高纯气体管路五项测试规程修订稿
高纯气体管路五项测试
规程
集团档案编码：[YTTR-YTPT28-YTNTL98-UYTYNN08]
五项测试流程
气体管路的Q C
气体管路的QC指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。
（1）通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解，他们所关心的是管路是否歪斜焊道是否标准气体标签是否有贴等有关管路外观的问题。所以QC人员对于管路外观的检查就显得格外重要，纵是管路内部的分析再怎么确实，在客户眼里我们的品质一样是有瑕疵的，此也是我们应努力的方向之一，然大多数刚接触QC的同仁对于要检查哪些外观都显得有些不知所措，故在附件一概略列出检查的要项，盼对刚接触Q C的人员有所帮助。
（2）气体管路的五项测试：气体管路的五项测试为QC最重要的一部分，内容概略可分为[测漏]及[管路内的分析]，前者如没做好而造成危险气体泄漏，除了对公司的声誉造成影响外，更严重的是人的生命及安全都会受到威胁，而后者则是影响到wafer的良率，也是不可忽视的。以下就五项测试一一作介绍：（一）保压测试（P r e s s u r e）目的：保压测试的目的除了在检查管路，接头是否有泄漏之情形外，另一目的则是在于利用高于工作压力之气体压力保持在一封闭管路内，经过一段时间后及可侦测出管路焊道上是否有沙孔（沙孔会因过高的压力而造成泄漏）以及衔接点是否可承受如此高的压力而不至泄漏，以确保所有人员的安全。原理：将待测管路通入PN2，使其压力达到管路正常使用压力的1。1倍或是7至9公斤之间，在一端接上记录器，经过一段时间后检查是否有压降现象，若无则表示该管路已通过保压测试，反之，则检查压降之原因，并在原因排除后再做一次保压测试，直到完全没有泄漏为止步骤：
A，取得该机台之管路施工图，并一一核对下包商是否有按图施工
B，将Panel入口端的接头松开，并利用管路本身的气体将预30秒，并检查Takeoff 及管路是否正确C，将P a n e l出入口两端用新的G a s k e t衔接上，并将进机台端的接头C a p起来。D，将P a n e l上的V a l v e及G e g u l a t o r开止O p e n位置。
E，将所有待测管路T a k e o f f端的接头用测试的管子串联起来，并于一端连接记录器（R e c o r d e r）。
F，使用P N2将管路内充满压力达7~9公斤，并检查所有压力表头是否有压力。
G，使用测漏液（snoop，其漏率可达1。0*10-4）对所有的接头作初步的测漏，尤其是swagelok 接头。
H，开始测漏。N o t i c e：
1，步骤b中因施工者施工不当，常造成管内有铁屑存留，如未先purge管路而直接衔接上，铁屑可能会被吹入Valve里，而造成Valve的内漏损坏，另一个好处是可确认管路是否正确，以免浪费测试的时间。但是He及特殊气体管路除外，必须另外找PN2管路来purge管路。
2，Recorder一定要放在Takeoff点，因为Panel上的Regulator在Out—In时可能会有逆止情形发生而影响测漏的准确度。
3，尽量避免使用Swageick做转接头，以免因人为因素而影响测漏，造成测试时间的浪费。4，所有的管路尽可能不要衔接S o u r c e测试，以免造成气体倒灌而污染主管路。5，保压，P u r g e用的气体一定使用P N2。
6，不可使用氦气P u r g e管路，否则会影响氦测漏。
7，本公司所使用之记录器有传统机械转盘记录器与电子记录器。
8，若使用传统机械记录器，记录器范围应与记录纸之压力范围相符。（记录范围如0~10k g/c m2，或0~15k g/c m2）
9，传统机械记录器之操作方法由现场资深同仁讲解。
10，当所有动作都已完成，要将待测管路充满压力时，开气源阀时应放漫速度，以免瞬间压力上升而损坏记录器及压力表。
11，当待测管路系统中有checkvalve时，应注意其流向，并将记录器放置正确位置。（二）氦测漏（H e L e a k T e s t）目的；因氦气的分子非常小（4），可侦测出非常小之漏点，如果说保压测试是测大漏，氦测漏则是测小漏，在壮达人所着的VLSI制造技术一书中提到（气体管路的漏率在每秒10E—9CC才可以送气）如此才不会造成危险。原理；将待测管路用氦测漏机将管内抽至超近真空状态，当达到客户要求之漏率时，用还氦气喷在焊道及接头上，若氦测漏机无反应表示测漏完成，若有反应则表示有漏，针对漏点问题排除。步骤；A．确认欲使用插座之电源是否为110V/60H Z。B．暖机10分钟，完成后做测漏本身试抽。C．衔接上待测管路，并开始测漏。D．当待测管路的漏率达到客户要求的范围时，在所有的焊道及接头上喷氦气，并观察测漏机是否有反应，若无，表测漏完成，若有，则针对漏点作处理，直到氦测漏机没反应为止。
N o t i c e；1，待测管路串的过多会增加测漏的时间，故尽量将各管路分开来测试。2，Phe的管路如已经衔接会造成氦测漏机吸到，故Phe的管路不可以衔接做氦测漏。3，待测点喷氦气的原则是由近而远，由上而下。4，喷完氦气后必须经过一段氦测漏机的反应时间，待没问题后开始可继续下一个测试点。5，测试点最好用无尘手套包覆在外，以免氦气散掉或被其他的测试点吸入，而造成误判。6，LR=LeckRate单位是mbar/s，m=10-3，bar=1kg例如；LR=1。5E-9表示漏率为每秒1.5*10-9mbar 明白的说就是每秒的漏率为1。5*10-9c c=0。0000000015c c。7，PE=PressureEntrance（入口端的压力）单位是mbar，m=10-31bar大约等于1kg例如；PE=3.4E-3表示人口端的压力为3.4*10-3mbar的说就是人口端的压力为0.0034mbar。真空状态的压力为0。人口端的压力业主并没特别的规定，但是人口端的压力越超近于0越准确，故PE通常都抽到-3。8，在半导体厂中的机台通常都pumpdown的功能，所以我们的衔接点都由作pumpdown来测试我们的衔接点是否有确实，而机台的测漏方式是将chamber先抽至真空状态，待达到业主指定的真空度时，打开manualvalve，此时chamber加我们管路的真空度不可高出0.5Torr。通常pumpdown需要一天一夜的时间，有时可能会因pumpdown的时间不够长，而误判我们的管路有漏，故如有碰到词种情形时，请机台的代理商再抽久一点既可解决此问题。1mbar=0。75Torr。9，测试完毕后，无须将氦测漏机vent，让氦测漏机内部保持负压，下次使用可缩短自抽的时间。10，氦测漏机代理商建议在每次测试前可以做一次校正的动作，如此可确定测漏机会有反应。（三）P a r t i c l e A n a l y z e r（灰尘含量分析）
目的；particle在半导体厂中是不良率祸首之一，尤其在现在的制程越来越小的情况下，如管路中含有过多的p a r t i c l e，对w a f c r的良率影响很大
