作方可正式开始生产。 二、直线灌装机清洗方法： 1、每次开机前必须先对设备进行清洗后方可开机进行生产； 2、先将注射器拆下来用纯化水冲洗干净； 3、再将活塞及皮管与针头拆下来用纯化水冲洗干净； 4、装好后用纯化水将整台设备冲洗干净； 5、生产宫炎净与围产康时可以生产两次后再行拆洗，但生产利宝前必须经过拆洗后才能生产。 三、大容量灌装机清洗方法： 1、生产完成后，用纯化水将设备冲洗至水清亮无泡沫为止； 2、将注射器拆下来分别用纯化水与注射用水清洗干净后备用； 3、再将活塞及皮管与针头拆下来分别用纯化水与注射用水清洗干净后备用； 4、每次生产开始前必须先用注射用水将设备清洗3-4遍后才能正式开始生产。 四、速倍治专用设备清洗方法： 1、生产完成后先用酒精对设备进行一次粗洗，去除油污； 2、第二天用热水对设备进行浸泡清洗至干净；
给排水管道安装施工工序工艺
U-PVC排水管道安装施工工序工艺 一、施工工序： 安装准备→定位放线→预制加工→干管安装→立管安装→支管 安装→卡架安装→管道灌水试验→管道通水通球试验 二、施工工艺： 1. 施工准备 认真熟悉图纸，参看有关专业设备图和建筑装修图，核对各种 管道的坐标、标高是否有交叉，管道排列所用空间是否合理。有问题及时与设计和有关人员研究解决，办好变更记录。 2. 材料准备及要求 (1）管材采用硬质聚氯乙烯U-PVC管材及管件粘接。所用管材及粘接剂应是同一厂家配套产品,应与卫生洁具连接相适宜,并有产品 合格证及说明书。所有材料进场时，必须经过监理、甲方检验合格后方可用于工程，严禁不合格材料进入施工现场。 (2）管材内外表层应光滑,无气泡、裂纹,管壁薄厚均匀,色泽一致。 直管段挠度不大于1%。管件造型应规矩、光滑,无毛刺。承口应有梢度,并与插口配套。 3.干管安装 在整个楼层施工过程中，应配合土建作好管道穿越墙壁和楼板的预留孔洞。预留孔洞尺寸按规范规定执行。管道安装前应检查预留孔洞的位置和标高，并应清除管材和管件的污垢。首先根据设计图纸要求的坐标、标高预留槽洞或预埋套管。埋入地下时，按设计坐标、标高、坡向，坡度开挖槽沟并夯实。采用托吊管安装时应按设计坐标、标高、坡向做好托、吊架。施工条件具备时，将预制加工好的管段，按编号运至安装部位进行安装。各管段粘
连时也必须按粘接工艺依次进行。全部粘连后，管道要直，坡度均匀，各预留口位置准确。。干管安装完后应做闭水试验，出口用充气橡胶堵封闭，达到不渗漏，水位不下降为合格。地下埋设管道应先用细砂回填至管上皮100mm，上覆细土，夯实时勿碰损管道。托吊管粘牢后再按水流方向找坡度。最后将预留口封严和堵洞。 4.立管安装 首先按设计坐标要求，将洞口预留或后剔，洞口尺寸不得过大，更不可损伤受力钢筋。安装前清理场地，根据需要支搭操作平台。 将已预制好的立管按编号运到安装部位。首先清理已预留的伸缩节，将锁母拧下，取出U型橡胶圈，清理杂物。复查上层洞口是否合适。立管插入端应先划好插入长度标记，然后涂上胶水。安装时先将立管上端深入上一层洞口内，垂直用力插入至标记为止（一般预留胀缩量为20～30mm）。检查口按照图纸要求安装，设置高度距离该层地面1m，检查口方向应面向便于清扫方向。 合适后即用PVC专用卡子固定。然后找正找直，并测量三通口中心及检查口是否符合要求。无误后即可堵洞，并将上层预留伸缩节封严。排水管的90O弯头必须使用两个450弯头连接，排水立管和横管的连接、横管与横管的连接必须使用TY型三通或45°Y型斜四通，严禁使用T型三通及正型四通排水。 5.支管安装 清理场地，按需要支搭操作平台。将预制好的支管按编号运至现场。清除各粘接部位的污物及水分。将支管水平初步吊起，涂抹粘接剂，用力推入预留管口。根据管段长度调整好坡度。合适后固定管卡，封闭各预留管口和堵洞。 6.器具连接管安装 核查建筑物地面、墙面作法、厚度。找出预留口坐标、标高。
