高纯气体管道设计

输气管道设计规范 GB50251-2003

1 总则 1．0．1 为在输气管道工程设计中贯彻国家的有关法规和方针政策，统一技术要求，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，制订本规范。 1．0. 2 本规范适用于陆上输气管道工程设计。 1．0．3 输气管道工程设计应遵照下列原则： 1 保护环境、节约能源、节约土地，处理好与铁路、公路、河流等的相互关系； 2 采用先进技术，努力吸收国内外新的科技成果； 3 优化设计方案，确定经济合理的输气工艺及最佳的工艺参数。 1．0．4 输气管道工程设计除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关强制性标准的规定。 2 术语 2．O．1 管输气体 pipeline gas 通过管道输送的天然气和煤气。 2．O．2 输气管道工程 gas transmission pipeline project 用管道输送天然气和煤气的工程。一般包括输气管道、输气站、管道穿(跨)越及辅助生产设施等工程内容。 2．O．3 输气站 gas transmission station 输气管道工程中各类工艺站场的总称．一般包括输气首站、输气末站、压气站、气体接收站、气体分输站、清管站等站场。

2．O．4 输气首站 gas transmission initial station 输气管道的起点站。一般具有分离，调压、计量、清管等功能。 2．O．5 输气末站 gas transmission terminal station 输气管道的终点站。一般具有分离、调压、计量、清管、配气等功能。 2．O．6 气体接收站 gas receiving station 在输气管道沿线，为接收输气支线来气而设置的站，一般具有分离、调压、计量、清管等功能。 2．O．7 气体分输站 gas distributing station 在输气管道沿线，为分输气体至用户而设置的站，一般具有分离、调压、计量、清管等功能。 2．O．8 压气站 compressor station 在输气管道沿线，用压缩机对管输气体增压而设置的站。 2．0．9 地下储气库 underground gas storage 利用地下的某种密闭空间储存天然气的地质构造。包括盐穴型、枯竭油气藏型、含水层型等。 2．O．10 注气站 gas injection station 将天然气注入地下储气库而设置的站。 2．O．11 采气站 gas withdraw station 将天然气从地下储气库采出而设置的站。 2．O．12 管道附件 pipe auxiliahes 指管件、法兰、阀门、清管器收发筒、汇管、组合件、绝缘法兰或绝缘接头等管道专用承压部件。

高纯气体管道配管及附件材料的选择要点

高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不仅要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于O．35g．m)技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格，10 (ppm级)已经不能达到要求，需要达到10 (ppb级)，甚至10一~2(ppt级)，尘埃粒径要求控制到0．05-0。Olla,m。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。 2．1管道材料特性 对输送高纯气体管道而言，其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。 21．1气体渗透性 气体从压力(或分压力)高的一侧透过材料向压力(或分压力)低的一侧流入的现象成为气体渗透。因为空气中氧气和氮气分压力最大、气体分子相对较小，管道材料对气体的渗透性主要表现氧气和氮气的渗透，一般对氧气的渗透测试比较多。不同材料对氧的渗透性材料大气中氧气的渗透(ppm)不锈钢管 O铜管O 聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12普通钢管203 从表看到，对于输送ppm级及更高纯度要求的气体，从气体渗透角度必须选用不锈钢管或者钢管，如果我们不恰当地选用了不符合要求的管道材料，那么，无论我们采取什么净化手段，都将是无济于事的。2．1．2出气速率 材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。 2．1．3吸附性 由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性极强，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。 2．1．4表面粗糙度和耐磨性 为了确保输送的气体纯净度，要求管道材料内表面有一个极高的光洁度，这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留，可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨，可以在气流高速冲刷下，产生的金属粒子就少，不锈钢比铜管产生粒子要少，所以不锈钢管耐磨性优于钢管。 2．1．5抗腐蚀性 微电子生产中，经常使用一些腐蚀性很强的气体，这时必须采用耐腐蚀的管材，否则管道会被腐蚀，轻则表面产生锈斑，重则管道大面积剥落、穿孔，不但污染气体，还会发生安全事故。