原理；利用samplcgas流经雷射头，若particle则会造成crystal的震荡而测的出particle的大小及数量。
步骤；
a，先将待测管路预吹4小时以上。
找一待测管路衔接至p a r t i c l e c o u n t的i n l e t端。
b，在未开始测试前，先打开bypassvalve，以一开一关的方式将待测管路再预吹数分钟。
c，打开电源，并确认o u t l e t是否有气流出来。
d，开始测试。
N o t i c e；
1，测试的压力不可小于40p s i。大于150p s i。
2，通常我们测试的时间为分钟，而10分钟流过雷射头的气体1立方英尺，而测试的单位是um。例如；在记录纸上的0.1的那格出现2则表示在10分钟当中流经雷射头的气体量有1立方英尺，而在这么多的气体中测得大小为0.1u m的p a r t i c l e有2颗
3，particlecounterinlet端所使用的Valve不可使用BallValve，因为BallValve会产生p a r t i c l e，最好使用D i a p h r a g m V a l v e。
在开始测试之前利用b a p a y s v a l v e做c y c l e p u r g e，可以缩短测试时间。
4，测试一段时间后如partice的数量仍会有2，3颗的情形，可以试着将测试管路敲一敲。
5,如L R E F的值低于4。5时，请通知专业人员做雷射头清洁。（四）氧含量分析（OxygenAnalyzer）：目的：晶片在生产过程中，原本大气中O2会和Si产生化学反应得O2+Si=SiO2（二氧化矽）为原始的氧化层，如果管路的氧含量过高，原始的氧化层会超出原本已计算好的厚度，如此会严重影响接下来各阶段的制程。原理；我们利用纯度较高的PN2对待测管路以长时间purge的方式，将微氧带离管路，并在一端接上分析仪器，直到仪器显示的含氧量达到客户要求的标准为止。步骤：a，将待测管路预吹至少4小时。b，取一待测管路衔接至测试仪器的inlet端。c，打开电源，开始测试。Notice：1，选用来Purge的source尽量不使用主管路的最后一颗Valve可能会造成值会降不下来。2，待测管路不宜串接太多，以免压力不足，无法让仪器正常运作。3，氧分析用的仪器，应随时注意电解液是否已达到警戒线了。4，如果在仪器的显示屏幕上出现负值，表示目前管路的含氧量的浓度比仪器校正时用的标准气体浓度还纯，并非仪器损坏，欲作手动归零校正，请勿自行校正，通知专业人员。5，如屏幕上显示的值忽高忽低时，请检查CAP的接头是否都已松开，让气体purge出来。6，仪器不使用时，仍需利用PN2通人仪器内，以防止电解液坏死。7，如氧含量一直都降不下来，请确认主管路氮气的含氧量为何。（五）水含量分析（MoistureAnalyzer）目的：晶片在生产过程中，原本大气中H2O会和Si产生化学反应得：2H2O+Si=SiO2+2H2，其中二氧化矽为原始的氧化层，如果管路的含水量过高，原始的氧化层会超出原本已计算好的厚度，如此会影响接下来各阶段的制程。原理：我们利用纯度较高的PN2对待测管路以长时间purge的方法，将水气带离管路，并在一端接上分析仪器，直到仪器显示的含氧量浓度达到客户要求的标准为止。步骤：A：将待测管路预吹至少4小时。B：取一待测管路衔接到测试仪器的inlet端。C：打开电源，开始测试。Notice：1，选用来purge的source尽量不所有主管路的最后一颗valve，有可能会造成值降不下来。2，待侧管路不宜串接太多，以棉压力不足，无法让仪器正常运作。3，在测试的模式中有Inert及Service，在测试时应使用Inert模式测试，Inert是真正管路内的水气含量值，Service则是含有仪器本身的水含量。4，仪器在未使用时，也必须插上电源，以保持仪器内部的ceii正常运作。5，仪器内部的设定值都已做好设定，如非必要，勿自行任意调整。
洁净管道切割程序标准作业指导书
Project： Package No.：Revision：PackageNo.： 洁 净 管 道 切 割 程 序 标 准 作 业 指 导 书
Project： Package No.：Revision：PackageNo.：Title/职位Signature/签名Company /公司Date/日期 Reviewed by/审核: Title/职位Signature/签名Company /公司Date/日期 Approval by/批准： Title/职位Signature/签名Company /公司Date/日期 Revision Control/版本控制 Revision/版本Change/变更Date/日期Initials/首字母 01 New document/新文件TD 目录
Project： Package No.：Revision：PackageNo.： 1.适用范围 (4) 2.文件描述 (4) 3.总要求 (4) 4. 制作指导规范书 (4)
Project： Package No.：Revision：PackageNo.： 1.适用范围 本文件适用于xxx纯水改造及纯蒸汽系统增加使用点项目。 2. 文件描述 本文件是对xxx纯水改造及纯蒸汽系统增加使用点项目的管道切割施工作业计划进行明确。 3. 总要求 在洁净系统安装过程中，配管的时需要长短不一的管段，而管口平整度对管道的焊接坡度有着直接的影响，切管下料是整个洁净系统的第一步，所以对管道的切割技术规范是有严格的要求和标准的作业规范 管道的传统切割方法主要是依靠手工剧割，锯床剧割，滚轮挤压，砂片切割和气焊切割等，这些的切割方法在不同的程度上都存在切割效率低下，人工劳动强度，工作环境差的缺点。而且有的方法还存在着锥形切口，切口粗糙不平，切片与管道接触的地方会产生高温直接破卫生级洁净管道的内部结构。传统的工艺除了切口不平整意外，还存在噪声大，不易在现场施工，特别是在易燃易爆物品附近作业，切割所产生的火花存在引燃的隐患，对施工以及安全生产极为不利。 应业主要求，本着对工程质量目标的准则，对洁净管道系统安装下料的工易工序，必须采用专门的卫生级管道切管机进行作业，来确保工程质量。 4. 制作指导规范书 下条款是对下料切管制作的指导规范： 在此规范围内的必须符合GMP相关的认证要求。 将不锈钢管搬到切管机的停料台上，注意保护管道外壁的保护 在停料台上做好管道长度记录刻点，然后将管道推到切管机卡吼处
气体管道检测方案
XXX科技有限公司（苏州）生产厂房 气体管道检测方案 中国电子系统工程第二建设有限公司测试中心 二OO七年十月九日
0 口口口 口 口 口 Bono 口 口口 口 口 口口口口口 口 口 I -检测前的准备 经过过滤器除尘后得无油压缩空气或高纯氮气吹扫 24小时，流速大 于20m/s ，并以木槌轻轻敲击待测管路；测试前必须对现场测试介质进行确 认，避免误用测试介质，对压缩空气、氩气和氮气系统直接测量，对纯氧 和纯氢系统选用高纯氮或高纯氩为替代介质进行测试。 n -检测方法学概述 1.气体洁净度测试 a 测试目的 确认各气体系统洁净度满足设计要求 b 测试条件 过滤器已安装；空压机正常运转；气体供应充足，测试时管道保 证压力在0.3MPa~0.7 MPa 之间。 c 测试方法 选取各系统的气源和最不利（远端）的用气点（即系统内管路最 长、走向最复杂的用气点）进行测试，或经甲方工程主管指定用气 点进行抽样测试。 用尘埃离子计数器连接气体管道采样。仪器布置示意图如下： 进气（接管道） 尘埃粒子计数器进行在线监测测量，当观察到读数满足要求并稳 定一段时间之后，即停止测试。尘埃粒子测量在连续三个周期（1min