污水管道施工工艺
HDPE管施工工艺 开工前准备及测量放线 1、施工全过程做到“六落实”即施工负责人、施工员、质安员员落实；施工方案、施工技术措施落实；施工机具设备、检测手段落实。对现场有关管理人员、班组长、操作人员的技术交底及施工规范、质量验收标准交底落实，各级人员的岗位职责落实，安全质量奖惩制度落实。 2、在开工之前，我司将查明施工区域内原有地下管线的埋设情况，并以书面报告的形式提出具体的解决办法，报请监理工程师批准后方可开工。 3、施测前测量人员先校核施工图纸，按图纸确定排水工程的位臵和标高。施工放样记录以书面形式上报监理工程师，待监理工程师检查认可后方进行下一道工序施工 4、管道运到现场，可采用目测法，对管道是否有损伤进行检验，并做好记录与验收手续。如发现管道有损伤，应将该管道与其它管道分开，立即通知管道供应厂家。进行检查，分析原因并作出鉴定，以便及时妥善处理。4、 三）沟槽开挖 1、本工程沟槽开挖施工，拟采用挖掘机进行开挖，自卸汽车运 土至土场卸土，清除路面施工完毕后，进行开挖。基坑开挖时按槽底最小宽度表开挖，并保持沟槽两侧土体稳定，以确保“管—土共同作用”；同时严格控制槽底高程，不超挖或扰动基面，开挖至槽底高以上大约0.2-0.3m 时，即停挖，待下一工序开工时再用人工清理至设计标高。如果局部超挖或发生扰动，不回填泥土，回填最大粒径10-15mm的天然级配砂石料或最大粒径小于40mm的碎石，并整平夯实。槽底如有坚硬物体立即清除，用砂石回填。 2 、基坑开挖过程中如遇坑底出现地下水及积水情况，立即将水抽出坑外，采用基坑内明沟排水，明沟和集水井随着基坑的挖深而逐步加深。基坑挖至设计标高后，集水井的井壁加支护，积水深为1m左右，集水井底部用粗砂、细碎石、粗碎石作反滤层，反滤层施工按规范做好，既防止集水井井壁坍塌，又避免泥沙堵塞管道。 3 、因交通条件，施工环境或施工操作的需要，基坑两侧不能堆土时，在适当的地点另选堆土位臵，并做到随挖随运。对挖出的烂泥、淤泥立即用车运走，以免阻占施工场地，影响现场文明施工。 4、基坑开挖后排水管施工连续进行尽快完成，以减少现场交通的阻碍施工中防止地面水流入沟坑内造成塌方或基土的破坏。挖出的土方不在坑边堆放，远离基坑边线1.5m。另外挖出的土方不得覆盖、堵塞原地面排水沟或市政设施井及测量控制井位。 四）沟槽支护 本标段排水、排污管道埋深较浅，沟槽开挖在碎石桩施工后进行，施工时均采用放坡开挖，坡度为 1.1.。场区地下水较多的地方，采用挖排水沟加集水井和污水泵排水的施工排水措施。
管道施工工艺流程图
安全性 □对信息系统安全性的威胁 任一系统，不管它是手工的还是采用计算机的，都有其弱点。所以不但在信息系统这一级而且在计算中心这一级(如果适用，也包括远程设备)都要审定并提出安全性的问题。靠识别系统的弱点来减少侵犯安全性的危险，以及采取必要的预防措施来提供满意的安全水平，这是用户和信息服务管理部门可做得到的。 管理部门应该特别努力地去发现那些由计算机罪犯对计算中心和信息系统的安全所造成的威胁。白领阶层的犯罪行为是客观存在的，而且存在于某些最不可能被发觉的地方。这是老练的罪犯所从事的需要专门技术的犯罪行为，而且这种犯罪行为之多比我们想象的还要普遍。 