氧气、高纯气体及稀有气体管道

氧气、高纯气体及稀有气体管道 施工说明 设计 审核 批准 二○○一年六月

氧气、高纯气体和稀有气体管道施工说明 本说明适用于输送99.5%以上的施工质量要求高的高纯度气体和稀有气体的管道，不适用于设备本体所属的管道及其他气体介质的管道。 本说明在下述“规范”的基础上进行编制： 1、《工业管道工程施工及验收规范，(金属管道篇)》GBJ235—82(简称“金属管道篇”)； 2、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GBJ236—82(简称“焊接规范”)； 3、《冶金部“氧气安全规程”（一九八八年）》(简称“规程”)。 结合工程具体情况，本说明作如下补充： 1.管子、管道附件及阀门的要求： 1.1管道所用材质要求根据施工图纸计算决定选取，要变更材质必须征得设计部门同意。下列仅例举材质之范围和相关的标准。 1.1.1无缝钢管(GB8163—87)材质有：10、20或16Mn钢质等。 10号钢管δb不小于335N/mm2，δs不小于205N/ mm2 20号钢管δb不小于410N/mm2，δs不小于245N/ mm2以上两号钢管含硫、磷各分别不大于0.035%，并符合GB699—88要求。 16Mn钢管δb不小于510N/mm2，δs不小于343N/ mm2，含硫不大于0.05%，含磷不大于0.045%，并符合GB1591—79要求。

1.1.2不锈钢管（GB2270—80、GB1220—84）材质常用1Cr18Ni9Ti，1Cr18Ni11Ti等。1Cr18Ni11Ti 1Cr18Ni9Ti不锈钢管δ b 不小于539N/mm2(55kgf/ mm2)，δ0.2不小于206N/mm2(21kgf/ mm2)，0Cr18Ni11Ti不锈钢管δb 不小于520N/mm2 (53kgf/ mm2)，δ0.2不小于206N/mm2 (21kgf/ mm2)。 1.1.3紫铜管材质可用T2、T3、T4、TUP等 拉制铜管（GB1527—79）材料状态M（软）的δb 不小于206N/mm2 (21kgf/ mm2)，伸长率δ10不小于35%，δ5不小于42%。 挤制铜管（GB1528—79）材料状态R（挤制）的δb 不小于186N/mm2 (19kgf/ mm2)，伸长率δ10不小于35%，δ5不小于42%。 1.1.4 黄铜管材可用： 拉制黄铜管H62M H68M（GB1529–79），挤制黄铜管R（GB1530–79）。 机械性能均需δb不小于294N/mm2（30kgf/ mm2)，伸长率δ10不小于38%，δ5不小于43%。 挤制黄铜管Hfe59–1–1，R（GB1530—79）δb 不小于451N/mm2 (44kgf/mm2)，伸长率δ10不小于28%，δ5不小于31%。 1.2管道、阀门、法兰、垫圈和其他管道附件的材质、规格及技术要求在施工以前均应按设计要求核对，并符合有关现行国家或部颁标准，如需代用必须征得设计单位同意。 1.3管道、管件、阀门在使用以前进行质量检验，其要求应符合《金属管道篇》第二章的要求。 1.4阀门应进行强度试验及气密性试验，其一般要求见《金属管道

GB50030氧气管线设计规范要求

氧气站设计规范 GB 50030-1991 第2.0.3条氧气站等的乙类生产建筑物与各类建筑之间的最小防火间距，应符合表2.0.3的要求。 注：⑩液氧贮罐周围5m的范围内，不应有可燃物和设置沥青路面。 第9.0.1条氧气管道的管径，应按下列条件计算确定： 二、流速应是在不同工作压力范围内的管内氧气流速，并应符合下列规定： 1.氧气工作压力为10MPa或以上时，不应大于6m/s； 2.氧气工作压力大于0.1MPa至3MPa或以下时，不应大于15m/s； 3.氧气工作压力为0.1MPa或以下时，应按该管系允许的压力降确定 9．0．14条六、穿过墙壁、楼板的管道，应敷设在套管内，并应用石棉或其他不燃材料将套管端头间隙填实；