为一个周期）合格之后停止测量。d测试仪器 1cf尘埃粒子计数器PMS lasairllO e验收标准（暂时制定，根据业主工艺要求和施工工艺决定） 2.气体露点测试 a测试目的 确认各气体系统露点满足设计要求 b测试条件 过滤器已安装；空压机正常运转；气体供应充足，测试时管道 保证压力在0.3MPa~0.7 MPa之间，管道洁净度合格的前提下，取样气体流量应在0.5-5L/min测试管道气体露点。 c测试方法 选取各系统的最不利的用气点（即系统内管路最长、走向最复杂的用气点）进行测试，或经甲方工程主管指定用气点进行抽样测试用露点仪连接气体管道采样。仪器布置示意图如下：
管道清洗消毒三步法标准流程
针对不同类型管道，建立科学标准消毒流程，Oxytech工程师团队制订管道消毒三步法和五步法标准流程，采用德国标准，消除管道内壁生物膜和微生物污染。 一．较为洁净的管道： 针对饮用水、纯化水等较为洁净的管道，传统消毒剂需采用三步法清洗消毒，具体流程如下： 采用次氯酸钠、二氧化氯或过氧乙酸等进行三步法消毒，由于其杀菌效力不足，且具有毒性残留和刺激性气味，可能需要反复进行三步法消毒或多次冲洗消毒剂。 二．采用奥克泰士对管道消毒： Oxytech/奥克泰士是食品级消毒剂、无色无味，杀菌率超过99.999%。奥克泰士完全溶解于水，所以效力能够达到管道每个角落，消毒无盲区，一次性彻底消毒，消毒后无需再次冲洗，消除重复污染风险，节省成本。 三．针对洁净程度不高的管道，需要采用五步法清洗消毒。 例如饮料管道、油脂管道、水垢严重的水管道等需要采用五步法，具体步骤可咨询奥克泰士工程师。 四．管道消毒的完整流程：
管道消毒的完整流程应包括：消毒前评估、正式消毒、消毒后效果确认。每个品质管理者都应重视并建立完善的消毒流程，在正式消毒前做好消毒评估，选择生态并高效的消毒产品，以达到对管道系统达到理想的消毒效果。 五．奥克泰士的检测认证： 奥克泰士/过氧化氢银离子自从1978年研发至今，已通过国内外超过300多个检测结构、大学、行业协会的检测验证，确定其高效且安全的效用，确保食品安全。 ?DIN EN ISO 9001认证（德国&欧盟标准）； ?DIN EN ISO14001认证（德国&欧盟标准）； ?IFS/国际食品标准认证； ?EMAS/欧盟生态审核认证； ? A.I.S.E欧盟认证；
高纯气体管路五项测试操作规范
精心整理 五项测试流程 气体管路的QC 气体管路的QC 指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。 （1）?通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解，他们所关心的是管路是否歪斜？此也是我（2）?（一）?（沙的安全。 原理：将待测管路通入PN2，使其压力达到管路正常使用压力的1。1倍或是7至9公斤之间，在一端接上记录器，经过一段时间后检查是否有压降现象，若无则表示该管路已通过保压测试，反之，则检查压降之原因，并在原因排除后再做一次保压测试，直到完全没有泄漏为止 步骤：
A，取得该机台之管路施工图，并一一核对下包商是否有按图施工？ B，?将Panel入口端的接头松开，并利用管路本身的气体将预30秒，并检查Takeoff 及管路是否正确？ C，?将Panel出入口两端用新的Gasket衔接上，并将进机台端的接头Cap起来。 D，将Panel上的Valve及Gegulator开止Open位置。 E，）。F，?使用 G，?swagelok 接头。 H，? Notice： 1，?步骤 以免浪 2， 形发生而影响测漏的准确度。 3，?尽量避免使用Swageick做转接头，以免因人为因素而影响测漏，造成测试时间的浪费。4，?所有的管路尽可能不要衔接Source测试，以免造成气体倒灌而污染主管路。 5，?保压，Purge用的气体一定使用PN2。 6，不可使用氦气Purge管路，否则会影响氦测漏。
7，?本公司所使用之记录器有传统机械转盘记录器与电子记录器。 8，若使用传统机械记录器，记录器范围应与记录纸之压力范围相符。（记录范围如0~10kg/cm2，或0~15kg/cm2） 9，?传统机械记录器之操作方法由现场资深同仁讲解。 10，?当所有动作都已完成，要将待测管路充满压力时，开气源阀时应放漫速度，以免瞬间压力上 11 才可以送 步骤； A B．?暖机 C．?衔接上待测管路，并开始测漏。 D．?当待测管路的漏率达到客户要求的范围时，在所有的焊道及接头上喷氦气，并观察测漏机是否有反应，若无，表测漏完成，若有，则针对漏点作处理，直到氦测漏机没反应为止。 Notice； 1，待测管路串的过多会增加测漏的时间，故尽量将各管路分开来测试。
人员进入洁净区流程
（一）人员进洁净区程序 1、用手拧开换鞋室门，坐在入门口得横凳上，面对门外，用手取出放在背对一侧横凳下鞋架内得洁净区工作鞋，整齐轻放于背后；将一般生产区工鞋脱去，坐着转身180°，穿上洁净区工作鞋；侧身将一般生产区得鞋整齐得放入横凳下规定得鞋架上。（整个过程双脚不能着地） 2、由当班班长按《洁净区人员出入记录表》要求内容填写后，方能进入一更。 3、用手打开一更衣室柜门，脱去外衣、工作帽及私人物品，放入更衣柜内，关柜门。 4、洗手：走到洗手池旁，伸双手掌入水盆上方自动洗手器下方得位置，让水冲洗双手掌及至腕上5cm处，手触摸自动给皂器，两手相互摩擦，使手心、手背、手腕上5cm处得皮肤均匀充满泡沫，摩擦约10秒钟。 5、伸双手至自动洗手器，让水冲洗双手，双手上下移动，相互摩擦、冲洗至无滑腻感为止，再翻动双掌，至清洗干净为止。 6、伸手到电热烘手机下约8—10cm处，烘干为止。 7、穿洁净衣服： （1）用手肘拧开二更衣室门，进入内更衣室，在洁净工作服架内取出自己工号得洁净工作服袋。 （2）取出连体洁净工作服穿上。 （3）戴口罩，口罩要罩住口与鼻。 （4）从前向后戴上工作帽，并全部包住头发。 8、消毒手部：用手打开缓冲室门，在自动酒精喷雾器前伸出双手喷均匀双手（或用1‰新洁尔灭消毒液浸泡约5分钟）进行手消毒（两种消毒剂交替使用，每月更换一次）。消毒完毕，站立片刻后，再进入洁净区。 9、在洁净区内，注意保持手得清洁，不能再接触与工作无关得物品，不得裸手直接接触产品。 10、洁净区内，动作要稳、轻、少或不做与操作无关得动作，及不必要得交谈。 （二）人员出洁净区程序