多数公司所存在的犯罪行为是从来不会被发觉的。关于利用计算机进行犯罪的任何统计资料仅仅反映了那些公开报道的犯罪行为。系统开发审查、工作审查和应用审查都能用来使这种威胁减到最小。 □计算中心的安全性 计算中心在下列方面存在弱点： 1.硬件。如果硬件失效，则系统也就失效。硬件出现一定的故障是无法避免的，但是预防性维护和提供物质上的安全预防措施，来防止未经批准人员使用机器可使这种硬件失效的威胁减到最小。 2.软件。软件能够被修改，因而可能损害公司的利益。严密地控制软件和软件资料将减少任何越权修改软件的可能性。但是，信息服务管理人员必须认识到由内部工作人员进行修改软件的可能性。银行的程序员可能通过修改程序，从自己的帐户中取款时漏记帐或者把别的帐户中的少量存款存到自己的帐户上，这已经是众所周知的了。其它行业里的另外一些大胆的程序员同样会挖空心思去作案。 3.文件和数据库。公司数据库是信息资源管理的原始材料。在某些情况下，这些文件和数据库可以说是公司的命根子。例如，有多少公司能经受得起丢失他们的收帐文件呢?大多数机构都具有后备措施，这些后备措施可以保证，如果正在工作的公司数据库被破坏，则能重新激活该数据库，使其继续工作。某些文件具有一定的价值并能出售。例如，政治运动的损助者名单被认为是有价值的，所以它可能被偷走，而且以后还能被出售。 4.数据通信。只要存在数据通信网络，就会对信息系统的安全性造成威胁。有知识的罪犯可能从远处接通系统，并为个人的利益使用该系统。偷用一个精心设计的系统不是件容易的事，但存在这种可能性。目前已发现许多罪犯利用数据通信设备的系统去作案。 5.人员。用户和信息服务管理人员同样要更加注意那些租用灵敏的信息系统工作的人。某个非常无能的人也能像一个本来不诚实的人一样破坏系统。 □信息系统的安全性 信息系统的安全性可分为物质安全和逻辑安全。物质安全指的是硬件、设施、磁带、以及其它能够被利用、被盗窃或者可能被破坏的东西的安全。逻辑安全是嵌入在软件内部的。一旦有人使用系统，该软件只允许对系统进行特许存取和特许处理。 物质安全是通过门上加锁、采用防火保险箱、出入标记、警报系统以及其它的普通安全
洁净厂房施工过程
净化厂房的制作 一、空调通风工程 1、镀锌钢板风管施工工艺 采用镀锌钢板风管，本工程采用较先进的共板法兰风管制作工艺作为本工程中镀锌钢板风管的制作安装指导。 2、共板法兰风管制作工艺 矩形风管钢板厚度 A.低中压风管钢板厚度B高压风管钢板厚度GB50243 ⑴ 风管咬口方式采用联合角式或按扣式咬口 ⑵ 风管下料时除了预留出相应的咬口量外，还必须预留出组合法兰成 型量（根据法兰成型机调整，本机为62mm）。 ⑶ 采用单片或双片式下料时，应将板材在折方线的组合法兰成型留量 范围内切断，再进行后续工作。 a.压筋加固 ⑴ 矩形风管，通常都需要进行压筋加固，压筋线应尽量与法兰线方向 平行。 ⑵ 加强筋外凸方向为风管外侧。 b.咬口成型 ⑴ 根据不同的咬口形式要求通过咬口机咬口。 ⑵ 拼板成型的风管料也要预留共板法兰成型量。 c.组合法兰成型 ⑴ 将下好并咬口的风管料通过共板法兰机进行法兰成型。 ⑵长度小于200mm勺风管成型时要使用滑车固定，否则很容易在成型时 滑开形成废品。 d.连接卡成型 ⑴连接卡采用1.2mm厚的镀锌钢板成型而成。⑵ 下料尺寸应为57mm长 度大于300mm使用共板法兰机成型。 ⑶ 洁净风管和需经漏风量测试的风管建议不使用此连接卡，而使 用密封性能更好的成品法兰夹。