氧气及相关气体安全技术规程 GB16912-1997自1998-2-1 起执行 8 氧气管道 8.1.6 氧气管道的弯头、分岔头不应与阀门出口直接相连。阀门出口侧的碳钢管、不锈钢管宜有长度不小于5倍管外径且不小于1.5m的直管段。 8.1.10 架空氧气管道与其他管线之间最小间距要求应按表8执行。 表8 厂区及车间架空氧气管道与其他架空管线之间的最小净距 m 8.1.11 除为氧气管道服务的电控、仪控电缆（或共架敷设的为该类管道服务的专用电缆）外，其余电气线路不准与氧气管道共架敷设。 8.2 氧气流速1） 1）流速均指管内氧气在工作状态下的实际流速。 氧气管道中最高流速不应超过表10的规定。 表10 管道中氧气最高允许流速 8.3 管道材质 氧气管道材质的选用应符合表11规定。 表11 氧气管道材质选用表

8.4 管件选用 8.4.1氧气管道上的弯头、分岔头及变径管的选用，应符合下列要求： a）氧气管道严禁采用折皱弯头。当采用冷弯或热弯弯制碳钢弯头时，弯曲半径不应小于管外径的5倍；当采用无缝或压制焊接碳钢弯头时，弯曲半径不应小于管外径的1.5倍；采用不锈钢或铜基合金无缝或压制弯头时，弯曲半径不应小于管外径。对工作压力不大于0.1MPa的钢板卷焊管，可以采用弯曲半径不小于管外径的1.5倍的焊制弯头，弯头内壁应平滑，无锐边、毛刺及焊瘤； b）氧气管道的变径管，宜采用无缝或压制焊接件。当焊接制作时，变径部分长度不宜小于两端管外径差值的3倍；其内壁应平滑，无锐边、毛刺及焊瘤； c）氧气管道的分岔头，宜采用无缝或压制焊接件，当不能取得时，宜在工厂或现场预制，但应加工到无锐角、无突出部位及焊瘤。不宜在现场开孔、插接。 8.4.2 氧气管道上的法兰，应按国家有关的现行标准选用；管道法兰的垫片，宜按表12选用。

实验室气体管道说明及安装

实验室气体管道说明及安装 1.1实验室气体管道系统技术说明 1.1.1编制依据参照国家规 标准规（描述、罗列本招标文件适用的主要标准和规） 下列规、规程和标准通过引用构成了本技术文件的组成部分。本技术文件涉及到的规、规程和标准，除注明年号者外，应为最新版本。所有工程的制造、检验及验收除应符合本技术文件外，尚应符合图样以及订货技术协议的有关规定： ?GB50016－2006《建筑设计防火规Code for Fire Prevention of Building Design》?GB50235－2010 《工业金属管道施工规Code for construction of industrial metallic piping》 ?JGJ91－93《科学实验建筑设计规Design Code for construction of scientific Lab 》 ?GB 50316-2000《工业金属管道设计规Design code for industrial metallic piping》(2008年版) ?GB 50177-2005《氢气站设计规Design Code for H2 station》 ?GB/T 20801-2006《压力管道规工业管道Design Code for Pressure Pipelines》?GB16912-2008 《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》 ?GB50236-2011 《现场设备、工业管道焊接工程施工规》 ?GB50184-2011 《工业金属管道工程施工质量验收规》 ?SH/T3103-2009 《石油化工中心化验室设计规》 ?电子工业部气体管道安全管理规程 ?GB4962-2008 《氢气使用安全技术规程》 ?SH 3501-2011 《石油化工有毒、可燃介质钢制管道工程施工及验收规》当上述文件与本技术文件条件的要求发生矛盾时，原则上按照较严者的要求执行， 或书面形式向买方提出，由买方负责联络设计方提出处理意见；以上标准均采用 最新版本。