1、用手拧开缓冲室门，从缓冲室经内更衣室进入外一更衣室，脱下洁净 区工作服，放进有状态标识得桶内，盖好盖子，并穿上自已工号得一般生产区工作服。 2、用手拧开换鞋室门，背朝门外，脱下洁净区工鞋，放进规定鞋架内， 注意此时脚不落地，转身180°，穿上一般生产区工作鞋，将一次性口罩等杂物放入垃圾桶，此时由当班班长按《洁净区人员出入记录表》内，再出洁净区。 （三）物料进出洁净区程序 1、物料从一般生产区进入洁净区，必须经物净系统（包括缓冲室与传递窗）在缓冲室脱去外包装，若不能脱去外包装得，应对外包装进行吸尘等洁净处理后，经有出入门联锁得气闸室或传递窗（柜）进入洁净区，并按《洁净区物料出入记录表》要求填写内容。 2、物料进入洁净区内，整齐码放于规定位置并挂上状态标识牌。 3、物料从300，000级洁净区到一般生产区，经过有出入门联锁得气闸室或传递窗（柜）传出，并有记录。 注：“离开洁净区按进入洁净区更衣得逆向顺序进行更衣。”我建议实际操作得时候离开洁净区更衣应该在一更，不应该在二更！因为人在脱洁净服得时候会有很多皮毛掉落，二更与缓冲间最接近，故可能容易把皮毛带入洁净区生产车间，影响产品得质量。所以我们公司在一更脱去洁净服，放入专门盛装洁净服得容器里面！ 人员类： 1、非无菌洁净区：换鞋---脱外衣，洗手----穿洁净工作服，手消毒----气闸室----进入区域。 对于30万级净化，逗号隔开得操作范围可以在同一区域内，而横折号隔开得操作范围必须在不同得区域，对于10万级净化，逗号与分折号所隔开得范围都必须在不同区域。不设换鞋室得，可以在更衣室内增设换鞋区。更衣室按照气闸室要求设计得，可以取消气闸室。手消毒也可以在气闸室内进行。 2、无菌洁净区：换鞋---脱外衣，脱内衣，洗手/脸/腕部----穿无菌内
实验室气体管道说明及安装
实验室气体管道说明及安装 1.1实验室气体管道系统技术说明 1.1.1编制依据参照国家规 标准规（描述、罗列本招标文件适用的主要标准和规） 下列规、规程和标准通过引用构成了本技术文件的组成部分。本技术文件涉及到的规、规程和标准，除注明年号者外，应为最新版本。所有工程的制造、检验及验收除应符合本技术文件外，尚应符合图样以及订货技术协议的有关规定： ?GB50016－2006《建筑设计防火规Code for Fire Prevention of Building Design》?GB50235－2010 《工业金属管道施工规Code for construction of industrial metallic piping》 ?JGJ91－93《科学实验建筑设计规Design Code for construction of scientific Lab 》 ?GB 50316-2000《工业金属管道设计规Design code for industrial metallic piping》(2008年版) ?GB 50177-2005《氢气站设计规Design Code for H2 station》 ?GB/T 20801-2006《压力管道规工业管道Design Code for Pressure Pipelines》?GB16912-2008 《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》 ?GB50236-2011 《现场设备、工业管道焊接工程施工规》 ?GB50184-2011 《工业金属管道工程施工质量验收规》 ?SH/T3103-2009 《石油化工中心化验室设计规》 ?电子工业部气体管道安全管理规程 ?GB4962-2008 《氢气使用安全技术规程》 ?SH 3501-2011 《石油化工有毒、可燃介质钢制管道工程施工及验收规》当上述文件与本技术文件条件的要求发生矛盾时，原则上按照较严者的要求执行， 或书面形式向买方提出，由买方负责联络设计方提出处理意见；以上标准均采用 最新版本。
一般气体配管工作程序
一般氣體配管工作程序
供输半导体级一般气体之配管工作程序 1．适用范围 本程序乃适用于半导体生产工厂中所安装的供输一般气体用之配管工作。 2．气体管路的种类 GN2，PN2，PH2，O2，PO2，HE，Ar，PHe，Par，CDA，PH2 3．工作范围 在这里所定义的管线涵盖为由各种不同气体的起始流出点至连接各生产机器设备的气体管线为止。 1）分段点 a）主管路（Main）为由气体的超始流出点（Gas yard）至无尘洁净室中的第一组分支阀（Main Line）为止。 b）次管路（Submain）乃指由无尘洁净室中之第一组分支阀至第二组分支阀（Submain Line）止。 c）第二条管线由第二组分支阀开始至生产机台设备处为止（Hook up）。第二条管线装配在二次板（PANEL）上，其上配有气体关闭阀组、气体过滤器及压降阀等，而所 有配备均需配置在连接于生产机器设备之管路的上游部分。 2）压缩干空气（CDA） 对压缩干空气而言，其管路在气体流出点处需配有一干燥空气出口之过滤器，整个管线 一直完成至生产机器设备的连接点为止。 3）氮气（N2） 必需提供两条氮气管线： a）经纯制之氮气（PN2）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氮气纯化器的上游分支处为止。 b）一般氮气（GN2）管线：其配管工作由氮气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 4）氧气（O2） 必需提供两条氧气管线： a）经纯制之氧气（PO2）管线：其配管工作由生产机台设备的连接点一直完成至氧气纯化器的上游分支处为止。 b）一般氧气（GO2）管线：其配管工作由氧气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 5）氢气（H2） 必需提供两条氢报管线： a）经纯制之氢气（PH2）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氢气纯化器的上游分支处为止。 b）一般氢气（GH2）管线：其配管工作由氢气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 6）氦气（He）
洁净区设备、管道清洁规程
洁净区设备、管道清洁规程 为了确保产品质量，规范生产工艺流程，让员工掌握正确的清洁方法，特制定本规程。 一、配料罐、过滤器及管道清洁方法： 1、每天配制完成后，先用纯化水对配料罐清洗3-4遍，直至水清亮无泡沫为止，然后用压缩空气将管道内水压干净； 2、用注射用水再清洗3-4遍，直至水清亮无泡沫为止，然后用压缩空气将水压干净； 3、如果是生产血虫克欣时，清洗完毕后必须将所有能拆的管道和各种紧固件拆下来浸泡清洗，浓配罐和稀配罐也必须用纯化水注满浸泡，第二天再重复上述操作过程； 4、板块过滤器的清洗同上，但不需要用压缩空气，生产血虫克欣时，在清洗后同样必须用纯化水浸泡后再清洗； 5、精密过滤器先用带压的纯化水清洗干净后，用压缩空气压干水份后放入重铬酸钾溶液中浸泡，取出后先用大量带压的自来水清洗至无泡沫，用压缩空气压干水份，再用纯化水清洗至无泡沫，又用压缩空气压干净水份，最后用注射用水清洗3-4遍后用压缩空气压干净水份后备用；生产其它常用产品时可以不用每次都浸泡，但生产强勉、加勉、重泻急救针、败毒急救针等中草药产品时，必须强制浸泡，血虫克欣必须是专用的精密过滤器；