e.扣管及安装法兰转角 ⑴ 将成型的风管料组装成矩形管道。⑵ 法兰转角由模具一次冲压成 型，钢板厚度不得小于1.0mm安装时的打压顺序。⑶ 风管安装转角前 应先将风管调正，否则加工出的风管很容易扭曲变形。 f .风管加固- 采用与传统角钢法兰风管相同的角钢外加固。 关键工序-A直板下料（要保证精度）B转角安装（要使内缘贴合风管） 3、共板法兰风管安装工艺 1 .支吊架规格 （a）低速风管（新风管）（b）高速风管（排烟管）GB50243 2.密封垫材料 3.法兰夹安装：法兰夹的安装间距一般为150mm-200mm安装时应尽量使螺栓朝向 和间距一致，并注意使法兰夹平整，减少法兰的变形。 4.风管安装：风管安装无特殊要求，可采用与角钢法兰风管相似的安装方法风管可在地面组装后规模吊装。 根据安装经验，400mm以上管径的风管可以先吊装后加法兰夹而不会有明显变形，但若锁紧法兰角螺栓则风管中间法兰不能贴合，这种安装顺序对洁净风管的施工是不利的，需加法兰夹。350mm以下管径的风管则需在吊装前安装法兰夹，否则，水平管弯曲形变比较明显。 5.阀门安装：如需在共板法兰风管中安装角钢法兰的阀门，可直接在共板法兰上配孔，用螺栓连接；如果阀门也为共板法兰形式，则可直接用法兰夹相连。由于共板法兰强度不如角钢法兰，因此较重的阀门需单独悬吊，如防排烟阀等；一般的手动对开多叶调节阀可选择另加一副吊架。 4、风管测试工艺 1.基本原理：在理想状态下向一个密闭容器注入气体，保持容器内压力恒定， 此时注入的气体流量与密闭容器的泄漏量相等。 2.检测原理：将漏风检测仪风机的出风口用软管连接到被测试的风管上，该段 风管除和测试装置用软管连接以及从上面引出一根风管测压管外，其余接口均应堵死。当启动漏风检测仪并逐渐提高风机转速时，通过软管向风管中注风，风管内的压力也会逐步上升。当风管达到所需测试的压力后，调检测仪的风机转速，使之保持风管内的压力恒定，这时测得风机进口的风量即为被测风管在该压力下的漏风量。
高纯气体管路五项测试流程
高纯气体管路五项测试 流程 文档编制序号：[KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688]
五项测试流程 气体管路的QC 气体管路的QC指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。 （1）?通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解，他们所关心的是管路是否歪斜焊道是否标准气体标签是否有贴等有关管路外观的问题。所以QC人员对于管路外观的检查就显得格外重要，纵是管路内部的分析再怎么确实，在客户眼里我们的品质一样是有瑕疵的，此也是我们应努力的方向之一，然大多数刚接触QC的同仁对于要检查哪些外观都显得有些不知所措，故在附件一概略列出检查的要项，盼对刚接触QC 的人员有所帮助。 （2）?气体管路的五项测试： 气体管路的五项测试为QC最重要的一部分，内容概略可分为[测漏]及[管路内的分析]，前者如没做好而造成危险气体泄漏，除了对公司的声誉造成影响外，更严重的是人的生命及安全都会受到威胁，而后者则是影响到wafer的良率，也是不可忽视的。以下就五项测试一一作介绍：（一）?保压测试（Pressure） 目的：保压测试的目的除了在检查管路，接头是否有泄漏之情形外，另一目的则是在于利用高于工作压力之气体压力保持在一封闭管路内，经过一段时间后及可侦测出管路焊道上是否有沙孔（沙孔会因过高的压力而造成泄漏）以及衔接点是否可承受如此高的压力而不至泄漏，以确保所有人员的安全。