实验室气体管道设计方案

方案内容 方案设计目的 高纯气体中央供气系统是专为高精度分析测试设备所用高纯工作气体的传输而设计，系统需要为分析设备提供压力、流量稳定且经过长距离传输后纯度不变的高纯气体以满足各种高精度分析设备的使用要求。系统同时还应该满足安全性的要求，并方便客户的日常使用及管理。 第一部分气瓶间布局 1．由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。 2．气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套 3．压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。 4．所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。 5．压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设计的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。 6．压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。 7．气瓶间内存放的气瓶采用带防倒链的气瓶支架固定，气瓶支架坚固耐用、美观大方。 气瓶支架采用铝合金制作而成。 8．气瓶间内的气体钢瓶与压力调节器之间采用SS 316L高压金属软管连接无渗透。 高压软管为柔性软管，以保证连接的方便性。并自导防护钢缆，预防极端情况下，

钢瓶阀损坏等现象带来的高压“抽鞭”事故。压力调节器与管道的连接方式为双环卡套。 9．高压软管上的钢瓶接头必需与钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。 10．排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。 第二部分终端布局 11．系统设置为二次减压系统。终端采用壁挂式设计。上设有压力调节器、输出压力指示计、紧急切断阀，同一气路的呈上下对应排布，方便操作。面板为不锈钢产品。 具体位置参见图纸，具体配置情况如下： ■壁挂式终端标准型 26套 注：该终端可以实现在室内对设备的压力调节、输出压力的监控及气路开关控制，省去了每日往返于气瓶间和实验间的奔波，提高了办事效率。 12．控制终端上的气体出口尺寸要与分析仪的气体入口尺寸相对应。气体出口接头还应方便安装。 第三部分气路的布线 13．气瓶间内压力调节面板与实验室内的气路终端之间选用SS 316L BA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra<0.4um BA级管道。 14．4N氮气主管线采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa压力下流量可达8M3/小时，完全满足常规用气需求，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。 15．5N氮气、氦气、预留气主管线采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支线采用OD1/4” （6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。

高纯气体的配管及材质

高纯气体的配管及材质 1.高纯气体管路的设计要点: (1)对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体 集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。 (2)管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/ 腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力与管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。 (3)根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便 在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。 (4)管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、 用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行与防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。 (5)对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但就是在纯度要求高的用气设备 邻近处设末端气体提纯装置。 (6)为了检测高纯气体的纯度与杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置 定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。 (7)在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10－9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括 尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器 2.高纯气体配管及附件材质的选择 (1)选择标准 ●选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料: 目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但就是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1、01、0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管,高纯气体使用管材的特点及要求

石油化工管道布置设计规范

石油化工管道布置设计规范 一石油化工管道布置设计一般规定 1.管道布置设计应符合管道及仪表流程图的要求； 2.管道布置应统筹规划，做到安全可靠、经济合理、满足施工、操作、维修等 方面的要求，并力求整齐美观； 3.对于需要分期施工的工程，其管道的布置设计应统一规划，力求做到施工、 生产、维修互不影响； 4.永久性的工艺、热力管道不得穿越工厂的发展用地； 5.在确定进出装置（单元）的管道的方位与敷设方式时，应做到内外协调； 6.厂区内的全厂性管道的敷设，应与厂区的装置（单元）、道路、建筑物、构筑 物等协调，避免管道包围装置（单元），减少管道与铁路、道路的交叉； 7.管道应架空或地上敷设；如确有需要，可埋地或敷设在管沟内； 8.管道宜集中成排布置，地上管道应敷设在管架或者管墩上； 9.在管架或者管墩上（包含穿越涵洞）应留有10%～30%的空位，并考虑其荷重； 装置主管廊架宜留有10%～20%的空位，并考虑其荷重； 10.全厂性管架或者管墩上（包含穿越涵洞）应留有10%～30%的空位，并考虑其 荷重；装置主管廊架宜留有10%～20%的空位，并考虑其荷重； 11.输送介质对距离、角度、高差等有特殊要求的管道以及大直径管道的布置， 应符合设备布置设计的要求； 12.管道布置设计应满足现行《石油化工企业非埋地管道抗震设计通则》SHJ39 的要求； 13.管道布置不应妨碍设备、机泵及其内部结构的安装、检修和消防车辆的通行； 14.管道布置应使管道系统具有必要的柔性；在保证管道柔性及管道对设备、机 泵管口作用力和力矩不超出过允许值的情况下，应使管道最短，组成件最少；