6、每天上班开始生产前，必须对设备、管道、过滤器重复先天的清洗工作方可正式开始生产。 二、直线灌装机清洗方法： 1、每次开机前必须先对设备进行清洗后方可开机进行生产； 2、先将注射器拆下来用纯化水冲洗干净； 3、再将活塞及皮管与针头拆下来用纯化水冲洗干净； 4、装好后用纯化水将整台设备冲洗干净； 5、生产宫炎净与围产康时可以生产两次后再行拆洗，但生产利宝前必须经过拆洗后才能生产。 三、大容量灌装机清洗方法： 1、生产完成后，用纯化水将设备冲洗至水清亮无泡沫为止； 2、将注射器拆下来分别用纯化水与注射用水清洗干净后备用； 3、再将活塞及皮管与针头拆下来分别用纯化水与注射用水清洗干净后备用； 4、每次生产开始前必须先用注射用水将设备清洗3-4遍后才能正式开始生产。 四、速倍治专用设备清洗方法： 1、生产完成后先用酒精对设备进行一次粗洗，去除油污； 2、第二天用热水对设备进行浸泡清洗至干净；
高洁净及超高洁净不锈钢管道生产项目可行性研究报告
新莱应材：收购控股子公司少数股东股权成为全资子公司并对其增资扩建高洁净及超高洁 净不锈钢管道生产项目可行性研究报告 2013-04-02 00:00:00 来源：证券时报 ?哪些是主力即将拉升的强势牛股！ ?A股T+0平台可买跌赚钱杠杆100倍 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 收购控股子公司少数股东股权成为 全资子公司并对其增资扩建高洁净 及超高洁净不锈钢管道生产项目 可行性研究报告 2013 年3 月 目录 一、项目名称及背景---------------------------------- 3 二、项目实施方案---------------------------------- 4 三、项目情况- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 6 四、项目实施行业市场背景及必要性分析------------------- 9 五、项目效益分析------------------------------ 12 六、主要风险分析及对策------------------------- 13 七、项目可行性研究结论- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 1 5 第一章项目名称及背景 一、项目名称 收购控股子公司少数股东股权成为全资子公司并对其增资扩建高洁净及超高洁净不锈钢管道生产项目。 二、项目实施背景 2011 年9 月,昆山新莱洁净应用材料股份有限公司(以下简称“公司”、“新莱应材”)在深圳证券交易所创业板成功上市,公司知名度和资金实力得以显著提升。作为一家专业生产高洁净应用材料的制造商,在国内同行业中拥有洁净材料完整技术体系,产品覆盖电子、生物医药、食品三大应用领域。公司积极探索发展战略、延伸产业链条、优化产业布局,通过规模化扩张等一系列对外投资项目的实施,公司整体竞争实力得到提高。 宝莱不锈钢科技(昆山)有限公司(以下简称“宝莱科技”)现为公司控股子公司,持股比例为75%,另一股东New Prospect International LTD(以下简称“NP”)持股比例为25%,为境外法人,其实际控制人MOCHIZUKI ABIN 为新莱应材控股股东、实际控制人李水波、申安韵之关联关系人。宝莱科技作为公司的控股子公司,其产品高洁净及超高洁净不锈钢管道全部销售到新莱应材,从原材供应的角度上讲,宝莱科技是公司最重要的供应商。目前,公司绝大部分的高洁净及超高洁净不锈钢管道由宝莱科技购入,只有少部分的高洁净及超高洁净不锈钢管道由国外进口,国外进口部分的成本明显高于由宝莱科技自产部分,也即宝莱科技使公司在原材料供应上实现了代替进口。随着新莱应材总体业务规模的扩大,必然增加公司对上游原材料宝莱科技产品高洁净及超高洁净不锈钢管道量的需求,同时为保证公司成本不会过快上升,控制公司成本,宝莱科技高洁净及超高洁净不锈钢管道生产项目的扩大迫在眉睫。 第二章项目实施方案 一、项目实施计划 新莱应材拟以自有资金18,800,000.00元收购控股子公司宝莱科技少数股东25%股权,使其成为全资子公司,同时计划变更部分募投资项目,其中变更的部分募投项目资金为
洁净室专用管道组成各工艺技术详解
洁净室专用管道组成各 工艺技术详解 洁净室专用管道安装是一种非金属管道，主要是由树脂为基体，玻璃纤维为增强材料经特殊工艺制作而成，轻质、高强、耐腐蚀。 卫生级洁净管道安装优势 1、轻质高强：卫生级管道安装比重为1.65~ 2.0。对于相同管径的单位长度重量，只有碳素钢的1/3、FRP管只有铸铁管的1/5，预应力砼管的1/10，在施工中降低了吊装费用，提高了安装速度等。 2、水力学特性好：这一特性在给排水领域应用尤为突出，其水力特性好。 3、耐水耐腐蚀性能好：卫生级管道安装的耐腐蚀性能优良，减少了防腐费用，延长了使用寿命;同时由于不生锈，使输水水质不受二次污染。还能用于输送污水、泥浆、海水等介质。 4、耐压：按工艺要求的压力，设计、制造管道和管件，以工艺要求的1.5倍压力进行水压试验。 5、接口密封性好，不渗漏，不会破裂，增加供水安全可靠性。 6、无毒，可用于输送饮用水。
洁净管道设计的方法及注意事项 洁净管道一般包含纯化水系统、物料系统、特气系统、真空系统、注射水系统、纯蒸汽系统等。把需要超高洁净度级别(如1级或10级)的工艺生产线，放在与室内空气环境隔绝的管道中的净化处理方式，叫洁净管道。这种方式要求工艺生产必须是自动化的，高效过滤器必须是以0.1μm尘粒为标准的才能实现超高洁净度。 洁净管道设计要由洁净空间的容积和需要的换气次数确定风量，由噪音限制条件确定风速，由风速、风量、系统损耗、确定风管截面积。该设计已经比较成熟的是全室净化、局部净化(包括全室净化和局部净化相结合)以及洁净隧道三种净化处理方式，工程设计中应结合具体情况选择其中一种或两种净化方式作为设计方案。 洁净管道设计用水系统洁净管道内的水力计算，与普通的给水管道的水力计算的主要区别在于应仔细地考虑微生物控制对水系统中的流体动力特性的特殊要求，具体区别是，在制药工艺用水系统中越来越多地采用各种消毒、灭菌设施。并且将传统的单向直流给水系统改变为串联循环方式。 在满足工艺要求的条件下，应尽量选用局部净化方式。局部净化采用局部净化设备，在一般空调环境中实现。由于局部净化设备一般均由专业工厂生产，设备质量高，又可加快现场施工速度，在改建工程中可以优先考虑这种方案。
洁净厂房施工过程