原理：将待测管路通入PN2，使其压力达到管路正常使用压力的1。1倍或是7至9公斤之间，在一端接上记录器，经过一段时间后检查是否有压降现象，若无则表示该管路已通过保压测试，反之，则检查压降之原因，并在原因排除后再做一次保压测试，直到完全没有泄漏为止 步骤： A，取得该机台之管路施工图，并一一核对下包商是否有按图施工 B，?将Panel入口端的接头松开，并利用管路本身的气体将预30秒，并检查Takeoff 及管路是否正确 C，?将Panel出入口两端用新的Gasket衔接上，并将进机台端的接头Cap起来。 D，将Panel上的Valve及Gegulator开止Open位置。 E，将所有待测管路Takeoff端的接头用测试的管子串联起来，并于一端连接记录器（Recorder）。 F，?使用PN2将管路内充满压力达7~9公斤，并检查所有压力表头是否有压力。 G，? 使用测漏液（snoop，其漏率可达1。0*10-4）对所有的接头作初步的测漏，尤其是swagelok接头。 H，?开始测漏。 Notice： 1，?步骤b中因施工者施工不当，常造成管内有铁屑存留，如未先purge 管路而直接衔接上，铁屑可能会被吹入Valve里，而造成Valve的内漏
管道工程的施工方案
管道工程的施工方案 一、工艺流程 熟悉施工现场—→施工放线—→开挖沟槽—→管材报验—→管道安装—→水压试验—→管沟回填—→场地清理—→提交竣工资料报请验收。 二、施工工序及施工要点 1、喷灌管道施工 施工顺序 测量放线→开挖管沟→沟底处理→下管稳管→钢管焊接→砌筑井室→部分回填→试压、冲洗消毒→回填夯实→交验 1.1施工放线 1.1.1放线准备工作： 1.1.1.1核查施工现场是否与图纸相符，包括图上距离与实际距离是否一致，放线的关键点与实际位置是否相符。 1.1.1.2确认场地平整，处理所有影响放线的障碍物。 1.1.2用经纬仪进行控制网测设，根据方格网用直角坐标法定出放线原点，打桩标识将设计图在原地貌上测设并用石灰粉标识。 1.1.3坚持先整体后局部，先主管后支管，放线过程中边放线边核实，控制放线误差不超过有关要求及设计规定。 1.1.4对交叉施工造成放线破坏，要及时进行恢复，保证施工精确度和进程。
1.2管沟开挖 1.2.1严格按放线线路开挖管沟，不得任意偏斜曲折。沟槽深度按设计进行。沟槽宽度在方便安装管道情况下尽可能窄，以对保护管道有利。 1.2.2以机械开挖为主，加快施工进度，保证效率，结合人工，进行局部和细部处理，提高工程质量和精度。 1.2.3考虑现场为回填土且深度较大，开挖时宜作适当放坡（据土质及深度按有关规定执行），特殊地方宜做挡土设备，以防塌落。 1.2.4剔除沟槽内的砖石碎块，残根淤泥等杂物，沟底遇石层或坚硬物，应加挖深10cm，并填良质土夯实找平，遇淤泥处加挖深20cm 后，用良质土回填并夯实找平，保证管沟底密实平直。 1.2.5用水准仪控制管道沟底坡度，利于排水放空。 1.3管道安装 1.3.1检查做好安装准备工作，确认所有安装的每一个管件无机械损伤。 1.3.2安装由专业人员负责，非专业技术人员，不参与安装操作，操作按行业操作规程执行。 1.3.3在安装前应确认好各种管材的供货商，其规格符合设计图纸的要求，待管道挖好后埋入管子。 1.3.4粘接面洁净，无尘土、油污、水渍，用胶适量以形成一层胶膜为宜，用胶均匀，杜绝出现漏刷部位。胶合剂挥发速度较快，刷胶后插接应迅速，以免胶膜干固，胶着面经加压，接着力会增加，要