15.应在管道规划的同时考虑其支撑点设置；宜利用管道的自然形状达到自行补 偿； 16.管道系统应有正确和可靠地支撑，不应发生管道与其支撑件脱离、管道扭曲、 下垂或立管不垂直的现象； 17.管道布置宜做到“步步高”或“步步低”，减少气袋或液袋；否则应根据操 作、检修要求设置放空、放净；管道布置应减少“盲肠”； 18.气液两相流的管道由一路分为两路或多路时，管道布置应考虑对称性或满足 管道及仪表流出图要求； 19.管道除与阀门、仪表、设备等要用法兰或螺纹连接者外，应采用焊接连接； 下列情况应考虑法兰、螺纹或者其他可拆卸的场合； 1)因检修、清洗、吹哨需拆卸的场合； 2)衬里管道或者夹套管道； 3)管道由两段异种材料组成且不宜用焊接连接者； 4)焊缝现场热处理有困难的管道连接点； 5)公称直径小于或等于100的镀锌管道； 6)设置盲板或“8”字盲板的位置。 20.管道布置时管道焊缝位置的设置，应符合下列要求; 1)管道对接焊口的中心与弯管起弯点的距离不应小于管子外径，且不小于 100mm； 2)管道上两相邻对接焊口的中心间距： A.对于公称直径小于150mm的管道，不应小于外径，且不得小于50mm； B.对于公称直径等于或大于150mm的管道，不应小于150mm。

高纯气体工艺与施工

高纯/特种气体工艺与施工概要 北京分公司吴学刚 前言 近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。” 日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次： 超高纯气体 气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。 高纯气体 气体中杂质总含量控制在5%ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内. 洁净气体 气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道，集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验，我进行了一些归纳，希望能够给大家提供一些参考。 一、高纯/特种气体的概念 1．半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类： （1）普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2、N2 、O2 、Ar 、He等。

（2）特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。 2．半导体制造用气体按照使用时的危险性分类： （1）可燃、助燃、易燃易爆气体：H2、CH4、H2S、NH3、SiH4、PH3、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等。 （2）有毒气体：AsH3、PH 3、PH 3 、B 2 H 6 等 （3）助燃气体：O2 、N 2 O、F2 、HF等 （4）窒息性气体：N2 、He、CO 2 、Ar等 （5）腐蚀性气体：HCL、PCL 3、POCL 3 、HF、SiF4、CLF3、等

气体管道设计要求

气体管道设计要求 第7章气体管道 7.1一般规定 第7.1.1条本章规定适用于压力不大于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、煤气、压缩空气和真空等实验室内气体管道设计。 第7.1.2条气体管道设计除应按现行的《城镇燃气设计规范》、《工业企业煤气安全规程》、《氧气站设计规范》、《氢气使用安全技术规程》等的规定执行外，尚应符合本规范的规定。 第7.1.3条氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气次数为每小时1～3次的通风措施。 第7.1.4条按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。 第7.1.5条穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。 第7.1.6条氢气、氧气管道的末端和最高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。 第7.1.7条氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。 第7.1.8条管道敷设要求 第7.1.8.1条输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。 第7.1.8.2条氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。 第7.1.8.3条氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m；交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。 第7.1.8.4条室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地，不得穿过不使用氢气的房间。 第7.1.8.5条气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。

高纯气体管路五项测试流程

高纯气体管路五项测试 流程 文档编制序号：[KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688]