净化厂房的制作 一、空调通风工程 1、镀锌钢板风管施工工艺 采用镀锌钢板风管，本工程采用较先进的共板法兰风管制作工艺作为本工程中镀锌钢板风管的制作安装指导。 2、共板法兰风管制作工艺 矩形风管钢板厚度 A.低中压风管钢板厚度B高压风管钢板厚度GB50243 ⑴ 风管咬口方式采用联合角式或按扣式咬口 ⑵ 风管下料时除了预留出相应的咬口量外，还必须预留出组合法兰成 型量（根据法兰成型机调整，本机为62mm）。 ⑶ 采用单片或双片式下料时，应将板材在折方线的组合法兰成型留量 范围内切断，再进行后续工作。 a.压筋加固 ⑴ 矩形风管，通常都需要进行压筋加固，压筋线应尽量与法兰线方向 平行。 ⑵ 加强筋外凸方向为风管外侧。 b.咬口成型 ⑴ 根据不同的咬口形式要求通过咬口机咬口。 ⑵ 拼板成型的风管料也要预留共板法兰成型量。 c.组合法兰成型 ⑴ 将下好并咬口的风管料通过共板法兰机进行法兰成型。 ⑵长度小于200mm勺风管成型时要使用滑车固定，否则很容易在成型时 滑开形成废品。 d.连接卡成型 ⑴连接卡采用1.2mm厚的镀锌钢板成型而成。⑵ 下料尺寸应为57mm长 度大于300mm使用共板法兰机成型。 ⑶ 洁净风管和需经漏风量测试的风管建议不使用此连接卡，而使 用密封性能更好的成品法兰夹。
e.扣管及安装法兰转角 ⑴ 将成型的风管料组装成矩形管道。⑵ 法兰转角由模具一次冲压成 型，钢板厚度不得小于1.0mm安装时的打压顺序。⑶ 风管安装转角前 应先将风管调正，否则加工出的风管很容易扭曲变形。 f .风管加固- 采用与传统角钢法兰风管相同的角钢外加固。 关键工序-A直板下料（要保证精度）B转角安装（要使内缘贴合风管） 3、共板法兰风管安装工艺 1 .支吊架规格 （a）低速风管（新风管）（b）高速风管（排烟管）GB50243 2.密封垫材料 3.法兰夹安装：法兰夹的安装间距一般为150mm-200mm安装时应尽量使螺栓朝向 和间距一致，并注意使法兰夹平整，减少法兰的变形。 4.风管安装：风管安装无特殊要求，可采用与角钢法兰风管相似的安装方法风管可在地面组装后规模吊装。 根据安装经验，400mm以上管径的风管可以先吊装后加法兰夹而不会有明显变形，但若锁紧法兰角螺栓则风管中间法兰不能贴合，这种安装顺序对洁净风管的施工是不利的，需加法兰夹。350mm以下管径的风管则需在吊装前安装法兰夹，否则，水平管弯曲形变比较明显。 5.阀门安装：如需在共板法兰风管中安装角钢法兰的阀门，可直接在共板法兰上配孔，用螺栓连接；如果阀门也为共板法兰形式，则可直接用法兰夹相连。由于共板法兰强度不如角钢法兰，因此较重的阀门需单独悬吊，如防排烟阀等；一般的手动对开多叶调节阀可选择另加一副吊架。 4、风管测试工艺 1.基本原理：在理想状态下向一个密闭容器注入气体，保持容器内压力恒定， 此时注入的气体流量与密闭容器的泄漏量相等。 2.检测原理：将漏风检测仪风机的出风口用软管连接到被测试的风管上，该段 风管除和测试装置用软管连接以及从上面引出一根风管测压管外，其余接口均应堵死。当启动漏风检测仪并逐渐提高风机转速时，通过软管向风管中注风，风管内的压力也会逐步上升。当风管达到所需测试的压力后，调检测仪的风机转速，使之保持风管内的压力恒定，这时测得风机进口的风量即为被测风管在该压力下的漏风量。
高纯气体管路五项测试流程
高纯气体管路五项测试 流程 文档编制序号：[KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688]
五项测试流程 气体管路的QC 气体管路的QC指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。 （1）?通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解，他们所关心的是管路是否歪斜焊道是否标准气体标签是否有贴等有关管路外观的问题。所以QC人员对于管路外观的检查就显得格外重要，纵是管路内部的分析再怎么确实，在客户眼里我们的品质一样是有瑕疵的，此也是我们应努力的方向之一，然大多数刚接触QC的同仁对于要检查哪些外观都显得有些不知所措，故在附件一概略列出检查的要项，盼对刚接触QC 的人员有所帮助。 （2）?气体管路的五项测试： 气体管路的五项测试为QC最重要的一部分，内容概略可分为[测漏]及[管路内的分析]，前者如没做好而造成危险气体泄漏，除了对公司的声誉造成影响外，更严重的是人的生命及安全都会受到威胁，而后者则是影响到wafer的良率，也是不可忽视的。以下就五项测试一一作介绍：（一）?保压测试（Pressure） 目的：保压测试的目的除了在检查管路，接头是否有泄漏之情形外，另一目的则是在于利用高于工作压力之气体压力保持在一封闭管路内，经过一段时间后及可侦测出管路焊道上是否有沙孔（沙孔会因过高的压力而造成泄漏）以及衔接点是否可承受如此高的压力而不至泄漏，以确保所有人员的安全。
原理：将待测管路通入PN2，使其压力达到管路正常使用压力的1。1倍或是7至9公斤之间，在一端接上记录器，经过一段时间后检查是否有压降现象，若无则表示该管路已通过保压测试，反之，则检查压降之原因，并在原因排除后再做一次保压测试，直到完全没有泄漏为止 步骤： A，取得该机台之管路施工图，并一一核对下包商是否有按图施工 B，?将Panel入口端的接头松开，并利用管路本身的气体将预30秒，并检查Takeoff 及管路是否正确 C，?将Panel出入口两端用新的Gasket衔接上，并将进机台端的接头Cap起来。 D，将Panel上的Valve及Gegulator开止Open位置。 E，将所有待测管路Takeoff端的接头用测试的管子串联起来，并于一端连接记录器（Recorder）。 F，?使用PN2将管路内充满压力达7~9公斤，并检查所有压力表头是否有压力。 G，? 使用测漏液（snoop，其漏率可达1。0*10-4）对所有的接头作初步的测漏，尤其是swagelok接头。 H，?开始测漏。 Notice： 1，?步骤b中因施工者施工不当，常造成管内有铁屑存留，如未先purge 管路而直接衔接上，铁屑可能会被吹入Valve里，而造成Valve的内漏
电子洁净厂房工艺管道施工
电子洁净厂房工艺管道施工 提要：本文以北京某电子厂为例，依据现场实践，对工艺管道专业的施工工艺进行简单介绍，并将现场中遇到的难点列举出来，分析并提出了解决办法，内容涉及一次配主系统安装和二次配管，以期对同行们的工程实践有所帮助。 关键词：电子行业洁净厂房工艺管道主系统二次配管 随着我国改革开放三十多年的快速发展，国内电子行业也在不断进步，相应地，各地上马了许多与之相关的项目。电子行业中洁净厂房的建设是重中之重，洁净管道专业作为其重要组成部分，关乎到了整个系统的正常运行。本文以北京某电子厂为例，介绍了工艺管道施工过程中的若干要点。一．施工工艺 1．施工原则：根据现场条件配合土建预留、预埋。按照先地下后地上，先预制后安装，先主管后支管，先立管后水平管，同一列管道按先高后低的顺序施工，先系统试验后冲洗、打压，最后进行系统验收。 2.工艺流程：室内管道敷设工艺流程如下: 管道支、吊架的制作、安装→管道预制、储存→管道运输、排管→管道组对、焊接→管道吊装→管道固定口焊接→管道试压、冲洗→焊口补油、刷色环→整理资料、交工。3．技术准备：把工程图纸、收集到的有 关技术资料做全面的技术交底，熟悉管道的工艺流程、管道的坡度、坡向，阀门、仪表和设备的连接，以及管材、管件的检验。 二．下面按照本项目所采用管道材质的不同，分别介绍其施工要点： 1．对于不锈钢管道，本项目涉及系统有PV、CDA、GN2、PN2、PO2、PAr、PH2等，管道的材质分别为304AP、304BA和316LEP不锈钢管。EP材质管道采用自动焊机焊接，BA材质管道尽可能采用自动焊（自动、手工焊接均可），AP材质管道采用手工氩弧焊焊接。 1）管道的贮存与运输： a.不锈钢管材应贮存在干燥的环境下，管道材料应上架分层存放，存放期间不得破坏外保护膜以及管两端的防护端盖。 b.不锈钢管应与碳钢管道隔离存放。 c.管道均应保持内部的清洁，安装前严禁打开端盖，内部如有污染需要用无水酒精擦拭干净。 d.管道大包装拆开以后，单支管需要用塑料保护膜缠绕进行保护，运输过程应保护其外包装材料不受到破坏。管道施工时只将端头的保护膜打开，管身部分的保护膜交工前再打开，避免被污染。 e.管道搬运时严禁用钢撬棍撬动，避免划伤表面。
最全洁净室检测方法及流程
最全洁净室检测方法及流程 一、洁净室相关概念 洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示，也就是把从某一个低的含尘浓度起到不超过另一个高的含尘浓度止这一个含尘浓度范围为某一个空气洁净度级别。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.15μm的固体和液体粒子。 洁净室检测 二、洁净室的分类 （1）按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级。9级为最低级别。 （2）按气流组织分 洁净室可分为三类：单向流、层流、洁净室。 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。其中与水平面垂直的单向流是垂直单向流与水平面平行的单向流是水平单向流。 乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。 混合流洁净室：单向流和非单向流组合的气流的洁净室。 按照洁净室所需控制的空气中悬浮微粒的类别，可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室，它主要控制参数是温、湿度、风速、气流组织、洁净度。生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。 1、洁净室的检测状态可分为三类 （1）、空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。
气体管路施工规范
气体管路工程施工规范 一、工程简介 1、生产设备所需之二次侧制程气体管路工程。 2、各系统分别由机台接头处，经二次配管至SUB-MAIN PIPE预留阀。 二、系统界面 1、与原系统一次侧之介面为SUB-MAIN PIPE预留阀。 2、与设备机台之介面为设备出口接头、承商应按MOVE IN设备之实际接点来衔接管线。 三、工程基准 依本公司准备之下列资料及图说来进行本工程： 1、制程气体管路系统工程图（附系统流程图）。 2、机台位置图。 3、设备需求配管单线图或utility matrix, 动力安装条件表。 4、制程气体管路工程技术规范。 5、设备机台MOVE IN SCHEDULE。 四、工程施工规范。 1、承包商于进行配管焊接时，必须穿戴上干净无尘室专用手套及护具。 2、配管材料气体接触部分，不可用污秽的手套或用手直接触摸。 3、配管时必须使用超高纯度氩气作为焊接之气体，施工完后所有管路须用高纯度氮气不间 断PURGE，PURGE排气须接至室外排放，以避免人员窒息危险。 4、配管焊接时，所有临时管路须为SUS 316硬管。 5、所有配管焊接须于每日施工前，先做每一管径试件试焊，并须记录焊接机之焊接参数、 合格试件及焊接参数，经监工人员检验合格后，施工人员才能开始施工。 6、焊接时，须使用内压管理。 7、1/2英寸（含）以下管道可以使用弯管器，管弯半径R＞5D(D为外径)。若无法满足上 述要求则一律使用ELBOW施工。 8、配管时，切管、修倒角及端面，管子必须直立向下或平行，以避免铁屑附着于管内壁， 且须小心进刀避免刮伤管内光滑表面。 9、配管切割后须以洁净N2 GUN气体清除，管内壁切割面应位于下流方向。 10、施工进行中，须按图施工，如发现施工图面出现问题或要求设计更改时，应立即回报监 工处理，不可擅自做主。 11、所有VCR接头，在确定不会再拆或作最后复原时，安装Gasket锁紧，并须于泄漏侦
洁净管道酸洗、钝化规程
洁净管道酸洗钝化规程
Sanitary piping cleaning and passivation procedure 洁净管道酸洗、钝化规程 1.Purpose目的 This procedure is to define the chemical cleaning and passivation method and procedure of sanitary stainless steel (304/316L) equipment and piping system. 明确洁净不锈钢（304/316L材质）管道或设备系统的酸洗钝化方法和步骤。 2.Scope范围 The site 304/16L stainless steel equipment, pipeline pickling passivation and mobile or assembly equipment pickling passivation 现场304/316L不锈钢设备、管道酸洗钝化与移动或组装设备的酸洗钝化。 3.Responsibilities职责 3.1 The site operators should carry out the pickling and passivation of 304/316L stainless steel piping or equipment per this procedure. 现场操作人员应按照本规程进行304/316L不锈钢管道或设备的酸洗、钝化。 3.2 The site project manger is responsible for submitting this procedure to the owner for approval and putting it into effect. 现场施工经理负责将本规程提交业主审核批准后实施。 3.3 The site safety personnel should check if all the necessary safety and protection measures are ready before pickling and passivation, and keep supervising during the process. 现场安全人员应在系统酸洗、钝化进行前，检查所有必要的防护和安全措施已具备，并在实施过 程中保持监督。 