五项测试流程 气体管路的QC 气体管路的QC指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。 （1）?通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解，他们所关心的是管路是否歪斜焊道是否标准气体标签是否有贴等有关管路外观的问题。所以QC人员对于管路外观的检查就显得格外重要，纵是管路内部的分析再怎么确实，在客户眼里我们的品质一样是有瑕疵的，此也是我们应努力的方向之一，然大多数刚接触QC的同仁对于要检查哪些外观都显得有些不知所措，故在附件一概略列出检查的要项，盼对刚接触QC 的人员有所帮助。 （2）?气体管路的五项测试： 气体管路的五项测试为QC最重要的一部分，内容概略可分为[测漏]及[管路内的分析]，前者如没做好而造成危险气体泄漏，除了对公司的声誉造成影响外，更严重的是人的生命及安全都会受到威胁，而后者则是影响到wafer的良率，也是不可忽视的。以下就五项测试一一作介绍：（一）?保压测试（Pressure） 目的：保压测试的目的除了在检查管路，接头是否有泄漏之情形外，另一目的则是在于利用高于工作压力之气体压力保持在一封闭管路内，经过一段时间后及可侦测出管路焊道上是否有沙孔（沙孔会因过高的压力而造成泄漏）以及衔接点是否可承受如此高的压力而不至泄漏，以确保所有人员的安全。

原理：将待测管路通入PN2，使其压力达到管路正常使用压力的1。1倍或是7至9公斤之间，在一端接上记录器，经过一段时间后检查是否有压降现象，若无则表示该管路已通过保压测试，反之，则检查压降之原因，并在原因排除后再做一次保压测试，直到完全没有泄漏为止 步骤： A，取得该机台之管路施工图，并一一核对下包商是否有按图施工 B，?将Panel入口端的接头松开，并利用管路本身的气体将预30秒，并检查Takeoff 及管路是否正确 C，?将Panel出入口两端用新的Gasket衔接上，并将进机台端的接头Cap起来。 D，将Panel上的Valve及Gegulator开止Open位置。 E，将所有待测管路Takeoff端的接头用测试的管子串联起来，并于一端连接记录器（Recorder）。 F，?使用PN2将管路内充满压力达7~9公斤，并检查所有压力表头是否有压力。 G，? 使用测漏液（snoop，其漏率可达1。0*10-4）对所有的接头作初步的测漏，尤其是swagelok接头。 H，?开始测漏。 Notice： 1，?步骤b中因施工者施工不当，常造成管内有铁屑存留，如未先purge 管路而直接衔接上，铁屑可能会被吹入Valve里，而造成Valve的内漏

高纯管道测试方案

[键入文字] 高纯气体管道检测方案

目录 一：测试概要二：测试仪器 (1) (1) 三：系统管路连接方式及检测标准 (2) 四：测试项目及方法 (2) 1.耐压测试 (2) a)测试目的 (2) b)测试规则 (2) c)测试工具 (2) d)测试前准备 (2) e)注意事项 (3) f)测试方法 (3) 2.保压测试 (3) a)测试目的 (3) b)测试规则 (3) c)测试工具 (4) d)测试方法 (4) e)测试结束后注意事项 (4) 3．氦检漏测试 (5) a)测试目的 (5) b)相关名词及解释 (5) c)测试仪器 (5) d)测试前准备 (5) e)测试方法 (6)

4．水分、氧分、颗粒检测 (7) a)测试目的和测试标准 (7) b)测试仪器 (7) c)测试方法 (7) 五：测试报告 (8)

二：测试仪器 一：测试概要 设备主管路主要是通特种气体SiH4,需做测试项目有：耐压测试、保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。 辅助管路主要是通大宗气体,用于开启气动阀门。需做测试有：用Snoop对SWG、NPT 接点进行检漏。 氦检仪水分仪 仪器名称仪器型号产地备注 氦检仪INFICON UL1000FAB德国 水分仪HALO-H20美国 氧分仪DF-550E美国 颗粒仪PMS LPC-101-HP美国

氧分仪颗粒仪 三：系统管路连接方式及检测标准 四：测试项目及方法 1.耐压测试 a)测试目的 管道在承受高压后衔接点不会外漏，以确保所有人员的安全。另外管路中的高压可以侦测出焊道上是否有沙孔存在（沙孔会因为过高的压力造成泄露）。 b)测试规则 测试时间为0.5H,测试压力依据系统中材料的最大工作压力而定，避免因压力过大导致材料损坏。例如系统中压力表最大量程为400Kpa，则通入压力 要小于等于400Kpa。无压降即为通过。如有压降需找出漏点重新测试，直到 无压降为止。 c)测试工具 压力表 d)测试前准备 检查系统流程是否与PID图纸流程一致，核对材料型号、方向、标识是否正确。检查管线材料最大工作压力,避免因测试过程通入压力过高导致阀门损坏。

实验室气体管路施工技术要求及验收标准

实验室气体管路施工技术要求及验收标准实验室气体管路施工技术要求及验收标准 技术要求 （1）总体设计：管道采用1/4”外径，经过BA处理的专用高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌，在使用仪器的附近接气体考克。 （2）管路设计、规划要点： 气体管路系统应具有良好的气密性，可靠性，可维护性。 1、气瓶阀接口为GB标准的外螺纹形式，为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。 2、为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。 3、

由于气瓶内部的气体压力为150Bar左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀（双表头）。 4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀，为了开关系统的方便和快捷，本项目中开关阀采用球阀。 5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用进口BA级316L不锈钢管道，内表面按规定处理。 6、管道与阀件的连接，管道与管道的连接应保证系统的气密性，同时要便于维修及更换阀件。 7、管道固定件要求坚固，轻巧，耐用。 (3) 施工要求： 1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封，外部有塑料套密封，在进入施工现场后，安装前，方可将塑料套拆封，并除去塑料盖。 2、管道铺设时，应注意平直，弯管处采用专用弯管器，不得徒手弯曲，切断管道时，用专

用切管器操作，严禁用锯子锯断管道。管道切断后，应用专用工具处理断口，严禁用普通锉刀处理。 3、在管道的行进路线中，每隔l米应设置一组管夹，如遇特殊建筑物结构，应酌情考虑。 4、管道穿墙及穿地板时，应设置套管，套管与管道之间的空隙，应采用不可燃烧的材料填充。 5、管道采用全自动焊机焊接方式衔接。 6、所有螺纹连接处应采用密封带密封。 7、所有系统部件安装完毕后，应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。 8、在整个施工过程中，应注意施工安全。 (4)验收说明 施工结束后，用高纯氮气进行检漏保压测试，测试压力应为工作压力的1.25倍。试压规定时间后，压力表读数变化小于0.5%(根据GB金属工业管道施工及验收标准)。 以上管道、各种阀件品牌、材质，连接方式及其相关工艺流程等需严格按标书要求响应，须符合国家标准。

管道布置设计的要求

管道布置设计的要求 1、管道布置设计的一般要求有； 1）管道布置设计应符合工艺管道及仪表流程图的要求； 2）管道布置应统筹规划，做到安全可靠、经济合理、满足施工、操作、维修等方面的要求，并力求整齐美观； 3）在确定进出装置（单元）的管道的方位与敷设方式时，应做到内外协调； 4）厂区内的全厂性管道的敷设，应与厂区内的装置（单元）、道路、建筑物。构筑物等协调，避免管道包围装置（单元），减少管道与铁路、道路的交叉； 5）管道应架空或地上缴设；如确有需要，可埋地或敷设在管沟内； 6）管道宜集中成排布置。地上的管道应敷设在管架或管墩上； 7）在管架、管墩上布置管道时，宜使管架或管墩所受的垂直荷载、水平荷载均衡； 8）全厂性管架或管墩上（包括穿越涵洞）应留有1O ％－3O％的裕量，并考虑其荷重。装置主管廊管架宜留有10％－20％的裕量，并考虑其荷重； 9）输送介质对距离、角度、高差等有特殊要求的管道以及大直径管道的布置，应符合设备布置设计的要求； 10）管道布置不应妨碍设备、机泵及其内部构件的安装、检修和