4.Materials and equipments使用的材料和设备 Stainless steel piping or equipment pickling, passivation need the following materials: 不锈钢管道或设备的酸洗、钝化需要用到以下材料： 4.1 Piping flushing liquid: 管道冲洗液： 4.2 Chemical reagent for passivation: 钝化用化学试剂： 5.Procedure操作步骤： 5.1 Isolation – Isolate the system to be passivated from the equipments and instruments that can’t be passivated（such as flow meter）. List these equipments and instruments, and give it to the owner for signature and confirmation. All of the water use points, outlet, drains, and dead leg should have hand valves in proper positions. Remove any component from the system that is not compatible with passivation solutions. Isolating valves should be installed at the ends of inlet and return water hoses, and at any other places anticipated to have breaking points in
实验室气体管路施工技术要求及验收标准
实验室气体管路施工技术要求及验收标准实验室气体管路施工技术要求及验收标准 技术要求 （1）总体设计：管道采用1/4”外径，经过BA处理的专用高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌，在使用仪器的附近接气体考克。 （2）管路设计、规划要点： 气体管路系统应具有良好的气密性，可靠性，可维护性。 1、气瓶阀接口为GB标准的外螺纹形式，为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。 2、为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。 3、
由于气瓶内部的气体压力为150Bar左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀（双表头）。 4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀，为了开关系统的方便和快捷，本项目中开关阀采用球阀。 5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用进口BA级316L不锈钢管道，内表面按规定处理。 6、管道与阀件的连接，管道与管道的连接应保证系统的气密性，同时要便于维修及更换阀件。 7、管道固定件要求坚固，轻巧，耐用。 (3) 施工要求： 1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封，外部有塑料套密封，在进入施工现场后，安装前，方可将塑料套拆封，并除去塑料盖。 2、管道铺设时，应注意平直，弯管处采用专用弯管器，不得徒手弯曲，切断管道时，用专
用切管器操作，严禁用锯子锯断管道。管道切断后，应用专用工具处理断口，严禁用普通锉刀处理。 3、在管道的行进路线中，每隔l米应设置一组管夹，如遇特殊建筑物结构，应酌情考虑。 4、管道穿墙及穿地板时，应设置套管，套管与管道之间的空隙，应采用不可燃烧的材料填充。 5、管道采用全自动焊机焊接方式衔接。 6、所有螺纹连接处应采用密封带密封。 7、所有系统部件安装完毕后，应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。 8、在整个施工过程中，应注意施工安全。 (4)验收说明 施工结束后，用高纯氮气进行检漏保压测试，测试压力应为工作压力的1.25倍。试压规定时间后，压力表读数变化小于0.5%(根据GB金属工业管道施工及验收标准)。 以上管道、各种阀件品牌、材质，连接方式及其相关工艺流程等需严格按标书要求响应，须符合国家标准。
洁净车间验证方案说明
洁净车间验证方案
目录 1 洁净厂房概述 2 验证目的 3 验证依据 4 验证所需文件及记录 5 验证方法和步骤 6 验证工作人员职责安排 7 验证时间安排
1洁净厂房的概述 我公司洁净厂房级别为万级和十万级，建筑面积X平方米主要用途是生产二类体 外诊断试剂产品。根据我公司生产工艺与流程，洁净产房分为： 2验证目的 检查并且确认洁净厂房是否符合医疗器械GMP要求及相关国家标准，空调净化系 统净化能力能否符合设计要求，能否满足生产工艺的要求。资料和文件是否符合GMF管理要求。 3验证依据 《医疗器械生产企业质量管理规范》 《体外诊断试剂生产管理规范》 GB 50073《洁净厂房设计规范》 GB 50457《医药工业洁净厂房设计规范》 GB 50591《洁净室施工及验收规范》 GB/T 16292《医药工业洁净室（区）悬浮粒子的测试方法》 GB/T 16293《医药工业洁净室（区）浮游菌的测试方法》 GB/T 16294《医药工业洁净室（区）沉降菌的测试方法》 4验证所需文件及记录1公司总平面环境布置图 2万级、十万级洁净厂房平面图
3风管平面图 4送、回风的平面图 5排风管平面图 6空气过滤器分布图 7灯具平面图 8空调机组使用说明书 9洁净厂房工程验收报告 10洁净区环境监测记录 11第三方环境监测报告 12洁净车间管理制度 5验证方法和步骤 5.1测试所需计量器具及设备 温湿度表 热球风速计 压差表 尘埃粒子计数器 不锈钢压力蒸汽灭菌器 恒温培养箱 以上器具设备需功能完好，需检定的应具有有效的检定证书
5.2洁净厂房的建筑装饰的验证 5.2.1 验证要求 5.2.1.1 厂房结构要求 a）洁净厂房的内墙表面是否平整，光滑，无颗粒脱落，能耐受清洗和消毒。交接处是采用圆弧装饰。 b）洁净厂房地面应平整、无裂缝、无缺陷、易清洗。 c）安全门的密封性，紧急时易打开，安全通道应无障碍。 d）洁净厂房的顶棚及进入洁净区的管道，风口与墙壁或顶棚的部位应密封良好。洁净厂房的门闭合时应完整密封，并向洁净度高的方向开启。 5.2.1.2 配电、照明设施要求 a）供电系统线路、配电柜、插座等电器设备符合要求。 b）供电线路采用暗敷铺设。电气管线接口，安装于墙上的各种电气设备与墙体接缝处可靠密封。 c）照明灯具应外部造型简单，不易积尘，便于擦拭。照明灯具采用吸顶安装，灯具与顶棚接缝处应采用可靠密封措施。 5.2.1.3给排水管道要求 a）给排水管材应耐腐蚀，安装连接方便。 b）水管线路检漏合格 5.2.1.5其他附属设施 洁净厂房入口处有防蚊虫设施；洁净厂房与非洁净区之间应安装压差计；配备人员的洗手换鞋、消毒设施；安全门旁边有手锤，洁净间通道有应急照明灯。