消防车辆的通行； 11）管道布置应使管道系统具有必要的柔性。在保证管道柔性及管道对设备、机泵管口作用力和力矩不超出过允许值的惰况下，应使管道最短，组成件最少； 12）．应在管道规划的同时考虑其支承点设置。宜利用管道的自然形状达到自行补偿； 13）管道布置宜做到“步步高”或“步步低”，减少气袋或液袋。不可避免时应根据操作、检修要求设置放空、放净。管道布置应减少“盲肠”； 14）气液两相流的管道由一路分为两路或多路时，管道布置应考虑对称性或满足管道及仪表流程图的要求。 2、管道除与阀门。仪表、设备等需要用法兰或螺纹连接者外，应采用焊接连接。 下列惰况应考虑法兰、螺纹或其他可拆卸连接： l）因检修、清洗、吹扫需拆卸的场合； 2）衬里管道或夹套管道； 3）管道由两段异种材料组成且不宜用焊接连接者； 4）焊缝现场热处理有困难的管道连接点； 5）公称直径小于或等于100mm的镀锌管道； 6）设置盲板或“8”字盲板的位置。 3、气体支管宜从主管的顶部接出。

高纯气体的配管及材质

高纯气体的配管及材质 1．高纯气体管路的设计要点： （1）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。（2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。 （3）根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。 （4）管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。 （5）对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。 （6）为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。 （7）在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器 2．高纯气体配管及附件材质的选择 （1）选择标准 ●选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料： 目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管，高纯气体使用管材的特点及要求如下表所示： '.

特种气体系统项目工程设计规范标准

特种气体系统工程技术规范 2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 |字号订阅 1总则 1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。 2术语 2.0.1 特种气体specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。 2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。 2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。 2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。 2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders 用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。 2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。 2.0.11 气瓶架 gas rack (GR) 特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。 2.0.12 阀门箱 valve manifold box (VMB) 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。 2.0.13 阀门盘 valve manifold panel (VMP) 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应

气体管路施工技术要求及验收标准

气体管路施工技术要求及验收标准 技术要求 （1）总体设计：管道采用1/4”外径，经过AP处理的专用高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌，在使用仪器的附近接气体考克。 (2)管路设计、规划要点： 气体管路系统应具有良好的气密性，可靠性，可维护性。 1、气瓶阀出口为GB标准的外螺纹形式，为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。 2、为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。 3、由于气瓶内部的气体压力为150Bar左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀（双表头）。 4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀，为了开关系统的方便和快捷，本项目中开关阀采用球阀。 5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用进口BA级316L不锈钢管道，内表面按规定处理。 6、管道与阀件的连接，管道与管道的连接应保证系统的气密性，同时要便于维修及更换阀件。 7、管道固定件要求坚固，轻巧，耐用。 (3) 施工要求： 1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封，外部有塑料套密封，在进入施工现场后，安装前，方可将塑料套拆封，并除去塑料盖。 2、管道铺设时，应注意平直，弯管处采用专用弯管器，不得徒手弯曲，切断管道时，用专用切管器操作，严禁用锯子锯断管道。管道切断后，应用专用工具处理断口，严禁用普通锉刀处理。 3、在管道的行进路线中，每隔l米应设置一组管夹，如遇特殊建筑物结构，应酌情考虑。 4、管道穿墙及穿地板时，应设置套管，套管与管道之间的空隙，应采用不可燃烧的材料填充。 5、管道采用全自动焊机焊接方式衔接。 6、所有螺纹连接处应采用密封带密封。 7、所有系统部件安装完毕后，应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。 8、在整个施工过程中，应注意施工安全。 (4)验收说明 施工结束后，用高纯氮气进行检漏保压测试，测试压力应为工作压力的1.25倍。试压规定时间后，压力表读数变化小于0.5%(根据GB金属工业管道施工及验收标准)。 以上管道、各种阀件品牌、材质，连接方式及其相关工艺流程等需严格按标书要求响应，须符合国家标准。